CN104298391A - 触摸窗口以及包括其的触摸设备 - Google Patents
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Abstract
公开了一种触摸窗口,包括衬底,以及设置在所述衬底上用于检测位置的电极部分。所述电极部分包括基座,所述基座包括电极。
Description
技术领域
本公开涉及一种触摸窗口以及包括其的触摸设备。
背景技术
触摸屏通过触笔或手等输入设备去触摸显示在触摸设备上的图像来执行输入功能,近来已经应用到各种电器中。
触摸屏通常可以分成电阻式触摸屏和电容式触摸屏。在电阻式触摸屏中,检测到触摸点的位置的原因是,在输入设备上施加压力时玻璃与电极之间发生的短路。在电容式触摸屏中,触摸点的位置的检测方法是,检测用户的手指触摸到电容式触摸屏上时电极之间的电容变化。
对于触摸屏的电极来说,一种替代铟锡氧化物(ITO)的材料的纳米线,得到了广泛关注。纳米线这种材料在各个方面都优于ITO,例如它的透射率和导电率。
纳米线具有使入射其上的光散射的特点,从而导致含这些纳米线的电极看起来并不透明。因此,触摸屏的可见度可能降级。此外,当电极是利用纳米线形成时,额外需要一个外敷层来防止纳米线氧化,这就增加了触摸屏的厚度。
此外,当对触摸屏图案化时,由于相同的材料含于电极中,因此难以进行选择性的图案化。也就是说,在图案化时必须形成不同类型的图案,但是在图案化中使用的是相同的材料,导致一项图案化过程对另一项图案化过程造成了影响。因此,对触摸屏结构造成了限制。
发明内容
实施例提供了一种厚度薄的触摸窗口以及包括其的触摸设备。
实施例提供了一种其中可以确保各种结构的触摸窗口以及包括其的触摸设备。
根据实施例,提供了一种触摸窗口,包括衬底,以及设置在所述衬底上的用于检测位置的电极部分。所述电极部分包括基座,所述基座包括电极。
如上文所述,根据一个实施例的触摸窗口包括一个电极部分,所述电极部分包括光敏材料以及纳米线。所述电极部分包括纳米线薄膜,因此所述电极部分的厚度可以减小。也就是说,所述电极部分包括纳米线,因此其完整厚度可以减小。根据相关技术,当所述电极部分包括纳米线时,额外形成外敷层来防止纳米线氧化。因此,制造过程变复杂同时触摸窗口的厚度增加。然而,根据本实施例,纳米线含在光敏材料中,因此,在没有外敷层的情况下纳米线可以受到保护而不被氧化。
此外,所述电极部分包括纳米线,因此可以实现柔性触摸窗口和触摸设备。
根据此实施例的触摸窗口,所述电极与没有形成电极的区域之间的高度差可以减小,因此电极的可见度可以得到提高。此外,当将电极薄膜进行结合时,因阶梯差产生的气泡可以减少,因此触摸窗口的可靠性可以得到提高。
此外,当撤销了与所述电极部分连接的导线时,因所述电极部分的厚度产生的导线的阶梯差可以得到改进,由此防止导线发生短路或破裂。
附图说明
图1是示意性地示出了根据此实施例的触摸窗口的平面图。
图2是示意性地示出了根据此实施例的触摸窗口的透视图。
图3是沿图2的线I-I’截得的截面图。
图4是示意性地示出了根据另一个实施例的触摸窗口的平面图。
图5是沿图4的线A-A’截得的截面图。
图6和图7是示出了制造根据一个实施例的触摸窗口的方法的截面图。
图8到图10是示出了根据另一个实施例的触摸窗口的截面图。
图11是示出了根据另一个实施例的触摸窗口的透视图。
图12是沿图11的线II-II’截得的截面图。
图13到图17是示出了制造根据一个实施例的触摸窗口的方法的截面图。
图18到图24是示出了根据另一个实施例的触摸窗口的截面图。
图25是示出了装配有根据此实施例的触摸窗口的触摸设备的截面图。
图26到图33是示出了根据另一个实施例的触摸窗口的截面图。
图34是示出了在根据另一个实施例的触摸窗口中图1的A部分的放大图。
图35是沿图34的线II-II’截得的截面图。
图36是示出了根据另一个实施例的触摸窗口的截面图。
图37是示出了根据另一个实施例的触摸窗口的放大图。
图38是沿图37的线III-III’截得的截面图。
图39是示出了根据另一个实施例的触摸窗口的截面图。
图40到图42是说明制造根据一个实施例的触摸窗口的方法的截面图。
图43是示出了装配有根据此实施例的触摸窗口的显示器的截面图。
具体实施方式
下文是各实施例的描述,应理解,当将一个层(或薄膜)、区域、图案或结构称作在......(另一个衬底、另一个层(或薄膜)、另一区域、另一焊盘或另一图案)“上”或在……(另一个衬底、另一个层(或薄膜)、另一区域、另一焊盘或另一图案)“下”时,它们可以“直接”也可以是“间接”位于这另一个衬底、另一个层(或薄膜)、另一区域、另一焊盘或另一图案上,也可以存在一个或多个中间层。层的这种定位是结合附图来描述的。
附图中所示出的每一个层(或薄膜)、每一个区域、每一个图案或每一个结构的厚度和尺寸可能都有进行了夸大、省略,或者为了方便和清楚起见只是作了示意性地绘制。此外,元件的大小并非完全反映实际的大小。
下文中,将参看附图描述本发明的实施例。
下文中,将参看图1到图8描述根据一个实施例的触摸窗口以及制造所述触摸窗口的方法。
参看图1和图2,根据此实施例的触摸窗口10包括衬底100,衬底100包括用于检测输入设备(例如,手指)的位置的有源区AA以及设置在有源区AA的周边部分的无源区UA。
衬底100可以包括含聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜或树脂的玻璃衬底或塑料衬底,但此实施例不限于此。也就是说,衬底100可以包括各种材料以形成其上的电极部分200和导线300。
有源区AA可以和可以感应输入设备的电极部分200一起设置其中。电极部分200具有如图2所示的杆形,但是此实施例不限于此。因此,电极部分200可以具有各种形状以检测是否有手指等输入设备进行了触摸。
电极部分200包括在一个方向上延伸的第一电极部分210,以及在与所述一个方向交叉的相反方向上延伸的第二电极部分220。根据此实施例的触摸窗口可以具有一层式结构,在一层式结构中,第一和第二电极部分210以及220形成在同一衬底100上。也就是说,第一和第二电极部分210以及220可以设置在衬底100上的同一平面上。然而,此实施例不限于此,触摸窗口可以具有各种结构,包括两层式结构,在两层式结构中,第一和第二电极部分210以及220形成在彼此不同的衬底上。
如果手指等输入设备触摸到了触摸窗口上,那么输入设备便使被触摸部分上产生电容差,同时,表现出这个电容差的被触摸部分可以被检测为一个触摸点。
同时,尽管图1和图2中未图示,但是可以在衬底100上设置一个覆盖窗口。所述覆盖窗口可以包括玻璃。具体而言,所述覆盖窗口包括化学增强玻璃。化学增强玻璃是指经过化学增强的玻璃。例如,化学增强玻璃可以包括苏打石灰玻璃(Na2O-CaO-SiO2)或铝硅酸盐玻璃(Na2O-Al2O3-SiO2)。覆盖窗口可以具有预定的角度以保护衬底100、电极部分200以及导线300。
参看图3,第一电极部分210包括基座211以及设置在基座211上的电极212。电极212实质上在基座211的上部执行电功能。
基座211以及电极212具有相同的图案。也就是说,当第一电极部分210具有在一个方向上延伸的杆形图案时,基座211以及电极212便具有在这个方向上延伸的杆形图案。
基座211包括光敏材料。基座211包括光敏材料,因此,第一电极部分210可以通过曝光和显影程序来形成。
电极212可以包括互连结构。互连结构可以具有直径范围是10nm到200nm的精密结构。优选地,互连结构可以是直径范围是20nm到100nm的精密结构。在这种情况中,电极212可以包括纳米线。例如,电极212可以包括金属纳米线。
互连结构设置在第一电极部分210的上部。互连结构可以存在于区域D中,区域D的深度是从第一电极部分210的上部算起的1μm。优选地,纳米线可以存在于区域D中,区域D的深度是从第一电极部分210的上部算起的100nm。
此外,互连结构的密度朝向基座212的表面增加。在这种情况下,互连结构的密度可以代表相同的容积内互连结构的数量。另外,互连结构的密度可以随着互连结构逐渐远离衬底100而逐渐增加。
第一电极部分210可以包括光敏纳米线薄膜。第一电极部分210包括光敏纳米线薄膜,因此第一电极部分210的厚度可以减小。也就是说,第一电极部分210包括纳米线因此第一电极210的完整厚度可以减小。根据相关技术,当电极部分包括纳米线时,额外形成外敷层来防止纳米线氧化。因此,制造过程变复杂同时触摸窗口的厚度增加。然而,根据本实施例,包括纳米线的互连结构被包含在光敏材料中,因此,即使没有外敷层,纳米线也可以受到保护而不被氧化。
第一电极部分210的厚度范围可以是1μm到6μm。更具体而言,第一电极部分210的厚度范围可以是2μm到5μm。
当第一电极部分210的厚度范围是1μm到6μm时,表面电阻范围可以是120Ω/□到180Ω/□。优选地,当第一电极部分210的厚度范围是2μm到5μm时,表面电阻范围可以是140Ω/□到160Ω/□。更优选地,当第一电极部分210的厚度是5μm时,表面电阻可以是150Ω/□。
此外,当第一电极部分210的厚度范围是1μm到6μm时,聚碳酸酯的雾度范围可以是0.1%到0.9%。优选地,当第一电极部分210的厚度范围是2μm到5μm时,聚碳酸酯的雾度范围可以是0.3%到0.7%。更优选地,当第一电极部分210的厚度是5μm时,聚碳酸酯的雾度可以是0.5%。
此外,当第一电极部分210的厚度范围是1μm到6μm时,聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜的雾度范围可以是0.8%到1.6%。优选地,当第一电极部分210的厚度范围是2μm到5μm时,PET薄膜的雾度范围可以是1.0%到1.4%。更具体地,当第一电极部分210的厚度是5μm时,PET薄膜的雾度可以是1.2%。
当第一电极部分210的厚度范围是1μm到6μm时,聚碳酸酯的透射率范围可以是87%到95%。优选地,当第一电极部分210的厚度范围是2μm到5μm时,聚碳酸酯的透射率范围可以是89%到93%。更优选地,当第一电极部分210的厚度是5μm时,聚碳酸酯的透射率可以是91%
另外,当第一电极部分210的厚度范围是1μm到6μm时,聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜的透射率范围可以是85%到93%。优选地,当第一电极部分210的厚度范围是2μm到5μm时,聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜的透射率范围可以是87%到91%。更优选地,当第一电极部分210的厚度是5μm时,聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜的透射率可以是89%。
类似地,第二电极部分220包括基座221以及设置在基座221上的电极222。电极222实质上在基座221的上部执行电功能。
基座221以及电极222具有相同的图案。也就是说,当第二电极部分220具有在一个相反方向上延伸的杆形图案时,基座221以及电极222便具有在这个相反方向上延伸的杆形图案。
基座221包括光敏材料。基座221包括光敏材料,因此,第二电极部分220可以通过曝光和显影程序来形成。
电极222可以包括互连结构。互连结构可以具有直径范围是10nm到200nm的精密结构。优选地,互连结构可以是直径范围是20nm到100nm的精密结构。在这种情况中,电极222可以包括纳米线。例如,电极222可以包括金属纳米线。
互连结构设置在第二电极部分220的上部。互连结构可以存在于区域D中,区域D的深度是从第二电极部分220的上部算起的1μm。优选地,纳米线可以存在于区域D中,区域D的深度是从第二电极部分220的上部算起的100nm。
此外,电极222的密度朝向设置在衬底100的上部的覆盖窗口增加。也就是说,互连结构的密度可以朝向基座212的表面增加。在这种情况下,互连结构的密度可以代表相同的容积内互连结构的数量。另外,互连结构的密度可以随着互连结构逐渐远离衬底100而逐渐增加。
第二电极部分220可以包括光敏纳米线薄膜。第二电极部分220包括光敏纳米线薄膜,因此第二电极部分220的厚度可以减小。也就是说,第二电极部分220包括纳米线因此第一电极部分210的完整厚度可以减小。根据相关技术,当电极部分220包括纳米线时,额外形成外敷层来防止纳米线氧化。因此,制造过程变复杂同时触摸窗口的厚度增加。然而,根据本实施例,包括纳米线的互连结构被包含在光敏材料中,因此,即使没有外敷层,纳米线也可以受到保护而不被氧化。
第二电极部分220的厚度范围可以是1μm到6μm。更具体而言,第二电极部分220的厚度范围可以是2μm到5μm。可以在第一和第二电极部分210和220之间额外插入一个中间层400。中间层400可以将第一电极部分210与第二电极部分220绝缘。中间层400可以将第一电极部分210结合到第二电极部分220上。此外,中间层400可以被平坦化,使得第二电极部分220可以稳定地形成在第一电极部分210上。
中间层400可以包括光学透明粘胶(OCA)。此外,中间层400可以包括光敏薄膜。
此外,中间层400可以包括介电质材料。中间层400包括介电质材料,因此与根据相关技术的一种触摸窗口的厚度相比,触摸窗口的厚度可以减小,在这种相关技术的触摸窗口的结构中,第一电极部分210形成在一个衬底上,第二电极部分220形成在相反的衬底上,并且这个衬底通过粘胶层结合到这个相反的衬底上。也就是说,这个衬底与这个相反的衬底中的一个以及所述粘胶层可以省去。在这种情况中,中间层400的厚度可以比衬底100的厚度薄。具体而言,中间层400的厚度可以是衬底100的厚度的0.05到0.5倍。例如,衬底100的厚度是0.05mm,中间层400的厚度可以是0.005mm。
触摸窗口的厚度可以因为中间层400的存在而减小,因此,触摸窗口的透射率可以提高,第一和第二电极部分210和220可以受保护而不发生破裂。因此,触摸窗口的弯曲性能和可靠性可以提高。
第一和第二电极部分210和220的厚度减小,因此触摸屏的完整厚度可以减小。此外,第一和第二电极部分210和220的基座211和221可以防止纳米线氧化从而保护纳米线。因此,可以省去用于保护纳米线的附加层。
衬底100和电极部分200的完整厚度范围可以是60μm到140μm。也就是说,衬底100、第一电极部分210、中间层400以及第二电极部分的完整厚度范围可以是60μm到140μm。优选地,第一衬底100、第一电极部分210、中间层400以及第二电极部分220的完整厚度范围可以是80μm到120μm。更优选地,第一衬底100、第一电极部分210、中间层400以及第二电极部分220的完整厚度范围可以是90μm到110μm。
导线300可以形成在无源区UA中以用于电极部分200的电连接。导线300包括用于连接第一电极部分210的第一导线310,以及用于连接第二电极部分220的第二导线320。
导线300可以包括表现出优越的导电率的金属。例如,导线300可以包括Cr、Ni、Cu、Al、Ag和Mo,及其合金。详细而言,导线300可以包括通过印刷过程形成导线300的各种金属膏。
然而,此实施例不限于上文所述,导线300可以包括铟锡氧化物、铟锌氧化物、氧化铜、氧化锡、氧化锌或氧化钛等金属氧化物。此外,导线300可以包括纳米线、光敏纳米线薄膜、碳纳米管(CNT)、石墨烯或导电聚合物。
同时,导线300可以包括导电图案。即,导线300可以设置成网格图案。因此,导线300可以隐藏起来使得无源区UA可以是透明的。因此,触摸窗口可以适用于透明的触摸设备。
电极焊盘位于导线300的末端。电极焊盘可以连接到印刷电路板。具体而言,虽然图中没有显示,但是在印刷电路板的一个表面上可以有一个连接端子,电极焊盘可以与这个连接端子连接。电极焊盘可以具有对应于连接端子的大小。
各种类型的印刷电路板都是适用的。例如,柔性印刷电路板(FPCB)适于用作这种印刷电路板。
同时,参看图4和图5,在根据另一个实施例的触摸窗口中,第二电极部分220可以通过导线连接部分350与第二导线320连接。具体而言,中间层400可以包括孔洞400h,导线连接部分350可以通过孔洞400h与第二导线320连接。
在这种情况中,第二导线320可以与第一导线310以及第一电极部分210一起设置在衬底100的顶表面上。因此,第二导线320可以通过导线连接部分350与设置在不同平面上的第二电极部分220连接。
因此,触摸板的大小减小,并因此可以确保获得宽阔的有源区AA。
下文中,将参看图6和图7描述制造根据一个实施例的触摸窗口的方法。
首先,参看图6,可以在衬底100上形成电极材料210’。电极材料210’可以包括光敏纳米线薄膜。电极材料210’可以通过层压过程形成。此后,可以在电极材料210’上形成保护层500。
此后,参看图7,具有待形成图案的掩模600位于衬底100上。可以执行曝光过程,将紫外光辐射到掩模600上形成所述图案。
此后,去除保护层500并且使电极材料210’显影,由此形成具有所述图案的电极部分210。第二电极部分220可以通过相同的工艺来形成。
下文,参看图8到图10描述根据其他实施例的触摸窗口。
首先,参看图8,中间层400插设在第一和第二电极部分210和220之间,它可以设置在第一电极部分210的空间中。也就是说,中间层400和第一电极部分210之间没有空间形成。
此后,参看图9,第一电极部分210的电极212只设置在第一电极部分210的上部,第二电极部分220的电极222只设置在第二电极部分220的上部,而图8所示的中间层400则已省去。也就是说,电极212和222只分别设置在第一和第二电极部分210和220的上部,因此,电极212和222可以在无需额外的绝缘层的情况下彼此绝缘。因此,中间层400可以省去。
此后,参看图10,第一电极部分210的电极212设置在第一电极部分210的整个部分中,第二电极部分220的电极222设置在第二电极部分220的整个部分中。在这种情况中,中间层400可以设置在第一和第二电极部分210和220之间,使得第一和第二电极210和220彼此绝缘。
下文,参看图11到图17描述根据另一个实施例的触摸窗口。为便于清楚和简单地说明,与第一实施例的结构和部件相同或类似的将不再描述。
参看图11和图12,第一电极部分230包括第一基座231a、第二基座231b以及电极232。
第一基座231a设置在第一电极部分230的最下部。第一基座231a包括光敏材料。
第二基座231b设置在第一基座231a上。第二基座231b包括光敏材料。第二基座231b具有在一个方向上延伸的杆形图案。
电极232设置在第二基座231b上。电极232具有在一个方向上延伸的杆形图案。也就是说,第二基座231b以及电极232具有相同的图案。
电极232的可见度可以因为第一基座231a而得到提高。也就是说,电极232与没有形成电极232的区域之间的高度差可以因为第一基座231a而减小,使得电极232的可见度可以得到提高。此外,当将第一电极部分230结合到第二电极部分240上时,因阶梯差产生的气泡可以减少,因此触摸窗口的可靠性可以得到提高。
此外,当撤销了与第一电极部分230连接的导线时,因第一电极部分230的高度产生的阶梯差可以得到改进,由此防止导线发生短路或破裂。
类似地,第二电极部分240包括第三基座241a、第四基座241b以及电极242。
第三基座241a设置在第二电极部分240的最下部。第三基座241a包括光敏材料。
第四基座241b设置在第三基座241a上。第四基座241b包括光敏材料。第四基座241b具有在相反的方向上延伸的杆形图案。
电极242设置在第四基座241b上。电极242具有在相反的方向上延伸的杆形图案。也就是说,第四基座241b以及电极242具有相同的图案。
下文中,将参看图13到图17描述制造根据另一个实施例的触摸窗口的方法。
首先,参看图13,电极材料230’以及保护层500形成在衬底100上。
此后,参看图14,具有待形成图案的掩模600可以位于衬底100上。图案可以通过第一曝光过程将紫外光辐射到掩模600上来形成。因为第一曝光过程是在设置了保护层500的状态下执行的,所以电极材料230’是与氧阻隔开的。因此,电极材料230’硬化。在这种情况中,在第一曝光过程中发生的曝光量的范围可以是10mJ到50mJ。
此后,参看图15,可以去除保护层500。
参看图16,可以执行第二曝光过程,将紫外光辐射到没有保护层500的电极材料230’上。在第二曝光过程中执行整片曝光过程。由于第二曝光过程是在电极材料230’上没有保护层500的情况下执行的,因此电极材料230’与氧发生反应。因此,电极材料230’没有硬化,使得电极材料230’的显影区域可能减小。也就是说,经过第二曝光过程,设置在电极部分230上部的电极232与没有形成电极232的顶表面之间的阶梯差可能减小。在这种情况中,在第二曝光过程中发生的曝光量的范围可以是50mJ到500mJ。第二曝光过程中的曝光能量大于第一曝光过程中的曝光能量。
参看图17,电极材料230’可以进行显影,由此形成具有所述图案的电极部分230。第二电极部分240可以通过上述工艺来形成。
下文中,参看图18到图24描述根据另一个实施例的触摸窗口。
首先,参看图8,中间层400插设在第一电极部分230与第二电极部分240之间,它可以设置在第一电极部分230的空间中。也就是说,中间层400和第一电极部分230之间没有空间形成。
此后,参看图19,第一电极部分230的电极232只设置在第一电极部分230的上部,第二电极部分240的电极242只设置在第二电极部分240的上部,而图18所示的中间层400则已省去。也就是说,电极232和242只分别设置在第一和第二电极部分230和240的上部,因此,电极232和242可以在无需中间层的情况下彼此绝缘。因此,中间层400可以省去。
因此,触摸窗口的厚度可以减小。如图20所示,用于连接第二电极部分240的第二导线320可以形成为不具有阶梯差。
此后,如图21所示,第一电极部分230可以是圆角形状。也就是说,第一电极部分230可以具有圆角结构。
此后,第一和第二电极部分230和240可以分别设置在衬底100的两个侧面上。也就是说,第一和第二电极部分230和240可以设置在彼此不同的平面上。
接着,如图23所示,第一和第二电极部分230和240分别设置在彼此不同的衬底100和120上,可以进一步设置结合层700,用于将衬底100和120彼此结合。也就是说,第一和第二电极部分230和240可以设置在彼此不同的平面上。
此后,如图24所示,触摸窗口可以包括可弯折的区域。第一和第二电极部分230和240分别包括电极232和242,并且电极232和242包括纳米线。纳米线具有可以让衬底弯曲或弯折的柔性。因此,可弯折的触摸窗口可以因电极232和242而实现。
接着,如图25所示,可以将触摸窗口结合到驱动部分20以及光源部分30以构成触摸设备。特定而言,触摸窗口具有如图25所示的可弯折的结构,因此包括这种触摸窗口的触摸设备可以包括柔性触摸设备。
特定而言,驱动部分20可以包括显示面板。驱动部分20可以按照根据此实施例的触摸设备的不同类型而包括各种驱动部分。也就是说,根据此实施例的触摸设备可以包括液晶显示器(LCD)、场发射显示器、等离子体显示面板(PDP)、有机发光显示器(OLED),以及电泳显示器(EPD)。因此,显示面板20可以包括不同类型的显示面板。
此外,触摸窗口不仅适用于移动终端,而且适用于车辆,因此触摸窗口适用于车辆导航系统的个人导航显示器(PND)。此外,触摸窗口适用于仪表板,因此可以实现中央信息显示器(CID),但此实施例不限于此。触摸设备可以用于各种电子产品上。
同时,参看图26,第一和第二电极部分210和220可以包括彼此不同的材料。第一电极部分210包括第一材料,第二电极部分220可以包括不同于第一材料的第二材料。第一和第二电极部分210和220可以通过彼此不同的方案进行图案化。也就是说,图案化第一电极部分210的方案可以不同于图案化第二电极部分220的方案。因此,在选择性的图案化中,每一项图案化过程可以不会对另一项图案化过程造成影响。因此,图案化过程可以更加精确,并且可以确保获得具有各种结构的触摸窗口。
第一电极部分210可以具有在一个方向上延伸的杆形图案。
第一电极部分210可以包括让电流流过而不会中断光的传输的透明导电材料。第一电极部分210可以包括第一材料。所述第一材料可以包括铟锡氧化物、铟锌氧化物、氧化铜、氧化锡、氧化锌以及氧化钛等金属氧化物。此外,第一电极部分210可以包括不同于第一材料的第二材料。所述第二材料可以包括纳米线、光敏纳米线薄膜、碳纳米管(CNT)、石墨烯以及导电聚合物等各种材料。例如,第一电极部分210可以包括Cr、Ni、Cu、Al、Ag、Mo等金属,以及其合金。这些材料具有可以让衬底弯曲或弯折的柔性。当第一电极部分210可以包括金属材料时,第一电极部分210设置成网格形状。这些材料可以通过旋涂法、喷涂法以及浸涂法涂布到衬底100上,但此实施例不限于此。也就是说,第一和第二材料可以包括通过不同的图案化方案得以图案化的材料。
随后,第二电极部分220可以具有在相反的方向上延伸的杆形图案。
第二电极部分220包括基座221以及设置在基座221上的电极222。电极222可以设置在基座221的上部。电极222实质上在基座221的上部执行电功能。
基座221以及电极222可以具有相同的图案。也就是说,当第二电极部分220具有在一个相反的方向上延伸的杆形图案时,基座221以及电极222便具有在这个相反的方向上延伸的杆形图案。
基座221包括光敏材料。基座221包括光敏材料,因此,第二电极部分220可以通过曝光和显影工艺来形成,这将稍后描述。
电极222可以包括互连结构。互连结构可以具有直径范围是10nm到200nm的精密结构。例如,电极222可以包括金属纳米线。
互连结构设置在第二电极部分220的上部。互连结构可以存在于区域D中,区域D的深度是从第二电极部分220的上部算起的1μm。优选地,互连结构可以存在于区域D中,区域D的深度是从第二电极部分220的上部算起的100nm。
此外,电极222的密度朝向设置在衬底100的上部的覆盖窗口增加。也就是说,互连结构的密度可以朝向基座212的表面增加。在这种情况下,互连结构的密度可以代表相同的容积内互连结构的数量。另外,互连结构的密度可以随着互连结构逐渐远离衬底100而逐渐增加。
第二电极部分220可以包括光敏纳米线薄膜。第二电极部分220包括光敏纳米线薄膜,因此第二电极部分220的厚度可以减小。根据相关技术,当电极部分220包括纳米线时,额外形成外敷层来防止纳米线氧化。因此,制造过程变复杂同时触摸窗口的厚度增加。然而,根据本实施例,包括纳米线的互连结构被包含在光敏材料中,因此,在没有外敷层的情况下纳米线可以受到保护而不被氧化。
第二电极部分220的厚度范围可以是1μm到6μm。更具体而言,第二电极部分220的厚度范围可以是2μm到5μm。
可以在第一和第二电极部分210和220之间额外插入一个中间层400。中间层400可以将第一电极部分210与第二电极部分220绝缘。中间层400可以将第一电极部分210结合到第二电极部分220上。此外,中间层400可以被平坦化,使得第二电极部分220可以稳定地形成在第一电极部分210上。
中间层400可以包括光学透明粘胶(OCA)。此外,中间层400可以包括光敏薄膜。
此外,中间层400可以包括介电质材料。在这种情况中,中间层400的厚度可以比衬底100的厚度薄。具体而言,中间层400的厚度可以是衬底100的厚度的0.05到0.5倍。例如,衬底100的厚度是0.05mm,中间层400的厚度可以是0.005mm。
触摸窗口的厚度可以因为中间层400的存在而减小,因此,触摸窗口的透射率可以提高,第一和第二电极部分210和220可以受保护而不发生破裂。因此,触摸窗口的弯折性能和可靠性可以提高。
根据此实施例,第二电极部分220可以通过曝光和显影过程进行图案化,第一电极部分210可以通过不同于所述曝光和显影过程的方案进行图案化,因此可以独立地执行各个图案化过程。也就是说,用于第一电极部分210的图案化过程不会对用于第二电极部分220的图案化过程产生影响,因此可以进行选择性的图案化过程。
此外,第二电极部分220形成为薄厚度,使得触摸窗口的完整厚度可以减小。此外,第二电极部分220的基座221可以防止纳米线氧化因此可以保护纳米线。因此,可以省去用于保护纳米线的附加层。
同时,导线300可以形成在无源区UA中以用于电极部分200的电连接。导线300包括用于连接第一电极部分210的第一导线310,以及用于连接第二电极部分220的第二导线320。
导线300可以包括表现出优越的导电率的金属。例如,导线300可以包括Cr、Ni、Cu、Al、Ag和Mo,以及其合金。详细而言,导线300可以包括通过印刷过程形成导线300的各种金属膏。
电极焊盘位于导线300的末端。电极焊盘可以连接到印刷电路板。具体而言,虽然图中没有显示,但是在印刷电路板的一个表面上可以有一个连接端子,电极焊盘可以与这个连接端子连接。电极焊盘可以具有对应于连接端子的大小。
各种类型的印刷电路板都是适用的。例如,柔性印刷电路板(FPCB)适于用作这种印刷电路板。
下文中,参看图27到图39描述根据另一个实施例的触摸窗口。为便于清楚和简单地说明,与第一实施例的结构和部件相同或类似的将不再描述。
首先,参看图27,第二电极部分220包括基座221以及电极222。电极222可以设置在基座221的下部。电极222实质上在基座221的下部执行电功能。
电极222可以包括互连结构。互连结构可以具有直径范围是10nm到200nm的精密结构。优选地,互连结构可以是直径范围是20nm到100nm的精密结构。在这种情况中,电极222可以包括纳米线。例如,电极222可以包括金属纳米线。第二电极部分220可以包括光敏纳米线薄膜。
互连结构设置在第二电极部分220的下部。互连结构可以存在于区域D中,区域D的深度是从第二电极部分220的下部算起的1μm。优选地,互连结构可以存在于区域D中,区域D的深度是从第二电极部分220的下部算起的100nm。
此外,互连结构的密度可以朝向基座212的底表面增加。在这种情况下,互连结构的密度可以代表相同的容积内互连结构的数量。
同时,参看图28,第一电极部分210包括基座211以及设置在基座211上的电极212。电极212可以设置在基座211的上部。
电极212可以包括互连结构。互连结构可以具有直径范围是10nm到200nm的精密结构。优选地,互连结构可以是直径范围是20nm到100nm的精密结构。在这种情况中,电极212可以包括纳米线。例如,电极212可以包括金属纳米线。第一电极部分210可以包括光敏纳米线薄膜。
在这种情况中,第二电极部分220包括不同于构成第一电极部分210的材料的材料。也就是说,第二电极部分220可以包括:可以让第二电极部分220通过不同于用于第一电极部分210的图案化方案的方案进行图案化的材料。
第二电极部分220可以包括让电流流过而不会中断光的传输的透明导电材料。第二电极部分220可以包括第一材料。所述第一材料可以包括铟锡氧化物、铟锌氧化物、氧化铜、氧化锡、氧化锌以及氧化钛等金属氧化物。此外,第二电极部分220可以包括不同于第一材料的第二材料。所述第二材料可以包括纳米线、光敏纳米线薄膜、碳纳米管(CNT)、石墨烯以及导电聚合物等各种材料。例如,第一电极部分210可以包括Cr、Ni、Cu、Al、Ag、Mo等金属,以及其合金。这些材料具有可以让衬底弯曲或弯折的柔性。当第一电极部分210可以包括金属材料时,第一电极部分210设置成网格形状。然而,此实施例不限于此,这些材料可以通过不同于用于第一和第二材料的图案化方案的方案来图案化。
此后,参看图29,第一电极部分210包括基座211以及设置在基座211上的电极212。电极212可以设置在基座211的下部。
首先,参看图30,中间层400插设在第一和第二电极部分210和220之间,它可以设置在第一电极部分210的空间中。也就是说,中间层400和第一电极部分210之间没有空间形成。
此后,参看图31,第二电极部分220的电极222只设置在第二电极部分220的上部,图30所示的中间层400已经省去。也就是说,电极222只设置在第二电极部分220的上部,因此可以在无需额外的中间层的情况下实现绝缘性能。因此,中间层400可以省去。
此后,参看图32,第二电极部分220的电极222设置在第二电极部分220的整个部分中。在这种情况中,中间层400可以设置在第一和第二电极部分210和220之间,使得第一和第二电极210和220可以彼此绝缘。
参看图33,第一电极部分210的电极212设置在第一电极部分210的整个部分中。在这种情况中,中间层400可以设置在第一和第二电极部分210和220之间,使得第一和第二电极210和220可以彼此绝缘。
下文中,参看图34和图35描述根据另一个实施例的触摸窗口。
第一电极部分210包括第一传感器部分230以及用于连接第一传感器部分230的第一传感器连接部分250。第二电极部分220包括第二传感器部分240。
第一传感器部分230和第二传感器部分240设置在衬底100上。第一和第二传感器部分230和240可以直接与衬底100接触。第一和第二传感器部分230和240可以设置在同一个平面上。
第一传感器连接部分250与第一传感器部分230电连接。在这种情况中,在第一传感器连接部分250与第二传感器部分240之间设置一个绝缘部分420。绝缘部分420可以防止第一连接部分250与第二传感器部分240之间发生电短路。绝缘部分420可以包括透明绝缘材料以将第一传感器连接部分250与第二传感器部分240绝缘。例如,绝缘部分420可以包括氧化硅等金属氧化物或丙烯酸树脂。
在这种情况中,第一传感器部分230、第一传感器连接部分250以及第二传感器部分240中至少一者可以包括不同于构成其他者的材料的材料。例如,构成传感器连接部分250的材料不同于构成第一和第二传感器部分230和240的材料。因此,当第一和第二传感器部分230和240包括第一材料时,第一传感器连接部分250可以包括不同于所述第一材料的第二材料。
具体而言,参看图35,第一传感器连接部分250可以包括基座251以及设置在基座251中的电极252,电极252可以设置在基座251的下部。电极252可以包括纳米线。在这种情况中,第二材料可以包括光敏纳米线薄膜。所述第二材料可以通过曝光和显影过程来图案化。
第一和第二传感器部分230和240可以包括第一材料。也就是说,第一和第二传感器部分230和240可以包括:可以通过不同于用于第一传感器连接部分250的图案化方案的方案进行图案化的材料。
因此,在涂覆第一材料后,第一和第二传感器部分230和240可以通过第一图案化过程形成,绝缘部分420可以形成在第一和第二传感器部分230和240上。然后,在所得物上涂覆第二材料后,可以通过第二图案化过程形成第一传感器连接部分250。
同时,参看图36,第一传感器连接部分250的电极252可以设置在第一传感器连接部分250的整个部分上。
参看图37和图38,根据另一个实施例的触摸窗口可以包括第一传感器部分230、第一传感器连接部分250以及第二传感器部分240。
第一传感器连接部分250设置在衬底100上。第一传感器连接部分250可以直接与衬底100接触。
构成第一传感器连接部分250的材料不同于构成第一传感器部分230和第二传感器部分240的材料。因此,当第一传感器连接部分250包括第一材料时,第一传感器部分230和第二传感器部分240可以包括不同于所述第一材料的第二材料。
第一和第二传感器部分230和240可以包括基座231和241,以及设置在基座231和241中的电极232和242,电极232和242可以设置在基座231和241的下部。电极232和242可以包括纳米线。在这种情况中,第二材料可以包括光敏纳米线薄膜。所述第一材料可以通过曝光和显影过程来图案化。
第一传感器连接部分250可以包括第一材料。也就是说,第一传感器连接部分250可以包括:可以通过不同于用于第一和第二传感器部分230和240的图案化方案的方案进行图案化的材料。
因此,在涂覆第一材料后,第一传感器连接部分250可以通过第一图案化过程形成,绝缘部分420可以形成在第一传感器连接部分250上。然后,在所得物上涂覆第二材料后,可以通过第二图案化过程形成第一和第二传感器部分230和240。
同时,参看图36,第一和第二传感器部分230和240的电极232和242可以设置在第一和第二传感器部分230和240的整个部分上。
下文中,将参看图40到图42描述制造根据一个实施例的触摸窗口的方法。特定而言,将参看图40到图42描述第二图案化过程。
首先,参看图40,可以在衬底100上形成电极材料210’。电极材料210’可以包括光敏纳米线薄膜。电极材料210’可以通过层压过程形成。此后,可以在电极材料210’上形成保护层500。
此后,参看图41,具有待形成图案的掩模600位于衬底100上。可以执行曝光过程,将紫外光辐射到掩模600上形成所述图案。
此后,参看图42,去除保护层500并且使电极材料210’显影,由此形成具有所述图案的电极部分210。
此后,如图43中所示,可以将触摸窗口10设置在显示面板20上充当驱动部分。将触摸窗口10和显示面板20彼此组合,使得彼此组合的触摸窗口10和显示面板20构成一个显示器。
显示面板20具有用于输出图像的显示区。适用于显示设备的显示面板一般可以包括上衬底21和下衬底22。下衬底22可以设置有数据线、栅极线以及薄膜晶体管(TFT)。上衬底21可以结合到下衬底22上以保护设置在下衬底22上的组件。
显示面板20可以按照根据此实施例的显示器的类型不同而包括各种显示面板。也就是说,根据此实施例的显示器可以包括液晶显示器(LCD)、场发射显示器、等离子体显示面板(PDP)、有机发光显示器(OLED),以及电泳显示器(EPD)。因此,显示面板20可以包括不同类型的显示面板。
本说明书中提到的所有“一个实施例”、“一实施例”、“实例实施例”等只表示结合此实施例描述的特定的特征、结构或特点包括在本发明的至少一个实施例中。这种短语出现在本说明书中的各个位置,但未必就都是指同一个实施例。另外,当结合任何实施例描述特定的特征、结构或特点时,认为,结合各实施例的其他这些特征、结构或特点来实现它们是在本领域技术人员的范围内的。
尽管参看诸多示例性实施例描述了各种实施例,但是应了解,本领域的技术人员可以设计许多其他落在本公开各原则的精神和范围内的修改和实施例。具体而言,在本公开、附图和所附权利要求范围内的主题组合配置的各组成部分和/或各配置是可以进行各种变更和修改的。除了各组成部分和/或各配置的变更和修改外,替代使用也是本领域的技术人员所熟知的。
Claims (10)
1.一种触摸窗口,包括:
衬底;以及
设置在所述衬底上用于检测位置的电极部分,
其中所述电极部分包括基座,所述基座包括电极。
2.根据权利要求1所述的触摸窗口,进一步包括在所述衬底上的覆盖窗口。
3.根据权利要求1所述的触摸窗口,其中所述电极部分的厚度范围是1μm到6μm。
4.根据权利要求1所述的触摸窗口,其中所述电极部分的厚度范围是2μm到5μm。
5.根据权利要求1所述的触摸窗口,其中所述基座包括第一基座以及在所述第一基座上的第二基座。
6.根据权利要求5所述的触摸窗口,其中所述电极设置在所述第二基座上,所述电极和所述第二基座具有相同的图案。
7.根据权利要求1所述的触摸窗口,其中所述基座包括光敏材料。
8.根据权利要求1所述的触摸窗口,其中所述电极具有互连结构。
9.根据权利要求1所述的触摸窗口,其中所述电极部分包括光敏纳米线薄膜。
10.根据权利要求1所述的触摸窗口,其中所述电极具有朝向所述基座的表面增加的密度。
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