CN104280363A - 基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器 - Google Patents
基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104280363A CN104280363A CN201410558015.XA CN201410558015A CN104280363A CN 104280363 A CN104280363 A CN 104280363A CN 201410558015 A CN201410558015 A CN 201410558015A CN 104280363 A CN104280363 A CN 104280363A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- microchannel
- spr
- side polishing
- chip
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器，特征包括：激光光源，光隔离器，偏振控制器，微流通道，侧边抛磨单模光纤，载玻片上镀有金膜的芯片，光谱仪，微流泵；所述SPR传感区由载玻片上镀有金膜的芯片、微流通道和侧边抛磨单模光纤组成；微流通道是利用光刻蚀技术在侧边抛磨单模光纤的残余包层形成；载玻片上镀有金膜的芯片是利用离子溅射技术在硅基表面溅射金膜；由于微流通道中强的倏逝场和SPR效应，当微流通道折射率微小变化时，SPR谐振波长产生大的漂移；载玻片上镀有金膜的芯片和微流通道界面具有大的有效折射率差，提高测量范围。本发明提出一种实用、低成本的基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器。
Description
技术领域
本发明属于光纤传感技术领域，特别涉及基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器。
背景技术
表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance，简称SPR)是指当光源发出的P型偏振复色光经过薄膜金属与介质的交界面时，若满足入射角大于全反射临界角，在表面上形成了电子浓度的梯度分布，形成等离子体振荡，形成表面等离子体波，由于表面倏逝波场与金属复折射率的存在，使满足谐振波长的光部分被吸收，其余波长的光被反射的现象。1968年，德国物理学家Otto和Kretschmann各自采用(Attenuated Total Reflection，简称ATR)的方法在实验中实现了光频波段的表面等离子体的激发。
在过去的二十多年中，由于基于Kretschmann结构的表面等离子体共振(SPR)传感器高灵敏度和高分辨率特性，基于表面等离子体(SPR)的研究及其应用得到了越来越多人的关注，其主要应用于生物和化学传感领域，目前基于Kretschmann结构的SPR分析仪已经商业化。基于Kretschmann结构的SPR传感器的体积比较大，不利于SPR分析仪的集成，同时，基于该结构的SPR传感器具有的测量范围比较窄。2012年，香港城市大学的Siu Pang Ng等人发表于Optics Express期刊的论文，结合基于Kretschmann结构的SPR传感器、共光路干涉技术和载波解调技术测量NaCl溶液浓度的变化，对应折射率的变化范围为1.3333～1.3648，实现了3×10-2RIU的测量。但是该文中光路结构复杂，光路中使用双折射晶体，增加成本。2013年，A.Giorgini等人在Optics Letters发表基于光学谐振腔提高传感灵敏度的方法，折射率测量范围为1.320～1.332，1.2×10-2RIU的变化。1993年，Jorgenson等人在实验上实现了基于SPR的光纤化工传感器，相比于棱镜SPR传感器，它具有体积小、响应快、成本低、可以实现在线实时监测等优势，有着更大的研究前景和经济价值。近些年，如何提高基于光纤表面等离子体共振(SPR)传感器的灵敏度和测量范围成为目前研究的热点。在结构方面，构造等离子腔体结构是基于光纤表面等离子体共振(SPR)的提高测量灵敏度的一种方式。2005年，美国亚利桑那州立大学的Soame Banerji等人发表Optics Letters的文章指出，利用基于光纤的SPR双传感通道的传感器可实现2×10-4RIU分辨率的测量，折射率的测量范围1.328～1.346，1.8×10-2RIU折射率的测量范围。该文中，在实验前需要在一个镀金膜的传感区镀聚合物，而且厚度100nm需要严格控制，加工工艺和传感结构很复杂。综上所述，基于棱镜结构的表面等离子体共振(SPR)传感器具有高的测量灵敏度，但测量范围很窄，体积大；基于光纤结构的SPR传感器，为了提高测量灵敏度，需要构造新的结构，测量范围也比较窄，而且，不论是基于棱镜结构还是光纤结构的SPR传感系统的折射率测量范围都是在10-2RIU一下，这些缺点严重阻碍基于光纤结构的表面等离子体共振传感器的发展和应用。
针对上述基于光纤结构的表面等离子体共振(SPR)传感器感头结构复杂、测量范围窄、灵敏度低等问题，本发明提出一种基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器，结构简单，成本低，具有很强的实用价值。
发明内容
为了克服基于光纤结构的表面等离子体共振(SPR)传感器感头结构复杂、测量范围窄、灵敏度低等问题，本发明提出一种结构简单，成本低，具有很强的实用价值的基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器，
本发明为解决技术问题所采取的技术方案：
基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器，包括：宽带光源、光隔离器、偏振控制器、微流通道、侧边抛磨单模光纤、载玻片上镀有金膜的芯片、光谱仪、微流泵。
宽带光源的输出端与光隔离器输入端相连，光隔离器的输出端与偏振控制器相连，侧边抛磨单模光纤的一端与偏振控制器的输出端相连，侧边抛磨单模光纤的另一端与光谱仪相连，微流泵的输出端与微流通道的输入端相连，载玻片上镀有金膜的芯片覆盖到微流通道上。利用光刻蚀技术在侧边抛磨单模光纤的残余包层形成微流通道，微流通道与光的传输方向垂直，微流通道槽的深度在1nm到15nm之间，微流通道的宽度小于等于1μm，微流通道的最大进样体积为10μL；载玻片上镀有金膜的芯片是利用离子溅射技术在载玻片表面溅射金膜，金膜的厚度在30nm到50nm之间，表面粗糙度的均方根小于等于3nm；侧边抛磨单模光纤剩余包层的厚度在100nm到200nm之间，保证基模耦合到SPR传感区；SPR传感区由载玻片上镀有金膜的芯片、微流通道和侧边抛磨单模光纤组成，微流通道中折射率的变化，引起SPR谐振波长的漂移，载玻片上镀有金膜的芯片和微流通道的界面处具有比较大的有效折射率差提高测量范围；光谱仪作为信号测试系统。
本发明的有益效果为：
本发明利用载玻片上镀有金膜的芯片、微流通道和侧边抛磨单模光纤构成SPR传感头，当微流通道中被测物理量的折射率发生变化时，SPR谐振波长的产生漂移，通过检测波长的漂移量，结合SPR传感器的特性，实现折射率的高灵敏度测量；
本发明利用微流通道形成的空气间隙，增大载玻片上镀有金膜的芯片和微流通道的界面处有效折射率差，实现折射率的宽范围检测；
本发明利用光谱仪作为信号解调系统，可实现折射率实时的在线检测。
附图说明
图1为基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器结构示意图。
图2为一个具体实例实验图。
具体实施方式
下面结合附图对发明进一步描述。
如图1所示，基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器，包括：宽带光源1、光隔离器2、偏振控制器3、微流通道5、侧边抛磨单模光纤4、载玻片上镀有金膜的芯片6、光谱仪7、微流泵8；
本发明的工作方式为：宽带光源1产生信号光，由单模传输光纤输入到光隔离器2，光隔离器2输出的光信号通过偏振控制器3控制输出变成P偏振光，P偏振光耦合到侧边抛磨单模光纤4，由于侧边抛磨单模光纤包层的厚度减少，纤芯和包层的一些模式以倏逝波的形式耦合到微流通道5中传输，在微流通道5处形成强的倏逝场，当满足模式匹配条件时，在微流通道5和载玻片上镀有金膜的芯片6的表面产生表面等离子体共振效应，产生表面等离子体共振效应的光波以表面等离子波的形式存在，剩余的光波继续传播，透射谱被光谱仪7接收，折射率液体通过微流泵8激励到微流通道5。载玻片上镀有金膜的芯片6、微流通道5和侧边抛磨单模光纤4组成SPR传感区，当微流通道5中被测物理量的折射率发生变化时，SPR谐振波长的产生漂移，通过检测波长的漂移量，结合SPR传感器的特性，实现折射率的高灵敏度测量；在未有折射液流过微流通道5时，微流通道5的介质为空气，这使得载玻片上镀有金膜的芯片6和微流通道5的界面处具有比较大的有效折射率差，这将确保该传感器的测量范围。
该装置能够实现基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器测量的关键技术有：
1、光纤折射率传感区的结构。由载玻片上镀有金膜的芯片、微流通道和侧边抛磨单模光纤构成的光纤折射率传感头结构是实现高灵敏度宽测量范围传感的基础。
2、微流通道槽的深度和宽度。微流通道槽的深度影响SPR的谐振波长的位置，微流通道槽的宽度影响倏逝波在微流通道槽中倏逝场的强度，这将影响折射率灵敏度的测量，因此，微流通道槽的深度应严格控制在1nm～15nm之间，宽度控制在1μm以下，最大进样体积控制在10μL以下。
3、侧边抛磨单模光纤剩余包层的厚度。随着包层厚度的减小，会使得越来越多的纤芯模耦合到空气间隙，但要是包层太薄，会导致出现模式不匹配，使得纤芯模完全泄露，损耗太大；太厚导致耦合到空气间隙的模式太少，SPR耦合效率降低，因此剩余包层的厚度应控制在100nm～200nm之间。
4、载玻片上镀有金膜的芯片金膜的厚度和粗糙度。金膜厚度会影响SPR的谐振波长谐振峰的尖锐程度和消光比，金膜表面的粗糙程度会影响表面等离子体的损失，进而影响SPR的性能，因此，金膜的厚度应严格控制30nm～50nm之间，金膜表面的粗糙度的均方根应小于等于3nm。
5、根据表面等离子体共振理论可知，只有P偏振光才能激发表面等离子体波(SPW)，因此利用偏振控制器保证输入的侧边抛磨单模光纤的信号光为完全P偏振光；光源的稳定性也是SPR传感器误差的重要来源，应保证光源工作的稳定性。
本发明的一个具体实施例中，Thorlabs的稳定卤钨灯，型号SLS201(/M)输出波长300到2600nm之间；光隔离器型号为IO-2D-633-VLPa，工作波长为560-663nm，隔离度在35-40dB之间，；偏振控制器型号为PLC-900；侧边抛磨单模光纤纤芯直径为9μm，剩余包层的厚度为100nm，轴向长度为10μm；金膜厚度为45nm，表面粗糙度均方根为2.3nm；微流通道槽的深度为5nm，宽度为500nm；折射率测量范围为1.3～1.4；实验结果图如图2所示，实验数据如表1所示：
表1不同折射率对应的SPR谐振波长
| 折射率 | 1.3 | 1.35 | 1.37 | 1.39 | 1.4 |
| SPR谐振波长(nm) | 880.2 | 1009.86 | 1076.03 | 1174.52 | 1247.3 |
以上所述及图中所示的仅是本发明的优选实施方式。本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本发明的保护范围。
Claims (1)
1.基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器，包括：激光光源、光隔离器、偏振控制器、微流通道、侧边抛磨单模光纤、载玻片上镀有金膜的芯片、光谱仪、微流泵，其特征在于：
激光光源的输出端与光隔离器输入端相连，光隔离器的输出端与偏振控制器相连，侧边抛磨单模光纤的一端与偏振控制器的输出端相连，侧边抛磨单模光纤的另一端与光谱仪相连，微流泵的输出端与微流通道的输入端相连，载玻片上镀有金膜的芯片覆盖到微流通道上；
利用光刻蚀技术在侧边抛磨单模光纤的残余包层形成微流通道，微流通道与光的传输方向垂直，微流通道槽的深度在1nm到15nm之间，微流通道的宽度小于等于1μm，微流通道的最大进样体积为10μL；载玻片上镀有金膜的芯片是利用离子溅射技术在载玻片表面溅射金膜，金膜的厚度在30nm到50nm之间，表面粗糙度的均方根小于等于3nm；侧边抛磨单模光纤剩余包层的厚度在100nmm到200nm之间，保证基模耦合到SPR传感区；SPR传感区由载玻片上镀有金膜的芯片、微流通道和侧边抛磨单模光纤组成，微流通道中折射率的变化，引起SPR谐振波长的漂移，载玻片上镀有金膜的芯片和微流通道的界面处具有比较大的有效折射率差提高测量范围；光谱仪作为信号测试系统。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410558015.XA CN104280363B (zh) | 2014-10-20 | 基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410558015.XA CN104280363B (zh) | 2014-10-20 | 基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104280363A true CN104280363A (zh) | 2015-01-14 |
| CN104280363B CN104280363B (zh) | 2017-01-04 |
Family
ID=
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105738325A (zh) * | 2016-02-29 | 2016-07-06 | 北京交通大学 | 一种多包层光纤双边研磨型spr双参量传感器 |
| CN105954236A (zh) * | 2016-03-10 | 2016-09-21 | 哈尔滨工程大学 | 一种纤维集成多螺旋芯光纤spr传感阵列芯片 |
| CN107064063A (zh) * | 2016-06-28 | 2017-08-18 | 暨南大学 | 一种基于去芯侧边抛磨光纤的折射率监测装置及方法 |
| CN107525605A (zh) * | 2017-10-26 | 2017-12-29 | 深圳大学 | 一种基于表面等离子体共振的温度传感器及其制备方法 |
| CN108458994A (zh) * | 2018-03-27 | 2018-08-28 | 南京信息工程大学 | 基于石墨烯复合膜的双d型光纤传感器及其制作方法 |
| CN109164068A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-08 | 东北大学 | 一种对称式长程表面等离激元共振传感器 |
| WO2019080049A1 (zh) * | 2017-10-26 | 2019-05-02 | 深圳大学 | 一种基于表面等离子体共振的温度传感器及其制备方法 |
| CN110057781A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-07-26 | 惠州学院 | 一种大测量范围的spr折射率传感装置及测量方法 |
| CN110501307A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-11-26 | 中国计量大学 | 基于量子增强的光纤表面等离子体共振折射率传感器 |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006112808A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Fujikura Ltd | 表面プラズモンセンサー |
| JP2006112807A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Fujikura Ltd | 表面プラズモンセンサー |
| CN201302545Y (zh) * | 2008-09-28 | 2009-09-02 | 邢凤飞 | 一种光纤表面等离子体共振传感检测装置 |
| CN202024962U (zh) * | 2011-01-21 | 2011-11-02 | 中国计量学院 | 一种基于偏振光检测的高灵敏光子晶体光纤折射率传感器 |
| CN102279169A (zh) * | 2011-07-01 | 2011-12-14 | 中国计量学院 | 基于光子晶体光纤的折射率传感器 |
| WO2012096427A1 (ko) * | 2011-01-14 | 2012-07-19 | 광주과학기술원 | 클래딩층 내 금속 나노 입자가 도핑된 광섬유, 코어리스 광섬유 및 이들의 제조 방법 |
| CN102721668A (zh) * | 2012-06-15 | 2012-10-10 | 天津大学 | 基于波长调制型spr技术折射率在线测定装置及测定方法 |
| CN103115895A (zh) * | 2013-01-21 | 2013-05-22 | 中国计量学院 | 基于光时域反射技术的拉锥传感光纤折射率多点检测方法及装置 |
| CN103196867A (zh) * | 2013-04-01 | 2013-07-10 | 中山大学 | 局域等离子体谐振折射率传感器及其制造方法 |
| CN103604777A (zh) * | 2013-12-02 | 2014-02-26 | 暨南大学 | 正交偏振光纤生物折射率传感器及其检测方法 |
| CN103868457A (zh) * | 2014-03-03 | 2014-06-18 | 中国计量学院 | 基于表面等离子共振的光纤多点微位移传感方法及装置 |
| CN204255857U (zh) * | 2014-10-20 | 2015-04-08 | 中国计量学院 | 基于spr的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器 |
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006112808A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Fujikura Ltd | 表面プラズモンセンサー |
| JP2006112807A (ja) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Fujikura Ltd | 表面プラズモンセンサー |
| CN201302545Y (zh) * | 2008-09-28 | 2009-09-02 | 邢凤飞 | 一种光纤表面等离子体共振传感检测装置 |
| WO2012096427A1 (ko) * | 2011-01-14 | 2012-07-19 | 광주과학기술원 | 클래딩층 내 금속 나노 입자가 도핑된 광섬유, 코어리스 광섬유 및 이들의 제조 방법 |
| CN202024962U (zh) * | 2011-01-21 | 2011-11-02 | 中国计量学院 | 一种基于偏振光检测的高灵敏光子晶体光纤折射率传感器 |
| CN102279169A (zh) * | 2011-07-01 | 2011-12-14 | 中国计量学院 | 基于光子晶体光纤的折射率传感器 |
| CN102721668A (zh) * | 2012-06-15 | 2012-10-10 | 天津大学 | 基于波长调制型spr技术折射率在线测定装置及测定方法 |
| CN103115895A (zh) * | 2013-01-21 | 2013-05-22 | 中国计量学院 | 基于光时域反射技术的拉锥传感光纤折射率多点检测方法及装置 |
| CN103196867A (zh) * | 2013-04-01 | 2013-07-10 | 中山大学 | 局域等离子体谐振折射率传感器及其制造方法 |
| CN103604777A (zh) * | 2013-12-02 | 2014-02-26 | 暨南大学 | 正交偏振光纤生物折射率传感器及其检测方法 |
| CN103868457A (zh) * | 2014-03-03 | 2014-06-18 | 中国计量学院 | 基于表面等离子共振的光纤多点微位移传感方法及装置 |
| CN204255857U (zh) * | 2014-10-20 | 2015-04-08 | 中国计量学院 | 基于spr的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| A.HASSANI ET AL.: "Design of the microstructured optical fiber-based surface plasma resonance sensors with enhanced microfluidics", 《OPTICS EXPRESS》 * |
| 罗云瀚 等: "侧边抛磨光纤的光谱调制型表面等离子体共振传感研究", 《光谱学与光谱分析》 * |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105738325A (zh) * | 2016-02-29 | 2016-07-06 | 北京交通大学 | 一种多包层光纤双边研磨型spr双参量传感器 |
| CN105738325B (zh) * | 2016-02-29 | 2019-03-29 | 北京交通大学 | 一种多包层光纤双边研磨型spr双参量传感器 |
| CN105954236A (zh) * | 2016-03-10 | 2016-09-21 | 哈尔滨工程大学 | 一种纤维集成多螺旋芯光纤spr传感阵列芯片 |
| CN105954236B (zh) * | 2016-03-10 | 2018-08-31 | 哈尔滨工程大学 | 一种纤维集成多螺旋芯光纤spr传感阵列芯片 |
| CN107064063A (zh) * | 2016-06-28 | 2017-08-18 | 暨南大学 | 一种基于去芯侧边抛磨光纤的折射率监测装置及方法 |
| CN107525605A (zh) * | 2017-10-26 | 2017-12-29 | 深圳大学 | 一种基于表面等离子体共振的温度传感器及其制备方法 |
| WO2019080049A1 (zh) * | 2017-10-26 | 2019-05-02 | 深圳大学 | 一种基于表面等离子体共振的温度传感器及其制备方法 |
| CN108458994A (zh) * | 2018-03-27 | 2018-08-28 | 南京信息工程大学 | 基于石墨烯复合膜的双d型光纤传感器及其制作方法 |
| CN109164068A (zh) * | 2018-09-13 | 2019-01-08 | 东北大学 | 一种对称式长程表面等离激元共振传感器 |
| CN110057781A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-07-26 | 惠州学院 | 一种大测量范围的spr折射率传感装置及测量方法 |
| CN110501307A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-11-26 | 中国计量大学 | 基于量子增强的光纤表面等离子体共振折射率传感器 |
| CN110501307B (zh) * | 2019-07-23 | 2023-12-19 | 中国计量大学 | 一种基于量子增强的光纤表面等离子体共振折射率传感器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN204255857U (zh) | 基于spr的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器 | |
| Zhao et al. | Fiber optic SPR sensor for liquid concentration measurement | |
| CN104215610B (zh) | 基于等离子谐振腔的光纤表面等离子体传感器 | |
| CN103558206A (zh) | 等离激元增强拉曼光谱检测芯片及应用其的检测装置 | |
| CN103236643A (zh) | 一种宽带表面等离激元单向激发器 | |
| CN105277513B (zh) | 基于光纤微环的表面等离子体共振折射率传感器 | |
| CN109554666B (zh) | 一种锥形光纤sers探针的制备方法 | |
| Liu et al. | High-performance surface plasmon resonance refractometer based on a no-core fiber coated with a silver film | |
| Zhao et al. | Improvement of the sensitivity of the surface plasmon resonance sensors based on multi-layer modulation techniques | |
| CN110333568A (zh) | 一种开口型mim波导结构 | |
| CN102684043A (zh) | 一种基于pdms的多波段回音壁模式光纤激光器及其加工方法 | |
| CN110146468B (zh) | 一种圆形复合孔阵列结构表面等离子体光纤传感器 | |
| CN110261000A (zh) | 一种基于Fano共振的温度传感器 | |
| Liu et al. | A novel surface plasmon resonance sensor based on fiber butt-joint technology | |
| CN104991206B (zh) | 一种基于表面等离子体共振技术的磁场测量方法 | |
| Jiang et al. | Specific detection of mercury ions based on surface plasmon resonance sensor modified with 1, 6-hexanedithiol | |
| CN104280363A (zh) | 基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器 | |
| CN104964762A (zh) | 一种光栅结构的铌酸锂-金-铌酸锂表面等离子激元温度传感装置 | |
| CN112432924A (zh) | 基于spr的方孔光子晶体光纤折射率传感装置及方法 | |
| CN104280363B (zh) | 基于表面等离子体共振的高灵敏度宽测量范围的折射率传感器 | |
| Liu et al. | Two-dimensional transition metal dichalcogenides-based high sensitivity lossy mode refractive index sensor | |
| CN206594060U (zh) | 一种基于细芯光纤修饰cnt的迈克尔逊结构的折射率传感器 | |
| CN206696180U (zh) | 一种基于模式激发细芯光纤的高折射率传感器 | |
| NL2029744B1 (en) | Device and method for sensing refractive index of d-type photonic crystal fiber with triangular pores | |
| Li et al. | Fiber cladding SPR sensor based on V-groove structure |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 310018, No. 258, source street, Xiasha Higher Education Park, Hangzhou, Zhejiang Patentee after: China Jiliang University Address before: 310018 China Institute of Metrology, No. 258 Xueyuan Street, Xiasha Higher Education Park, Hangzhou City, Zhejiang Province Patentee before: China Jiliang University |
|
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20210318 Address after: 114001, No. 368, Qianshan Road, hi tech Zone, Liaoning, Anshan Patentee after: ANSHAN FENGLAN TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 310018, No. 258, source street, Xiasha Higher Education Park, Hangzhou, Zhejiang Patentee before: China Jiliang University |
|
| TR01 | Transfer of patent right |