CN104276378A - 输送机模块 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种输送机模块，其包括工作区模块、穿梭输送机模块及双轨输送机模块、控制部，工作区模块包括：一对前轨道，形成前工作区；一对后轨道，形成与所述前工作区平行的后工作区。穿梭输送机模块及双轨输送机模块选择性地结合于所述工作区模块的一侧或两侧。控制部控制所述工作区模块以及选择性地结合于所述工作区模块的所述穿梭输送机模块以及所述双轨输送机模块。

Description

输送机模块

技术领域

本发明涉及一种输送机模块，更详细而言，涉及一种在双通道工作区模块的两侧可选择性地结合穿梭输送机模块和双轨输送机模块的输送机模块。

背景技术

一般，零件安装装置是在印刷电路基板安装各种电子产品的装置，印刷电路基板通过输送装置传送到零件安装装置内的工作区，在工作区内，各种零件安装在传送而来的印刷电路基板的对应位置。

最近，为了提高生产性而使用使两个印刷电路基板同时进入工作区，并在进入的两个印刷电路基板上同时安装零件并进行排放的双通道方式。

但是，由于单通道方式和双通道方式的优缺点，至今还同时使用单通道方式的设备和双通道方式的设备。

因此，在顺序系统工艺中一起使用单通道方式的设备和双通道方式的设备时，发生双通道方式的设备只使用一个通道，而另一个通道成为无用之物的状况。

因此，为了都使用双通道，在单通道方式的设备和双通道方式的设备之间附加设置基板分配装置，将从单通道方式的设备排出的基板分配到双通道方式的设备的两个通道，或者在两个通道接收从双通道方式设备排出的基板而供应至单通道方式的设备。

【现有技术文献】

【专利文献】

韩国授权专利第10-1178416号(2012.8.24公开)

发明内容

本发明是为解决上述问题而提出的，其目的在于，提供一种根据接收基板的前处理设备或传送基板的后处理设备为单通道方式或双通道方式，在工作区的一侧或两侧选择性地结合模块化的穿梭输送机模块及双轨输送机模块，从而能通用的输送机模块。

本发明所要解决的课题并不局限于以上所述的课题，对于未提及的其他课题，本领域的技术人员可通过以下记载将会明确理解。

为达成所述课题，根据本发明的一实施例的输送机模块，包括：工作区模块，包括：一对前轨道，形成前工作区；一对后轨道，形成与所述前工作区平行的后工作区；以及穿梭输送机模块及双轨输送机模块，选择性地结合于所述工作区模块的一侧或两侧，所述穿梭输送机模块，包括：穿梭轨道导向部，从所述前工作区的侧部延长至所述后工作区的侧部；以及穿梭部，沿所述穿梭轨道导向部移动，所述双轨输送机模块，包括：延长轨道导向部，从所述前工作区的侧部延长至所述后工作区的侧部；以及延长轨道，结合于所述一对前轨道及所述一对后轨道中的至少一者的一侧或两侧，可移动地支撑于所述延长轨道导向部。

为达成所述课题，根据本发明的一实施例的输送机模块，包括：工作区模块，具备：一对前轨道，形成前工作区；一对后轨道，形成与所述前工作区平行的后工作区；穿梭输送机模块及双轨输送机模块，选择性地结合于所述工作区模块的一侧或两侧；以及控制部，控制所述工作区模块及选择性地结合于所述工作区模块的所述穿梭输送机模块以及所述双轨输送机模块。

本发明的其他具体事项包含于详细说明及附图中。

发明效果

根据本发明，将工作区模块化，并在工作区的两侧能够选择性地结合模块化的穿梭输送机和双轨输送机，从而提高输送机的利用性。

根据前处理设备及后处理设备为单通道方式或者双通道方式，可以解决替换设备繁杂的问题。

在双通道方式的设备和单通道方式的设备之间无需设置其他的外部穿梭机，而在输送机模块内部，仅在工作区模块的一侧组装单通道输送机模块即可连续使用双通道方式的设备和单通道方式的设备。

在替换穿梭输送机模块及双轨输送机模块时，利用控制部的通用端口收发电源及控制信号，因此，穿梭输送机模块和双轨输送机模块的替换工作变简单。

在替换驱动控制不同的穿梭输送机模块和双轨输送机模块时，利用控制部内部的相同的控制器可以控制穿梭输送机模块和双轨输送机模块，从而，穿梭输送机模块和双轨输送机模块的替换工作变简单。

根据本发明的效果并不局限于以上所述的内容，本发明说明书包括更多样的效果。

附图说明

图1是在根据本发明的实施例的工作区模块安装有根据本发明的实施例的双轨输送机模块的状态的概略示意图。

图2是第四延长轨道传送单元的概略示意图。

图3是作为第一实施例示出根据本发明的实施例的工作区模块的第二后轨道和双轨输送机模块的第三延长轨道结合的构成的截面图。

图4是作为第二实施例示出根据本发明的实施例的工作区模块的第二后轨道和双轨输送机模块的第三延长轨道结合的构成的截面图。

图5是作为第三实施例示出根据本发明的实施例的工作区模块的第二后轨道和双轨输送机模块的第三延长轨道的结合的构成的截面图。

图6是作为第四实施例示出根据本发明的实施例的工作区模块的第二后轨道和双轨输送机模块的第三延长轨道的结合的构成的截面图。

图7是作为第五实施例示出根据本发明的实施例的工作区模块的第二后轨道和双轨输送机模块的第三延长轨道的结合的构成的截面图。

图8及图9是示出双轨输送机模块的延长轨道通过工作区模块的前轨道及/或后轨道的移动进行从动移动的动作的概略示意图。

图10是示出在根据本发明的实施例的工作区模块安装有穿梭输送机模块的状态的概略示意图。

图11是穿梭部通过根据本发明的实施例的穿梭输送机模块的穿梭驱动部进行移动的动作的概略示意图。

图12是通过根据本发明的实施例的穿梭输送机模块的间隔驱动部调整第一穿梭轨道和第二穿梭轨道之间的间隔的动作的概略示意图。

图13是示出在根据本发明的实施例的工作区模块的入口侧安装穿梭输送机模块，在出口侧安装双轨输送机模块的状态的俯视图。

图14是在根据本发明的实施例的工作区模块的入口侧安装双轨输送机模块，在出口侧安装穿梭输送机模块的状态的俯视图。

图15是根据本发明的实施例的工作区模块和双轨输送机模块的控制部连接的概略示意图。

图16是用电缆连接根据本发明的实施例的工作区模块和穿梭输送机模块的概略示意图。

图17是在根据本发明的实施例的工作区模块的入口侧安装根据本发明的穿梭输送机模块，在出口侧安装根据本发明的实施例的双轨输送机模块时用电缆连接的概略示意图。

图18是在根据本发明的实施例的工作区模块的入口侧安装根据本发明的双轨输送机模块，在出口侧安装根据本发明的实施例的穿梭输送机模块时用电缆连接的概略示意图。

图19是根据本发明的实施例的工作区模块的各驱动部与工作区控制部的控制器连接的概略示意图。

图20是根据本发明的实施例的双轨输送机模块的各驱动部与入口模块(或出口模块)控制部的控制器连接的概略示意图。

图21是根据本发明的实施例的穿梭输送机模块的各驱动部与入口模块(或出口模块)控制部的控制器连接的概略示意图。

图中：

10：基板进入区域，100：工作区模块，101：底座，111：第一前轨道，112：第一前工作区传送驱动部，121：第二前轨道，122：第二前工作区传送驱动部，123：前工作区间隔驱动部，124、125、134、135：结合凹部，131：第二后轨道，132：第二后工作区传送驱动部，136：盖部件设置槽，137：连接部件插入槽，141：第一后轨道，142：第一后工作区传送驱动部，200：双轨输送机模块，201：延长轨道导向部，202：双轨输送机端口，211：第一延长轨道，212：第一延长轨道传送驱动部，221：第二延长轨道，222：第二延长轨道传送驱动部，223、233：结合凸部，231：第三延长轨道，232：第三延长轨道传送驱动部，234：连接部件设置槽，241：第四延长轨道，242：第四延长轨道传送驱动部，244：传动辊，245：第一从动辊，246：第二从动辊，247：动力传送带，248：基板传送带，251：连接部件，252：盖部件，253a、253b、253c：螺丝，300：穿梭输送机模块，301：穿梭轨道导向部，302：穿梭输送机端口，311：第一穿梭轨道，312：第一穿梭轨道传送驱动部，321：第二穿梭轨道，322：第二穿梭轨道传送驱动部，332：穿梭驱动部，342：间隔驱动部，400：控制部，410：工作区控制部，410a：工作区控制线，420：入口模块控制部，420a、430a：端口，430：出口模块控制部

具体实施方式

本发明的优点、特征以及为达成所述目的的方法通过附图或后述的实施例将会更加明确。但是，本发明并不局限于以下所述的实施例，可以实施为其他的各种形态。通过本实施例本发明会更加完整，并对本发明所属领域的技术人员提供本发明的完整的范畴，本发明由权利要求范围而决定。在整个说明书中，对相同的构成要素标注相同的符号。

第一、第二等序数的用语可以用于说明各种元件、构成要素及/或零件，但所述元件、构成要素及/或零件并不限定于所述用语。所述用语仅用来区别一个元件、构成要素及/或零件与另一个元件、构成要素及/或零件。以下所提及的第一元件、第一构成要素或第一零件在本发明的技术思想范围内可以命名为第二元件、第二构成要素或第二零件。

在本发明中所使用的术语是仅用来说明实施例的，并不能限定本发明。本说明书中，单数的表达方式应理解为包含复数的表达方式。说明书中所使用的“包含(comprises)”及/或者“由……构成(made of)”等用语用来指定本说明书中所记载的构成元件、步骤、动作及/或元件，其并不排除一个或一个以上的其他构成元件、步骤、动作及/或元件的存在或其附加功能。

在没有特别定义时，包括技术或科学用语在内的本说明书中所使用的所有用语对本发明所属技术领域的技术人员来说是自明的。通常所使用的、词典上所定义的用语，不得以理想化或者过渡形式性的意思进行解释。

以下，参照附图进一步详细说明本发明。

图1是在根据本发明的实施例的工作区模块安装有双轨输送机模块的状态的概略示意图。

如图1所示，根据本发明的实施例的工作区模块100包括:形成前工作区的第一前轨道111和第二前轨道121；形成后工作区的第一后轨道141及第二后轨道131；以及底座101。

以图1为准，第一前轨道111形成于前方，固定设置于底座101。以图1为准，第一后轨道141形成于后方，与第一前轨道111平行地固定设置于底座101。

在第一前轨道111和第一后轨道141之间设置有与第一前轨道111平行的第二前轨道121，在第二前轨道121和第一后轨道141之间设置有与第一后轨道141平行的第二后轨道131。

第一前轨道111和第二前轨道121形成前工作区，第一后轨道141和第二后轨道131形成后工作区。各工作区是接收传送而来的至少一个基板，并对基板进行处理工作(例如，安装零件等)的区域。

因此，在与第二前轨道121相对的第一前轨道111的内侧具备传送单元(省略图示)用于支撑并传送进入前工作区的基板(省略图示)的一侧，在第一前轨道111可具备用于驱动传送单元的第一前工作区传送驱动部112。

在与第一前轨道111相对的第二前轨道121的内侧具备传送单元(省略图示)用于支撑并传送进入前工作区的基板(省略图示)的另一侧，在第二前轨道121可具备用于驱动传送单元的第二前工作区传送驱动部122。

类似地，在与第一后轨道141相对的第二后轨道131的内侧具备传送单元(省略图示)用于支撑并传送进入后工作区的基板(省略图示)的一侧，在第二后轨道131可具备用于驱动传送单元的第二后工作区传送驱动部132。

在与第二后轨道131相对的第一后轨道141的内侧具备传送单元(省略图示)用于支撑并传送进入后工作区的基板(省略图示)的另一侧，在第一后轨道141可具备用于驱动传送单元的第一后工作区传送驱动部142。

对于传送单元(省略图示)的具体实施例将在后面详细叙述。

第二前轨道121设置于底座101上，并可在第一前轨道111和第二后轨道131之间往复移动，第二后轨道131设置于底座101上，并可在第二前轨道121和第一后轨道141之间往复移动。

为此，在底座101上可具备朝第一前轨道111和第一后轨道141延长的导向件(省略图示)，所述导向件大致垂直于第一前轨道111及第一后轨道141，如图1所示，在第二前轨道121具备前工作区间隔驱动部123，使第二前轨道121沿着设置于底座101上的导向件往复移动。而且，在第二后轨道131具备后工作区间隔驱动部133，使第二后轨道131沿着设置于底座101上的导向件往复移动。

通过第二前轨道121和第二后轨道131的移动，可改变前工作区及/或后工作区的宽度。

如图1所示，根据本发明的实施例的双轨输送机模块200包括:第一延长轨道211、第二延长轨道221、第三延长轨道231、第四延长轨道241及延长轨道导向部201。

以图1为准，第一延长轨道211设置于前方，可固定设置于延长轨道导向部201。以图1为准，第四延长轨道241设置于后方，与第一延长轨道211平行地固定设置于延长轨道导向部201。

在第一延长轨道211和第四延长轨道241之间设置有与第一延长轨道211平行的第二延长轨道221，在第二延长轨道221和第四延长轨道241之间设置有与第四延长轨道241平行的第三延长轨道231。

第一延长轨道211和第二延长轨道221形成第一基板传送区域，第三延长轨道231和第四延长轨道241形成第二基板传送区域。

如图1所示，第一基板传送区域可与前工作区相对应设置，当双轨输送机模块200设置于工作区模块100的入口侧时，将基板通过第一基板传送区域传送到前工作区，当双轨输送机模块200设置于工作区模块100的出口侧时，从前工作区通过第一基板传送区域收取基板。

为此，在与第二延长轨道221相对的第一延长轨道211的内侧具备支撑并传送进入到第一基板传送区域的基板的一侧的传送单元(省略图示)，在第一延长轨道211可具备用于驱动传送单元的第一延长轨道传送驱动部212。

并且，在与第一延长轨道211相对的第二延长轨道221的内侧具备支撑并传送进入到第一基板传送区域的基板的另一侧的传送单元(省略图示)，在第二延长轨道221可具备用于驱动传送单元的第二延长轨道传送驱动部222。

另外，第二基板传送区域可与后工作区对应设置，当双轨输送机模块200设置于工作区模块100的入口侧时，将基板通过第二基板传送区域传送至后工作区，当双轨输送机模块200设置于工作区模块100的出口侧时，从后工作区通过第二基板传送区域收取基板。

为此，在与第四延长轨道241相对的第三延长轨道231的内侧具备支撑并传送进入到第二基板传送区域的基板的一侧的传送单元(省略图示)，在第三延长轨道231可具备用于驱动传送单元的第三延长轨道传送驱动部232。

并且，在与第三延长轨道231相对的第四延长轨道241的内侧具备支撑并传送进入到第二基板传送区域的基板的另一侧的传送单元(省略图示)，在第四延长轨道241可具备用于驱动传送单元的第四延长轨道传送驱动部242。

图2是第四延长轨道传送单元的概略示意图。

如图2所示，第四延长轨道241的传送单元，包括：传动辊244、第一从动辊245、第二从动辊246、动力传送带247、基板传送带248。

动力传送带247设置成形成连接传动辊244和第一从动辊245的闭环，基板传送带248设置成形成连接第一从动辊245和第二从动辊246的闭环。

传动辊244连接于第四延长轨道传送驱动部242的旋转轴，通过动力传送带247将第四延长轨道传送驱动部242的旋转力传送至第一从动辊245。随着第一从动辊245旋转，基板传送带248由第一从动辊245和第二从动辊246支撑并沿着闭环进行旋转。

基板的另一侧支撑于基板传送带248的上部面，沿基板进入区域10进行传送，根据第四延长轨道传送驱动部242旋转传动辊244的方向可以转换基板的传送方向。

上述的第四延长轨道241的传送单元是支撑基板的另一侧并进行传送的一个实施例，还可以有利用附加从动辊形成连接传动辊244、第一从动辊245及第二从动辊246的闭环的带结构等其他的实施例。

第一前轨道111、第二前轨道121、第一后轨道141、第二后轨道131、第一延长轨道211、第二延长轨道221及第三延长轨道231的传送单元可构成为与上述的第四延长轨道241的传送单元相似，因此，省略详细说明以免重复。

双轨输送机模块200的第二延长轨道221及第三延长轨道231可分别与工作区模块100的第二前轨道121及第二后轨道131结合。

图3是作为第一实施例示出根据本发明的实施例的工作区模块的第二后轨道和双轨输送机模块的第三延长轨道结合的构成的截面图。

如图3所示，在第三延长轨道231的一端形成有结合凸部233，在第二后轨道131的端部形成有与结合凸部233相对应的结合凹部134。

因此，在设置双轨输送机模块200的过程中，将结合凸部233插入至结合凹部134而组装第三延长轨道231，并结合为与第二后轨道131形成一条线。

双轨输送机模块200可结合于工作区模块100的两侧，结合凹部134优选形成于第二后轨道131的两端。

虽未图示，在第三延长轨道231的一端可形成有多个结合凸部233，在第二后轨道131的端部可形成有与多个结合凸部对应的多个结合凹部134。

或者，在第三延长轨道231的一端形成有至少一个结合凹部134，在第二后轨道131的端部形成有与至少一个结合凹部对应的至少一个结合凸部，从而，可以结合第三延长轨道231和第二后轨道131。

图4是作为第二实施例示出根据本发明的实施例的工作区模块的第二后轨道和双轨输送机模块的第三延长轨道结合的构成的截面图。

如图4所示，双轨输送机模块200可进一步包括将第三延长轨道231结合于第二后轨道131的连接部件251、以及盖部件252。

本实施例中，在第二后轨道131的端部形成有连接部件插入槽137以及盖部件设置槽136。

为了避免与通过后工作区移动的基板的干扰，连接部件插入槽137以及盖部件设置槽136可朝后工作区的外侧形成。

如图4所示，盖部件设置槽136从第二后轨道131的前面被第一次凹陷形成，然后，连接部件插入槽137与盖部件设置槽136形成阶梯，从盖部件设置槽136被第二次凹陷形成。在盖部件设置槽136的底面优选形成一个以上螺丝槽用以插入固定盖部件252的螺丝253a。

双轨输送机模块200可结合于工作区模块100的两侧，连接部件插入槽137及盖部件设置槽136优选形成于第二后轨道131的两端。

在第三延长轨道231的端部形成有连接部件设置槽234。此处，形成有连接部件设置槽234的第三延长轨道231的端部是指与第二后轨道131相对的端部。

在连接部件设置槽234的底面优选形成有一个以上螺丝槽用以插入固定连接部件251的螺丝253b、253c。

双轨输送机模块200设置于工作区100的一侧或两侧时，第三延长轨道231使设置于端部的连接部件251插入于第二后轨道131的连接部件插入槽137，将第三延长轨道231和第二后轨道131排列成一排，然后，将盖部件252设置于盖设置槽136，并利用螺丝253a将盖部件252固定在第二后轨道131而从侧方支撑连接部件251的同时，可以结合第三延长轨道231和第二后轨道131。

或者，盖部件252以固定于第二后轨道131的状态被设置，双轨输送机模块200设置于工作区100的一侧或两侧时，第三延长轨道231使设置于端部的连接部件251插入于第二后轨道131的连接部件插入槽137，从而可以结合第三延长轨道231和第二后轨道131。

图5是作为第三实施例示出根据本发明的实施例的工作区模块的第二后轨道和双轨输送机模块的第三延长轨道的结合的构成的截面图。

如图5所示，与所述第二实施例不同，本实施例中，在第三延长轨道231的端部并没有形成有连接部件设置槽234。即本实施例是连接部件251突出设置于第三延长轨道231的前面的例。

图6是作为第四实施例示出根据本发明的实施例的工作区模块的第二后轨道和双轨输送机模块的第三延长轨道的结合的构成的截面图。

如图6所示，与所述第二实施例不同，本实施例中，在第二后轨道131的端部只形成有连接部件插入槽137，而没有形成有盖部件设置槽136。

如图6所示，没有盖部件252，仅通过连接部件251结合第二后轨道131和第三延长轨道231。为此，在连接部件插入槽137的底面形成一个以上用于插入螺丝253a的螺丝槽，以便能随时固定或解除连接部件251。

图7是作为第五实施例示出根据本发明的实施例的工作区模块的第二后轨道和双轨输送机模块的第三延长轨道的结合的构成的截面图。

如图7所示，与所述第四实施例不同，本实施例中，在第二后轨道131的端部没有形成有连接部件插入槽137，在第三延长轨道231的端部没有形成有连接部件设置槽234。

即，本实施例是在第二后轨道131和第三延长轨道231的前面突出形成有连接部件251的例。

参照图3至图7说明了对第二后轨道131和第三延长轨道231的结合构造的各种实施例，但是，第二延长轨道221和第二前轨道121也可通过类似的方法结合。

而且，第一延长轨道211和第一前轨道111以及第四延长轨道241和第一后轨道141也可通过类似的方法结合。

为了改变前工作区及/或后工作区的宽度，可移动地设置第二前轨道121和第二后轨道131时，第二延长轨道221和第三延长轨道231可设置成沿着延长轨道导向部201在第一延长轨道211和第四延长轨道241之间进行往复移动。

第二延长轨道221和第三延长轨道231分别结合于第二前轨道121和第二后轨道131，可通过第二前轨道121和第二后轨道131的移动进行从动移动，此时，无需其他的驱动源。

图8及图9是示出双轨输送机模块的延长轨道通过工作区模块的前轨道及/或后轨道的移动进行从动移动的动作的概略示意图。

图8示出在图1所示的状态下第二前轨道121和第二后轨道131分别朝第一前轨道111和第一后轨道141方向移动的状态，图9示出在图1所示的状态下第二前轨道121和第二后轨道131分别朝第一后轨道141方向移动的状态。

在前工作区及后工作区处理的基板为小型基板时，如图8所示，第二前轨道121和第二后轨道131可对应基板宽度进行移动。

在前工作区处理单一大型基板，或在后工作区处理小型基板，同时在前工作区处理大型基板时，如图9所示，第二前轨道121和第二后轨道131可对应基板宽度进行移动。

如图8及图9所示，第二延长轨道221和第三延长轨道231随着第二前轨道121和第二后轨道131的移动进行移动，双轨输送机模块200的第一基板传送区域和第二基板传送区域分别对应于前工作区和后工作区的宽度。

以下，说明根据本发明的实施例的穿梭输送机模块300。

图10是示出在根据本发明的实施例的工作区模块安装穿梭输送机模块的状态的图。

已说明了图10所示的工作区模块100，因此省略对其说明。

如图10所示，根据本发明的实施例的穿梭输送机模块300包括穿梭部及穿梭轨道导向部301。穿梭部包括第一穿梭轨道311及第二穿梭轨道321，第一穿梭轨道311及第二穿梭轨道321设置成可沿着穿梭轨道导向部301进行移动。

第一穿梭轨道311和第二穿梭轨道321与工作区模块100的第一前轨道111、第二前轨道121、第一后轨道141及第二后轨道131平行设置，以图10为准，第一穿梭轨道311位于第二穿梭轨道321的前方。

第一穿梭轨道311与第一前轨道111等相似，在与第二穿梭轨道321相对的内侧具备传送单元(省略图示)，所述传送单元支撑并传送进入第一穿梭轨道311和第二穿梭轨道321之间的基板的一侧。为此，在第一穿梭轨道311可具备用于驱动传送单元的第一穿梭轨道传送驱动部312。

第二穿梭轨道321在与第一穿梭轨道311相对的内侧具备传送单元(省略图示)，所述传送单元支撑并传送进入第一穿梭轨道311和第二穿梭轨道321之间的基板的另一侧。为此，在第二穿梭轨道321可具备用于驱动传送单元的第二穿梭轨道传送驱动部322。

第一穿梭轨道311及第二穿梭轨道321的传送单元的构成可与上述的第四延长轨道传送单元相似，因此，省略详细说明以免重复。

如图10所示，根据本发明的实施例的穿梭输送机模块300可包括穿梭驱动部332及间隔驱动部342。

图11是穿梭部通过根据本发明的实施例的穿梭输送机模块的穿梭驱动部进行移动的动作的概略示意图。

如图11所示，穿梭驱动部332驱动第一穿梭轨道311及第二穿梭轨道321，此时，第一穿梭轨道311与第二穿梭轨道321以相互间保持间隔的状态在前工作区的侧部和后工作区的侧部移动。

即，穿梭输送机模块300设置于工作区模块100的入口侧时，从第一穿梭轨道311和第二穿梭轨道321之间收取基板，然后穿梭驱动部332移动第一穿梭轨道311和第二穿梭轨道321，而将收取的基板分配到前工作区或后工作区。

当穿梭输送机模块300设置于工作区模块100的出口侧时，穿梭驱动部332使第一穿梭轨道311及第二穿梭轨道321往复移动在前工作区和后工作区之间，从而，依次收取在前工作区及后工作区经处理的基板。

图12是通过根据本发明的实施例的穿梭输送机模块的间隔驱动部调整第一穿梭轨道和第二穿梭轨道之间的间隔的动作的概略示意图。

如图12所示，间隔驱动部342对应前工作区或后工作区的间隔调整第一穿梭轨道311和第二穿梭轨道321之间的间隔。为此，间隔驱动部342设置于第二穿梭轨道321，与第一穿梭轨道311单独地使第二穿梭轨道321沿着穿梭轨道导向部301移动，从而，调整第一穿梭轨道311和第二穿梭轨道321之间的间隔。或者，间隔驱动部342可设置于第一穿梭轨道311而执行相同的功能。

如上所述，根据本发明的实施例的双轨输送机模块200及穿梭输送机模块300与工作区模块100具有独立的构成。因此，可简单地组装于工作区模块100的一侧或两侧，或可从前工作区100的一侧或两侧简单地拆除。

以上，以在工作区模块100的两侧设置有穿梭输送机模块300或双轨输送机模块200的情况为例进行了说明，但是，根据需要，也可在工作区模块100的一侧设置穿梭输送机模块300，在另一侧设置双轨输送机模块200。

图13是示出在根据本实施例的工作区模块的入口侧安装穿梭输送机模块，在出口侧安装双轨输送机模块的状态的俯视图。

以图13为准，将工作区模块100的左侧设为供应基板的入口侧，将工作区模块100的右侧设为排放基板的出口侧时，在工作区模块100的入口侧结合穿梭输送机模块300，在出口侧结合双轨输送机模块200。

此配置方式在将基板供应至工作区模块100的前处理设备(省略图示)为单通道方式，从工作区模块100供应基板的后处理设备(省略图示)为双通道方式时使用。

即，在工作区模块100的入口侧结合穿梭输送机模块300，前处理设备以单通道方式收取所提供的基板，并供应至工作区模块100的前工作区和后工作区，在工作区模块100的出口侧结合双轨输送机模块200，以双通道方式从工作区模块200将通过前工作区和后工作区处理的基板提供至后处理设备，从而可以连续进行工艺。

图14是在根据本发明的实施例的工作区模块的入口侧安装根据本发明的双轨输送机模块，在出口侧安装根据本发明的实施例的穿梭输送机模块的状态的俯视图。

以图14为准，将工作区模块100的左侧设为供应基板的入口侧，将工作区模块100的右侧设为排放基板的出口侧时，在工作区模块100的入口侧结合双轨输送机模块200，在出口侧结合穿梭输送机模块300。

此配置方式在将基板供应至工作区模块100的前处理设备(省略图示)为双通道方式，在从工作区模块100供应基板的后处理设备(省略图示)为单通道方式时使用。

即，在工作区模块100的入口侧结合双轨输送机模块200，前处理设备以双通道方式收取所提供的基板，在工作区模块100的出口侧结合穿梭输送机模块300，以单通道方式将从工作区模块100通过前工作区和后工作区处理的基板提供至后处理设备，从而可以连续进行工艺。

以下说明根据选择性地结合根据本发明的实施例的工作区模块和双轨输送机模块/穿梭输送机模块，各模块的控制部的连接情况。

图15是根据本发明的实施例的工作区模块和双轨输送机模块的控制部连接的概略示意图。

如图15所示，控制部400包括工作区控制部410、入口模块控制部420及出口模块控制部430。

工作区模块100与双轨输送机模块200及穿梭输送机模块300不同，被固定设置，因此，连接工作区控制部410和工作区模块100的工作区控制线410a也被固定设置。工作区控制线410a向包含于工作区模块100的各驱动部112、122、132、142、123、133提供电源及控制信号，并与各驱动部112、122、132、142、123、133保持连接状态。

一方面，由于在工作区模块410的入口侧及出口侧选择性地结合有双轨输送机模块200及穿梭输送机模块300，因此，入口模块控制部420及出口模块控制部430无法与双轨输送机模块200及穿梭输送机模块300中的一个固定连接。

虽与工作区模块100独立地构成双轨输送机模块200和穿梭输送机模块300的构造，并将双轨输送机模块200和穿梭输送机模块300模块化，但是，若在每个模块200、300独立构成用于使双轨输送机模块200及穿梭输送机模块300运转的电缆及数据电线等，则将双轨输送机模块200和穿梭输送机模块300组装于工作区模块100或从工作区模块100拆卸的过程变复杂。

入口模块控制部420及出口模块控制部430分别具备向双轨输送机模块200及穿梭输送机模块300提供电源及控制信号的端口420a、430a。双轨输送机模块200及穿梭输送机模块300可共同使用端口420a、430a。

并且，双轨输送机模块200及穿梭输送机模块300分别具备对应于端口420a、430a的双轨输送机端口202及穿梭输送机端口302，从而，在结合于工作区模块100的一侧或两侧时与端口420a、430a连接。

如图15所示，在工作区模块100的入口侧及出口侧结合有双轨输送机模块200时，在入口模块控制部420的端口420a连接结合于入口侧的双轨输送机模块200的双轨输送机端口202，在出口模块控制部430的端口430a连接结合于出口侧的双轨输送机模块200的双轨输送机端口202。

入口模块控制部420及出口模块控制部430通过确认结合于端口420a、430a的端口202而确认双轨输送机模块200结合于入口侧及出口侧，并产生符合双轨输送机模块200的控制信号。

可以由用户输入目前的模式为双轨-工作区-双轨状态，以产生对应于入口模块控制部420及出口模块控制部430的控制信号。

图16是用电缆连接根据本发明的实施例的工作区模块和穿梭输送机模块的概略示意图。

如图16所示，在工作区模块100的入口侧及出口侧结合有穿梭输送机模块300时，在入口模块控制部420的端口420a连接结合于入口侧的穿梭输送机模块300的穿梭输送机端口302，在出口模块控制部430的端口430a连接结合于出口侧的穿梭输送机模块300的穿梭输送机端口302。

入口模块控制部420及出口模块控制部430通过确认结合于端口420a、430a的端口302而确认穿梭输送机模块300结合于入口侧及出口侧，并产生符合穿梭输送机模块300的控制信号。

可以由用户输入目前的模式为穿梭-工作区-穿梭状态，以产生对应于入口模块控制部420及出口模块控制部430的控制信号。

图17是在根据本发明的实施例的工作区模块的入口侧安装根据本发明的实施例的穿梭输送机模块，在出口侧安装根据本发明的实施例的双轨输送机模块时用电缆连接的概略示意图。

如图17所示，在工作区模块100的入口侧结合有穿梭输送机模块300，在出口侧结合有双轨输送机模块200时，在入口模块控制部420的端口420a连接结合于入口侧的穿梭输送机模块300的穿梭输送机端口302，在出口模块控制部430的端口430a连接双轨输送机模块200的双轨输送机端口202。

入口模块控制部420及出口模块控制部430通过确认结合于端口420a、430a的端口302、202而确认在入口侧结合有穿梭输送机模块300，而在出口侧结合有双轨输送机模块200，并产生对应的控制信号。

可以由用户输入目前的模式为穿梭-工作区-双轨状态，以产生对应于入口模块控制部420及出口模块控制部430的控制信号。

图18是在根据本发明的实施例的工作区模块的入口侧安装根据本发明的实施例的双轨输送机模块，在出口侧安装根据本发明的实施例的穿梭输送机模块时用电缆连接的概略示意图。

如图18所示，在工作区模块100的入口侧结合有双轨输送机模块200，在出口侧结合有穿梭输送机模块300时，在入口模块控制部420的端口420a连接结合于入口侧的双轨输送机模块200的双轨输送机端口202，在出口模块控制部430的端口430a连接穿梭输送机模块300的穿梭输送机端口302。

入口模块控制部420及出口模块控制部430通过确认结合于端口420a、430a的端口202、302而确认在入口侧结合有双轨输送机模块200，而在出口侧结合有穿梭输送机模块300，并产生对应的控制信号。

可以由用户输入目前的模式为双轨-工作区-穿梭状态，以产生对应于入口模块控制部420及出口模块控制部430的控制信号。

图19是根据本发明的实施例的工作区模块的各驱动部与工作区控制部的控制器连接的概略示意图。

如图19所示，工作区控制部410包括：第一工作区控制器412、第二工作区控制器411、第三工作区控制器414、第四工作区控制器415、第五工作区控制器413以及第六工作区控制器416。

六个工作区控制器411、412、413、414、415、416可分别控制工作区模块410的六个驱动部112、122、132、142、123、133。

即第一工作区控制器412向第一前工作区传送驱动部112供应电源并控制驱动，第二工作区控制器411向第二前工作区传送驱动部122供应电源并控制驱动，从而控制进入前工作区内或从前工作区出来的基板的传送。

第三工作区控制器414向第二后工作区传送驱动部132供应电源并控制驱动，第四工作区控制器415向第一后工作区传送驱动部142供应电源并控制驱动，从而控制进入后工作区内或从后工作区出来的基板的传送。

第五工作区控制器413向前工作区间隔驱动部123供应电源并控制驱动，从而，使第二前轨道121沿设置于底座101上的导向件进行往复移动，并调整前工作区的宽度。

第六工作区控制器416向后工作区间隔驱动部133供应电源并控制驱动，从而，使第二后轨道131沿设置于底座101上的导向件进行往复移动，并调整后工作区的宽度。

图20是根据本发明的双轨输送机模块的各驱动部与入口模块(或出口模块)控制部的控制器连接的概略示意图，图21是根据本发明的实施例的穿梭输送机模块的各驱动部与入口模块(或出口模块)控制部的控制器连接的概略示意图。

如图20及图21所示，入口模块控制部420及出口模块控制部430包括第一控制器421、431、第二控制器422、432、第三控制器423、433以及第四控制器424、434。

4个控制器421(431)、422(432)、423(433)及424(434)分别通过端口420a、430a控制双轨输送机模块200的4个驱动部212、222、232、242和穿梭输送机模块300的4个驱动部312、322、332、342。

即，如图20所示，在入口模块控制部420或出口模块控制部430连接有双轨输送机模块200时，第三控制器423、433向第一延长轨道传送驱动部212供应电源并控制驱动，第一控制器421、431向第二延长轨道传送驱动部222供应电源并控制驱动，从而控制进入第一基板传送区域内或从第一基板传送区域出来的基板的传送。

第二控制器422、432向第三延长轨道传送驱动部232供应电源并控制驱动，第四控制器424、434向第四延长轨道传送驱动部242供应电源并控制驱动，从而控制进入第二基板传送区域内或从第二基板传送区域出来的基板的传送。

如图21所示，在入口模块控制部420或出口模块控制部430连接有穿梭输送机模块300时，第一控制器421、431向第一穿梭轨道传送驱动部312供应电源并控制驱动，第二控制器422、432向第二穿梭轨道传送驱动部322供应电源并控制驱动，从而控制进入第一穿梭轨道311和第二穿梭轨道321之间或从第一穿梭轨道311和第二穿梭轨道321之间出来的基板的传送。

第三控制器423、433向穿梭驱动部332供应电源并控制驱动，从而控制第一穿梭轨道311及第二穿梭轨道321在前工作区和后工作区进行往复移动，第四控制器424、434向间隔驱动部342供应电源并控制驱动，从而，对应前工作区或后工作区的间隔控制第一穿梭轨道311和第二穿梭轨道321之间的间隔。

第一控制器421、431及第二控制器422、432控制双轨输送机模块200时和控制穿梭输送机模块300时都控制传送基板的驱动部。但是，第三控制器423、433以及第四控制器424、434控制双轨输送机模块200时，虽控制传送基板的驱动部，但是在控制穿梭输送机模块300时分别控制用于使第一穿梭轨道311及/或第二穿梭轨道321移动的穿梭驱动部332及间隔驱动部342。

因此，第三控制器423、433及第四控制器424、434构成为可共同控制用于传送基板的驱动部及用于移动轨道311、321的驱动部。

为方便说明，具体示出了第一控制器421、431、第二控制器422、432、第三控制器423、433以及第四控制器424、434与各驱动部212、222、232、242、312、322、332、342的对应关系，但是，为方便设计，可改变第一控制器421、431、第二控制器422、432、第三控制器423、433以及第四控制器424、434与各驱动部212、222、232、242、312、322、332、342的对应关系。

通过上述构成，在具有前工作区和后工作区的双通道方式的工作区模块100的一侧或两侧提供能够选择性的结合的被模块化的穿梭输送机模块300和双轨输送机模块200，从而，可以扩大输送机的设备的利用可能性。

即，向包含工作区模块100的设备供应基板的前处理设备以单通道方式供应基板时，在工作区模块100的入口侧安装穿梭输送机模块300，前处理设备以双通道方式供应基板时，在工作区模块100的入口侧安装双轨输送机模块200，在包含工作区模块100的设备供应基板的后处理设备为单通道方式时，在工作区模块100的出口侧安装穿梭输送机模块300，在后处理设备为双通道方式时，在工作区模块100的出口侧安装双轨输送机模块200，仅以此方式就能连续进行工艺。

在替换安装穿梭输送机模块和双轨输送机模块时，利用控制部的通用端口收发电源及控制信号，因此，穿梭输送机模块和双轨输送机模块的替换工作变简单。

在替换安装驱动控制不同的穿梭输送机模块和双轨输送机模块时，利用控制部内的相同的控制器可以控制穿梭输送机模块和双轨输送机模块，因此，替换穿梭输送机模块和双轨输送机模块工作变得更简单。

由此，通过根据本发明的输送机模块，根据前处理设备及后处理设备为单通道方式还是双通道方式可以解决替换设备整体繁杂的问题。

以上，参照附图说明了本发明的实施例，但是，应理解本发明所属领域的技术人员在不改变本发明的技术思想及必要特征的范围内可以实施为其他的具体形态。因此，以上所述实施例只是用来举例说明而已，并不限定本发明。

Claims (20)

1.一种输送机模块，其特征在于，包括：

工作区模块，包括：一对前轨道，形成前工作区；一对后轨道，形成与所述前工作区平行的后工作区；以及

穿梭输送机模块及双轨输送机模块，选择性地结合于所述工作区模块的一侧或两侧，

所述穿梭输送机模块，包括：

穿梭轨道导向部，从所述前工作区的侧部延长至所述后工作区的侧部；以及

穿梭部，沿所述穿梭轨道导向部移动，

所述双轨输送机模块，包括：

延长轨道导向部，从所述前工作区的侧部延长至所述后工作区的侧部；以及

延长轨道，结合于所述一对前轨道及所述一对后轨道中的至少一者的一侧或两侧，可移动地支撑于所述延长轨道导向部。

2.根据权利要求1所述的输送机模块，其特征在于，所述穿梭部包括：

第一穿梭轨道，沿所述穿梭轨道导向部移动；

第二穿梭轨道，沿所述穿梭轨道导向部移动，并与所述第一穿梭轨道平行；

穿梭驱动部，将所述第一穿梭轨道及所述第二穿梭轨道移动至所述前工作区或所述后工作区的侧部。

3.根据权利要求2所述的输送机模块，其特征在于，所述穿梭部进一步包括间隔驱动部用以调整所述第一穿梭轨道和所述第二穿梭轨道之间的间隔。

4.根据权利要求3所述的输送机模块，其特征在于，所述间隔驱动部对应所述前工作区或所述后工作区的宽度调整所述第一穿梭轨道和所述第二穿梭轨道之间的间隔。

5.根据权利要求3所述的输送机模块，其特征在于，所述间隔驱动部对应进入所述第一穿梭轨道和所述第二穿梭轨道之间的基板的宽度调整所述第一穿梭轨道和所述第二穿梭轨道之间的间隔。

6.根据权利要求1所述的输送机模块，其特征在于，所述双轨输送机模块的所述延长轨道结合为和在所述一对前轨道及所述一对后轨道中与所述延长轨道结合的轨道位于一条线上。

7.根据权利要求6所述的输送机模块，其特征在于，所述延长轨道通过在所述一对前轨道及所述一对后轨道中与所述延长轨道结合的轨道从动移动。

8.根据权利要求6所述的输送机模块，其特征在于，在所述延长轨道的一端形成有至少一个结合凸部(233)，在所述前轨道及所述后轨道的端部形成有与所述结合凸部对应的至少一个结合凹部(134)，通过所述结合凹部和所述结合凸部相啮合，所述延长轨道结合于所述前轨道及所述后轨道中的至少一个。

9.根据权利要求6所述的输送机模块，其特征在于，所述双轨输送机模块进一步包括连接部件，所述连接部件将所述延长轨道固定于所述前轨道及所述后轨道的一侧或两侧中的至少一个。

10.根据权利要求9所述的输送机模块，其特征在于，所述连接部件的一端支撑所述延长轨道，所述连接部件的另一端支撑在所述前轨道及所述后轨道中与所述延长轨道结合的轨道。

11.根据权利要求1所述的输送机模块，其特征在于，进一步包括控制部，所述控制部控制所述工作区模块的所述一对前轨道及所述一对后轨道，还控制结合于所述工作区模块的所述穿梭输送机模块的所述穿梭部及所述双轨输送机模块的延长轨道中的至少一个。

12.根据权利要求11所述的输送机模块，其特征在于，所述控制部包括向选择性地结合于所述工作区模块的所述穿梭输送机模块及所述双轨输送机模块提供电源及控制信号的端口，

所述穿梭输送机模块包括连接于所述端口的穿梭输送机端口，

所述双轨输送机模块包括连接于所述端口的双轨输送机端口。

13.根据权利要求11所述的输送机模块，其特征在于，所述穿梭部，包括：

第一穿梭轨道，沿所述穿梭轨道导向部移动；

第二穿梭轨道，沿所述穿梭轨道导向部移动，并与所述第一穿梭轨道平行；

第一穿梭轨道传送驱动部，设置于所述第一穿梭轨道，支撑并传送进入所述第一穿梭轨道和所述第二穿梭轨道之间的基板的一侧；

第二穿梭轨道传送驱动部，设置于所述第二穿梭轨道，支撑并传送所述基板的另一侧；

穿梭驱动部，使所述第一穿梭轨道及所述第二穿梭轨道移动至所述前工作区或所述后工作区的侧部；以及

间隔驱动部，调整所述第一穿梭轨道和所述第二穿梭轨道之间的间隔，

所述控制部包括第一控制器、第二控制器、第三控制器以及第四控制器，

所述穿梭输送机模块结合于所述工作区模块时，所述第一控制器控制所述第一穿梭轨道传送驱动部，所述第二控制器控制所述第二穿梭轨道传送驱动部，所述第三控制器控制所述穿梭驱动部，第四控制器控制所述间隔驱动部。

14.根据权利要求13所述的输送机模块，其特征在于，所述双轨输送机模块的所述延长轨道，包括：

第一延长轨道及第二延长轨道，结合于所述一对前轨道；

第一延长轨道传送驱动部，设置于所述第一延长轨道，支撑并传送进入所述第一延长轨道和所述第二延长轨道之间的基板的一侧；

第二延长轨道传送驱动部，设置于所述第二延长轨道，支撑并传送进入所述第一延长轨道和所述第二延长轨道之间的基板的另一侧；

第三延长轨道及第四延长轨道，结合于所述一对后轨道；

第三延长轨道传送驱动部，设置于所述第三延长轨道，支撑并传送进入所述第三延长轨道和所述第四延长轨道之间的基板的一侧；以及

第四延长轨道传送驱动部，设置于所述第四延长轨道，支撑并传送进入所述第三延长轨道和所述第四延长轨道之间的基板的另一侧，

所述双轨输送机模块结合于所述工作区模块时，

所述第一控制器、所述第二控制器、所述第三控制器及所述第四控制器中的一个控制所述第一延长轨道传送驱动部，其他一个控制所述第二延长轨道传送驱动部，其他另一个控制所述第三延长轨道传送驱动部，其他又另一个控制所述第四延长轨道传送驱动部。

15.一种输送机模块，其特征在于，包括：

工作区模块，具备：一对前轨道，形成前工作区；一对后轨道，形成与所述前工作区平行的后工作区；

穿梭输送机模块及双轨输送机模块，选择性地结合于所述工作区模块的一侧或两侧；以及

控制部，控制所述工作区模块及选择性地结合于所述工作区模块的所述穿梭输送机模块以及所述双轨输送机模块。

16.根据权利要求15所述的输送机模块，其特征在于，

所述穿梭输送机模块，包括：

穿梭轨道导向部，从所述前工作区的侧部延长至所述后工作区的侧部；

第一穿梭轨道，沿所述穿梭轨道导向部移动；

第二穿梭轨道，沿所述穿梭轨道导向部移动，并与所述第一穿梭轨道平行；

第一穿梭轨道传送驱动部，设置于所述第一穿梭轨道，支撑并传送进入所述第一穿梭轨道和所述第二穿梭轨道之间的基板的一侧；

第二穿梭轨道传送驱动部，设置于所述第二穿梭轨道，支撑并传送所述基板的另一侧；

穿梭驱动部，使所述第一穿梭轨道及所述第二穿梭轨道移动至所述前工作区或所述后工作区的侧部；以及

间隔驱动部，调整所述第一穿梭轨道和所述第二穿梭轨道之间的间隔。

17.根据权利要求16所述的输送机模块，其特征在于，所述双轨输送机模块，包括：

延长轨道导向部，从所述前工作区的侧部延长至所述后工作区的侧部；

第一延长轨道及第二延长轨道，结合于所述一对前轨道；

第一延长轨道传送驱动部，设置于所述第一延长轨道，支撑并传送进入所述第一延长轨道和所述第二延长轨道之间的基板的一侧；

第二延长轨道传送驱动部，设置于所述第二延长轨道，支撑并传送进入所述第一延长轨道和所述第二延长轨道之间的基板的另一侧；

第三延长轨道及第四延长轨道，结合于所述一对后轨道；

第三延长轨道传送驱动部，设置于所述第三延长轨道，支撑并传送进入所述第三延长轨道和所述第四延长轨道之间的基板的一侧；以及

第四延长轨道传送驱动部，设置于所述第四延长轨道，支撑并传送进入所述第三延长轨道和所述第四延长轨道之间的基板的另一侧。

18.根据权利要求17所述的输送机模块，其特征在于，所述控制部包括第一控制器、第二控制器、第三控制器以及第四控制器，

所述穿梭输送机模块结合于所述工作区模块时，

所述第一控制器控制所述第一穿梭轨道传送驱动部，所述第二控制器控制所述第二穿梭轨道传送驱动部，所述第三控制器控制所述穿梭驱动部，第四控制器控制所述间隔驱动部。

19.根据权利要求18所述的输送机模块，其特征在于，所述双轨输送机模块结合于所述工作区模块时，

所述第一控制器、所述第二控制器、所述第三控制器及所述第四控制器中的一个控制所述第一延长轨道传送驱动部，其他一个控制所述第二延长轨道传送驱动部，其他另一个控制所述第三延长轨道传送驱动部，其他又另一个控制所述第四延长轨道传送驱动部。

20.根据权利要求19所述的输送机模块，其特征在于，所述控制部包括向选择性地结合于所述工作区模块的所述穿梭输送机模块及所述双轨输送机模块提供电源及控制信号的端口，

所述穿梭输送机模块包括连接于所述端口的穿梭输送机端口，

所述双轨输送机模块包括连接于所述端口的双轨输送机端口。