CN104239846A - 电容式指纹感测集成电路的手指感测结构 - Google Patents
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Abstract
一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构,包含了鱼骨状的手指感测金属层,利用手指接近或接触指纹感测集成电路的表面,手指与手指感测金属层所产生的电容感应,以启动指纹感测集成电路。其中,在手指感测金属层未感测到手指接近或接触之前,指纹感测集成电路处于休眠状态;当侦测到手指时,才将其唤醒。因此,手指感测金属层降低了指纹感测集成电路的电源消耗,尤其可应用于可携式指纹感测集成电路。
Description
技术领域
本发明是关于一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构,特别是一种当侦测到手指接近或接触才启动的电容式指纹感测集成电路。
背景技术
由于人类对于隐私权、资料安全及财产安全有更高的要求,所以生物辨识技术应运而生,其主要目的在于,从众多的目标物中,筛选并确认目标物具有正确的身分。生物辨识技术主要利用人类独有的生理特征,包括了指纹、人脸、虹膜、声音等等。由于指纹辨识不像虹膜辨识具有侵入性,并且易于检测;再者仪器成本及技术门槛较低,因此具有较广泛的应用。
在各种指纹辨识的技术中,电容式感测技术最具备前景。原因在于,感测元件可以通过集成电路的芯片整合,并且具有高元件密度及易于封装。
然而,传统的指纹辨识元件或装置,必须一直保持待机的状态,以随时辨识使用者的身分,如此则相当耗费电源,尤其是对于可携式的指纹辨识装置,容易耗尽电源,殊为不便。
发明内容
本发明提供了一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构,包含了鱼骨状的手指感测金属层,利用手指接近或接触指纹感测集成电路的表面,手指与手指感测金属层所产生的电容感应,以启动指纹感测集成电路。其中,在手指感测金属层未感测到接近或接触之前,指纹感测集成电路处于休眠状态;当侦测到手指时,才将其唤醒。因此,手指感测金属层降低了指纹感测集成电路的电源消耗,尤其可应用于可携式指纹感测集成电路。
为了解决先前技术的问题,本发明的一实施例提供了一种电容式指纹集成电路的手指感测结构,包含多个感测电极、一电容感应层、一手指感测金属层、一共同导电层、一信号处理电路、一绝缘层以及一保护层。多个感测电极,形成一阵列用以界定一感测区;电容感应层,覆盖于多个感测电极;手指感测金属层,设置于电容感应层上并具有多个鱼骨状结构,其中多个鱼骨状结构分布于多个感测电极间的间隙或周边;共同导电层,连接多个鱼骨状结构并环绕感测区用以将信号传出;信号处理电路,设置于多个感测电极下方并与其电性连接;绝缘层,设置于多个感测电极与信号处理电路之间;保护层,覆盖电容感应层与手指感测金属层。其中,每一鱼骨状结构至少包含一脊部;脊部在感测电极阵列的一第一方向上与多个感测电极交替排列,且脊部沿着一第二方向延伸且第二方向与感测电极阵列的第一方向垂直;以及脊部的至少其中一端连接至共同导电层。
较佳者,鱼骨状结构更包含至少一肋部,其中肋部从脊部的两侧沿着第一方向延伸并且在第二方向上与多个感测电极交替排列;肋部的末端形成一尖锐状端点以及一内凹状端点至少其中之一;以及在两两相邻的脊部的肋部末端之间具有一间隙。
较佳者,共同导电层与手指感测金属层为同一平面。
较佳者,共同导电层与手指感测金属层电性连接至一电容电阻电路。
较佳者,电容感应层由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成,或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。
又根据本发明的另一实施例,一种电容式指纹集成电路的手指感测结构,包含多个感测电极、一电容感应层、一功能金属层、一共同导电层、一信号处理电路、一绝缘层以及一保护层。多个感测电极,形成一阵列用以界定一感测区;电容感应层,覆盖于多个感测电极;功能金属层,设置于电容感应层上并具有多个鱼骨状结构,多个鱼骨状结构分布于多个感测电极间的间隙或周边,其中功能金属层包含一手指感测金属部与一ESD(electrostatic damage)防护金属部,且手指感测金属部与ESD防护金属部分别具有部分多个鱼骨状结构;共同导电层,连接多个鱼骨状结构并环绕感测区用以将信号传出,其中共同导电层包含相互电性隔绝的一手指感测导电部与一ESD防护导电部,且手指感测金属部的多个鱼骨状结构与ESD防护金属部的多个鱼骨状结构分别电性连接手指感测导电部与ESD防护导电部;信号处理电路,设置于多个感测电极下方并与其电性连接;绝缘层,设置于多个感测电极与信号处理电路之间;以及保护层,覆盖电容感应层与功能金属层。其中每一鱼骨状结构至少包含一脊部;脊部在感测电极阵列的一第一方向上与多个感测电极交替排列,且脊部沿着一第二方向延伸且第二方向与感测电极阵列的第一方向垂直;以及手指感测导电部的脊部与ESD防护导电部的脊部的至少其中一端分别连接至手指感测导电部与ESD防护导电部。
较佳者,鱼骨状结构更包含至少一肋部,其中肋部从脊部的两侧沿着第一方向延伸并且在第二方向上与多个感测电极交替排列;肋部的末端形成一尖锐状端点以及一内凹状端点至少其中之一;以及在两两相邻的脊部的肋部末端之间具有一间隙。
较佳者,共同导电层、功能金属层为同一平面。
较佳者,共同导电层的手指感测导电部与手指感测金属部电性连接至一电容电阻电路。
较佳者,共同导电层的ESD防护导电部与ESD防护金属部电性连接至一外部接地电压。
较佳者,电容感应层由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成,或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。
又根据本发明的另一实施例,一种电容式指纹集成电路的手指感测结构,包含多个感测电极、一手指感测金属层、一电容感应层、一共同导电层、一信号处理电路、一绝缘层以及一保护层。多个感测电极,形成一阵列用以界定一感测区;手指感测金属层,与多个感测电极共平面设置并具有多个鱼骨状结构,其中多个鱼骨状结构分布于多个感测电极间的间隙与周边;电容感应层,覆盖于多个感测电极与手指感测金属层;共同导电层,连接多个鱼骨状结构并环绕感测区用以将信号传出;信号处理电路,设置于多个感测电极下方并与其电性连接;绝缘层,设置于多个感测电极与信号处理电路之间;以及保护层,覆盖电容感应层。其中,每一鱼骨状结构至少包含一脊部;脊部在感测电极阵列的一第一方向上与多个感测电极交替排列,脊部沿着一第二方向延伸且第二方向与感测电极阵列的第一方向垂直;以及脊部的至少其中一端连接至共同导电层。
较佳者,鱼骨状结构更包含至少一肋部,其中肋部从脊部的两侧沿着第一方向延伸并且在第二方向上与多个感测电极交替排列;肋部的末端形成一尖锐状端点以及一内凹状端点至少其中之一;以及在两两相邻的脊部的肋部末端之间具有一间隙。
较佳者,共同导电层与手指感测金属层为同一平面。
较佳者,共同导电层与手指感测金属层电性连接至一电容电阻电路。
较佳者,电容感应层由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成,或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。
又根据本发明的另一实施例,一种电容式指纹集成电路的手指感测结构,包含多个感测电极、一功能金属层、一电容感应层、一共同导电层、一信号处理电路、一绝缘层以及一保护层。多个感测电极,形成一阵列用以界定一感测区;功能金属层,与多个感测电极共平面设置并具有多个鱼骨状结构,多个鱼骨状结构分布于多个感测电极间的间隙与周边,其中功能金属层包含一手指感测金属部与一ESD防护金属部,且手指感测金属部与ESD防护金属部分别具有部分多个鱼骨状结构;电容感应层,覆盖于多个感测电极与功能金属层;共同导电层,连接多个鱼骨状结构并环绕感测区用以将信号传出,其中共同导电层包含相互电性隔绝的一手指感测导电部与一ESD防护导电部,且手指感测金属部的多个鱼骨状结构与ESD防护金属部的多个鱼骨状结构分别电性连接手指感测导电部与ESD防护导电部;信号处理电路,设置于多个感测电极下方并与其电性连接;绝缘层,设置于多个感测电极与信号处理电路之间;以及保护层,覆盖电容感应层,其中每该鱼骨状结构至少包含一脊部;脊部在感测电极阵列的一第一方向上与多个感测电极交替排列,且脊部沿着一第二方向延伸且该第二方向与感测电极阵列的第一方向垂直;以及手指感测导电部的脊部与ESD防护导电部的脊部的至少其中一端分别连接至手指感测导电部与ESD防护导电部。
较佳者,鱼骨状结构更包含至少一肋部,其中肋部从脊部的两侧沿着第一方向延伸并且在第二方向上与多个感测电极交替排列;肋部的末端形成一尖锐状端点以及一内凹状端点至少其中之一;以及在两两相邻的脊部的肋部末端之间具有一间隙。
较佳者,共同导电层、功能金属层为同一平面。
较佳者,共同导电层的手指感测导电部与手指感测金属部电性连接至一电容电阻电路。
较佳者,共同导电层的ESD防护导电部与ESD防护金属部电性连接至一外部接地电压。
较佳者,电容感应层由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成,或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。
以下经由具体实施例配合所附的附图详加说明,当更容易了解本发明的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。
附图说明
图1为本发明一实施例的一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构的俯视示意图。
图2A为本发明一实施例的一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构的部分侧面剖视图。
图2B为本发明另一实施例的一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构的部分侧面剖视图。
图3为本发明为本发明另一实施例的一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构的俯视示意图。
图4A为本发明一实施例的鱼骨状结构的肋部示意图,其中肋部包含尖锐状端点。
图4B为本发明另一实施例的鱼骨状结构的肋部示意图,其中肋部包含尖锐状端点及内凹状端点。
图4C为本发明另一实施例的鱼骨状结构的肋部示意图,其中肋部包含内凹状端点。
图5A、图5B、图5C以及图5D为本发明不同实施例的鱼骨状结构的排列示意图。
符号说明:
具体实施方式
请同时参考图1及图2A,图1所示为根据本发明一实施例的一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构1的俯视示意图,图2A则是根据本发明一实施例的一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构1的部分侧面剖视图,此处以图1以及图2A来说明本发明的第一实施例。于第一实施例中,一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构1包含多个感测电极10、一电容感应层20、一手指感测金属层30、一共同导电层40、一信号处理电路50、一绝缘层60以及一保护层70。多个感测电极10,形成一阵列用以界定一感测区;电容感应层20,覆盖于多个感测电极10;手指感测金属层30,设置于电容感应层20上并具有多个鱼骨状结构,其中多个鱼骨状结构分布于多个感测电极10的间隙或周边;共同导电层40,连接多个鱼骨状结构并环绕感测区用以将信号传出;信号处理电路50,设置于感测电极10下方并与其电性连接;绝缘层60,设置于感测电极10与信号处理电路50之间;保护层70,覆盖电容感应层20与手指感测金属层30。其中,每一鱼骨状结构至少包含一脊部31;脊部31在感测电极10阵列的一第一方向X上与感测电极10交替排列,且脊部31沿着一第二方向Y延伸且第二方向Y与感测电极10阵列的第一方向X垂直;以及脊部31的至少其中一端连接至共同导电层40。于一实施例中,每一鱼骨状结构更包含至少一肋部32,肋部32从脊部31的两侧沿着第一方向X延伸并且在第二方向Y上与感测电极10交替排列;肋部32的末端形成一尖锐状端点32a(如图4A、4B所示)以及一内凹状端点32b(如图4B、4C所示)至少其中之一,例如,肋部32的末端可以是尖锐状端点32a两两相对(如图4A所示),或是尖锐状端点32a与内凹状端点32b相对(如图4B所示),或是内凹状端点32b两两相对(如图4C所示),并不受到限制;以及在两两相邻的脊部31的肋部32末端之间具有一间隙S。须注意者,肋部32并非必要的设置,鱼骨状结构可仅包含脊部31,图式仅为方便说明而非用以限制本发明,对于后方所述的实施例及图式亦同。
请参考图1,于一实施例中,共同导电层40与手指感测金属层30电性连接至一电容电阻电路RC(RC circuit),用以侦测手指感测金属层30上的电位变化以启动指纹感测集成电路。电容电阻电路RC可以是一外接或一内建式电路,其运作原理简述如下:电容电阻电路RC中具有一固定电容Cf(图中未示),当手指(或其他物件)接近或接触感测电极10,因为手指的接近或接触感测电极10,产生了一手指电容Cd(图中未示),当Cf与Cd并联的时候,电容增加,充电时间增加,产生信号延迟。经由侦测信号延迟,可得知共同导电层40电压的变化,若电压低于一临界值,则启动指纹感测集成电路,反之则关闭。因此,可以达到自动侦测手指是否接近或接触,以达到启动或休眠的效果,不需要随时处于开启状态,以节省电源。
其中,共同导电层40与手指感测金属层30的上下位置并未特别限定。于一实施例中,共同导电层40与手指感测金属层30为同一平面。又于另一实施例中,两者可位于不同平面。
又于一实施例中,电容感应层20(如图2A)由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成,或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。
请再同时参考图3及图2A,图3所示为根据本发明另一实施例的一种电容式指纹集成电路的手指感测结构1,此处以图3及图2A来说明本发明的第二实施例。于第二实施例中,一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构1包含多个感测电极10、一电容感应层20、一功能金属层30’、一共同导电层40、一信号处理电路50、一绝缘层60以及一保护层70。多个感测电极10,形成一阵列用以界定一感测区;电容感应层20,覆盖于多个感测电极10;功能金属层30’,设置于电容感应层20上并具有多个鱼骨状结构,多个鱼骨状结构分布于多个感测电极的间隙或周边,其中功能金属层30’包含一手指感测金属部30’a与一ESD(electrostatic damage)防护金属部30’b,且手指感测金属部30’a与ESD防护金属部30’b分别具有部分多个鱼骨状结构;共同导电层40,连接多个鱼骨状结构并环绕感测区用以将信号传出,其中共同导电层40包含相互电性隔绝的一手指感测导电部40a与一ESD防护导电部40b,且手指感测金属部30’a的多个鱼骨状结构与ESD防护金属部30’b的多个鱼骨状结构分别电性连接手指感测导电部40a与ESD防护导电部40b;信号处理电路50,设置于感测电极10下方并与其电性连接;绝缘层60,设置于感测电极10与信号处理电路50之间;以及保护层70,覆盖电容感应层20与功能金属层30’。其中每一鱼骨状结构至少包含一脊部31;脊部31在感测电极10阵列的一第一方向X上与感测电极10交替排列,且脊部31沿着一第二方向Y延伸且第二方向Y与感测电极10阵列的第一方向X垂直;手指感测金属部30’a的脊部31与ESD防护金属部30’b的脊部31的至少其中一端分别连接至手指感测导电部40a与ESD防护导电部40b。于一实施例中,每一鱼骨状结构更包含至少一肋部32,肋部32从脊部31的两侧沿着第一方向X延伸并且在第二方向Y上与感测电极10交替排列;肋部32的末端形成一尖锐状端点32a(如图4A、4B所示)以及一内凹状端点32b(如图4B、4C所示)至少其中之一,例如,肋部32的末端可以是尖锐状端点32a两两相对(如图4A所示),或是尖锐状端点32a与内凹状端点32b相对(如图4B所示),或是内凹状端点32b两两相对(如图4C所示),并不受到限制;以及在两两相邻的脊部31的肋部32末端之间具有一间隙S。
根据上述内容,第二实施例与第一实施例的不同之处在于,第二实施例的功能金属层30’除了包含手指感测金属部30’以外,还包含了ESD防护金属部30’b以及ESD防护导电部40b。因此,第二实施例除了具有主要的自动唤醒或启动功能外,还可以将手指(或接触物)的静电电荷导出,具备了静电防护的优点。
其中,共同导电层40与功能金属层30’的上下位置并未特别限定。于一实施例中,共同导电层40与功能金属层30’为同一平面。又于另一实施例中,两者可位于不同平面。
又于一实施例中,共同导电层40的手指感测导电部40a与手指感测金属部30’a电性连接至一电容电阻电路RC(如图3所示)。电容电阻电路RC的原理如同前述,于此不予赘言。
又于一实施例中,共同导电层的ESD防护导电部40b与ESD防护金属部30’b电性连接至一外部接地电压VG(如图3所示),用以将多余或累积的静电电荷导出,以避免静电对指纹感测集成电路产生伤害。
又于一实施例中,电容感应层20(如图2A所示)由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成,或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。
另外,感测电极10以及手指感测金属层30(或功能金属层30’)的相对位置亦可依使用者需求或工艺而调整。请参考图1及图2B,图2B是根据本发明另一实施例的一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构1的部分侧面剖视图,此处以图1及图2B说明本发明的第三实施例。于第三实施例中,一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构1,包含多个感测电极10、一手指感测金属层30、一电容感应层20、一共同导电层40、一信号处理电路50、一绝缘层60以及一保护层70。多个感测电极10,形成一阵列用以界定一感测区;手指感测金属层30,与多个感测电极10共平面设置并具有多个鱼骨状结构,其中多个鱼骨状结构分布于多个感测电极10的间隙与周边;电容感应层20,覆盖于多个感测电极10与手指感测金属层30;共同导电层40,连接多个鱼骨状结构并环绕感测区用以将信号传出;信号处理电路50,设置于感测电极10下方并与其电性连接;绝缘层60,设置于感测电极10与信号处理电路50之间;以及保护层70,覆盖电容感应层20。其中,每一鱼骨状结构至少包含一脊部31;脊部31在感测电极10阵列的一第一方向X上与感测电极10交替排列,脊部31沿着一第二方向Y延伸且第二方向Y与感测电极10阵列的第一方向X垂直;以及脊部31的至少其中一端连接至共同导电层40。于一实施例中,每一鱼骨状结构更包含至少一肋部32,肋部32从脊部31的两侧沿着第一方向X延伸并且在第二方向Y上与感测电极10交替排列;肋部32的末端形成一尖锐状端点32a(如图4A、4B所示)以及一内凹状端点32b(如图4B、4C所示)至少其中之一,例如,肋部32的末端可以是尖锐状端点32a两两相对(如图4A所示),或是尖锐状端点32a与内凹状端点32b相对(如图4B所示),或是内凹状端点32b两两相对(如图4C所示),并不受到限制;以及在两两相邻的脊部31的肋部32末端之间具有一间隙S。
根据上述内容,第三实施例与第一实施例的不同之处在于,第一实施例的手指感测金属层30跟感测电极10位于不同平面,而第三实施例的手指金属感测层30与感测电极10位于同一平面。
另外,可根据第三实施例再加入静电防护的技术特征,请同时参考图3及图2B,此处图3以及图2B用以说明本发明的第四实施例。于第四实施例中,一种电容式指纹集成电路的手指感测结构1,包含多个感测电极10、一功能金属层30’、一电容感应层20、一共同导电层40、一信号处理电路50、一绝缘层60以及一保护层70。多个感测电极10,形成一阵列用以界定一感测区;功能金属层30’,与多个感测电极10共平面设置并具有多个鱼骨状结构,多个鱼骨状结构分布于多个感测电极10的间隙与周边,其中功能金属层30’包含一手指感测金属部30’a与一ESD防护金属部30’b,且手指感测金属部30’a与ESD防护金属部30’b分别具有部分多个鱼骨状结构;电容感应层20,覆盖于多个感测电极10与功能金属层30’;共同导电层40,连接多个鱼骨状结构并环绕感测区用以将信号传出,其中共同导电层40包含相互电性隔绝的一手指感测导电部40a与一ESD防护导电部40b,且手指感测金属部30’a的多个鱼骨状结构与ESD防护金属部30’b的多个鱼骨状结构分别电性连接手指感测导电部40a与ESD防护导电部40b;信号处理电路50,设置于感测电极10下方并与其电性连接;绝缘层60,设置于感测电极10与信号处理电路50之间;以及保护层70,覆盖电容感应层20,其中每一鱼骨状结构至少包含一脊部31;脊部31在感测电极10阵列的一第一方向X上与感测电极10交替排列,且脊部31沿着一第二方向Y延伸且第二方向Y与感测电极10阵列的第一方向X垂直;以及手指感测金属部30’a的脊部31与ESD防护金属部30’b的脊部31的至少其中一端分别连接至手指感测导电部40a与ESD防护导电部40b。于一实施例中,每一鱼骨状结构至少包含至少一肋部32,肋部32从脊部31的两侧沿着第一方向X延伸并且在第二方向Y上与感测电极10交替排列;肋部32的末端形成一尖锐状端点32a(如图4A、4B所示)以及一内凹状端点32b(如图4B、4C所示)至少其中之一,例如,肋部32的末端可以是尖锐状端点32a两两相对(如图4A所示),或是尖锐状端点32a与内凹状端点32b相对(如图4B所示),或是内凹状端点32b两两相对(如图4C所示),并不受到限制;以及在两两相邻的脊部31的肋部32末端之间具有一间隙S。
根据上述内容,第四实施例与第二实施例不同之处在于,第二实施例的功能金属层30’与感测电极10位于不同平面(如图2A所示),而第四实施例的功能金属层30’与感测电极10则位于相同平面(如图2B所示)。
第三实施例以及第四实施例的其余技术特征与原理如同第一实施例及第二实施例所述,于此不予赘言。
另外,如图1及图3所示的多个鱼骨状结构的排列方式仅为一实施例,其可具有其他种不同的排列方式。图5A所示,为根据图1及图3的鱼骨状结构(包含脊部31及肋部32)的排列示意图,图5B及图5C所示的鱼骨状结构(包含脊部31及肋部32)则是其他的排列方式。图5D则是仅包含脊部31的鱼骨状结构,且呈现较不规则的排列方式。鱼骨状结构并没有固定的方面,端依使用者的需求而调整。
综上所述,本发明的一种电容式指纹感测集成电路的手指感测结构,包含了鱼骨状的手指感测金属层,利用手指接近或接触指纹感测集成电路的表面,手指与手指感测金属层所产生的电容感应,以启动指纹感测集成电路。其中,在手指感测金属层未感测到接近或接触之前,指纹感测集成电路处于休眠状态;当侦测到手指时,才将其唤醒。因此,手指感测金属层降低了指纹感测集成电路的电源消耗,尤其可应用于可携式指纹感测集成电路。
以上所述的实施例及图式仅是为说明本发明的技术思想及特点,其目的在使熟习此项技艺的人士能够了解本发明的内容并据以实施,当不能以的限定本发明的专利范围,即大凡依本发明所揭示的精神所作的均等变化或修饰,仍应涵盖在本发明的专利范围内。
Claims (22)
1.一种电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,包含:
多个感测电极,形成一阵列用以界定一感测区;
一电容感应层,覆盖该多个感测电极;
一手指感测金属层,设置于该电容感应层上并具有多个鱼骨状结构,其中该多个鱼骨状结构分布于该多个感测电极的间隙或周边;
一共同导电层,连接该多个鱼骨状结构并环绕该感测区用以将信号传出;
一信号处理电路,设置于该多个感测电极下方并与其电性连接;
一绝缘层,设置于该多个感测电极与该信号处理电路之间;以及
一保护层,覆盖该电容感应层与该手指感测金属层,其中
每一该鱼骨状结构至少包含一脊部;
该脊部在该感测电极的该阵列的一第一方向上与该多个感测电极交替排列,该脊部沿着一第二方向延伸且该第二方向与该多个感测电极的该阵列的该第一方向垂直;以及
该脊部的至少其中一端连接至该共同导电层。
2.如权利要求1所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该鱼骨状结构更包含至少一肋部,其中
该肋部从该脊部的两侧沿着该第一方向延伸并且在该第二方向上与该多个感测电极交替排列;
该肋部的末端形成一尖锐状端点以及一内凹状端点至少其中之一;以及
在两两相邻的该脊部的该肋部末端之间具有一间隙。
3.如权利要求1所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该共同导电层与该手指感测金属层为同一平面。
4.如权利要求1所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该共同导电层与该手指感测金属层电性连接至一电容电阻电路。
5.如权利要求1所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该电容感应层由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成,或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。
6.一种电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,包含:
多个感测电极,形成一阵列用以界定一感测区;
一电容感应层,覆盖于该多个感测电极;
一功能金属层,设置于该电容感应层上并具有多个鱼骨状结构,该多个鱼骨状结构分布于该多个感测电极的间隙或周边,其中该功能金属层包含一手指感测金属部与一ESD防护金属部,且该手指感测金属部与该ESD防护金属部分别具有部分该多个鱼骨状结构;
一共同导电层,连接该多个鱼骨状结构并环绕该感测区用以将信号传出,其中该共同导电层包含相互电性隔绝的一手指感测导电部与一ESD防护导电部,且该手指感测金属部的该多个鱼骨状结构与该ESD防护金属部的该多个鱼骨状结构分别电性连接该手指感测导电部与该ESD防护导电部;
一信号处理电路,设置于该多个感测电极下方并与其电性连接;
一绝缘层,设置于该多个感测电极与该信号处理电路之间;以及
一保护层,覆盖该电容感应层与该功能金属层,其中
每一该鱼骨状结构至少包含一脊部;
该脊部在该多个感测电极的该阵列的一第一方向上与该多个感测电极交替排列,该脊部沿着一第二方向延伸且该第二方向与该多个感测电极的该阵列的该第一方向垂直;以及
该手指感测导电部的该脊部与该ESD防护导电部的该脊部的至少其中一端分别连接至该手指感测导电部与该ESD防护导电部。
7.如权利要求6所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该鱼骨状结构更包含至少一肋部,其中
该肋部从该脊部的两侧沿着该第一方向延伸并且在该第二方向上与该多个感测电极交替排列;
该肋部的末端形成一尖锐状端点以及一内凹状端点至少其中之一;以及
在两两相邻的该脊部的该肋部末端之间具有一间隙。
8.如权利要求6所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该共同导电层、该功能金属层为同一平面。
9.如权利要求6所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该共同导电层的该手指感测导电部与该手指感测金属部电性连接至一电容电阻电路。
10.如权利要求6所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该共同导电层的该ESD防护导电部与该ESD防护金属部电性连接至一外部接地电压。
11.如权利要求6所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该电容感应层由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成,或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。
12.一种电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,包含:
多个感测电极,形成一阵列用以界定一感测区;
一手指感测金属层,与该多个感测电极共平面设置并具有多个鱼骨状结构,其中该多个鱼骨状结构分布于该多个感测电极的间隙与周边;
一电容感应层,覆盖于该多个感测电极与该手指感测金属层;
一共同导电层,连接该多个鱼骨状结构并环绕该感测区用以将信号传出;
一信号处理电路,设置于该多个感测电极下方并与其电性连接;
一绝缘层,设置于该多个感测电极与该信号处理电路之间;以及
一保护层,覆盖该电容感应层,其中
每一该鱼骨状结构至少包含一脊部;
该脊部在该多个感测电极的该阵列的一第一方向上与该多个感测电极交替排列,该脊部沿着一第二方向延伸且该第二方向与该多个感测电极的该阵列的该第一方向垂直;以及
该脊部的至少其中一端连接至该共同导电层。
13.如权利要求12所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该鱼骨状结构更包含至少一肋部,其中
该肋部从该脊部的两侧沿着该第一方向延伸并且在该第二方向上与该多个感测电极交替排列;
该肋部的末端形成一尖锐状端点以及一内凹状端点至少其中之一;以及
在两两相邻的该脊部的该肋部末端之间具有一间隙。
14.如权利要求12所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该共同导电层与该手指感测金属层为同一平面。
15.如权利要求12所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该共同导电层与该手指感测金属层电性连接至一电容电阻电路。
16.如权利要求12所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该电容感应层由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成,或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。
17.一种电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,包含:
多个感测电极,形成一阵列用以界定一感测区;
一功能金属层,与该多个感测电极共平面设置并具有多个鱼骨状结构,该多个鱼骨状结构分布于该多个感测电极间的间隙与周边,其中该功能金属层包含一手指感测金属部与一ESD防护金属部,且该手指感测金属部与该ESD防护金属部分别具有部分该多个鱼骨状结构;
一电容感应层,覆盖于该多个感测电极与该功能金属层;
一共同导电层,连接该多个鱼骨状结构并环绕该感测区用以将信号传出,其中该共同导电层包含相互电性隔绝的一手指感测导电部与一ESD防护导电部,且该手指感测金属部的该多个鱼骨状结构与该ESD防护金属部的该多个鱼骨状结构分别电性连接该手指感测导电部与该ESD防护导电部;
一信号处理电路,设置于该感测电极下方并与其电性连接;
一绝缘层,设置于该多个感测电极与该信号处理电路之间;以及
一保护层,覆盖该电容感应层,其中
每一该鱼骨状结构至少包含一脊部;
该脊部在该多个感测电极的该阵列的一第一方向上与该多个感测电极交替排列,该脊部沿着一第二方向延伸且该第二方向与该多个感测电极的该阵列的该第一方向垂直;以及
该手指感测导电部的该脊部与该ESD防护导电部的该脊部的至少其中一端分别连接至该手指感测导电部与该ESD防护导电部。
18.如权利要求17所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该鱼骨状结构更包含至少一肋部,其中
该肋部从该脊部的两侧沿着该第一方向延伸并且在该第二方向上与该多个感测电极交替排列;
该肋部的末端形成一尖锐状端点以及一内凹状端点至少其中之一;以及
在两两相邻的该脊部的该肋部末端之间具有一间隙。
19.如权利要求17所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该共同导电层、该功能金属层为同一平面。
20.如权利要求17所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该共同导电层的该手指感测导电部与该手指感测金属部电性连接至一电容电阻电路。
21.如权利要求17所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该共同导电层的该ESD防护导电部与该ESD防护金属部电性连接至一外部接地电压。
22.如权利要求17所述的电容式指纹集成电路的手指感测结构,其特征在于,该电容感应层由沉积法沉积硅氧氮化物所制造而成,或由氮化硅及氧化硅交替堆迭沉积所制造而成。
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