CN104236470A - 一种可以加工ф60以内绝对等厚平面的加工工艺 - Google Patents

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刘勇
刘燕妮
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Abstract

本发明公开一种可以加工Ф60以内绝对等厚平面的加工工艺，准备6件60mm×60mm的方形玻璃镜片光胶成盘，两面磨砂抛光，用平面干涉仪检测，加工到条纹在1个圈以内；反复调整排列顺序上盘，打乱顺序后先抛到最高点，再次光胶上盘，直接精抛光，这样反复3次以上；重新下盘，将1件60mm×60mm的方片等份切割成4件30mm×30mm的方片，并把相邻两件胶合成一件，进行滚圆，加工成Ф20的平片，两合成片分离后，两件完全达到没有条纹，即得到绝对等厚的平片；对剩余5件60mm×60mm的方片进行加工得到绝对等厚的平片。本发明把两件或多件平面镜片加工到绝对等厚，保证Mirau白光干涉显微镜及测量系统成功。

Description

一种可以加工Ф60以内绝对等厚平面的加工工艺
技术领域
本发明涉及镜片加工领域，具体涉及一种可以加工Ф60以内绝对等厚平面的加工工艺。
背景技术
米络干涉仪需要两片绝对等厚的平片作为主镜头，但是目前市场上根本就无法加工出两片绝对等厚的平片，现有的技术所加工出的平片在平面干涉仪上可以看到条纹，但如果绝对等厚是看不到条纹的。
发明内容
发明目的：发明的目的是提供一种加工Ф20绝对等厚平片的加工工艺，来满足高精度精密仪器所需要到达的功能。
技术方案：为实现上述目的，本发明通过下述技术方案实现：一种加工Ф20绝对等厚平片的加工工艺，包括以下步骤：
1）准备6件60mm×60mm的方形玻璃片光胶成盘，进行两面磨砂抛光，并用平面干涉仪检测，尽量加工到条纹在1个圈以内；
2）反复调整排列顺序上盘，打乱顺序后先抛到最高点，再次光胶上盘，直接精抛光，这样反复3次以上；
3）重新下盘，将1件60mm×60mm的方片等份切割成4件30mm×30mm的方片，并把相邻两件胶合成一件，进行滚圆，加工成Ф20的平片，两合成片分离后，两件完全可以达到没有条纹，即得到绝对等厚的平片；
4）重复步骤3）的方法对剩余5件60mm×60mm的方片进行加工得到绝对等厚的平片。
所述步骤1）磨砂抛光后的粗糙度为302砂，中心厚度差为0.01mm。
所述步骤2）精抛光后的粗糙度为为1.6mm，中心厚度误差为0.005mm。
所述步骤3）滚圆后的粗糙度为3.2mm，加工后玻璃镜片中心厚度差0.03mm。
所述平片厚度为20-70mm。
有益效果：与现有技术相比，本发明的优点如下：本发明可以把两件或多件平面镜片加工到绝对等厚，并保证Mirau白光干涉显微镜及测量系统的成功。为了实现两片光学平镜完全等厚，来满足高精度精密仪器所需要到达的功能，该发明已经通过仪器制造商的充分认可，该MIAU白光干涉显微镜干涉仪也已申请并通过发明专利其专利号为ZL 2012.2.0363110.0。
附图说明
图1 6件60mm×60mm的方片光胶成盘图。
具体实施方式
下述非限制性实施例可以使本领域的普通技术人员更全面地理解本发明，但不以任何方式限制本发明。
实施例1  
一种加工Ф20绝对等厚平片的加工工艺，包括以下步骤：
1）准备6件60mm×60mm的方形玻璃片光胶成盘，进行两面磨砂抛光，并用平面干涉仪检测，尽量加工到条纹在1个圈以内；磨砂抛光后的粗糙度为302，中心厚度差为0.01mm。
2）反复调整排列顺序上盘，打乱顺序后先抛到最高点，再次光胶上盘，直接精抛光，这样反复3次以上；精抛光后的粗糙度为为1.6mm，中心厚度误差为0.005mm。
3）重新下盘，将1件60mm×60mm的方片等份切割成4件30mm×30mm的方片，并把相邻两件胶合成一件，进行滚圆，加工成Ф20的平片，两合成片分离后，两件完全可以达到没有条纹，即得到绝对等厚的平片；滚圆后的粗糙度为3.2mm，加工后玻璃镜片中心厚度差0.03mm。
4）重复步骤3）的方法对剩余5件60mm×60mm的方片进行加工，得到绝对等厚的平片，所述平片厚度为20mm。
5）检验：6件Ф20平片的平行度差为0。
 
实施例2
一种加工Ф20绝对等厚平片的加工工艺，包括以下步骤：
1）准备6件60mm×60mm的方形玻璃片光胶成盘，进行两面磨砂抛光，并用平面干涉仪检测，尽量加工到条纹在1个圈以内；磨砂抛光后的粗糙度为302，中心厚度差为0.01mm。
2）反复调整排列顺序上盘，打乱顺序后先抛到最高点，再次光胶上盘，直接精抛光，这样反复3次以上；精抛光后的粗糙度为为1.6mm，中心厚度误差为0.005mm。
3）重新下盘，将1件60mm×60mm的方片等份切割成4件30mm×30mm的方片，并把相邻两件胶合成一件，进行滚圆，加工成Ф20的平片，两合成片分离后，两件完全可以达到没有条纹，即得到绝对等厚的平片；滚圆后的粗糙度为3.2mm，加工后玻璃镜片中心厚度差0.03mm。
4）重复步骤3）的方法对剩余5件60mm×60mm的方片进行加工，得到绝对等厚的平片，所述平片厚度为70mm。
5）检验：6件Ф20平片的平行度差为0。
 
实施例3
一种加工Ф20绝对等厚平片的加工工艺，包括以下步骤：
1）准备6件60mm×60mm的方形玻璃片光胶成盘，进行两面磨砂抛光，并用平面干涉仪检测，尽量加工到条纹在1个圈以内；磨砂抛光后的粗糙度为302，中心厚度差为0.01mm。
2）反复调整排列顺序上盘，打乱顺序后先抛到最高点，再次光胶上盘，直接精抛光，这样反复3次以上；精抛光后的粗糙度为为1.6mm，中心厚度误差为0.005mm。
3）重新下盘，将1件60mm×60mm的方片等份切割成4件30mm×30mm的方片，并把相邻两件胶合成一件，进行滚圆，加工成Ф20的平片，两合成片分离后，两件完全可以达到没有条纹，即得到绝对等厚的平片；滚圆后的粗糙度为3.2mm，加工后玻璃镜片中心厚度差0.03mm。
4）重复步骤3）的方法对剩余5件60mm×60mm的方片进行加工，得到绝对等厚的平片，所述平片厚度为45mm。
5）检验：6件Ф20平片的平行度差为0。

Claims (5)

1.一种加工Ф20绝对等厚平片的加工工艺，其特征在于，包括以下步骤：
1）准备6件60mm×60mm的方形玻璃镜片光胶成盘，进行两面磨砂，然后粗抛抛光，并用平面干涉仪检测，尽量加工到条纹在1个圈以内；
2）反复调整排列顺序上盘，打乱顺序后先抛到最高点，再次光胶上盘，直接精抛光，这样反复3次以上；
 3）重新下盘，将1件60mm×60mm的方片等份切割成4件30mm×30mm的方片，并把相邻两件胶合成一件，进行滚圆，加工成Ф20的平片，两合成片分离后，两件完全可以达到没有条纹，即得到绝对等厚的平片；
4）重复步骤3）的方法对剩余5件60mm×60mm的方片进行加工得到绝对等厚的平片。
2.根据权利要求1所述的一种加工Ф20绝对等厚平片的加工工艺，其特征在于，所述步骤1）磨砂抛光后的粗糙度为302砂，中心厚度差为0.01mm。
3.根据权利要求1所述的一种加工Ф20绝对等厚平片的加工工艺，其特征在于，所述步骤2）精抛光后的粗糙度为1.6mm，中心厚度误差为0.005mm。
4.根据权利要求1所述的一种加工Ф20绝对等厚平片的加工工艺，其特征在于，所述步骤3）滚圆后的粗糙度为3.2mm，加工后玻璃镜片中心厚度差0.03mm。
5.根据权利要求1所述的一种加工Ф20绝对等厚平片的加工工艺，其特征在于，所述平片厚度为20-70mm。
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