CN104221278A - 电动机控制装置及其自动调整法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够减轻操作者的负担，且能够自动调整实现稳定动作的控制参数的电动机控制装置及其自动调整方法。在控制参数自动调整装置中，提供检测电机停止中的电机振动和电机移动中的电机振动，在抑制电机振动的同时，反复进行自动调整，直至在振动振幅量和过冲量处于用户设定的允许值范围内时得到适当的控制参数的调整法和装置。

Description

电动机控制装置及其自动调整法

技术领域

本发明涉及电动机控制装置及其自动调整法。

背景技术

作为自动调谐反馈控制参数和前馈控制参数的第一现有技术，已有专利文献1。在该第一现有技术中，公开了一种电动机控制装置，不需要上位指令装置，在调整控制参数时，生成基本动作模式，输出使该基本模式反复设定的次数的连续运转模式。

此外，作为第二现有技术，已知专利文献2。该第二现有技术中提供一种调整法和装置，其不需要上位指令装置，生成基本动作模式，反复进行自动调整，直至使反馈控制参数和前馈控制参数，在振动振幅量和过冲量为用户设定的允许值范围内时，成为适当的控制参数。

进一步，作为第三现有技术，已知专利文献3。在该第三现有技术中，公开了使追踪性参数以第一间隔依次变化而进行定位控制，由此测定稳定特征量，之后以比第一间隔小的间隔使追踪性参数增减，搜索控制参数的方式。

作为检测电机振动的第四现有技术，已知专利文献4。在该第四现有技术中，对电机停止时从编码器输出的当前位置信号以位置指令值为中心是否过于前进或是否过于回退的往复动作的发生次数进行计数，在该计数结果超过某阈值时认为发生电机振动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－23946号公报

专利文献2：日本特开2007－135344号公报

专利文献3：日本特开2009－122778号公报

专利文献4：日本特开平09－258831号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

在专利文献1中，公开了输出使生成的基本动作模式反复设定的次数的连续运转模式的电动机控制装置。如果错误设定基本动作模式的设定次数，则在控制参数调整过程中，基本动作模式的输出可能就会结束。此时，需要进一步调整控制参数，存在对操作者造成负担的问题。

此外，在专利文献2中，提供反复进行自动调整，直至在振动振幅量和过冲量处于用户设定的允许范围内时得到适当的控制参数的调整法和装置。另一方面，没有关注电机移动→停止时刻以外的电机振动检测。在控制参数调整时，在电机停止中、电机移动中都存在电机振动，随着控制参数增加，存在从电机产生很大噪声的可能性，电机停止中、电机移动中的电机振动也需要检测。

在专利文献3所示的方式中使用稳定特征量，但该稳定特征量具体的是定位稳定时间、过冲量、剩余振动振幅、高频振动振幅(参照专利文献3的0016段)。剩余振动振幅是表示为位置指令与检测位置的偏差的低频振动的振幅值，因此动态状态下的振幅波形较小，动态振动检测是非常困难的。

另一方面，专利文献4中也记载了电机振动的检测方法，但是此处仅着眼于电机停止时的电机振动检测方法。该方法中，不检测电机移动时的电机振动，因此在电机移动中发生电机振动时，会产生很大噪声同时驱动电机。

本发明鉴于上述问题而提出，其目的在于提供一种电动机控制装置及其自动调整法，其能够减轻操作者的负担，并且能够自动调整实现稳定动作的控制参数。

用于解决技术问题的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明例如采用权利要求所记载的结构。表示其一个例子如下，一种电动机控制装置，其特征在于，包括：驱动与驱动对象结合的电动机的电力转换器；位置控制器，其根据位置指令值与所述电动机的位置检测值的偏差输出位置控制器输出；输入所述位置指令值，输出位置前馈信号的位置前馈控制器；将所述位置控制器输出和所述位置前馈信号相加，输出速度指令值的加法器；根据所述速度指令值与所述电动机的速度检测值的偏差，输出转矩电流指令值的速度控制器；根据所述转矩电流指令值与供给至所述电动机的转矩电流检测值的偏差，调整所述电力转换器的输出电流的电流控制器；和输出预先登记的多个位置指令模式作为对所述位置控制器的位置指令的参数调谐部，

所述参数调谐部，

具有电机振动判断部，其判断所述位置指令值与所述位置检测值的偏差的微分是否满足预先设定的振动条件，在满足振动条件的情况下判断为存在电机振动，在不满足振动条件的情况下判断为没有电机振动，并输出判断结果，当向所述位置控制器输出所述多个位置指令模式来驱动所述电动机，调整前馈增益时，将所述电机振动判断部的输出为不满足振动条件且过冲量为规定值以下的最大的前馈增益，设定为控制参数。

发明效果

根据本发明，能够提供能够减少操作者的负担，并且能够自动调整实现稳定动作的控制参数的电动机控制装置及其自动调整法。

上述以外的技术问题、结构、效果通过以下的实施方式的说明能够变得明确。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施例的电动机控制装置的前馈控制参数的自动调整法的控制框图。

图2是表示进行前馈控制和位置前馈控制参数自动调整的调谐部和生成位置指令模式的位置指令生成部的控制框图。

图3是第一实施例的反馈控制部的流程图之一。

图4是第一实施例的反馈控制部的流程图之二。

图5是振动振幅、稳定时间、过冲量的测定处理流程图之一。

图6是振动振幅、稳定时间、过冲量的测定处理流程图之二。

图7是振动振幅、稳定时间、过冲量的测定处理说明波形图。

图8是在电机振动时产生的位置指令波形、位置偏差波形、位置偏差微分波形的说明波形图。

图9是电机振动检测处理部的流程图之一。

图10是电机振动判断部的流程图之二。

图11是电机振动判断部的流程图之三。

图12是电机振动判断部的流程图之四。

图13是电机振动判断部的说明波形图。

图14是发生电机振动时的电机移动中振动波形和电机停止中振动波形的电机振动振幅判断水平的划分说明波形图。

图15是电机振动检测处理部的噪声对策说明波形图。

图16是电机振动判断部的噪声对策说明波形图。

图17是电机振动判断部的电机振动频率监视法的说明波形图。

图18是第二实施例的前馈增益与稳定时间、过冲量的关系说明图。

图19是第二实施例的前馈增益Kff的自动调整法的处理流程图。

图20是第二实施例的前馈时间常数、极限前馈增益Kff_bd、稳定时间的关系图。

图21是极限前馈增益Kff_bd搜索流程图之一。

图22是极限前馈增益Kff_bd搜索流程图之二。

图23是极限前馈增益Kff_bd搜索流程图之三。

图24是最佳前馈时间常数Tff_opt搜索用数据结构说明图。

图25是最佳前馈时间常数Tff_opt搜索过程说明图。

图26是反馈控制参数自动调整功能设定画面的例子。

图27是位置前馈控制参数自动调整功能设定画面的例子。

图28是本实施方式的电动机控制装置的整体系统结构图。

具体实施方式

说明本发明的实施方式。大致地说明本实施方式，其特征在于，在控制参数自动调整装置中，提供检测电机停止中的电机振动和电机移动中的电机振动，在抑制电机振动的同时，反复进行自动调整，直至在振动振幅量和过冲量处于用户设定的允许值范围内时，得到适当的控制参数的调整法和装置。

详细内容通过下述实施例的说明能够理解，其能够得到以下的效果。即，首先，对于伴随控制参数增加的电机振动的产生，通过调整控制参数，能够抑制电机振动。此外，能够在抑制电机振动的同时，在短时间内调整自动生成的位置指令模式的反馈控制参数。此外，关于频繁利用的特定的位置指令模式，能够在抑制电机振动的同时，进行使稳定时间最小化的前馈控制参数的自动调整。进一步，对于用户事前登记的多个位置指令模式，能够使过冲量为规定值以下。

另外，作为本发明的实施方式说明的电动机控制装置及其自动调整法，在自动调整反馈控制参数时，对位置控制响应频率和速度控制响应频率这两个控制参数进行调整，但其调整顺序无论是将其中哪一个先进行调整都能够得到最佳的控制参数。在实施例1中表示了在调整位置控制响应频率之后，调整速度响应频率的顺序的实施例。

实施例1

图1是表示本发明的第一实施例的电动机控制装置的自动调整法的控制框图。第一实施例的目的在于自动调整反馈控制参数。

在图1中，作为驱动源的电动机1和驱动对象负载2由连结轴3连结。为了向电动机1供给电力而安装有电力转换装置4，利用从该电力转换装置4供给的电流驱动电动机1。在电动机1安装有输出电动机1的位置检测值θ_M的位置检测器5，设置有运算来自后述的上位指令装置的位置指令值θ_M*与电动机1的位置检测值θ_M的位置偏差θ_e的减法器6。来自减法器7的位置偏差θ_e向位置控制器7输出，该位置控制器7根据位置偏差θ_e输出速度指令值ω_M*。

位置检测器5输出的位置检测值θ_M输入至速度检测器8，该速度检测器8输出电动机1的速度检测值ω_M。此外，设置有运算速度指令值ω_M*与电动机1的速度检测值ω_M的速度偏差ω_e的减法器9，该速度偏差ω_e输入速度控制器10。速度控制器10根据输入的速度偏差ω_e输出转矩电流指令值I_q*。

在电力转换装置4与电动机1之间，安装有检测向电动机1供给的转矩电流指令值I_q的电流检测器11，检测出的电流值被送向运算器12。运算器12运算转矩电流指令值I_q与由电流检测器11检测出的转矩电流检测值I_q的电流偏差I_e。该电流偏差I_e被输入至电力控制器13。电力控制器13根据电流偏差I_e调整电力转换器4的输出电流。

在这样的电动机控制装置中，设置有输出与位置指令对应的速度指令值的位置前馈控制部14。该位置前馈控制部14根据位置指令θ_M*输出速度指令值ω_M*。进一步，设置有反馈和前馈控制参数调谐部15，其生成位置指令θ_M*，自动调整位置控制器7、速度控制器10和位置前馈控制部14的参数。

该调谐部输入上述位置偏差θ_e，输出位置指令值θ_M*、在位置控制7设定的位置响应频率和在速度控制器10设定的速度响应频率、在位置前馈控制部设定的位置前馈增益和位置前馈时间常数。

图2表示图1所示的反馈控制和位置前馈控制参数调谐部15的框图。

位置指令由用户设定，位置指令生成部151根据由用户设定的位置指令模式生成具体的位置指令θ_M*。

此外，包括：电机振动判断部152，将从减法器6输出的位置偏差θ_e作为输入，检测有没有从电动机产生的电机振动；反馈控制参数调谐部153将位置偏差θ_e和从152输出的电机振动检测标志flg_mvib作为输入，使用后述的算法自动调整最佳位置控制响应频率和最佳速度控制响应频率。

进一步，包括：电机振动检测振动振幅量判断值切换部154，将用户设定的位置指令值θ_ref*和从位置指令生成部151输出的位置指令值θ_M*作为输入，判断是处于电机移动中或电机停止中的哪一个，在电机停止中、电机移动中的各个情况下，输出不同的电机振动检测振动振幅量判断值；和前馈控制参数调谐部155，将位置偏差θ_e和从电机振动判断部152输出的电机振动检测标志flg_mvib作为输入，使用后述的算法自动调整最佳位置前馈增益和最佳位置前馈时间常数。

在反馈控制参数调谐部153的内部，具有后述的反馈控制参数的自动调整算法。其基本動作，在位置指令施加时的位置偏差振动振幅量处于不超过用户设定的规定值例如允许值的范围内，且作为电机振动判断部的出力的电机振动检测标志flg_mvib为(“没有发生电机反复振动”)的状态时，使得位置响应频率和速度响应频率最大化。

图3和图4是第一实施例的反馈控制参数的自动调整流程图。使用该图，说明反馈控制参数的自动调整算法。

在图4中，Fs_min是用户设定的最小速度响应频率，Fs_max是用户设定的最大速度响应频率，Fs_div是用户设定的速度响应频率增加阶步(Step)。意味着在后述的调整时，使速度响应频率从Fs_min到Fs_max以Fs_div的阶步增加在此同时进行调整。

同样，Fp_min是用户设定的最小位置响应频率，Fp_max是用户设定的最大位置响应频率，Fp_div是用户设定的位置响应频率增加阶步。意味着在后述的调整时，使位置响应频率从Fp_min到Fp_max以Fp_div的阶步增加在此同时进行调整。

此外，θ_vib是用户设定的位置偏差θ_e的振动振幅允许值。Fs是在速度控制器10设定的当前的速度响应频率，Fp是在位置控制器7设定的当前的位置响应频率。Fp_vo是振动极限的最大位置响应频率，记录位置偏差波形的振动振幅量为允许值θ_vib以下，或检测出没有电机振动的最大的位置响应频率。Fs_vl是通过调整最终求得的最佳速度响应频率，Fp_vl是通过调整最终求得的最佳位置响应频率，标志flag_fpmax为“开(ON)”的情况下，表示位置偏差波形的振动振幅为允许值θ_vib以下，且没有检测到电机振动就达到最大位置响应。

本流程图中的调整的基本想法是，将位置响应频率和速度响应频率，在不引发位置偏差波形的振动的范围内、且不检测出电机振动的范围内，尽可能地设定得较高。此外，根据经验可知，在使位置响应频率逐渐升高的过程中，即使在位置偏差波形产生振动，或者检测出电机振动，通过稍微提高速度响应频率，能够降低上述位置偏差波形的振动，或者能够抑制电机振动。

于是，为了利用该经验，在位置偏差波形发生振动时，或电机振动反复发生时，使速度响应频率Fs以速度响应频率增加阶步Fs_div变高，进行位置偏差波形的振动或反复发生的电机振动的再评价。

接着，按顺序说明图3的流程图。图3中，在处理20开始反馈控制参数的自动调整，在处理21实施各变量的初始化。初始化处理21中，将Fs_min代入Fs，设定为使得速度响应频率从最小速度响应频率Fs_min开始。同样地，将Fp_min代入Fp，设定为使位置响应频率从最小位置响应频率Fp_min开始。

进一步，将振动极限的最大位置响应频率Fp_vo初始化为最小位置响应频率Fp_min，将标志flag_fpmax初始化为“OFF(关)”，进行处理22。处理22中，以位置指令值θ_M*作为输入，驱动电动机，进行处理23。处理23中，测定将在处理22生成的位置指令作为图1的位置指令值θ_M*施加时的位置偏差θ_e的振动振幅，进行处理24。对于该位置偏差θ_e的振动振幅的测定方法在后面说明。在处理24中，使用作为来自图2的电机振动判断部152的输出的电机振动检测标志flg_mvib检测电机振动是否反复发生。该电机振动的检测方法在后面说明。

接着，在判断处理25中，判断在处理24中是否反复发生电机振动。在判断处理25中，没有发生电机振动的情况下，进行处理26。在处理26中，判断位置偏差θ_e的振动振幅是否为允许值θ_vib以下。在判断处理26中位置偏差θ_e的振动振幅为允许值θ_vib以下的情况下，进行处理27。在判断处理27中，判断当前的位置响应频率Fp是否低于最大位置响应频率Fp_max，如果是则进行处理28。在处理28中使当前的位置响应频率增加位置响应频率增加阶步，进行处理22。

另一方面，在判断处理27中当前的位置响应频率Fp为最大位置响应频率Fp_max以上的情况下，进行处理29。在处理29中，将标志flag_fpmax设定为“ON(开)”，表示在位置偏差波形的振动振幅为允许值θvib以下、且没有检测到电机振动地达到最大位置响应频率，进行判断处理30。

在判断处理30中，判断当前的速度响应频率Fs是否低于最大速度响应频率Fs_max，如果是则进行处理31。在处理31中，使当前的速度响应频率增加速度响应频率增加阶步Fs_div，进行处理22。

另一方面，在判断处理30中当前的位置响应频率Fp为最大速度响应频率Fs_max以上时，意味着位置响应频率和速度响应频率，在位置偏差波形的振动振幅为允许值θvib以下、且没有检测到电机振动地达到了最大值，进行处理32。在处理32中，对最佳速度响应频率Fs_vl和最佳位置响应频率Fp_vl，分别代入当前的速度响应频率Fs、当前的位置响应频率Fp之后，进行处理33而结束。

在判断处理26中振动振幅不是允许值θ_vib以下的情况下，进行处理34。在判断处理34中，检查flag_fpmax，确认是否在位置偏差波形的振动振幅为允许值θ_vib以下时达到最大位置响应。此处，在不是flag_fpmax＝OFF时，意味着在位置偏差波形的振动振幅为允许值θ_vib以下时达到最大位置响应，之后，提高速度响应频率直至位置偏差波形的振动振幅超过允许值θ_vib，进行处理35。在处理35中，对最佳速度响应频率Fs_vl，为了设定为位置偏差波形的振动振幅为允许值θvib以下的条件，代入从当前的速度响应频率Fs减去速度响应频率增加阶步Fs_div的值，之后进行33而结束。

在判断处理34中，在flag_fpmax＝OFF的情况下，进行判断处理36，比较当前的位置响应频率Fp和上述振动极限的最大位置响应频率Fp_vo。此处，在“Fp>Fp_vo”不成立时，意味着当前的位置响应频率Fp超过振动极限的最大位置响应频率Fp_vo的条件不存在，进行处理35。在判断处理36中“Fp>Fp_vo”成立的情况下，进行判断处理37。

在判断处理37中，判断当前的速度响应频率Fs是否低于最大速度响应频率Fs_max，如果是则进行处理38。在处理38中，使当前的速度响应频率Fs增加速度响应频率增加阶步Fs_div，减少位置偏差波形的振动振幅。进一步，为了使位置偏差波形的振动振幅一定为允许值θ_vib以下，使当前的位置响应频率Fp减少位置响应频率增加阶步Fp_div，进行处理39。在处理39中，作为振动极限的最大位置响应频率Fp_vo记录当前的位置响应频率Fp，为了进一步提高位置响应频率进行处理22。

在判断处理37中当前的速度响应频率Fs为最大速度响应频率Fs_max以上时，意味着当前的速度响应频率Fs不能够进一步增加，进行处理40。在处理40中，对最佳速度响应频率Fs_vl代入当前的速度响应频率Fs。进一步，对最佳位置响应频率Fp_vl，为了使位置偏差波形的振动振幅一定为允许值θ_vib以下，将当前的位置响应频率Fp减少位置响应频率增加阶步Fp_div之后，进行33而结束。

在判断处理25中判断为检测到电机振动的状态的情况下，进行处理41。在判断处理41中，检查flag_fpmax，确认是否在没有检测到电机振动的状态下达到最大位置响应。在为flag_fpmax＝OFF以外的情况下，意味着没有检测到位置偏差波形的电机振动就达到最大位置响应，之后提高速度响应频率直至超过没有检测到电机振动的状态，进行处理42。

在处理42中，当前的速度响应频率，因为处于检测到电机振动的状态，从当前的速度响应频率Fs减去速度响应频率增加阶步Fs_div。此处可知，从当前的速度响应频率Fs减去速度响应频率增加阶步Fs_div而得的值，是不检测到电机振动的范围内的极限值。由此，将最大速度响应频率Fs_max记录为当前的速度响应频率Fs，由此防止在下次电动机驱动时成为检测到电机振动的状态，进行处理22。

在判断处理41中，flag_fpmax＝OFF时，进行判断处理43，比较当前的位置响应频率Fp和振动极限的最大位置响应频率Fp_vo。此处，“Fp>Fp_vo”不成立时，意味着当前的位置响应频率Fp超过振动极限的最大位置响应频率Fp_vo的条件不存在，进行处理42。在判断处理43中“Fp>Fp_vo”成立的情况下，进行处理44。

在判断处理44中，判断当前的速度响应频率Fs是否低于最大速度响应频率Fs_max，如果是则进行处理45。在处理45中，使当前的速度响应频率Fs增加速度响应频率增加阶步Fs_div，使当前的位置响应频率Fp减少位置响应频率增加阶步Fp_div，由此成为没有检测到电机振动的状态，进行处理46。在处理46中，作为振动极限的最大位置响应频率Fp_vo记录当前的位置响应频率Fp，为了进一步提高位置响应频率Fp进行处理22。

在判断处理44中当前的速度响应频率Fs为最大速度响应频率Fs_max以上时，意味着当前的速度响应频率Fs不能够进一步增加，进行处理42。

图5和图6是第一实施例的振动振幅、稳定时间、过冲量的测定处理流程图。使用该流程图，说明在反馈控制和位置前馈控制参数调谐部15中，计测需要的位置偏差波形的振动振幅、稳定时间、过冲量的方法。

在图5和图6中，timeout(超时时间)是用户设定的稳定监视超时时間，以位置偏差波形第一次零交叉的时刻为起点，在超时时间计测稳定时间的调整参数。posin_pls是用户设定的稳定判断用偏差，在位置偏差的绝对值稳定地成为posin_pls以下时，认为稳定。

此外，poserr是位置偏差，poserr_work是振动、过冲计测用位置偏差，是对位置偏差poserr进行符号调整，使得刚刚施加位置指令后的位置偏差与电动机的驱动方向无关地总是从正侧开始的状态量。flag_poserr_plus是表示刚刚施加位置指令之后的位置偏差从正侧开始的标志，在位置偏差从正开始时，flag_poserr_plus＝ON，在位置偏差从负开始时，flag_poserr_plus＝OFF。由此，在flag_poserr_plus＝ON时，poserr_work＝poserr，flag_poserr_plus＝OFF时，poserr_work＝-poserr。

poserr_min是位置偏差最小值，从位置指令刚刚结束变化之后起，直到稳定时间的计测结束的期间，总是保持该时刻的poserr_work的最小值的变量。poserr_vib是位置偏差中的振动振幅最大值，是从由“poserr_work-poserr_min”计算出的poserr_work的振动振幅总是保持最大值的变量。flag_plsin是稳定判断用偏差到达标志，位置偏差的绝对值为稳定判断用偏差posin_pls以下时，flag_plsin＝ON，不是这样的话，flag_plsin＝OFF。由此，flag_plsin_bk是稳定判断用偏差到达标志前次值，是与前次设定的flag_plsin为相同值的标志。

time_s是计测经过时间，表示将位置指令刚刚结束变化之后为起点的经过时间，time_w是稳定监视经过时间，表示以位置偏差波形第一次零交叉的时刻为起点的经过时间。St是稳定时间，在每次位置偏差的绝对值从比稳定判断用偏差posin_pls大的值变成posin_pls以下时，对St代入计测经过时间time_s。由此，如果稳定监视超时时间timeout被设定为适当的时长，则在St记录从位置指令刚刚结束变化后到位置偏差最终稳定所需要的时间。

over_shoot是电动机位置对位置指令值的过冲量，在稳定后，与poserr_min的符号反转值相等。

接着，按顺序说明图5和图6的流程图。在图5和图6中，在处理50开始流程图，在判断处理51确认位置指令θ_M*的变化。此处，在输入位置指令之前，因为位置指令没有变化，所以反复进行判断处理51，当输入位置指令时，判断为“位置指令θ_M*存在変化”，进行判断处理52。在判断处理52，判断位置指令是否一定。此处，在位置指令完全上升的时刻，位置指令成为一定值，进行判断处理53。另一方面，在位置指令上升的过程中，反复进行判断处理52。

在判断处理53中，确认位置偏差poserr的正负，如果为正则进行处理54。在处理54中，将表示上述位置偏差从正開始的标志flag_poserr_plus置位(set)为“ON(开)”，进行处理55。在处理55中，将位置偏差最小值poserr_min以位置偏差poserr初始化，进行初始化处理56。在判断处理53中，如果位置偏差poserr为负，则进行处理57，将表示位置偏差从正开始的标志flag_poserr_plus置位为“OFF(关)”，进行处理58。在处理58，将上述位置偏差最小值poserr_min以位置偏差poserr的符号反转值-poserr初始化，进行初始化处理56。在初始化处理56中，将位置偏差中的振动振幅最大值poserr_vib、计测经过时间time_s、稳定监视时间time_w、稳定判断用偏差到达标志前次值flag_plsin_bk初始化为零，进行处理59。

在处理59中，在计测经过时间time_s上加1，进行判断处理60。在判断处理60中，如果位置偏差poserr的绝对值为稳定判断用偏差posin_pls以下，则进行处理61，将稳定判断用偏差到达标志flag_plsin置位为“ON”，进行判断处理62。

在判断处理62中，判断稳定判断用偏差到达标志前次值flag_plsin_bk是否为零，如果flag_plsin_bk＝OFF，则进行处理63，在稳定时间St中存储计测经过时间time_s，进行处理65。此外，在判断处理62中，如果flag_plsin_bk＝ON，则因为已经稳定，所以不需要更新稳定时间St，进行处理65。在处理65中，对在下一次的位置偏差判断处理60中使用的，稳定时间判断用偏差到达标志前次值flag_plsin_bk，代入此次的稳定时间判断用偏差到达标志flag_plsin的值，进行判断处理66。

在判断处理66中，检查表示位置偏差从正开始的标志flag_poserr_plus。如果flag_poserr_plus＝ON，则认为位置偏差从正开始，进行处理67，直接对振动、过冲计测用位置偏差poserr_work代入位置偏差poserr，进行判断处理69。在判断处理66中，如果flag_poserr_plus＝OFF，则认为位置偏差从负开始，进行处理68，对振动、过冲计测用位置偏差poserr_work代入位置偏差poserr的符号反转值-poserr，进行判断处理69。

在判断处理69中，判断振动、过冲计测用位置偏差poserr_work是否为位置偏差最小值poserr_min以下。如果是则进行处理70，将位置偏差最小值poserr_min更新为当前的振动、过冲计测用位置偏差poserr_work，进行判断处理71。在判断处理69中，在振动、过冲计测用位置偏差poserr_work不是位置偏差最小值poserr_min以下时，不更新位置偏差最小值poserr_min，进行判断处理71。

在判断处理71中，比较此前计测出的位置偏差中的振动振幅最大值poserr_vib和“poserr_work-poserr_min”，在poserr_vib较小时进行处理72，将poserr_vib更新为“poserr_work-poserr_min”，进行判断处理73。在判断处理71中，在poserr_vib较大时，不更新poserr_vib，进行判断处理73。

在判断处理73中，为了检测位置偏差零交叉，评价位置偏差最小值poserr_min是否为零以下。此处，如果poserr_min≤0，则判断过去位置偏差进行过零交叉，进行处理74。在处理74中，在表示将位置偏差波形第一次零交叉的时刻作为起点的经过时间的稳定监视经过时间time_w上加1，进行判断处理75。在判断处理73中poserr_min≤0不成立的情况下，判断位置偏差波形一次都没有进行过零交叉，进行处理59。

在判断处理75中，比较以位置指令刚刚结束变化之后为起点的稳定监视经过时间time_w和稳定监视超时时间timeout，如果time_w≥timeout则为了结束稳定监视进行处理76。另一方面，在判断处理75中，time_w≥timeout不成立的情况下，为了继续稳定监视，进行处理59。在处理76中，作为过冲量over_shoot设定位置偏差最小值poserr_min的符号反转值-poserr_min，进行处理77，结束计测位置偏差波形的振动振幅、稳定时间、过冲量的处理。

图7是第一实施例的振动振幅、稳定时间、过冲量的计测说明波形图，使用各部分状态量的波形，以具体例子表示图5和图6的流程图的结果。在图7中，波形80是位置指令值，波形81是位置偏差poserr和振动、过冲计测用位置偏差poserr_work。波形82是稳定判断用偏差到达标志flag_plsin，波形83是位置偏差最小值poserr_min，波形84是poserr_work-poserr_min。

此外，各波形的横轴是计测经过时间time_s，将表示位置指令的波形80完全上升的时刻作为time_s＝0。此时，位置指令波形80向正方向变化，因此time_s≥0的poserr_work与位置偏差poserr相等。在此，如果位置指令波形80向负方向变化，则成为使表示poserr_work的波形81关于时间轴线对称地变换而得的波形。

此外，表示稳定判断用偏差到达标志flag_plsin的波形82，如果表示poserr_work的波形81在图表中存在于从-posin_pls到posin_pls之间，则取“ON”，在此之外的情况下取“OFF”。像该例这样，位置偏差波形振动的情况下，“OFF”和“ON”往复多次之后，特别是稳定监视超时时间timeout设定得充分长的话，最终收敛于“ON”。

此外，在每个稳定判断用偏差到达标志flag_plsin的上升沿(箭头)，将稳定时间St更新为计测经过时间time_s。稳定监视经过时间time_w是用于计测稳定监视超时时间timeout的经过时间，图中如时间轴85所示那样，以位置偏差波形81第一次零交叉的时刻作为起点。这样，与计测经过时间time_s不同地，重新设定以位置偏差波形81第一次零交叉的时刻为起点的稳定监视经过时间time_w。其理由是，从位置偏差波形零交叉的时刻到稳定所需要的时间，基本上不受位置响应频率、速度响应频率等控制参数的影响。

由此，在用户进行稳定监视超时时间timeout的设定时，不需考虑位置响应频率、速度响应频率等控制参数，设定为一定值，就能够进行稳定时间St的正确检测。此外，波形83是位置偏差最小值poserr_min，与振动、过冲计测用位置偏差poserr_work进行比较的话容易理解到，表示poserr_work的各时刻的最小值。此外，波形84是poserr_work-poserr_min，是仅将振动、过冲计测用位置偏差poserr_work中所含的振动成分抽出而得到的波形。

如果poserr_work是不伴随振动的递减波形，则poserr_work-poserr_min总是为零，由此能够理解上述内容。此外，最终要求取的位置偏差中的振动振幅最大值poserr_vib是波形84的峰值保持值。

图8是电机驱动时发生电机振动时的说明波形图。波形100是由位置指令生成部151生成的位置指令波形。波形101是位置偏差θ_e。波形102是通过对波形101进行微分而得到的位置偏差微分波形。

将波形100的位置指令值作为输入值，在由于电动机、负载、控制参数等的影响发生电机振动时，位置偏差波形成为像波形101那样振动的波形，通过波形101的微分而得到的波形102成为振动振幅量大、周期性的振动波形。

本实施例的电机振动判断方法着眼于这一点，特征在于，计测波形102的振动波形一周期的量的振动振幅量超过某任意的值时的计测次数。该计测次数在某任意的时间期间检测出某任意的次数的情况下，判断为反复发生电机振动。

图9～图12是第一实施例的电机振动检测处理152的流程图。使用该流程图，说明检测由电机振动判断部152进行的电机振动检测的流程。

图9～图12中，poserr是位置偏差θ_e，poserr_old是位置偏差θ_e的前次值，为位置偏差(前次值)。poserr_dif是根据上述位置偏差与上述位置偏差(前次值)poserr_old的差计算出的位置偏差微分值。

time_vib_cnt是电机振动时的位置偏差微分波形所示的电机振动波形一周期的量的测定时间，测定从后述的电机振动振幅最大值检测状态开始到电机振动振幅最小值检测状态结束的时间。time_vib_jdg是电机振动检测时间的合计值，在每次使后述的电机振动检测次数计数增加时，合算电机振动波形一周期的量的时间，计测检测出电机振动的期间的合计时间。time_vib_jdg_level是电机振动检测时间的判断值。电机振动在time_vib_jdg不超过time_vib_jdg_level的范围内，反复检测到某任意的次数的情况下，判断为在电机振动检测中不存在误检测，检测出了电机振动。此外，电机振动在time_vib_jdg超过time_vib_jdg_level的情况下，判断为在电机振动检测时存在误检测，不判断为反复检测到电机振动。

time_buf[vib_dtct_ov_cnt]是保存电机振动波形一周期的量的测定时间的缓冲值。在检测出电机振动，time_vib_jdg超过time_vib_jdg_level的情况下，减去time_buf[vib_dtct_ov_cnt]的量。vib_dtct_ov_cnt是电机振动检测时间过计数次数。vib_dtct_ov_cnt在time_vib_jdg每次超过time_vib_jdg_level时计数增加。vib_cnt是电机振动检测判断次数。

poserr_dif_chk_sts表示电机振动检测判断状态。poserr_dif_chk_sts＝VIB_MAX时，是测定电机振动振幅最大值的状态，poserr_dif_chk_sts＝VIB_MIN时，是测定电机振动振幅最小值的状态，poserr_dif_chk_sts＝VIB_CHK时，是根据电机振动振幅最大值与电机振动振幅最小值的关系，判断是否检测出电机振动的状态。

poserr_dif_max是poserr_dif所示电机振动波形一周期中的最大振幅值。poserr_dif_min是poserr_dif所示电机振动波形一周期中的最小振幅值。poserr_vib_level是电机振动检测振动振幅量判断值，在poserr_dif_chk_sts＝VIB_CHK的状态中，poserr_dif_max与poserr_dif_min的差超过poserr_vib_level时，使电机振动检测次数poserr_dif_vib_cnt计数增加。vib_chk_level是电机振动振幅最大最小判断水平值。

poserr_dif_vib_cnt是电机振动检测次数，表示电机振动的动作在time_vib_jdg_level的范围内多次反复地被检测到。此外，poserr_dif_vib_cnt超过电机振动检测判断次数poserr_dif_vib_cnt_jdg时，判断电机振动反复发生。vib_dtct_flg是电机振动检测状态标志，在没有检测到电机振动时，vib_dtct_flg＝OFF，在检测到电机振动时，vib_dtct_flg＝ON。

接着按顺序说明图9～图12的流程图。在图9中，在处理300开始流程图，在处理301使电机振动检测状态标志vib_dtct_flg和电机振动检测标志flgmvib为OFF(关)，电机振动检测判断状态poserr_dif_chk_sts＝VIB_MAX，进行初始化处理，进行处理302。在处理302中，根据位置偏差poserr与位置偏差(前次值)poserr_old的差，计算位置偏差微分值poserr_dif。在处理303中使位置偏差poserr为位置偏差(前次值)poserr_old，在下一处理302中作为位置偏差(前次值)poserr_old进行处理。在处理304中，对位置偏差微分值poserr_dif施加一次延迟滤波处理，抑制由高频噪声的影响引起的电机振动的误检测。在处理305中，为了测定电机振动一周期的量的时间，在time_vib_cnt上加1，进行判断处理306。

在判断处理306中，在已经判别是否处于检测到电机振动的状态，已经检测出电机振动的情况下，进入处理307的状态。在处理307中设定电机振动检测标志＝“ON”，由此输出由上述电机振动判断部检测出电机振动，进行处理308，结束电机振动检测处理。此外，在没有检测到电机振动的情况下，进行处理309。

在判断处理309中，电机振动振幅值最大值检测状态poserr_dif_chk_sts＝VIB_MAX时，进行判断处理310。在判断处理310中，在电机振动振幅值最大值poserr_dif_max小于位置偏差微分值poserr_dif时，进行处理311。在处理311中，作为电机振动振幅值最大值poserr_dif_max＝poser_dif更新电机振动振幅值最大值，进行判断处理312。

判断处理312是判断电机振动振幅值最大值检测状态是否结束的处理。电机振动时，位置偏差微分波形是正弦波波形，因此在通过位置偏差微分波形一周期中的最大值之后，位置偏差微分值逐渐变小。由此，poserr_dif_max-poser_dif值比电机振动振幅最大最小判断水平值vib_chk_level大时，判断已经取得电机振动振幅值最大值。此时，进行处理313，使得电机振动振幅值最小值检测状态poserr_dif_chk_sts＝VIB_MIN。在判断处理314中，电机振动振幅值最大值检测状态poserr_dif_chk_sts＝VIB_MIN时，进行判断处理315。

在判断处理315中，电机振动振幅值最小值poserr_dif_min比位置偏差微分值poserr_dif大时，进行处理316。在处理316，将电机振动振幅值最小值poserr_dif_min更新为当前的位置指令微分值poser_dif，进行判断处理317。

判断处理317是判断电机振动振幅值最小值检测状态是否结束的处理。电机振动时，位置偏差微分波形是正弦波波形，因此通过位置偏差微分波形一周期中的最小值之后，位置偏差微分值逐渐变大。因此，在|poserr_dif_min-poser_dif|的值比电机振动振幅最大最小判断水平值vib_chk_level大时，判断为位置偏差微分波形一周期中的电机振动振幅值最小值已取得。此时，进行处理318，使得电机振动振幅值判断状态poserr_dif_chk_sts＝VIB_CHK。

在判断处理319中，电机振动振幅值判断状态poserr_dif_chk_sts＝VIB_CHK时，进行判断处理320。在判断处理320中，根据电机振动振幅值最大值poserr_dif_max与电机振动振幅值最小值poserr_dif_min的差计算电机振动振幅量，在其值比电机振动检测振动振幅值判断值大时，认为电机进行了振动的动作，进行处理321。在处理321中，在电机振动检测次数上加1，进行处理322。在处理322中，在电机振动检测时间上加上此次的电机振动一周期的量的检测时间，进行判断处理323。

在判断处理323中，判断电机振动检测时间是否超过电机振动检测时间判断值。在电机振动检测时间超过电机振动检测时间判断值时，认为电机振动检测时存在误检测，进行处理324。在处理324中，由于电机振动误检测至少发生了一次，使电机振动检测次数计数减少。在处理325中，从电机振动检测时间减去电机振动检测时间缓冲值time_buf[vib_cnt]。由此，能够减去认为发生了电机振动误检测的时间。在处理326中，测定电机振动检测时间超过电机振动检测时间判断值的次数。在处理327中，将电机振动时间(一周期的量)time_vib_cnt保存于time_buf[vib_cnt]。在处理328中，使电机振动检测总计次数计数增加。

在判断处理329中，判断电机振动检测次数是否为电机振动检测判断次数以上。在电机振动检测次数为电机振动检测判断次数以上的情况下，进行处理330，判断电机发生了振动，将电机振动检测状态标志置位为vib_dtct_flg＝ON。在判断处理329或处理330结束后，进行处理331。

在处理331中，结束电机振动检测判断，为了再次检测电机振动一周期的量的电机振动振幅值最大值，使得电机振动振幅值判断状态poserr_dif_chk_sts＝VIB_MAX，此外，为了再次检测电机振动振幅的最大值，使电机振动振幅值最大值poserr_dif_max为能够设定的最小值，而且，为了再次检测电机振动振幅的最小值，将电机振动振幅值最小值poserr_dif_min设定为能够设定的最大值，进行处理302，反复进行电机振动检测处理。

图13是第一实施例的电机振动波形、电机振动检测_判断状态、电机振动振幅值最大值、电机振动振幅值最小值、电机振动检测振动振幅量判断值、电机振动振幅最大最小判断水平值、电机振动检测次数的计测法说明波形图，使用各状态量的波形，以具体例表示图9～图12的流程图的结果。在图13中，波形350是位置偏差微分值poser_dif，波形351是电机振动振幅值最大值poserr_dif_max，波形352是电机振动振幅值最小值poserr_dif_min，波形353是电机振动振幅值最大值poserr_dif_max与电机振动振幅值最小值poserr_dif_min的差。波形354表示电机振动检测处理处于电机振动振幅最大值检测状态、或电机振动最小值检测状态、或电机振动判断状态中的哪一种状态。

poserr_dif_chk_sts＝VIB_MAX时，检测电机振动振幅值最大值poserr_dif_max。在该状态下，在位置偏差微分值poserr_dif比电机振动振幅值最大值poserr_dif_max大时，表示位置偏差微分值从开始检测电机振动振幅值最大值起，取得了最大的值。此处，为了更新表示位置偏差微分值的最大值的电机振动振幅值最大值，使得poserr_dif_max＝poserr_dif，使poserr_dif_max增加。此时，波形355中，poserr_dif_max-poserr_dif＝0，表示电机振动振幅值最大值处于增加状态。波形350的位置偏差微分值poserr_dif减少，位置偏差微分值poserr_dif比电机振动振幅值最大值poserr_dif_max小时，波形351的电机振动振幅值最大值不更新。此外，波形355中，poserr_dif_max-poserr_dif变得比0大，逐渐增加。在波形355中，poserr_dif_max-poserr_dif增加，变得比电机振动振幅最大最小判断水平值vib_chk_level大时，认为已取得电机振动振幅值最大值，电机振动最小值检测状态poserr_dif_chk_sts＝VIB_MIN。

在波形354中，poserr_dif_chk_sts＝2时，如波形352所示检测电机振动振幅值最小值。在该状态中，位置偏差微分值poserr_dif比电机振动振幅值最小值poserr_dif_min大时，使得poserr_dif_min＝poser_dif，poserr_dif_min也逐渐增加。此时波形355中，poserr_dif-poserr_dif_min＝0，表示电机振动振幅值最小值处于减少状态。

波形350的位置偏差微分值poserr_dif变小时，波形352的电机振动振幅值最小值不更新。此外，波形355中，poserr_dif-poserr_dif_min变得比0大，逐渐增加。

波形355中，poserr_dif-poserr_dif_min逐渐增加，变得比电机振动振幅最大最小判断水平值vib_chk_level大时，认为已取得电机振动振幅值最小值，使得电机振动最小值检测状态poserr_dif_chk_sts＝VIB_CHK。

在波形354中，poserr_dif_chk_sts＝VIB_CHK时，根据波形351电机振动振幅值最大值poserr_dif_max和波形352电机振动振幅最小值poserr_dif_min的和计算出波形353所示的电机振动振幅值poserr_dif_max+poserr_dif_min。电机振动振幅量poserr_dif_max+poserr_dif_min比电机振动检测振动振幅量判断值poserr_vib_level大时，如波形356所示使电机振动检测次数poserr_dif_vib_cnt计数增加。反复进行该处理，在电机振动检测次数超过某任意的值时，判断检测到电机振动，使电机振动检测标志vib_dtct_flg为ON(开)。

图14中，说明电机移动中、电机停止中的电机振动检测振动振幅量判断值的切换方法。在图14中，波形360表示位置指令波形，波形361表示位置指令差波形，波形362表示位置偏差波形，波形363表示位置偏差微分波形图，波形364表示电机振动振幅水平。

波形362是位置指令值θ_M*与位置检测值θ_M的位置偏差波形，波形363是将波形362微分而得的位置偏差微分波形。波形363中，电机移动中位置偏差微分波形也是振动波形，但显示电机振动微小的状态。此时，电机移动中不会产生电机振动音，不需要作为电机振动检测。另一方面，在电机停止中，产生电机振动音，因此需要作为电机振动检测。

此处，说明使电机停止中和电机移动中的电机振动水平为相同值的情况。在将电机停止中的电机振动水平设定为电机振动检测振动振幅量判断值时，即使是电机移动中不产生电机振动音的情况，也可能误检测为电机振动。另一方面，在将电机移动中的电机振动水平设定为电机振动检测振动振幅量判断值时，仅能够将电机停止中的电机振动较大的情况检测为电机振动。因此，判断电机振动的电机振动检测振动振幅量判断值需要在电机移动中和电机停止中具有不同的值。

为了将电机振动检测振动振幅量判断值在电机移动中和电机停止中设定为不同的值，需要区别电机移动中和电机停止中的情况。本实施方式中，用户事前输入位置指令值，驱动电机，因此位置指令值θ_M*的最终值是预先知道的。即，输入的位置指令值θ_M*与用户设定的位置指令值θ_ref*一致时，停止位置指令值θ_M*，可知电机从移动中移动到停止动作。

即，位置指令值θ_M*和用户设定的位置指令值θ_ref*不同时，判断处于电机移动中，将电机振动检测振动振幅量判断值设定为适于电机移动中的值，在位置指令值θ_M*与用户设定的位置指令值θ_ref*一致时，判断为电机停止中，将电机振动检测振动振幅量判断值设定为适于电机停止中的值，由此能够切换电机振动水平。

由此，能够防止下述误检测：在将电机停止中的电机振动水平设定为电机振动检测振动振幅量判断值时，即使是在电机移动中不产生电机振动音时，也可能误检测为电机振动；另一方面，在将电机移动中的电机振动水平设定为电机振动检测振动振幅量判断值时，仅能够检测出电机停止中的电机振动较大的情况。

图15说明电机振动周期性发生时的电机振动判断方法，图16说明防止在由于噪声的影响而非周期性地发生电机振动时，错误检测为电机振动的方法。图15中，波形370表示位置指令波形，波形371表示电机振动发生时的位置偏差波形，波形372表示电机振动发生时的位置偏差微分波形。此外，波形373表示检测到电机振动时的电机振动检测次数，波形374表示电机振动检测状态标志。

此外，在图16中，波形375表示位置指令波形，波形376表示受到噪声影响时的位置偏差波形，波形377表示受到噪声影响时的位置偏差微分波形，波形378表示检测到电机振动时的电机振动检测次数，波形379是电机振动检测状态标志。

电机振动频率fvib的电机振动，以电机振动检测判断次数poserr_dif_vib_jdg反复被检测为电机振动时，电机振动反复被检测出的合计时间tvib使用(1)式表示。

[数学式1]

$\mathrm{poserr}\_\mathrm{dif}\_\mathrm{vib}\_\mathrm{cnt}\_\mathrm{jdg}\×\frac{1}{f_{\mathrm{vib}}}=t_{\mathrm{vib}}...\left(1\right)$

此处，使电机振动检测判断次数poserr_dif_vib_jdg为一定值，在电机振动周波数fvib变大时，根据(1)式，反复检测出电机振动的时间tvib变小。此外，电机振动周波数fvib成为比速度响应频率Fs大的值，本实施例的速度响应频率的最小值为Fs_min，因此可知反复检测出电机振动的合计时间tvib满足式(2)。

[数学式2]

$\mathrm{poserr}\_\mathrm{dif}\_\mathrm{vib}\_\mathrm{cnt}\_\mathrm{jdg}\×\frac{1}{f_{\mathrm{vib}}}=t_{\mathrm{vib}}\≤\mathrm{poserr}\_\mathrm{dif}\_\mathrm{vib}\_\mathrm{cnt}\_\mathrm{jdg}\×\frac{1}{f_{\mathrm{asr}\_\min }}...\left(2\right)$

根据(2)式，如果事前适当地设定电机振动检测判断次数poserr_dif_vib_jdg和反复检测出电机振动的时间tvib，能够抑制电机振动检测的误检测。另外，只要关于tvib能够满足(2)式成立的条件，能够任意地进行设定。

输入波形370所示的位置指令值波形，如波形371所示的位置偏差波形那样发生电机振动时，波形372的电机振动振幅量超过电机振动值振动量判断值的电机振动检测处理周期性发生。在检测到电机振动时对波形373所示的电机振动检测次数poserr_dif_vib_cnt加1。波形373在电机振动检测时间判断值time_vib_jdg_level内超过电机振动检测判断次数poserr_dif_vib_cnt_jdg时判断为反复检测到电机振动，以波形374表示反复检测到电机振动的状态，因此输出“ON(开)”。

另一方面，输入波形375所示的位置指令值波形，由于波形376所示的噪声的影响，发生电机振动时，波形377中表示位置偏差微分波形的电机振动振幅量超过电机振动值振动量判断值的情况不定期发生。即使是在由于噪声的影响而误检测出电机振动的情况下，也对以波形378所示的电机振动检测次数poserr_dif_vib_cnt加1。电机振动检测次数poserr_dif_vib_cnt在电机振动检测时间判断值time_vib_jdg_level内超过电机振动检测判断次数poserr_dif_vib_cnt_jdg时，判断为反复检测出电机振动。在由于噪声的影响而误检测出电机振动时，电机振动检测是不定期的，因此电机振动检测次数poserr_dif_vib_cnt为波形378那样。在波形378中，电机振动检测次数poserr_dif_vib_cnt在电机振动检测时间判断值time_vib_jdg_level内没有超过电机振动检测判断次数poserr_dif_vib_cnt_jdg，因此不判断为反复检测到电机振动。

由此，如果适当地设定某任意的时间、某任意的电机振动检测次数，由噪声的影响而发生的电机振动检测不会被判断为反复发生电机振动，在波形379不会输出表示反复检测出电机振动的状态的“ON”，而是保持为“OFF(关)”。

图17是电机振动检测处理中，电机振动检测时间time_vib_jdg超过电机振动检测时间判断值time_vib_jdg_level的情况的说明波形图。波形380是电机振动时的位置偏差微分波形，波形381是电机振动检测判断时的电机振动振幅水平，波形382是电机振动检测次数，波形383是电机振动检测时间time_vib_jdg，波形384是电机振动检测时间缓冲值time_buf[vib_cnt]。

如波形380所示，从位置偏差微分的振动值大的状态起，位置偏差微分的振动量逐渐变小时，波形381超过电机振动检测水平判断值的期间，如波形382所示电机振动检测次数逐渐增加。同时，如波形383所示，在每次检测到电机振动时，加上电机振动一周期的量的电机振动检测时间。波形383超过电机振动检测时间判断值时，表示没有检测出电机振动在某任意时间以内反复检测出某任意次数的电机振动检测次数。

此时，如果适当设定某任意的时间、某任意的检测次数，则能够判断存在电机振动的误检测。在判断为误检测出电机振动时，将电机振动检测次数减1。波形384中，将检测出电机振动时的电机振动一周期的量的检测时间作为缓存保持。在判断为存在电机振动误检测时，将从电机振动检测时间减去作为电机振动检测开始第一次的电机振动检测时间的电机振动检测时间缓冲值而得的值作为电机振动检测时间。通过反复进行该处理，检测电机振动周期性发生的电机振动检测。

实施例2

在上述本实施方式中，在自动调整前馈控制参数时，对位置前馈增益和位置前馈时间常数这两个控制参数进行调整，但其调整顺序无论是哪一个在先调整都能够得到最佳控制参数。在实施例2中，表示反复进行调整位置前馈增益之后，变更位置前馈时间常数，再次调整位置前馈增益的流程的调整法的实施例。

作为前提的系统与图1所示的第一实施例同样，因此省略详细说明。

在第二实施例中，在第一实施例的反馈控制参数的自动调整之外，还进行位置前馈控制参数的自动调整。向位置前馈控制器的输入输出关系，在使拉普拉斯算子为s时，能够使用作为控制器的参数的前馈增益Kff和前馈时间常数Tff以(3)式表示。

[数学式3]

${\mathrm{\ω}}_{\mathrm{FF}}^{*}=\frac{s\·K_{\mathrm{ff}}}{1+s\·T_{\mathrm{ff}}}\·{\mathrm{\θ}}_M^{*}...\left(3\right)$

接着，具体说明前馈增益Kff的自动调整法，首先使用图18说明其原理想法。

图18是第二实施例的前馈增益与稳定时间、过冲的关系说明图，该图(a)表示前馈增益与稳定时间的关系，该图(b)表示前馈增益与过冲量的关系。图18(a)中，横轴为前馈增益Kff，纵轴为稳定时间，基本上显示前馈增益Kff越大，则稳定时间越短的倾向。如图所示，当前馈增益Kff为某值以上时，稳定时间急剧变长。

另一方面，在图18(b)中，横轴为前馈增益Kff，纵轴为过冲量，在前馈增益Kff小时，完全不会发生过冲。但是，当前馈增益Kff为某值以上时，开始发生过冲，之后其发生量对于Kff单调增加。

以上，根据图18(a)、(b)可知，在过冲量为0或充分小时，前馈增益Kff设定得较大时稳定时间较短。此外，由于前馈增益Kff设定得越大，过冲量越为增大，因此为了使稳定时间最小化，使前馈增益Kff在过冲量不超过允许值的范围内最大化即可。

由此，在以下说明的处理流程图中，对于预先登记的全位置指令模式，进行满足过冲量不超过允许值的条件的最大前馈增益Kff的搜索。

图19是第二实施例的前馈增益Kff的自动调整法的处理流程图。关于前馈时间常数Tff的自动调整法，因为在其调整过程中需要进行前馈增益Kff的自动调整，所以在后面说明。

在图19中，Kff_ini是用户设定的前馈增益初始值，Kff_dmax是用户设定的前馈增益搜索最大阶步，Kff_dmin是用户设定的前馈增益搜索最小阶步。Kff是在位置前馈控制器14中设定的当前的前馈增益，Kff_div是当前的前馈增益搜索阶步，Kff_bd是最终希望求得的极限前馈增益。

此外，与实施例1同样，在进行位置前馈控制参数的自动调整时，也由图2所示的“电机振动检测处理部”检测电机振动。

在后述的调整时，从Kff＝Kff_ini开始搜索，在Kff＝Kff_ini，过冲量低于允许值、且处于不会检测到电机振动的范围内时，使Kff以Kff_dmax增加。此外，在Kff＝Kff_ini，过冲量为允许值以上、或处于检测到电机振动的状态(flgmvib＝ON)时，使Kff以Kff_dmax的阶步减少。进一步，在以Kff_dmax阶步更新Kff的过程中，过冲量从低于允许值变化到允许值以上，或过冲量从允许值以上变化为低于允许值，或者从没有检测到电机振动的状态(flgmvib＝OFF)变化到检测到电机振动的状态(flgmvib＝ON)，或者从检测到电机振动的状态(flgmvib＝ON)变化到没有检测到电机振动的状态(flgmvib＝OFF)时，实施以下处理。

即，意味着实施使上述当前的前馈增益搜索阶步Kff_div减半并且对Kff进行增减搜索的处理，直至Kff_div低于前馈增益搜索最小阶步Kff_dmin。

接着，按照顺序说明图19的流程图。在图19中，在处理400开始流程图，在初始化处理401中将当前的增益Kff、前馈增益Kff设定为前馈增益初始值Kff_ini。然后，将当前的前馈增益搜索阶步Kff_div设定为前馈增益搜索阶步Kff_dmax，进行处理402。

在处理402中，以用户预先登记的全部的位置指令模式进行运转，在各个运转的每一个中利用上述方法，计测稳定时间、过冲量，进行判断处理403。

在判断处理403中，进行各运转模式的每一个的过冲量评价，在任一个运转模式中过冲量为允许值以上时，或在任一个运转模式中检测到电机振动时(flgmvib＝ON)，进行处理404。在处理404中，将当前的前馈增益Kff减去当前的前馈增益搜索阶步Kff_div，之后进行处理405。在处理405中，与处理402同样地以用户预先登记的全部位置指令模式进行运转，在各个运转的每一个中计测稳定时间、过冲量，进行判断处理406。

在判断处理406中，进行各运转模式的每一个的过冲量评价，在全部的运转模式中过冲量低于允许值、且在全部的运转模式中没有检测到电机振动的情况下(flgmvib＝OFF)，进行处理407。另一方面，在判断处理406中，在任一个运转模式中过冲量为允许值以上时，或在任一个运转模式中检测到电机振动时(flgmvib＝ON)，为了进一步减少当前的前馈增益Kff，进行处理404。

在处理407中，作为在全部的运转模式中使过冲量低于允许值、且在全部的运转模式中使得没有电机振动(flgmvib＝OFF)的最大Kff的一个候补，以当前的前馈增益Kff更新极限前馈增益Kff_bd，进行处理408。

在处理408中，考虑到后面的流程，在当前的前馈增益Kff上加上当前的增益搜索阶步Kff_div，再次设定在任一个运转模式中过冲量为允许值以上、或在任一个运转模式中检测到电机振动(flgmvib＝ON)的条件，进行处理409。在判断处理403中，在全部的运转模式中过冲量低于允许值、且全部的运转模式中没有检测到电机振动(flgmvib＝OFF)的情况下进行处理410。

在处理410中，作为在全部的运转模式中使过冲量低于允许值、且使得没有电机振动(flgmvib＝OFF)的最大Kff的一个候补，以当前的前馈增益Kff更新极限前馈增益Kff_bd，进行处理411。在处理411中，在当前的前馈增益Kff上加上当前的前馈增益搜索阶步Kff_div之后，进行处理412。

在处理412中，与处理405同样以用户预先登记的全部位置指令模式进行运转，计测各个运转的每一个中的稳定时间、过冲量，进行判断处理413。在判断处理413中，进行各个运转的每一个的过冲量评价，在任一个运转模式中过冲量成为允许值以上时、或在任一个运转模式中检测到电机振动时(flgmvib＝ON)，进行处理409。

另一方面，在判断处理413中，在全部的运转模式中过冲量低于允许值、且在全部的运转模式中没有检测到电机振动(flgmvib＝OFF)时，进一步以增加当前的前馈增益Kff为目的，进行处理410。在接续处理409的流程中，在使当前的前馈增益搜索阶步Kff_div减半的同时进行增减搜索Kff的处理，在处理409中，使当前的前馈增益搜索阶步Kff_div减半，进行判断处理414。

在判断处理414中，判断当前的前馈增益Kff_div的大小是否为前馈增益搜索最小阶步Kff_dmin以上。然后，如果是则进行处理415，如果不是则进行处理425，结束处理。在处理415中，使当前的前馈增益Kff减去当前的前馈增益搜索阶步Kff_div之后进行处理416。

在处理416中，与处理412同样以用户预先登记的全部位置指令模式进行运转，计测各个运转的每一个中的稳定时间、过冲量，进行判断处理417。在判断处理417中，在各个运转模式的每一个的过冲量低于允许值、且在全部的运转模式中没有检测到电机振动时(flgmvib＝OFF)，进行处理418。另一方面，在判断处理417中，在任一个运转模式中过冲量为允许值以上时，或在任一个运转模式中检测到电机振动时(flgmvib＝ON)，以进一步减少当前的前馈增益Kff为目的，进行处理409。

在处理418中，作为在全部的运转模式中使过冲量低于允许值、且在全部的运转模式中使得没有电机振动(flgmvib＝OFF)的最大Kff的一个候补，以当前的前馈增益Kff更新极限前馈增益Kff_bd，进行处理419。在处理419中，将当前的前馈增益搜索阶步Kff_div减半，进行判断处理420。在判断处理420中，判断当前的前馈增益搜索阶步Kff_div的大小是否为前馈增益最小搜索阶步Kff_dmin以上。然后，如果是则进行处理421，如果不是则进行处理425，结束前馈增益Kff的搜索。

在处理421中，在当前的前馈增益Kff上加上当前的前馈增益搜索阶步Kff_div之后，进行处理422。在处理422中，与处理416同样，以用户预先登记的全部位置指令模式进行运转，在各个运转的每一个中计测稳定时间、过冲量，进行判断处理423。

在判断处理423中，进行各个运转模式的每一个的过冲量评价，在任一个运转模式中过冲量为允许值以上、或在任一个运转模式中检测到电机振动时(flgmvib＝ON)，以进一步减少当前的前馈增益Kff为目的，进行处理409。

另一方面，在判断处理423中，在全部的运转模式中过冲量低于允许值、且没有检测到电机振动(flgmvib＝OFF)时，进行处理424。在处理424中，作为在全部的运转模式中使过冲量低于允许值、且使得不会检测出电机振动(flgmvib＝OFF)的最大Kff的一个候补，以当前的前馈增益Kff更新极限前馈Kff_bd，以进一步增加当前的前馈增益Kff为目的，进行处理419。

如上所述，使用图19的流程图，对于预先登记的全部位置指令模式，满足过冲量不超过允许值、且没有电机振动(flgmvib＝OFF)的条件的最大前馈增益Kff，作为极限前馈增益Kff_bd被找到。此外，如果过冲的允许值充分小，则此时的稳定时间最小。

此外，上述图(a)、(b)，具体表示图19的流程图的调整改定。此时的各调整参数是：Kff_ini＝0.10、Kff_dmin＝0.005、Kff_dmax＝0.10、过冲允许值＝2[pulse(脉冲)]。按照图18中的(1)到(6)的顺序进行搜索，最终在处理420中，置位成Kff_div＝0.003125。因此，在下一判断处理成为否(No)，结束。

图19是第二实施例的前馈时间常数、极限前馈增益Kff_bd、稳定时间的关系说明图。说明该图(a)所示的前馈时间常数与极限前馈增益(最大值)的稳定时间的关系和该图(b)所示的前馈时间常数与稳定时间的关系。

图20(a)的横轴是前馈时间常数Tff，纵轴是极限前馈增益的稳定时间，图20(b)的横轴是前馈时间常数Tff，纵轴是前馈增益。此外，作为各图表的参数，选择3种不同的位置指令模式。此处，极限前馈增益Kff_bd是指，对于各位置指令模式来说，满足过冲量不超过允许值，且不会检测到电机振动(flgmvib＝OFF)条件的最大前馈增益Kff。

具体来说，图20(b)的各波形上的数值是，在固定前馈时间常数Tff的条件下，对于各单独的位置指令模式执行上述图19的流程图而求得的值。图20(a)的各波形上的数值记录了在这样求得的极限前馈增益Kff_bd时的稳定时间St_bd。此处，根据图20(a)、(b)可知，赋予最小的稳定时间的最佳前馈时间常数根据位置指令模式的不同而不同。例如，根据图20(a)可知，位置指令模式1的最佳前馈时间常数约为5[ms]，位置指令模式2和位置指令模式3的最佳前馈时间常数分别约为9[ms]、10[ms]。此外，极限前馈增益Kff_bd也根据位置指令模式的不同而不同，表示于图20(b)。

如以上的具体例所示的那样，最佳的前馈时间常数和极限前馈增益Kff_bd根据位置指令模式的不同而变化。因此，在调整位置前馈增益控制参数时，对于实际上用户所使用的位置指令模式，决定适合的位置前馈控制参数时，特别是使得能够由用户自身设定希望使稳定时间最小化的位置指令模式。于是，能够找到实现该位置指令模式中的稳定时间的极小化的前馈时间常数。

图21～23是基于以上所示的想法的最佳前馈时间常数和极限前馈增益Kff_bd的搜索流程图。此外，在本流程图中，为了高效地保存、评价最佳前馈时间常数和极限前馈增益Kff_bd时的参数设定值和稳定时间测定结果，利用由图23所示的data[0]、data[1]、data[2]这3个结构体型要素构成的结构体排列型结构的数据结构。

图24是最佳前馈时间常数Tff_opt搜索用数据结构说明图，利用由data[0]、data[1]、data[2]这3个结构体型要素构成的结构体排列型的数据结构。此外，结构体的成员为以下4个。首先是前馈时间常数Tff，接着是该Tff时的极限前馈增益Kff_bd。进一步，是对该Tff、Kff_bd时的优先位置指令模式的稳定时间St_bd，最后，是指示保存关于次于该Tff的稍小Tff的数据的排列编号的次数据指示指针next。Sm_index是表示在上述结构体排列data[0]、data[1]、data[2]内哪个编号的排列中保存有关于当前最小的Tff的数据的最小Tff数据指示指针。此外，以下，对各结构体成员的参照方法，与C语言的记述同样地进行说明。例如，在参照结构体排列data[1]的成员St_bd时，记为data[1].St_bd。此外，如图24所示，在data[0].next＝1时，作为data[data[0].next].St_bd也能够参照data[1]的成员St_bd。

在图21～23的流程图中，Tff_ini是用户设定的前馈时间常数初始值，Tff_dmin是用户设定的前馈时间常数搜索最小阶步。此外，Tff_dmax是用户设定的前馈时间常数搜索最大阶步，Tff是位置前馈控制14中设定的当前的前馈时间常数，Tff_div是当前的前馈时间常数搜索阶步。进一步，Tff_opt是最终希望求得的最佳前馈时间常数，Kff_opt是最佳前馈增益，与最佳前馈时间常数Tff_opt中的极限前馈增益Kff_bd相等。此外，dat_count是初始取得数据数计数，是用于确认关于Tff的取得数据数有3点的计数，data[]和sm_index如上所述。

接着，参照图25说明本流程图的最佳前馈时间常数Tff_opt的搜索概要。

图25是最佳前馈时间常数Tff_opt搜索过程说明图。在图中，横轴是前馈时间常数Tff，纵轴是该前馈时间常数Tff时的极限前馈增益Kff_bd中的相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd。此外，图25所示的例子中使得Tff_ini＝Tff_1。在本流程图中，总是在评价关于Tff的3点数据的同时决定接下来要搜索的Tff。因此，首先，以Tff＝Tff_1的数据(1)作为起点，以Tff_dmax的间隔取得数据(2)、数据(3)。

接着，评价数据(1)、(2)、(3)，因为这些St_bd对于Tff单调减少，所以期待进一步的St_bd的减少，在数据(3)的延长上取得数据(4)，丢弃溢出数据(1)。接着，评价数据(2)、(3)、(4)，这些St_bd对于Tff向下凸出，因此认为最佳前馈时间常数Tff_opt处于“数据(2)与数据(3)之间”或“数据(3)与数据(4)之间”的某处。

在该时刻，不能够断定Tff_opt处于哪一侧，比较两端的数据(2)和数据(4)的St_bd，搜索较小的一侧。由此，取得数据(3)与数据(4)中间的数据(5)，丢弃数据(2)。接着，评价数据(3)、(4)、(5)，这些St_bd对于Tff向下凸出，与上述同样地比较数据(3)和数据(4)的St_bd，取得较小一侧的数据(6)，丢弃数据(4)。

接着，评价数据(3)、(5)、(6)，这些St_bd对于Tff单调减少，因此在数据(5)的延长上取得数据(7)，丢弃溢出的数据(3)。此处，评价数据(5)、(6)、(7)，这些St_bd对于Tff向下凸出。但是，如果再次进行搜索，则当前的前馈时间常数搜索阶步Tff_div比用户设定的前馈时间常数搜索最小阶步Tff_dmin小。由此，结束搜索，使该时刻的极小点即数据(5)的Tff为最佳前馈时间常数Tff_opt。以上，参照图25说明了图21～23所示的流程图的搜索概要。

接着，按照顺序说明图21～23的流程图。首先，在处理500开始流程图。在初始化处理501中，将当前的前馈时间常数Tff设定为前馈时间常数初始值Tff_ini，将当前的前馈时间常数搜索阶步Tff_div设定为前馈时间常数搜索最大阶步Tff_dmax。

此外，将存储结构体排列data[]的排列按照存储的Tff从小到大的顺序初始化为data[0]、data[1]、data[2]。因此，使次数据指示指针next为data[0].next＝1、data[1].next＝2、data[2].next＝0，进而，使最小Tff数据指示指针sm_index为sm_index＝0。此外，因为使当前的取得数据数为零，使初始取得数据数计数dat_count＝0，进行处理502。在处理502中，实施上述图19的极限前馈增益Kff_bd搜索流程图，进行处理503。在处理503中，将当前的前馈时间常数Tff保存于data[dat_count].Tff，将当前的Tff中的极限前馈增益Kff_bd保存为data[dat_count].Kff_bd。此外，将当前的Tff和Kff_bd中的相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd保存于data[dat_count].St_bd，进行判断处理504。在判断处理504中，评价初始取得数据数计数dat_count的值，如果关于Tff的数据数为3点则进行判断处理505，如果数据数没有3点，则进行处理506。在处理506中，在当前的前馈时间常数Tff上加上当前的前馈时间常数搜索阶步Tff_div，进行处理502。

在判断处理505中，判断相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd是否对于前馈时间常数Tff向下凸出。此处的处理，具体来说，如果如下所述则判断为向下凸出，进行处理507。即，data[sm_index].St_bd>data[data.[sm_index].next].St_bd、且data[data[sm_index].next].next].St_bd>data[data[sm_index].next].St_bd。在处理507中，将当前的前馈时间常数搜索阶步Tff减半，进行判断处理508。判断判断处理508的大小是否为前馈时间常数搜索阶步Tff_div以上，如果是则进行判断处理509，如果不是则进行处理510。在判断处理509中比较3点数据内最小Tff中的相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd和最大Tff中的St_bd的大小关系。

具体地说，判断下式是否成立，data[sm_index].St_bd>data[data[data[sm_index].next].next.St_bd，在成立时，进行处理512。在处理512中，为了在第二大的Tff与最大Tff的中点取得新数据，使Tff为将第二大的Tff和Tff_div相加而得的值。具体地说，将当前的前馈时间常数Tff更新为data[data[sm_index].next].Tff+Tff_div，进行处理513。

在处理513中，实施上述图19的极限前馈增益Kff_bd搜索流程图，进行处理514。在处理514中，以在处理513中取得的新数据覆盖更新保存了关于当前最小的Tff的数据的排列要素。因此，将当前的前馈时间常数Tff保存于data[sm_index].Tff，将当前的Tff中的极限前馈增益Kff_bd保存于data[sm_index].Kff_bd。然后，将当前的Tff和Kff_bd中的相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd保存于data[sm_index].St_bd。进而，修改次数据指示指针next的错位，该次数据指示指针next的错位是由于将此前保存有关于最小Tff的数据的排列要素，以作为关于此后第二大Tff的数据的新数据进行覆盖更新所引起的。具体地说，在使data[sm_index].next的值退让至暂时变量tmp的基础上，将data[sm_index].next以data[data[sm_index].next].next更新。此外，将data[data[sm_index].next].next以sm_index更新，将data[data[data[sm_index].next].next].next以暂时变量tmp的值更新。最后，将sm_index以暂时变量tmp的值更新，进行判断处理505。在判断处理509中，下式不成立的情况下，进行处理515：data[sm_index].St_bd>data[data[data[sm_index].next].next].St_bd。

在处理515中，为了在最小Tff与第二大Tff的中点取得新数据，使Tff为从第二大Tff减去Tff_div而得的值。具体地说，将当前的前馈时间常数Tff以data[data[sm_index].next].Tff-Tff_div更新，进行处理516。

在处理516中，实施上述图19的极限前馈增益Kff_bd搜索流程图，进行处理517。在处理517中，为了将保存关于当前最大的Tff的数据的排列要素，以由处理516取得的新数据进行覆盖更新，将当前的前馈时间常数Tff保存于data[data[data[sm_index].netx].next].Kff_bd。此外，将当前的Tff和Kff_bd中的相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd保存于data[data[data[sm_index].next].next.St_bd。进一步，修正次数据指示指针next的错位，该次数据指示指针next的错位由于将保存了关于此前最大Tff的数据的排列要素，以成为关于此后第二大Tff的数据的新数据进行覆盖更新而导致。具体地说，在将data[sm_index].next的值退让至暂时变量tmp的基础上，将data[sm_index].next以data[data[sm_index].next].next更新。将data[data[sm_index].next].next以data[data[data[sm_index].next].next].next更新。进而，将data[data[data[sm_index].next].next].next以暂时变量tmp的值更新，进行判断处理505。在判断处理508中Tff_div≥Tff_dmin不成立的情况下，进行处理510。在处理510中，将第二大Tff即data[data[sm_index].next].Tff置位于最佳前馈时间常数Tff_opt。然后，将第二大Tff中的极限前馈增益Kff_bd即data[data[sm_index].next].Kff_bd置位于最佳前馈增益Kff_opt，进入结束状态511。另一方面，在判断处理505中，在相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd对于前馈时间常数Tff不向下凸出的情况下，进行判断处理518。在判断处理518中，在相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd对于前馈时间常数Tff不向下凸出的情况下，进行判断处理518。在判断处理518中，判断相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd是否对于前馈时间常数Tff单调增加。

此处，如果data[sm_index].St_bd<data[data[sm_index].next].St_bd<data[data[data[sm_index].next].next].St_bd，则判断为单调增加，进行处理519。

在处理519中，因为是单调增加，所以期待St_bd的减少，在最小Tff数据的延长上取得新数据。具体地说，将当前的前馈时间常数Tff以data[sm_index].Tff-Tff_div更新，进行处理520。在处理520中，实施上述图19的极限前馈增益Kff_bd搜索流程图，进行处理521。在处理521中，将保存了关于当前最大的Tff的数据的排列要素，以由处理520取得的新数据进行覆盖更新。因此，将当前的前馈时间常数Tff保存于data[data[data[sm_index].next].next].Tff。然后，将当前的Tff中的极限前馈增益Kff_bd保存于data[data[data[sm_index].next].next].Kff_bd。此外，将当前的Tff和Kf_bd中的相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd保存于data[data[data[sm_index].next].next].St_bd。进一步，实施对保存有关于此前最大的Tff的数据的排列要素，以关于最小的Tff的数据覆盖更新而引起的最小Tff数据指示指针sm_index的更新。即，实施data[data[sm_index].next].next的代入，进行判断处理505。在判断处理518中没有判断为单调增加的情况下，认为是单调减少，进行处理522。

在处理522中，因为是单调减少，所以期待St_bd的进一步减少，在最大Tff数据的延长上取得新数据。具体地说，将当前的前馈时间常数Tff以data[sm_index].Tff+3×Tff_div更新，进行处理523。在处理523中，实施上述图19的极限前馈增益Kff_bd搜索流程图，进行处理524。在处理524中，将保存有关于当前最小的Tff的数据的排列要素，以由处理523取得的新数据进行覆盖更新。因此，将当前的前馈时间常数Tff保存于data[sm_index].Tff，将当前的Tff时的极限前馈增益Kff_bd保存于data[sm_index].Kff_bd。此外，将当前的Tff和Kff_bd中的相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd保存于data[sm_index].St_bd。进一步，实施对保存有关于此前最小的Tff的数据的排列要素以关于最大的Tff的数据进行覆盖更新所引起的最小Tff数据指示指针sm_index的更新。即，实施data[sm_index].next的代入，进行判断处理505。

这样，对于预先登记的全位置指令模式，能够进行在将过冲量抑制在规定(允许)值以内且在没有电机振动的状态指定(flgmvib＝OFF)的特定的位置指令模式中使稳定时间最小化的位置前馈控制参数的自动搜索。

另外，在处理503、处理514、处理517、处理521、处理524中，对data[].St_bd置位相对于优先位置指令模式的稳定时间St_bd，但也可以置位为评价的全位置指令模式中最长的稳定时间。

接着，在图26、图27表示调整参数设定画面的实施例。图26是在本实施例的反馈控制参数的自动调整时，用户输入调整条件的计算机的画面构成例。图26中的输入项目与上述的各调整参数对应，例如600与最小位置响应频率Fp_min对应，601与最大位置响应频率Fp_max对应，602与位置响应频率增加阶步Fp_div对应。此外，603与最小速度响应频率Fs_min对应，604与最大速度响应频率Fs_max对应，605与速度响应频率增加阶步Fs_div对应，606与位置偏差θe的振动振幅允许值θvib对应，607与稳定监视超时时间timeout对应。此外，为了使得能够在用户侧选择是自动生成还是手动设定阶梯状的位置指令，设置有能够排他地进行选择的选择框608和609。此外，在选择608时，执行图2的流程图所示的处理，自动生成位置指令模式。另一方面，在选择609时，用户需要自已设定加减速时间610、移动距离611、最大速度612的各个项目，决定位置指令模式。

图27是在作为本实施例的第二实施例的位置前馈控制参数的自动调整时，用户自已输入调整条件的计算机画面构成例。图27中的各输入项目与上述的各调整参数对应，例如，613与前馈增益搜索最小阶步Kff_dmin对应，614与前馈增益搜索最大阶步Kff_dmax对应。此外，615与前馈时间常数初始值Tff_ini对应，616同样与时间常数搜索最小阶步Tff_dmin对应，617同样与时间常数搜索最大阶步Tff_dmax对应，618与稳定监视超时时间timeout对应。

此外，620到624分别是从位置指令模式1到位置指令模式5的调整条件设定画面，通过以鼠标点击以620到624的编号表示的模式名的标记部分，能够打开该模式的设定画面。另外，图27中是打开位置指令模式1的设定画面的状态，但其它位置指令模式的设定画面也为同样的结构。由此，在630设定该位置指令模式的加减速时间，在631设定该位置指令模式的移动距离，在632设定该位置指令模式的最大速度，决定该位置指令模式。此外，625与该位置指令模式的过冲量的允许值对应，626与该位置指令模式的稳定判断用偏差posin_pls对应。选择框627用于设定是否进行该位置指令模式的调整。此外，为了设定是否实施位置前馈时间常数调整，设置有选择项目628。在628的选择项目中有“进行调整”和“不进行调整”，当选择“不进行调整”时，执行图19的流程图，相对于当前的位置前馈时间常数仅调整位置前馈增益。另一方面，在选择了“进行调整”时，执行图20～22的流程图，进行位置前馈增益、时间常数这两者的调整。此外，为了指定使稳定时间最小化的最优先位置指令模式，设置有选择项目选择项目619。619的选择项目中，能够从在选择框627中打勾的位置指令模式和“稳定时间最大模式”中选择一个。

图28是在第一实施例、第二实施例中共用的本实施方式的电动机控制装置的整体系统结构图。在图28中，651是滚珠丝杠单元，652是电动机，653是电动机652的位置检测器，655是搭载负载654的滑动件，650是伺服放大器，656是将电动机652的位置检测信号传送至伺服放大器650的线缆。此外，657是从伺服放大器649向电动机652供给j驱动电力的线缆，659是向伺服放大器供给电源的线缆。662是反馈控制参数和位置前馈控制参数的自动调整时，用户输入调整条件的计算机，663是用于将来自计算机662的调整条件传送至伺服放大器650的通信线缆。

另外，在图28中，作为整体系统结构图，以作为电动机控制装置的驱动对象使用旋转类的电动机的情况为例进行了说明，但该电动机控制装置的整体系统结构，在将直移类电动机用于电动机控制装置的驱动对象时，也能够得到同样的效果。

最后，说明在上述实施例1、实施例2的说明中使用的图1的附图标号和图28中的附图标记的对应关系。电动机1与652对应，位置检测器5与653对应，负载2与654和655对应，驱动轴3与滚珠丝杠单元651内部的滚珠丝杠对应。此外，以下的构成要素包含于伺服放大器649。即，以电力转换器4为代表，是减法器6、位置控制器7、速度控制器8、减法器9、速度控制器10、电流检测器11、减法器12和电流控制器13等通常的控制装置。此外，根据本发明而添加的位置前馈控制器14、反馈和前馈控制参数调谐部15等也包含于伺服放大器650。

附图标记的説明

1……电动机；2……驱动对象负载；3……连结轴；4……电力转换器；5……位置检测器；6……减法器；7……位置控制器；8……速度运算器；9……减法器；10……速度控制器；11……电流检测器；12……减法器；13……电流控制器；14……位置前馈控制器；θ_M*……位置指令模式；15……反馈和前馈控制参数调谐部；151……位置指令生成部；152……电机振动判断部；153……反馈控制参数调谐部；154……前馈控制参数调谐部；155……电机振动检测振动振幅量判断值切换部；θ_M*……位置指令值；θ_M……位置检测器；θ_e……位置偏差；θ_ref*……用户设定的位置指令值；ω_M*……速度指令值；ω_M……速度检测器；ω_e……速度偏差；I_q*……转矩电流指令值；I_q……转矩电流检测值；I_e……电流偏差；ω_FB*……位置控制器输出信号；ω_FF*……位置前馈控制器输出信号；poserr_vib_level……电机振动检测振动振幅量判断值。

Claims (37)

1.一种电动机控制装置，其特征在于，包括：

驱动与驱动对象结合的电动机的电力转换器；位置控制器，其根据位置指令值与所述电动机的位置检测值的偏差输出位置控制器输出；输入所述位置指令值，输出位置前馈信号的位置前馈控制器；将所述位置控制器输出和所述位置前馈信号相加，输出速度指令值的加法器；根据所述速度指令值与所述电动机的速度检测值的偏差，输出转矩电流指令值的速度控制器；根据所述转矩电流指令值与供给至所述电动机的转矩电流检测值的偏差，调整所述电力转换器的输出电流的电流控制器；和输出预先登记的多个位置指令模式作为对所述位置控制器的位置指令的参数调谐部，

所述参数调谐部，

具有电机振动判断部，其判断所述位置指令值与所述位置检测值的偏差的微分是否满足预先设定的振动条件，在满足振动条件的情况下判断为存在电机振动，在不满足振动条件的情况下判断为没有电机振动，并输出判断结果，

当向所述位置控制器输出所述多个位置指令模式来驱动所述电动机，调整前馈增益时，将所述电机振动判断部的输出为不满足振动条件且过冲量为规定值以下的最大的前馈增益，设定为控制参数。

2.一种电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电动机控制装置包括：与驱动对象结合的电动机；驱动所述电动机的电力转换器；位置控制器，其根据位置指令值与所述电动机的位置检测值的偏差输出位置控制器输出；输入所述位置指令值，输出位置前馈信号的位置前馈控制器；将所述位置控制器输出和所述位置前馈信号相加，输出速度指令值的加法器；根据所述速度指令值与所述电动机的速度检测值的偏差，输出转矩电流指令值的速度控制器；和根据所述转矩电流指令值与供给至所述电动机的转矩电流检测值的偏差，调整所述电力转换器的输出电流的电流控制器，

在该电动机控制装置的自动调整法中，

向所述位置控制器输出所述多个位置指令模式，驱动所述电动机，

判断所述位置指令值与所述位置检测值的偏差的微分是否满足预先设定的振动条件，

将不满足振动条件且过冲量为规定值以下的最大前馈增益调整为极限前馈增益，

将所述最大前馈增益设定为控制参数。

3.如权利要求2所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于，包括：

一边更新所述前馈时间常数，一边对各前馈时间常数，将所述前馈增益调整为所述极限前馈增益，与各前馈时间常数对应的步骤；

计测所述前馈增益的建立时间的步骤；和

通过极值搜索求取使与所述前馈时间常数对应的所述极限前馈增益的建立时间最小的所述前馈时间常数的步骤。

4.如权利要求3所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述极值搜索法，对等间隔地赋予所述前馈时间常数的偏差而取得的3个关于所述前馈时间常数的所述极限前馈增益的建立时间进行比较。

5.如权利要求4所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

在比较关于所述前馈时间常数的所述极限前馈增益的建立时间的3个点的数据时，假设横轴为所述前馈时间常数，纵轴为所述极限前馈增益的建立时间的曲线，

该电动机控制装置的自动调整法包括：判断曲线是向下凸、单调增加还是单调减少的步骤；如果该判断结果是向下凸，则在3个点的数据中，在中间数据与其余的两侧数据中的任一者的中点重新取得一个数据的步骤；如果所述判断结果是单调增加，则不改变数据间隔而在3个点的数据中最小的时间常数侧重新取得一个数据的步骤；和如果所述判断结果是单调减少，则不改变数据间隔而在3个点的数据中最大的时间常数侧重新取得一个数据的步骤。

6.如权利要求3所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

根据用户的输入设定用于测定建立时间的监视时间，使所述监视时间的起点处于位置偏差零交叉的时刻或其附近。

7.如权利要求2所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于，包括：

在固定了所述前馈时间常数的条件下，更新所述前馈控制器的增益，对各前馈增益，将预先登记的多个位置指令模式作为所述位置控制器的位置指令进行多个运转动作的步骤；和在多个所述运转动作中，将所述位置前馈控制器的前馈增益调整为不满足所述振动条件且过冲量不超过规定值的极限前馈增益的步骤。

8.如权利要求2所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

在固定了所述前馈增益的条件下，更新所述前馈控制器的时间常数，对各前馈时间常数，将预先登记的多个位置指令模式作为所述位置控制器的位置指令进行多个运转动作的步骤；和在多个所述运转动作中，将所述位置前馈控制器的前馈增益调整为不满足所述振动条件且过冲量不超过规定值的极限前馈增益的步骤。

9.如权利要求1所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

由所述电机振动判断部进行判断的电机振动判断方法是，在电机移动中、电机停止中的任一种状态中均进行电机振动检测。

10.如权利要求9所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，在作为所述位置偏差的微分值的位置偏差微分波形有减少倾向时，保持该波形的低位，在所述位置偏差微分波形有增加倾向时，保持该波形的高位，反复计算所述位置偏差微分波形的振动波形一周期中的振动振幅。

11.如权利要求9所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，将电机振动振幅判断值作为判断值，测定所述位置偏差微分的振动波形一周期中的振动振幅超过所述电机振动振幅判断值的次数作为电机振动检测次数，在所述电机振动检测次数被检测出某个任意的次数时，认为发生了电机反复振动。

12.如权利要求11所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，在电机停止状态和电机移动状态中，切换所述电机振动振幅判断值。

13.如权利要求12所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，为了区分电机停止状态和电机移动状态，在用户预先设定的位置指令值的最终值与所述位置指令值不一致的情况下，判断为电机移动状态，在所述用户预先设定的位置指令值的最终值与所述位置指令值一致的情况下，判断为电机停止状态。

14.如权利要求11所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，在每次检测出电机振动进行了电机振动一周期的振动时，将所述电机振动检测时间相加作为电机振动检测总合时间，在所述电机振动检测总合时间内，所述电机振动检测次数反复了某任意次数时，判断为反复检测到电机振动。

15.如权利要求14所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，当所述电机振动检测次数在某时间内没有检测出某任意次数的电机振动时，从电机振动检测总合时间中减去电机的振动检测时间的振动一周期的量，继续进行电机振动检测处理。

16.一种电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电动机控制装置包括：与驱动对象负载结合的电动机；驱动所述电动机的电力转换器；位置控制器，其根据位置指令值与所述电动机的位置检测值的偏差输出位置控制器输出；将所述位置指令值作为输入，输出位置前馈信号的位置前馈控制器；将所述位置控制器输出和所述位置前馈信号相加，输出速度指令值的加法器；根据所述速度指令值与电动机的速度检测值的偏差，输出转矩电流指令值的速度控制器；和根据所述转矩电流指令值与供给至所述电动机的转矩电流检测值的偏差，调整所述电力转换器的输出电流的电流控制器，

在该电动机控制装置的自动调整法中，

在所述位置偏差波形的振动振幅不超过允许值的范围且所述电机振动判断部的输出不满足所述振动条件的状态中，调整最大的位置控制器的响应频率和最大的速度控制器的响应频率，将所述最大的位置控制器的响应频率和所述最大的速度控制器的响应频率设定为控制参数。

17.如权利要求16所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于，包括：

在所述位置偏差波形的振动振幅超过规定值之前或者在成为满足所述振动条件的状态之前，使所述位置控制器的响应频率以规定的增加量增加的第一步骤；

在所述位置偏差波形的振动振幅超过允许值时或者在成为满足所述振动条件的状态时，使所述位置控制器的响应频率回到所述位置偏差波形的振动振幅不超过允许值的范围且所述电机振动判断部的输出不满足所述振动条件的状态，在此基础上，使所述速度控制器的响应频率以规定的增加量增加的第二步骤；

反复进行所述第一步骤和第二步骤，当通过这样的反复，在使所述位置偏差波形的振动振幅为规定值以下的条件下不能够增加所述位置控制器的响应频率时，使所述速度控制器的响应频率和所述位置控制器的响应频率回到所述位置偏差波形的振动振幅不超过规定值的范围的第三步骤；和

反复进行所述第一步骤和第二步骤，当通过这样的反复，所述位置控制器的响应频率在所述电机振动判断部的输出满足所述振动条件的状态时，使所述速度控制器的响应频率和所述位置控制器的响应频率回到不满足所述振动条件的状态的第四步骤，

反复进行自动调整，直至增益调谐收敛。

18.如权利要求16所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

在所述位置偏差波形的振动振幅超过规定值之前或在成为满足所述振动条件的状态之前，使所述速度控制器的响应频率以规定的增加量增加的第一步骤；

在所述位置偏差波形的振动振幅超过允许值时或在成为满足所述振动条件的状态时，使所述速度控制器的响应频率回到所述位置偏差波形的振动振幅不超过允许值的范围且所述电机振动判断部的输出不满足所述振动条件的状态，在此基础上，使所述位置控制器的响应频率以规定的增加量增加的第二步骤；

反复进行所述第一步骤和第二步骤，当通过这样的反复，在使所述位置偏差波形的振动振幅为规定值以下的条件下不能够增加所述速度控制器的响应频率时，使所述位置控制器的响应频率和所述速度控制器的响应频率回到所述位置偏差波形的振动振幅不超过规定值的范围的第三步骤；和

反复进行所述第一步骤和第二步骤，当通过这样的反复，所述速度控制器的响应频率在所述电机振动判断部的输出满足所述振动条件的状态时，使所述位置控制器的响应频率和所述速度控制器的响应频率回到不满足所述振动条件的状态的第四步骤，

反复进行自动调整，直至增益调谐收敛。

19.如权利要求17所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

使用自动生成所述位置指令模式的功能使电动机动作，在使所述位置控制器的响应频率成为所述位置偏差波形的振动振幅不超过允许值的范围，并且所述电机振动判断部的输出不满足所述振动条件的状态之前，对运转模式进行反复。

20.一种电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电动机控制装置包括：与驱动对象负载结合的电动机；驱动所述电动机的电力转换器；位置控制器，其根据位置指令值与所述电动机的位置检测值的偏差输出位置控制器输出；将所述位置指令值作为输入，输出位置前馈信号的位置前馈控制器；将所述位置控制器输出和所述位置前馈信号相加，输出速度指令值的加法器；根据所述速度指令值与电动机的速度检测值的偏差，输出转矩电流指令值的速度控制器；和根据所述转矩电流指令值与供给至所述电动机的转矩电流检测值的偏差，调整所述电力转换器的输出电流的电流控制器，

在该电动机控制装置的自动调整法中，包括：

生成作为所述位置控制器的位置指令值连续变化的用于调整运转的位置指令模式的步骤；

在作为所述位置控制器的位置指令值赋予了该位置指令模式时，在位置偏差波形的振动振幅不超过规定值的范围内，使所述位置控制器和/或所述速度控制器的响应频率增加的步骤；和

利用判断所述位置指令值和所述位置检测值的偏差的微分是否满足预先设定的振动条件，并输出判断结果的电机振动判断部，对电机是否振动的振动条件进行判断的步骤。

21.一种电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电动机控制装置包括：与驱动对象负载结合的电动机；驱动所述电动机的电力转换器；位置控制器，其根据位置指令值与所述电动机的位置检测值的偏差输出位置控制器输出；将所述位置指令值作为输入，输出位置前馈信号的位置前馈控制器；将所述位置控制器输出和所述位置前馈信号相加，输出速度指令值的加法器；根据所述速度指令值与电动机的速度检测值的偏差，输出转矩电流指令值的速度控制器；和根据所述转矩电流指令值与供给至所述电动机的转矩电流检测值的偏差，调整所述电力转换器的输出电流的电流控制器，

在该电动机控制装置的自动调整法中，包括：

在处于赋予了位置指令模式时的位置偏差波形的振动振幅不超过规定值，且所述电机振动判断部的输出不满足振动条件的状态的范围内，使所述位置控制器和/或所述速度控制器的响应频率增加的步骤；

将预先登记的多个所述位置指令模式作为对所述位置控制器的位置指令，进行多个运转动作的步骤；和

在多个所述运转动作中调整所述位置前馈控制器的控制参数，使得过冲量不超过规定值的步骤。

22.如权利要求21所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

包括搜索满足所述过冲量不超过规定值的条件和所述电机振动判断部的输出不满足振动条件的状态，且各个位置指令模式的建立时间变小的所述位置前馈控制器的控制参数的步骤。

23.如权利要求21所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于，包括：

从用户接口接受调整条件的设定输入的步骤；和

接受多个所述位置指令模式的一个的选择输入的步骤。

24.一种电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电动机控制装置包括：与驱动对象负载结合的电动机；驱动所述电动机的电力转换器；位置控制器，其根据位置指令值与所述电动机的位置检测值的偏差输出位置控制器输出；将所述位置指令值作为输入，输出位置前馈信号的位置前馈控制器；将所述位置控制器输出和所述位置前馈信号相加，输出速度指令值的加法器；根据所述速度指令值与电动机的速度检测值的偏差，输出转矩电流指令值的速度控制器；和根据所述转矩电流指令值与供给至所述电动机的转矩电流检测值的偏差，调整所述电力转换器的输出电流的电流控制器，

在该电动机控制装置中，包括：

生成连续变化的用于调整运转的位置指令模式作为所述位置控制器的位置指令值的位置指令模式生成单元；和

响应频率最大单元，在赋予了该位置指令模式作为所述位置控制器的位置指令值，使所述电动机控制装置运转时，在位置偏差波形的振动振幅不超过规定值且所述电机振动判断部的输出不满足振动条件的状态中，使所述位置控制器和/或所述速度控制器的响应频率增加。

25.一种电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电动机控制装置包括：与驱动对象负载结合的电动机；驱动所述电动机的电力转换器；位置控制器，其根据位置指令值与所述电动机的位置检测值的偏差输出位置控制器输出；将所述位置指令值作为输入，输出位置前馈信号的位置前馈控制器；将所述位置控制器输出和所述位置前馈信号相加，输出速度指令值的加法器；根据所述速度指令值与电动机的速度检测值的偏差，输出转矩电流指令值的速度控制器；和根据所述转矩电流指令值与供给至所述电动机的转矩电流检测值的偏差，调整所述电力转换器的输出电流的电流控制器，

在该电动机控制装置中，包括：

赋予预先登记的多个位置指令模式作为所述位置控制器的位置指令，进行多个运转动作的调整运转单元；和

参数单元，在多个所述运转动作中，调整所述位置前馈控制器的控制参数，使得成为过冲量不超过规定值，且不会成为所述电机振动判断部的输出不满足振动条件的状态。

26.一种电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电动机控制装置包括：与驱动对象负载结合的电动机；驱动所述电动机的电力转换器；位置控制器，其根据位置指令值与所述电动机的位置检测值的偏差输出位置控制器输出；将所述位置指令值作为输入，输出位置前馈信号的位置前馈控制器；将所述位置控制器输出和所述位置前馈信号相加，输出速度指令值的加法器；根据所述速度指令值与电动机的速度检测值的偏差，输出转矩电流指令值的速度控制器；和根据所述转矩电流指令值与供给至所述电动机的转矩电流检测值的偏差，调整所述电力转换器的输出电流的电流控制器，

在该电动机控制装置中，包括：

使赋予了位置指令模式时的速度控制器的响应频率增加的响应频率最大化单元；

赋予预先登记的多个所述位置指令模式作为对所述位置控制器的位置指令，进行多个运转动作的运转调整单元；和

参数调整单元，在多个所述运转动作中，调整所述位置前馈控制器的控制参数，使得成为过冲量不超过规定值，且不会成为所述电机振动判断部的输出满足振动条件的状态。

27.一种电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电动机控制装置包括：与驱动对象负载结合的电动机；驱动所述电动机的电力转换器；位置控制器，其根据位置指令值与所述电动机的位置检测值的偏差输出位置控制器输出；将所述位置指令值作为输入，输出位置前馈信号的位置前馈控制器；将所述位置指令器输出和所述位置前馈信号相加，输出速度指令值的加法器；根据所述速度指令值与电动机的速度检测值的偏差，输出转矩电流指令值的速度控制器；和根据所述转矩电流指令值与供给至所述电动机的转矩电流检测值的偏差，调整所述电力转换器的输出电流的电流控制器，

在该电动机控制装置的自动调整法中，包括：

将预先登记的多个所述位置指令模式作为所述位置控制器的位置指令值进行多个运转动作的步骤；和

在多个所述运转动作中，调整所述位置前馈控制器的控制参数，使得成为过冲量不超过规定值，并且不会成为所述电机振动判断部的输出满足振动条件的状态的步骤。

28.如权利要求27所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

调整所述位置前馈控制器的控制参数，使得多个所述位置指令模式内特定的位置指令模式的建立时间在不会成为所述电机振动判断部的输出满足振动条件的状态的范围内最小化。

29.如权利要求28所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

根据用户的特性输入，对在不会成为所述电机振动判断部的输出满足振动条件的状态的范围内使建立时间最小化的所述特定的位置指令模式进行切换。

30.如权利要求27所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

作为在不会成为所述电机振动判断部的输出满足振动条件的状态的范围内使建立时间最小化的所述特定的位置指令模式，从预先登记的位置指令模式中自动登记建立时间最短的位置指令模式。

31.如权利要求17所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

由所述电机振动判断部进行判断的电机振动判断方法是，在电机移动中、电机停止中的任一状态均进行电机振动检测。

32.如权利要求31所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，在作为所述位置偏差的微分值的位置偏差微波波形有减少倾向时，保持该波形的低位，在所述位置偏差微分波形有增加倾向时，保持该波形的高位，反复计算所述位置偏差微分波形的振动波形一周期中的振动振幅。

33.如权利要求31所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，将电机振动振幅判断值作为判断值，测定所述位置偏差微分的振动波形一周期中的振动振幅超过所述电机振动振幅判断值的次数，作为电机振动检测次数，在所述电机振动检测次数被检测出某个任意的次数时，认为发生了电机反复振动。

34.如权利要求33所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，在电机停止状态和电机移动状态中，切换所述电机振动振幅判断值。

35.如权利要求34所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，为了区分电机停止状态和电机移动状态，在用户预先设定的位置指令值的最终值与所述位置指令值不一致的情况下，判断为电机移动状态，在所述用户预先设定的位置指令值的最终值与所述位置指令值一致的情况下，判断为电机停止状态。

36.如权利要求33所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，在每次检测出电机振动进行了电机振动一周期的振动时，将所述电机振动检测时间相加作为电机振动检测总合时间，在所述电机振动检测总合时间内，所述电机振动检测次数反复了某任意次数时，判断为反复检测到电机振动。

37.如权利要求36所述的电动机控制装置的自动调整法，其特征在于：

所述电机振动判断方法，在所述电机振动检测次数在某时间内没有检测出某任意次数的电机振动时，从电机振动检测总合时间中减去电机的振动检测时间的振动一周期的量，继续进行电机振动检测处理。