CN104193151A - 晶片、护边玻璃分离装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种晶片、护边玻璃分离装置,它包括晶坨分离槽、竖向设置在所述晶坨分离槽外侧的液压缸和驱动所述液压缸的电机;所述液压缸的伸缩杆上设置有升降框架,所述升降框架上设置有分离挂接杆,所述分离挂接杆底部设置有物料架,所述物料架设置在所述晶坨分离槽的上方;所述物料架上挂装有晶片收集筒和套装在所述晶片收集筒内的晶坨放置筒,所述晶片收集筒的筒壁上密布溢液孔,所述晶坨放置筒包括筒壁和多根相互平行设置在所述筒壁底部的圆杆。该晶片、护边玻璃分离装置具有设计科学、结构合理、分离快速、清洗效果好和生产效率高的优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种分离设备,具体的说,涉及了一种晶片、护边玻璃分离装置。
背景技术
SMD晶片的加工过程包括晶棒定向、晶棒切割、大片研磨、粘砣、晶砣切割、磨砣、化砣清洗、腐蚀等环节。由于单枚晶片厚度薄、尺寸小,最薄的只有三十微米厚,尺寸在1.6*1.1mm左右,单枚晶片在加工过程中很容易造成裂纹、破片等问题。为了便于规模化生产和避免晶片受损,晶片在研磨后必须先用粘砣蜡进行粘接,将多枚晶片粘接在一起制成晶坨并在晶砣四周粘上护边玻璃,然后对晶砣进行切割、研磨等加工,到达工艺要求的尺寸后,进行化砣。
化坨时,需要先将晶坨在加热板上加热,软化粘托蜡,然后手工分离护边玻璃,由于晶坨体积小,护边玻璃分离困难,费时费力且工作效率低。护边玻璃分离后,多采用化学溶液(即专用脱胶剂)进行化坨;化坨时,不但需要将晶片完全分散,而且需要保证晶片表面洁净无污物、无损伤,以便进行后续的腐蚀、频率分选等加工。
为了提高工作效率,直接采用脱胶剂对晶坨进行化坨,此时由于护边玻璃的体积和重力相当于单枚晶片几百倍,在化砣过程中,护边玻璃与晶片混在一起,必定会造成晶片受损,同时由于护边玻璃占据了较大空间,二者一起进行化坨工艺势必会降低晶片的化砣清洗质量与效率,造成物料与能源浪费。
如何快速高效的分离护边玻璃和保证晶片化坨后表面洁净无污物是人们亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足,从而提供一种设计科学、结构合理、分离快速、清洗效果好和生产效率高的晶片、护边玻璃分离装置。
为了实现上述目的,本发明所采用的技术方案是:一种晶片、护边玻璃分离装置,它包括晶坨分离槽、竖向设置在所述晶坨分离槽外侧的液压缸和驱动所述液压缸的电机;所述液压缸的伸缩杆上设置有升降框架,所述升降框架上设置有分离挂接杆,所述分离挂接杆底部设置有物料架,所述物料架设置在所述晶坨分离槽的上方;所述物料架上挂装有晶片收集筒和套装在所述晶片收集筒内的晶坨放置筒,所述晶片收集筒的筒壁上密布溢液孔,所述晶坨放置筒包括筒壁和多根相互平行设置在所述筒壁底部的圆杆。
基于上述,它还包括晶片清洗槽、安装在所述升降框架上的振动电机和清洗挂接杆;所述振动电机设置在所述升降框架一侧,该振动电机通过摆臂传动所述清洗挂接杆,所述清洗挂接杆上端与所述升降框架铰接,所述物料挂接杆底部设置有清洗物料架,所述清洗物料架设置在所述晶片清洗槽的上方;所述清洗物料架上挂装有晶片清洗筒,所述晶片清洗筒的筒壁上密布清洗孔。
基于上述,所述物料架上设置有挂装孔,所述晶片收集筒的筒口处设置有对应所述挂装孔的挂环。
基于上述,所述晶坨放置筒的筒口处设置有提手。
基于上述,所述挂环上设置有挂装把手。
基于上述,所述清洗物料架上设置有清洗挂装孔,所述晶片清洗筒的筒口处设置有对应所述清洗挂装孔的清洗挂环,所述清洗挂环上设置有清洗把手。
基于上述,所述升降框架上安装有转动轮,所述物料挂接杆上端固定在所述转动轮的轮缘上。
本发明相对现有技术具有突出的实质性特点和显著的进步,具体的说,本发明将传统的手工分离护边玻璃的工序通过可高效生产的机械设备实现,大大提高了工作效率;利用所述晶坨放置筒盛放晶坨,并通过所述晶片收集筒挂装在所述物料架上,所述液压缸的伸缩杆带动所述升降框架上下运动,使得所述晶片收集筒在所述晶坨分离槽内上下运动,以此分离晶片和护边玻璃,进而使得所述晶坨放置筒内散开的晶片掉入所述晶片收集筒内;进一步说设置晶片清洗槽、振动电机和清洗挂接杆,用于清洗晶片,将晶片收集筒内散落的晶片装入所述晶片清洗筒内,所述振动电机驱动所述物料挂接杆左右晃动所述清洗物料架,进而使得所述晶片清洗筒在所述晶片清洗槽内晃动,以此清洁晶片表面;其具有设计科学、结构合理、分离快速、清洗效果好和生产效率高的优点。
附图说明
图1是本发明实施例1的结构示意图。
图2是本发明实施例2的结构示意图。
图3是所述晶片收集筒和所述晶片清洗筒的结构示意图。
图4是所述晶坨放置筒的结构示意图。
具体实施方式
下面通过具体实施方式,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
实施例1
如图1、图3和图4所示,一种晶片、护边玻璃分离装置,它包括晶坨分离槽2、竖向设置在所述晶坨分离槽2外侧的液压缸1和驱动所述液压缸1的电机,所述晶坨分离槽2盛放化学溶剂,例如:脱蜡剂等,该化学溶剂能够将晶坨分离,使得晶片与护边玻璃分离,同时使得晶片与晶片分离,实现晶坨的化坨。
所述液压缸1的伸缩杆上设置有升降框架3,所述升降框架3上设置有分离挂接杆4,所述分离挂接杆4底部设置有物料架41,所述物料架41设置在所述晶坨分离槽2的上方;所述液压缸1的伸缩杆能够带动所述升降框架3上下移动,进而使得物料架41在所述晶坨分离槽2上方上下移动。
所述物料架41上挂装有晶片收集筒5和套装在所述晶片收集筒5内的晶坨放置筒6,所述晶片收集筒5的筒壁上密布溢液孔52,便于脱蜡剂进入所述晶片收集筒5;所述晶坨放置筒6包括筒壁和多根相互平行设置在所述筒壁底部的圆杆62,所述圆杆62之间留有间隙,该间隙仅限于单排晶片通过,进入所述晶片收集筒5的脱蜡剂经过所述圆杆62之间的间隙进入所述晶坨放置筒6,以便化坨,使得晶片与护边玻璃分开。所述圆杆62之间的间隙根据单排晶片的厚度设置。
所述晶坨放置筒6用于盛放晶坨,该晶坨放置筒6套装在所述晶片收集筒5内,二者之间设置留有间隙,便于脱蜡剂进入所述晶坨放置筒6,所述晶片收集筒5挂装在所述物料架41,当所述液压缸1带动所述升降框架3上下移动时,所述晶片收集筒5能够在所述晶坨分离槽2内上下运动,以此使得进入所述晶坨放置筒6内的脱蜡剂能够与晶坨充分接触,实现化坨,化开的晶片,经过所述圆杆62之间的间隙,进入所述晶片收集筒5,所述护边玻璃留着所述晶坨放置筒6内。
具体使用时,将晶坨装在所述晶坨放置筒6内,然后套装在所述晶片收集筒5内,并挂装在所述物料架41上,启动所述电机使得所述液压缸1做上下往复运动,使得所述晶坨分离槽2内的脱蜡剂与所述晶坨充分接触,便于化坨。化坨后的晶片,采用清新剂进行清洗,保证晶片表面清洁。
为了方便挂装所述晶片收集筒5,所述物料架41上设置有挂装孔42,所述晶片收集筒5的筒口处设置有对应所述挂装孔41的挂环51,以此实现所述晶片收集筒5的挂装,挂装结构简单方便、易于挂装和取下;为了增加工作效率,所述物料架41上设置多个挂装孔42,每个挂装孔42挂装一套所述晶片收集筒5和所述晶坨放置筒6,每次可进行多个晶坨的化坨工艺。
为了便于套装,所述晶坨放置筒6的筒口处设置有提手61,所述晶坨放置筒6的筒口设置有外沿,防止套装在所述晶片收集筒5内,使得所述晶坨放置筒6底部能够将晶片漏入所述晶片收集筒5内,以此方便套装所述晶坨放置筒6,该晶坨放置筒6的内径小于所述晶片收集筒5的内径,使得二者之间形成腔室,便于脱蜡剂与晶坨充分接触。
为了便于拆下所述晶片收集筒5,所述挂环51上设置有挂装把手,便于安装和拆卸。
实施例2
本实施例与实施1的区别在于:增加了清洗装置。具体结构如图2、图3和图4,一种晶片、护边玻璃分离装置,它还包括晶片清洗槽7、安装在所述升降框架3上的振动电机9和清洗挂接杆8;所述振动电机9设置在所述升降框架3一侧,该振动电机9通过摆臂91传动所述清洗挂接杆8,所述清洗挂接杆8上端与所述升降框架3铰接,所述物料挂接杆8底部设置有清洗物料架81,所述清洗物料架81设置在所述晶片清洗槽7的上方。所述振动电机9左右振动,并通过所述摆臂91带动所述物料挂接杆8左右摆动。
所述清洗物料架81上挂装有晶片清洗筒,所述晶片清洗筒的结构与所述晶片收集筒5的结构相同,所述晶片清洗筒的筒壁上密布清洗孔,该清洗孔与所述溢液孔52结构相同,便于化学溶剂:如清洗剂等,进入所述晶片清洗筒对分离后的晶片进行清洗。
清洗时,启动所述振动电机9,带动所述清洗挂接杆8左右摆动,进而使得所述晶片清洗筒在所述晶片清洗槽7内左右摆动,同时所述升降框架3带动所述清洗挂接杆8上下运动,使得晶片在所述晶片清洗筒得到充分的清洗。
所述晶片收集筒5、所述晶片清洗筒和所述晶坨放置筒6的筒壁均采用耐腐蚀材料浇铸成型,其大小尺寸根据不同晶坨的大小设置。
本实施例中所述晶坨在所述晶坨分离槽2内完成晶片与护边玻璃的分离,然后将分离后的晶片放入所述晶片清洗槽7进行清洗,完成晶坨的分离和晶片的清洗,省时省力,提供生产效率。
为了方便挂装所述晶片清洗筒,所述清洗物料架81上设置有清洗挂装孔82,所述晶片清洗筒的筒口处设置有对应所述清洗挂装孔82的清洗挂环,所述清洗挂环上设置有清洗把手。
为了便于所述清洗挂接杆8左右摆动,所述升降框架3上安装有转动轮,所述物料挂接杆8上端固定在所述转动轮的轮缘上。
本实施例中,所述晶坨在所述晶坨分离槽2进行完成分离,使得晶片散开,且护边玻璃分离;然后放入所述晶片清洗槽内进行清洗。
该晶片、护边玻璃分离装置采用机械自动操作,避免人为操作中的不确定性因素,既释放了劳动力,又克服了晶片与护边玻璃在化学溶剂内分离时因碰撞互相碰撞,导致爆边、破片等问题。提高了化学药剂的利用率,大幅度的提高化砣工序的工作效率和生产制程的整体生产效率。
需要说明的是,在其它实施例中为了提高工作效率,可先在所述晶坨分离槽进行简单的分离,所述晶坨分成一个个的小块状坨体,然后放入将所述晶坨放置筒套装在所述晶片清洗筒内,由于所述晶片清洗筒能够在所述晶片清洗槽能做上下左右的摆动,故分离效率和清洗效率高,以此提供生产效率。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其限制;尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明,所属领域的普通技术人员应当理解:依然可以对本发明的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换;而不脱离本发明技术方案的精神,其均应涵盖在本发明请求保护的技术方案范围当中。
Claims (7)
1.一种晶片、护边玻璃分离装置,其特征在于:它包括晶坨分离槽、竖向设置在所述晶坨分离槽外侧的液压缸和驱动所述液压缸的电机;所述液压缸的伸缩杆上设置有升降框架,所述升降框架上设置有分离挂接杆,所述分离挂接杆底部设置有物料架,所述物料架设置在所述晶坨分离槽的上方;所述物料架上挂装有晶片收集筒和套装在所述晶片收集筒内的晶坨放置筒,所述晶片收集筒的筒壁上密布溢液孔,所述晶坨放置筒包括筒壁和多根相互平行设置在所述筒壁底部的圆杆。
2.根据权利要求1所述的晶片、护边玻璃分离装置,其特征在于:它还包括晶片清洗槽、安装在所述升降框架上的振动电机和清洗挂接杆;所述振动电机设置在所述升降框架一侧,该振动电机通过摆臂传动所述清洗挂接杆,所述清洗挂接杆上端与所述升降框架铰接,所述物料挂接杆底部设置有清洗物料架,所述清洗物料架设置在所述晶片清洗槽的上方;所述清洗物料架上挂装有晶片清洗筒,所述晶片清洗筒的筒壁上密布清洗孔。
3.根据权利要求1所述的晶片、护边玻璃分离装置,其特征在于:所述物料架上设置有挂装孔,所述晶片收集筒的筒口处设置有对应所述挂装孔的挂环。
4.根据权利要求1或3所述的晶片、护边玻璃分离装置,其特征在于:所述晶坨放置筒的筒口处设置有提手。
5.根据权利要求3所述的晶片、护边玻璃分离装置,其特征在于:所述挂环上设置有挂装把手。
6.根据权利要求2所述的晶片、护边玻璃分离装置,其特征在于:所述清洗物料架上设置有清洗挂装孔,所述晶片清洗筒的筒口处设置有对应所述清洗挂装孔的清洗挂环,所述清洗挂环上设置有清洗把手。
7.根据权利要求2所述的晶片、护边玻璃分离装置,其特征在于:所述升降框架上安装有转动轮,所述物料挂接杆上端固定在所述转动轮的轮缘上。
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Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101879756A (zh) * | 2010-04-01 | 2010-11-10 | 浙江硅宏电子科技有限公司 | 一种硅片脱胶机 |
CN102152204A (zh) * | 2011-01-17 | 2011-08-17 | 常州松晶电子有限公司 | 晶砣去胶装置 |
CN202045103U (zh) * | 2011-03-31 | 2011-11-23 | 江苏新潮光伏能源发展有限公司 | 太阳能电池用方形硅片清洗花篮 |
CN102275234A (zh) * | 2011-06-29 | 2011-12-14 | 浙江光益硅业科技有限公司 | 单晶/多晶硅片多线切割自动脱胶方法及其装置 |
CN202474010U (zh) * | 2012-03-20 | 2012-10-03 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 一种湿硅片自动分片装置 |
CN102956530A (zh) * | 2011-08-31 | 2013-03-06 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 晶片的分离方法及分离装置 |
CN203076258U (zh) * | 2013-02-05 | 2013-07-24 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 硅片清洗脱胶水池 |
CN203085498U (zh) * | 2013-02-19 | 2013-07-24 | 英利能源(中国)有限公司 | 一种分离装置 |
CN203079835U (zh) * | 2012-12-29 | 2013-07-24 | 铜陵市方远电子科技有限公司 | 一种加热箱 |
KR20140017116A (ko) * | 2012-07-30 | 2014-02-11 | 현대제철 주식회사 | 가공 칩 세정 장치 |
CN204125338U (zh) * | 2014-08-22 | 2015-01-28 | 济源石晶光电频率技术有限公司 | 晶片、护边玻璃分离装置 |
-
2014
- 2014-08-22 CN CN201410416941.3A patent/CN104193151B/zh active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101879756A (zh) * | 2010-04-01 | 2010-11-10 | 浙江硅宏电子科技有限公司 | 一种硅片脱胶机 |
CN102152204A (zh) * | 2011-01-17 | 2011-08-17 | 常州松晶电子有限公司 | 晶砣去胶装置 |
CN202045103U (zh) * | 2011-03-31 | 2011-11-23 | 江苏新潮光伏能源发展有限公司 | 太阳能电池用方形硅片清洗花篮 |
CN102275234A (zh) * | 2011-06-29 | 2011-12-14 | 浙江光益硅业科技有限公司 | 单晶/多晶硅片多线切割自动脱胶方法及其装置 |
CN102956530A (zh) * | 2011-08-31 | 2013-03-06 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 晶片的分离方法及分离装置 |
CN202474010U (zh) * | 2012-03-20 | 2012-10-03 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 一种湿硅片自动分片装置 |
KR20140017116A (ko) * | 2012-07-30 | 2014-02-11 | 현대제철 주식회사 | 가공 칩 세정 장치 |
CN203079835U (zh) * | 2012-12-29 | 2013-07-24 | 铜陵市方远电子科技有限公司 | 一种加热箱 |
CN203076258U (zh) * | 2013-02-05 | 2013-07-24 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 硅片清洗脱胶水池 |
CN203085498U (zh) * | 2013-02-19 | 2013-07-24 | 英利能源(中国)有限公司 | 一种分离装置 |
CN204125338U (zh) * | 2014-08-22 | 2015-01-28 | 济源石晶光电频率技术有限公司 | 晶片、护边玻璃分离装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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