CN104165596A - 一种测定离焦量的方法及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种测定离焦量的方法及系统,用于扫描振镜系统中离焦量的测量,包括如下步骤:确定激光λ1的焦平面;测量结构光λ3与水平面之间形成一倾角α及焦距的值;测量指示光λ2偏离垂直面的角度θ;根据公式计算得出离焦量。本发明克服了常规测量工具由于读数引入的误差,并能实现非接触的距离测量,避免了常规测量对工件的损伤,并能实现狭小空间内的测距,提高了加工效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种距离测定方法,特别涉及一种可应用于激光打标、焊接、选择性烧结领域的离焦量测定方法及系统。
背景技术
离焦量就是焦点离作用物质间的距离,离焦量对激光加工质量的影响很大,某些激光加工通常需要一定的离焦量,因为激光焦点处光斑中心的功率密度过高,容易蒸发成孔。离开激光焦点一定距离的各平面上,功率密度分布相对均匀。
在应用扫描振镜进行激光打标、激光扫描振镜焊接、选择性烧结过程中,常常需要控制离焦量。为确定工件表面的离焦量,人们往往采用直尺测量工件与输出镜头之间的距离,即工作距离,利用工作距离与离焦量相差。采用直尺测量的方法,人为度数会存在相当大的误差。此外,在有些狭小或者密封空间无法使用常规的度量工具测量。
发明内容
发明目的:本发明旨在提供一种测定离焦量的方法及系统,避免人为度数,实现非接触性的精确测量。
技术方案:本发明所述的一种测定离焦量的方法,用于扫描振镜系统中离焦量的测量,包括如下步骤:
1)在工作平台上放置标准件,调整激光λ1垂直出射的高度,使激光λ1的焦平面位于标准件的工作面;
2)打开指示灯,指示灯的指示光λ2与激光λ1共光路;
3)引入第二光源,第二光源位于指示灯一侧,第二光源出射的结构光λ3与水平面之间形成一倾角α;
4)调整倾角α,使指示光λ2的中心与结构光λ3的中心在激光λ1的焦平面上重合后,测量倾角α以及焦距的值;
5)将标准件更换为待加工件,当待加工件的工作面未处于激光λ1的焦平面时,调整指示光λ2的出射角度,使指示光λ2的中心与结构光λ3的中心在待加工件工作面上重合,测量指示光λ2偏离垂直面的角度θ;
6)通过公式计算离焦量的值:
|BC|=abs(|AC|-|AB|)
其中|BC|为离焦量,|AC|为工作面与输出透镜的距离,|AB|为焦距,α为结构光λ3的倾角,θ为指示光λ2偏离垂直面的角度。
所述步骤5)在将标准件更换为待加工件后,再次调整激光λ1垂直出射的高度,以调整激光λ1的焦平面与待加工件的工作面之间的距离。
本发明还提供一种测定离焦量的系统,包括激光光源、用于发射指示光λ2的指示灯,用于测量焦距的激光位移传感器,还包括:
光路调整装置,用于调整激光λ1和指示光λ2的光路,以及测量指示光λ2偏离垂直面的角度θ;
结构光发射器,作为引入的第二光源位于指示灯一侧,用于发射结构光λ3,以及测量结构光λ3与水平面之间形成的倾角α。
所述光路调整装置包括反射镜、转动装置和角度传感器,反射镜通过转动装置进行转动以调整光路,角度传感器用于测量所述角度θ。
还包括输出透镜,位于光路调整装置的底部,用于聚焦光束。
有益效果:本发明克服了常规测量工具由于读数引入的误差,并能实现非接触的距离测量,避免了常规测量对工件的损伤,并能实现狭小空间内的测距,提高了加工效率。
附图说明
图1为本发明的示意图。
具体实施方式
如图1所示,一种测定离焦量的系统,包括光路调整装置1、结构光发射器2、输出透镜3、指示灯(图中未示出)和用于测量焦距的激光位移传感器(图中未示出),入射光入射到光路调整装置1,λ1为激光,λ2为指示灯的指示光,指示光λ2与激光λ1共光路结构;λ3为结构光发射器2的结构光,λ2与λ3均为可见光波长。光路调整装置1包括反射镜(图中未示出)、转动装置(图中未示出)和角度传感器(图中未示出),反射镜可以根据需要通过转动装置进行转动,转动角度可以通过角度传感器测量。输出透镜3位于扫描振镜的底部,用于聚焦光束,使光束能量集中,便于加工。
一种测定离焦量的方法,首先,光路调整装置1通电并使激光λ1垂直出射,即沿着图中的ABC线出射,由于工作平台是固定的,在工作平台上放置标准件。因为激光不能直接打在工作平面上,防止工作平面的损坏,标准件厚度已知。调整光路调整装置1的高度,使激光λ1的焦平面与标准件上的工作面重合。此时,在寻找焦平面时,利用光强传感器,测量激光λ1在标准件上的工作面的光强最大为焦平面,即图1中EB所在的面为激光λ1的焦平面。
然后,关闭激光λ1,打开指示灯和结构光发射器2,分别发出指示光λ2和结构光λ3。由于指示光λ2与激光λ1共光路结构,即保证了指示光λ2也为垂直出射,即沿着ABC线出射,此位置为光路调整装置1中反射镜的初始位置。调整结构光发射器2,使结构光λ3的中心在焦平面上与指示光λ2中心重合,重合点为图1中的B点。结构光发射器2发射的结构光λ3与水平面之间形成的倾角α采用倾角传感器测量,焦距AB由激光位移传感器测量,这两个初始值,测定后不再改变。
测定完倾角α和焦距AB后,将标准件替换为待加工件,由于待加工件不可能与标准件完全一样,比如待加工件可能厚度与标准件不一致,待加工件形状不规则,工作面表面不平整,待加工件工作面与标准件工作面一定不在一个平面上。再次调整激光λ1垂直出射的高度,以调整激光λ1的焦平面与待加工件的工作面之间的距离,由于将待加工件的工作面调整为处于激光λ1的焦平面这个状态不好把握,对技术人员的要求较高,需要多次调节多次试验,且费时费力,误差较大。本实施例将待加工件的工作面尽量靠近激光λ1的焦平面,即当待加工件的工作面未处于激光λ1的焦平面时,通过光路调整装置1中的转动装置调整反射镜的角度,使指示光λ3的中心与结构光λ2的中心在待加工件的工作面上重合,如图1所示,DC所在的面为待加工件的工作面,指示光λ2中心与结构光λ3的中心有一定距离,重合点为图1中的D点。由光路调整装置1中的角度传感器,测定得到偏离原点的角度θ。最后,由数学关系:
计算出工作平面与输出透镜的距离|AC|,则离焦量为|BC|=abs(|AC|-|AB|)。其中|BC|为离焦量,|AC|为工作面与输出透镜的距离,|AB|为焦距,α为结构光λ3的倾角,θ为指示光λ2偏离垂直面的角度。本发明避免了人为度数,实现非接触性的精确测量离焦量。
Claims (5)
1.一种测定离焦量的方法,用于激光加工中离焦量的测量,其特征在于,包括如下步骤:
1)在工作平台上放置标准件,调整激光λ1垂直出射的高度,使激光λ1的焦平面位于标准件的工作面;
2)打开指示灯,指示灯的指示光λ2与激光λ1共光路;
3)引入第二光源,第二光源位于指示灯一侧,第二光源出射的结构光λ3与水平面之间形成一倾角α;
4)调整倾角α,使指示光λ2的中心与结构光λ3的中心在激光λ1的焦平面上重合后,测量倾角α以及焦距的值;
5)将标准件更换为待加工件,当待加工件的工作面未处于激光λ1的焦平面时,调整指示光λ2的出射角度,使指示光λ2的中心与结构光λ3的中心在待加工件工作面上重合,测量指示光λ2偏离垂直面的角度θ;
6)通过公式计算离焦量的值:
|BC|=abs(|AC|-|AB|)
其中|BC|为离焦量,|AC|为工作面与输出透镜的距离,|AB|为焦距,α为结构光λ3的倾角,θ为指示光λ2偏离垂直面的角度。
2.根据权利要求1所述的测定离焦量的方法,其特征在于,所述步骤5)在将标准件更换为待加工件后,再次调整激光λ1垂直出射的高度,以调整激光λ1的焦平面与待加工件的工作面之间的距离。
3.一种测定离焦量的系统,包括激光光源、用于发射指示光λ2的指示灯,用于测量焦距的激光位移传感器,其特征在于,还包括:
光路调整装置(1),用于调整激光λ1和指示光λ2的光路,以及测量指示光λ2偏离垂直面的角度θ;
结构光发射器(2),作为引入的第二光源位于指示灯一侧,用于发射结构光λ3,以及测量结构光λ3与水平面之间形成的倾角α。
4.根据权利要求2所述的测定离焦量的系统,其特征在于,所述光路调整装置(1)包括反射镜、转动装置和角度传感器,反射镜通过转动装置进行转动以调整光路,角度传感器用于测量所述角度θ。
5.根据权利要求2所述的测定离焦量的系统,其特征在于,还包括输出透镜(3),位于光路调整装置(1)的底部,用于聚焦光束。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105750727A (zh) * | 2014-12-15 | 2016-07-13 | 湖北三江航天红阳机电有限公司 | 一种激光焊接焦距确定装置 |
CN105806239A (zh) * | 2016-05-16 | 2016-07-27 | 北京控制工程研究所 | 一种激光扫描式星敏感器离焦量快速检测方法 |
CN106370098A (zh) * | 2015-07-24 | 2017-02-01 | 宝山钢铁股份有限公司 | 大功率激光焦升位置和光模检验方法及装置 |
CN107414287A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-12-01 | 广东工业大学 | 一种激光焊接离焦量测定装置和测定方法 |
CN108169870A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-15 | 江苏金海创科技有限公司 | 前聚焦自动对焦振镜及前聚焦自动对焦方法 |
CN108474652A (zh) * | 2016-01-04 | 2018-08-31 | 高通股份有限公司 | 在结构化光系统中的深度映射产生 |
CN110039053A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-07-23 | 哈尔滨福沃德多维智能装备有限公司 | 一种激光熔化3d打印设备激光焦平面确定系统及方法 |
US20200209522A1 (en) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | Keyence Corporation | Laser Processing Apparatus |
CN111486782A (zh) * | 2019-01-26 | 2020-08-04 | 保定长空科技有限公司 | 一种玻璃钢涂层膜厚非接触式监测设备 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1892178A (zh) * | 2005-07-06 | 2007-01-10 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 非接触式测量法 |
CN101825438A (zh) * | 2010-05-26 | 2010-09-08 | 华中科技大学 | 一种板材厚度的激光测量装置 |
CN103217873A (zh) * | 2013-05-06 | 2013-07-24 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于双光栅莫尔条纹的检焦装置 |
CN103363951A (zh) * | 2012-04-10 | 2013-10-23 | 通用电气公司 | 三角法距离测量系统和方法 |
US20140043471A1 (en) * | 2012-08-07 | 2014-02-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical measuring system and method of measuring critical size |
CN103676487A (zh) * | 2012-09-07 | 2014-03-26 | 上海微电子装备有限公司 | 一种工件高度测量装置及其校正方法 |
CN103926799A (zh) * | 2013-01-11 | 2014-07-16 | 上海微电子装备有限公司 | 一种调焦调平测量方法 |
CN103983203A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-08-13 | 苏州大学张家港工业技术研究院 | 一种激光熔覆熔池离焦量测量装置及其测量方法 |
-
2014
- 2014-09-02 CN CN201410443058.3A patent/CN104165596B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1892178A (zh) * | 2005-07-06 | 2007-01-10 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 非接触式测量法 |
CN101825438A (zh) * | 2010-05-26 | 2010-09-08 | 华中科技大学 | 一种板材厚度的激光测量装置 |
CN103363951A (zh) * | 2012-04-10 | 2013-10-23 | 通用电气公司 | 三角法距离测量系统和方法 |
US20140043471A1 (en) * | 2012-08-07 | 2014-02-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical measuring system and method of measuring critical size |
CN103676487A (zh) * | 2012-09-07 | 2014-03-26 | 上海微电子装备有限公司 | 一种工件高度测量装置及其校正方法 |
CN103926799A (zh) * | 2013-01-11 | 2014-07-16 | 上海微电子装备有限公司 | 一种调焦调平测量方法 |
CN103217873A (zh) * | 2013-05-06 | 2013-07-24 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于双光栅莫尔条纹的检焦装置 |
CN103983203A (zh) * | 2014-05-29 | 2014-08-13 | 苏州大学张家港工业技术研究院 | 一种激光熔覆熔池离焦量测量装置及其测量方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105750727A (zh) * | 2014-12-15 | 2016-07-13 | 湖北三江航天红阳机电有限公司 | 一种激光焊接焦距确定装置 |
CN106370098B (zh) * | 2015-07-24 | 2019-02-05 | 宝山钢铁股份有限公司 | 大功率激光焦升位置和光模检验方法及装置 |
CN106370098A (zh) * | 2015-07-24 | 2017-02-01 | 宝山钢铁股份有限公司 | 大功率激光焦升位置和光模检验方法及装置 |
CN108474652B (zh) * | 2016-01-04 | 2020-06-19 | 高通股份有限公司 | 在结构化光系统中的深度映射产生 |
CN108474652A (zh) * | 2016-01-04 | 2018-08-31 | 高通股份有限公司 | 在结构化光系统中的深度映射产生 |
US11057608B2 (en) | 2016-01-04 | 2021-07-06 | Qualcomm Incorporated | Depth map generation in structured light system |
CN105806239B (zh) * | 2016-05-16 | 2018-07-24 | 北京控制工程研究所 | 一种激光扫描式星敏感器离焦量检测方法 |
CN105806239A (zh) * | 2016-05-16 | 2016-07-27 | 北京控制工程研究所 | 一种激光扫描式星敏感器离焦量快速检测方法 |
CN107414287A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-12-01 | 广东工业大学 | 一种激光焊接离焦量测定装置和测定方法 |
CN108169870A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-15 | 江苏金海创科技有限公司 | 前聚焦自动对焦振镜及前聚焦自动对焦方法 |
US20200209522A1 (en) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | Keyence Corporation | Laser Processing Apparatus |
US11703659B2 (en) * | 2018-12-28 | 2023-07-18 | Keyence Corporation | Laser processing apparatus |
CN111486782A (zh) * | 2019-01-26 | 2020-08-04 | 保定长空科技有限公司 | 一种玻璃钢涂层膜厚非接触式监测设备 |
CN110039053A (zh) * | 2019-05-14 | 2019-07-23 | 哈尔滨福沃德多维智能装备有限公司 | 一种激光熔化3d打印设备激光焦平面确定系统及方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN104165596B (zh) | 2017-01-25 |
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