CN104129634A - 一种升降机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种升降机构，属于样品装载与卸载的装置技术领域。该升降机构包括限位轴、滑块和至少两组定位组件，滑块套设于限位轴，定位组件设置于滑块，限位轴上沿竖直方向设有定位区间，定位组件能够卡扣于定位区间，使得滑块在升降后的位置能够被固定。该升降机构结构简单，该升降机构能够借助滑块在限位轴上实现升降移动，并且，该升降机构能够借助定位区间与定位组件的配合使得滑块在升降后的位置能够被固定。
Description
技术领域
本发明涉及用于样品装载与卸载的装置技术领域，特别涉及一种升降机构。
背景技术
精确测量晶圆片样品上单层或者多层薄膜形成的三维结构的临界尺度、空间形貌及材料特性等表面信息在半导体行业中具有十分重要的作用。通常情况下，；利用光学测量技术非接触地测量硅片样品反射的光信号，可以获得硅片样品表面信息。
对晶圆片样品进行测量之前，往往需要将样品装载到一个比较密闭的测量装置（如椭偏仪）中。一般情况下，采用机械手实现样品的装载与卸载，可以为实现准确、安全、高效的测量奠定基础。但是，机械手具有专一性并且价格昂贵，对于每次仅测量少数样品的应用（如实验室测量）而言，显得成本过高；同时，对于所选用的比较密闭的测量装置而言，由于空间有限，手工装载难以直接实现。
发明内容
为了解决上述问题，本发明提出了一种在晶圆片辅助装载装置上应用的升降机构。
本发明提供的升降机构包括限位轴、滑块和至少两组定位组件，所述滑块套设于所述限位轴，所述定位组件设置于所述滑块，所述限位轴上沿竖直方向设有定位区间，所述定位组件能够卡扣于所述定位区间，使得所述滑块在升降后的位置能够被固定。
本发明提供的升降机构结构简单，该升降机构能够借助滑块在限位轴上实现升降移动，并且，该升降机构能够借助定位区间与定位组件的配合使得滑块在升降后的位置能够被固定。
附图说明
图1为本发明实施例提供的升降机构当滑块处于其中一个定位区间时的示意图。
具体实施方式
为了深入了解本发明，下面结合附图及具体实施例对本发明进行详细说明。
参见附图1，本发明提供的升降机构包括限位轴1、滑块2和至少两组定位组件22，滑块2套设于限位轴1，定位组件22设置于滑块2，限位轴1上沿竖直方向设有多个定位区间3（本实施例中只画出了一个定位区间，实践中，定位区间可以沿限位轴1的轴向设有多个），定位组件22能够卡扣于定位区间3，使得滑块2在升降后的位置能够被固定。
其中，作为定位区间3的一种具体的实现方式，定位区间3可以为向限位轴1中心缩进的锥形缺口，滑块2可以自中心向外缘开设有水平通孔4，定位组件22可以包括由滑块2中心向外缘依次连接的刚性球5、弹性部件6和堵头7，刚性球5能够卡扣于定位区间3，当定位区间3为多个时，刚性球5可以分别卡扣于每一个定位区间3，刚性球5能够在水平通孔4中水平穿梭。本实施例中，刚性球5为钢球。堵头7的外缘固定连接于滑块2的外缘。
其中、水平通孔4的内径可以等于刚性球5（本实施例中，刚性球5为钢球）的直径，从而当刚性球5（本实施例中，刚性球5为钢球）在水平通孔4中水平穿梭时，避免滑块2产生晃动。
其中，限位轴1可以呈圆柱状，锥形缺口可以沿限位轴1的周向设置，使得滑块2可以根据需要以限位轴1为圆心转动。
其中，作为弹性部件6的一种具体的实现方式，弹性部件6可以为弹簧。
本发明实施例提供的升降机构的工作原理如下：
向上或者向下按动滑块2，刚性球5（本实施例中，刚性球5为钢球）带动弹簧6收缩，滑块沿着限位轴1向上或者向下滑动后再次卡扣于定位区间3中，从而实现滑块2的升降。
本发明提供的升降机构结构简单，该升降机构能够借助滑块2在限位轴1上实现升降移动，并且，该升降机构能够借助定位区间3与定位组件22的配合使得滑块在升降后的位置能够被固定。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种升降机构，其特征在于，包括限位轴（1）、滑块（2）和至少两组定位组件（22），所述滑块（2）套设于所述限位轴（1），所述定位组件（22）设置于所述滑块（2），所述限位轴（1）上沿竖直方向设有多个定位区间（3），所述定位组件（22）能够卡扣于所述定位区间（3），使得所述滑块（2）在升降后的位置能够被固定。
2.根据权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述定位区间（3）为向所述限位轴（1）中心缩进的锥形缺口，所述滑块（2）自中心向外缘开设有水平通孔（4），所述定位组件（22）包括由所述滑块（2）中心向外缘依次连接的刚性球（5）、弹性部件（6）和堵头（7），所述刚性球（5）能够卡扣于所述定位区间（3），所述刚性球（5）能够在所述水平通孔（4）中水平穿梭，所述堵头（7）的外缘固定连接于所述滑块（2）的外缘。
3.根据权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述水平通孔（4）的内径等于所述刚性球（5）的直径。
4.根据权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述限位轴（1）呈圆柱状，所述锥形缺口沿所述限位轴（1）的周向设置。
5.根据权利要求2所述的升降机构，其特征在于，所述弹性部件（6）为弹簧。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201310158773.8A CN104129634A (zh) | 2013-05-02 | 2013-05-02 | 一种升降机构 |
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| CN201310158773.8A CN104129634A (zh) | 2013-05-02 | 2013-05-02 | 一种升降机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN104129634A true CN104129634A (zh) | 2014-11-05 |
Family
ID=51802561
Family Applications (1)
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| CN201310158773.8A Pending CN104129634A (zh) | 2013-05-02 | 2013-05-02 | 一种升降机构 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN104129634A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106395368A (zh) * | 2016-11-23 | 2017-02-15 | 平利县凯灵汽车零部件有限公司 | 一种汽车零部件夹取机构 |
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2013
- 2013-05-02 CN CN201310158773.8A patent/CN104129634A/zh active Pending
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Application publication date: 20141105 |
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| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |