CN104069998B - 光照射装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种光照射装置，其能够根据涂布成多种形状的紫外线硬化型粘合剂调整紫外线照射区域的形状，以大致均匀的强度对矩形（框形）照射对象区域全体一齐进行照射。其具有：照射单元，其包括，从照射面侧观看包围规定矩形区域的板状的基板，和在基板的表面，沿矩形区域的各边隔开规定间隔排成至少一列，并使光轴朝向垂直于基板的表面的方向而配置的多个发光元件；以及光量调整单元，其调整多个发光元件的光量，多个发光元件配置在与照射面平行的同一平面，从照射面侧观看，照射单元包括：包围规定矩形区域的框形的框形部，和向框形部的外侧突出的突出部，光量调整模块，至少对位于框形部的发光元件的光量进行调整，使其分别为规定的光量。

Description

光照射装置

技术领域

本发明涉及一种光照射装置，其适用于使用光硬化型粘合剂对平板显示器等进行基板贴合加工。

背景技术

在以液晶显示器为代表的平板显示器的制造工序中，要进行使用紫外线硬化型粘合剂（密封材料）将基板贴合于框形的工序。利用紫外线照射装置，对接合部照射紫外线，并且该紫外线的照射强度分布与接合部的形状一致，使粘合剂硬化，完成基板的接合。

接合部的形状，即，使粘合剂硬化时必须的紫外线照射区域的模式，因所要制造的显示器的种类和尺寸而不同。因而，在专利文献1中提供了一种紫外线照射装置，其是将发生线状的紫外线的两个照射模块配置在立体交差的位置，并使各照射模块能够在与直线方向垂直的方向上移动，由此能够用1台装置对长宽比不同，大小不同等各种接合部的形状进行处理。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]特开2005－99783号公报

一般公知紫外线硬化型粘合剂的硬化状态（例如，硬化后的硬度、收缩率、残留应力等）会因所照射的紫外线强度而受到很大的影响。在紫外线的照射光强度不足时，紫外线硬化型粘合剂硬化不充分，严重时会导致不硬化。

例如，在平板显示器制造工序中，当密封两个玻璃基板时所使用的紫外线硬化型粘合剂受到不均匀的照射光强度影响，使其硬化状态不均时，会在玻璃基板间发生应力，产生产品品质下降，平板显示器厚度不均匀，精细度等性能下降的问题。

为了解决上述问题，必须均匀地使已涂布的紫外线硬化型粘合剂硬化，要求以均匀的强度对紫外线硬化型粘合剂照射紫外线。

如上所述，在平板显示器制造工序中，作为高效地对涂布成矩形的密封剂照射紫外线的制造工具，公知有专利文献1中记载的紫外线照射装置。但是，在专利文献1记载的紫外线照射装置中，是将两个垂直的照射模块配置在立体交差的位置，各照射模块与矩形的照射面（被加工物）的距离（照射距离）均不同。因此，在以均匀的强度对涂布成矩形的紫外线硬化型粘合剂（即，照射对象区域）照射紫外线时，因照射距离的不同，必须对每个照射模块设置可调整射出强度的光学机构或电气功能，进行复杂的控制。

进而，在专利文献1记载的紫外线照射装置中，由于使各照射模块在与直线方向垂直的方向移动，并照射紫外线的构成，因此不能对照射对象区域一齐照射紫外线。因此，涂布成矩形的紫外线硬化型粘合剂，在时间上会呈现部分硬化，在硬化后的粘合剂内产生收缩率差异，其结果是，在两个玻璃基板间残留不需要的应力，而产生不良。另外，容易使硬化状态不均，而存在平板显示器厚度不均匀的问题。

发明内容

本发明有鉴于上述问题，目的在于提供一种光照射装置，其能够根据涂布成矩形长宽比不同，对边的长度不同等多种形状的紫外线硬化型粘合剂，调整紫外线照射区域的形状，并能够以大致均匀的强度对矩形（框形）的照射对象区域全体进行照射。

为了达到上述目的，本发明的光照射装置用于对平面状的照射面照射光，其特征在于，具有：照射单元，其包括，从照射面侧观看，包围规定矩形区域而配置的板状的基板，和在基板的表面，沿矩形区域的各边隔开规定间隔排成至少一列，并使光轴朝向垂直于基板的表面的方向而配置的多个发光元件；以及光量调整单元，其调整多个发光元件的光量，多个发光元件配置在与照射面平行的同一平面上，从照射面侧观看，照射单元包括：包围规定矩形区域形成框形的框形部，和向框形部的外侧突出的突出部，光量调整模块，至少对位于框形部的发光元件的光量进行调整，使其分别为规定的光量。

根据上述结构，由于各照射单元配置在同一平面上，使各照射单元与照射面（被加工物）的距离一定，因此能够以均匀的强度对照射对象区域全体进行照射。

优选光量调整模块能够选择性地对位于框形部和突出部边界的发光元件的光量进行调整。根据上述结构，由于能够调整从框形部与突出部的边界部分射出的光的强度，因此能够以更均匀的强度进行照射。

优选照射单元包括：第1照射单元，其具有沿矩形区域的3个边延伸的“コ”字形基板；和第2照射单元，其具有沿矩形区域的另一边延伸的直线形的基板，第1照射单元垂直于第2照射单元的长度方向，具有在第1方向延伸的两个突出部。

优选照射单元包括：第1照射单元，其具有沿矩形区域的两个边延伸的L字形的基板；和第2照射单元，其具有沿矩形区域的另两个边延伸的倒L字形的基板，第1照射单元和第2照射单元分别具有相互平行地沿第1方向延伸的两个突出部。

优选还具有使第2照射单元沿第1方向移动的第1移动模块。

优选照射单元包括第1～第4照射单元，其具有沿矩形区域的各边延伸的直线形的基板，第1和第2照射单元，使其长度方向沿第1方向平行配置，第3和第4照射单元，使其长度方向沿垂直于第1方向的第2方向平行配置，第1照射单元的长度方向一端部，与第3照射单元的侧面接近，第3照射单元的长度方向一端部，与第2照射单元的侧面接近，第2照射单元的长度方向一端部，与第4照射单元的侧面接近，第4照射单元的长度方向一端部，与第1照射单元的侧面接近，第1和第2照射单元的长度方向另一端部形成两个突出部。

优选第3和第4照射单元的长度方向另一端部形成两个突出部。

优选还具有使各第1～第4照射单元沿第1方向移动的第1移动模块。

优选还具有使各第1～第4照射单元沿第2方向移动的第2移动模块。

优选照射单元包括第1～第4照射单元，其具有沿矩形区域的各边延伸的直线形的基板，第1和第2照射单元，使其长度方向沿第1方向平行配置，第3和第4照射单元，使其长度方向沿垂直于第1方向的第2方向平行配置，第3和第4照射单元的长度方向一端部，与第1照射单元的侧面接近，第3和第4照射单元的长度方向另一端部，与第2照射单元的侧面接近，第1和第2照射单元的长度方向一端部形成两个突出部。

优选第1和第2照射单元的长度方向另一端部形成两个突出部。

优选还具有使第3和第4照射单元的至少任一方沿第1方向移动的第3移动模块。

优选光量调整模块选择性地使配置在突出部的发光元件光量降低。

优选具有配置在各发光元件的光路上，用于改变从各发光元件放射的光的放射角度的至少一个光学元件。

优选多个发光元件排成n列（n为2以上的整数）。此时，优选排成n列的多个发光元件，在各列中以第1间隔排列，在相邻的列之间，多个发光元件在长度方向上的位置错开第1间隔的1／2。

优选排成n列的多个发光元件，在各列中以第1间隔排列，在相邻的列之间，多个发光元件在长度方向上的位置错开第1间隔的1／n。

优选位于框形部的四角周边，并且位于第1～第4照射单元的长度方向端部的多个发光元件排列成m列（m为2以上的整数），端部以外的部分的多个发光元件排列成比m列少的k列（k为1以上的整数）。

优选照射单元具有多个柱面透镜，其焦线向着发光元件的排列方向，且与多个发光元件分别对置。

优选多个发光元件为具有正方形的发光面的面发光LED，发光面的一个对角线沿基板的长度方向配置。

另外，从另一方面来看，本发明光照射装置，其用于对平的照射面照射光，其特征在于，具有：N个照射单元，其分别包括，细长板形的基板，和在基板的表面沿基板的长度方向隔开规定间隔排成至少一列，并使光轴朝向垂直于基板的表面的方向而配置的多个发光元件，通过使多个发光元件发光而对照射面分别照射线状的光，其中N为3以上的整数，光量调整模块，其调整N个照射单元的多个发光元件的光量，N个照射单元的多个发光元件配置在与照射面平行的同一平面上，从照射面侧观看，N个照射单元沿呈N边形形状的规定区域的各边配置，而形成包围规定区域的框形的框形部和向框形部外侧突出的突出部，光量调整模块选择性地对位于框形部和突出部边界的发光元件的光量进行调整。

如上所述，根据本发明实施方式的光照射装置，由于各照射单元的多个发光元件配置在与照射面（被加工物）平行的同一平面上，并且各发光元件与照射面的距离一定，因此能够以均匀的强度对照射对象区域全体进行照射。

附图说明

图1是本发明第1实施方式的光照射装置的概略图（平面图）。

图2是本发明第1实施方式的光照射装置的照射模块付近的放大剖视图。

图3是本发明第1实施方式的光照射装置的照射模块付近的放大剖视图。

图4是本发明第1实施方式的光照射装置的概略图（平面图）。

图5是本发明第2实施方式的光照射装置的概略图（平面图）。

图6是本发明第2实施方式的光照射装置的概略图（侧视剖视图）。

图7是用于说明变形例1的结构的图（放大平面图）。

图8是用于说明变形例2的结构的图（放大平面图）。

图9是用于说明变形例3的结构的平面图。

图10是用于说明变形例4的结构的平面图。

图11是用于说明变形例5的结构的平面图。

符号说明

1 光照射装置

10 支持板

20 照射模块

30 光学单元

50 控制部

60、70 直线载台

具体实施方式

下面结合附图详细说明本发明的实施方式。

（第1实施方式）

图1是本发明第1实施方式的光照射装置1的正面图。本实施方式的光照射装置1向图1的纸面外侧射出在波长成分中含有可使UV粘合剂（紫外线硬化型粘合剂）硬化的波长的光（以下称为“UV光”。）。从光照射装置1射出的UV光具有框形的照射强度分布，可用于例如在液晶显示器等平板显示器制造工序中，对贴合玻璃基板的UV粘合剂进行硬化处理。

如图1所示，光照射装置1具有：平板形的支持板10；安装在支持板10表面的4个细长棱柱形的照射模块20（20A、20B、20C、20D）；和控制光照射装置1的动作的控制部50。在以下说明中，如图1所示坐标，以垂直于支持板10的方向为Z轴方向，以平行于支持板10的相互垂直的两方向为X轴方向和Y方向。

使照射模块20A、20C长度方向沿X轴方向配置，使照射模块20B、20D长度方向沿Y轴方向配置。使照射模块20A的长度方向一端部与照射模块20D的短边方向一侧面接近。在本说明书中所谓“接近”包括“接触”的意思。

同样地，使照射模块20B的长度方向一端部与照射模块20A的短边方向一侧面接近，使照射模块20C的长度方向一端部与照射模块20B的短边方向一侧面接近，并使照射模块20D的长度方向一端部与照射模块20C的短边方向一侧面接近。即，如图1所示，由于4个照射模块20A、20B、20C、20D在支持板10的一表面上包围规定的矩形区域S，因而形成将矩形区域S包围在框形内的框形部F（图1中由虚线包围的部分）和从框形部F向外侧（即，上下左右）突出的4个突出部G。

对各照射模块20，在与支持板10接触的面的相反侧的面（相对侧表面）设置有多个光学单元30。光学单元30在照射模块20的长度方向等间隔排成一列。从各光学单元30向垂直于支持板10的Z轴方向放射UV光。从各光学单元30放射的UV光具有沿照射模块20的长度方向的扩散角。因此，从隣接的光学单元30射出的UV光相互重合，形成在照射模块20的长度方向延伸的线状的照射强度分布的UV光。另外，如上所述，由于射出各线状UV光的4个照射模块20A、20B、20C、20D围成规定的矩形区域S，因此光照射装置1全体射出框形照射强度分布的照射光（UV光）。

图2和图3是光照射装置1的放大剖视图。图2是由经过照射模块20A的YZ平面切断的图，图3是由经过照射模块20A的ZX平面切断的图。照射模块20具有细长棱柱形的基板22，在基板22表面沿长度方向等间隔配置多个光学单元30，并进行安装。

光学单元30具有配置在其光轴AX上的LED（发光二极管：Light Emitting Diode）元件32、汇聚透镜34和柱面透镜36。LED元件32是具有正方形发光面的面发光LED，安装在基板22的一侧表面。利用固定于基板22的未图示的透镜座保持汇聚透镜34和柱面透镜36。

汇聚透镜34在X轴方向和Y轴方向上具有正的折射率，为了在从支持板10向Z轴正方向离开规定距离（工作距离：working distance）的照射区域上得到在X轴方向（直线方向）上均匀的照射强度分布，要减小从LED元件32放射的发散光在X轴方向和Y轴方向上的扩散角。具体为，例如所使用的汇聚透镜34使得照射区域上的照射光强度的半峰全宽与光学单元30在X轴方向上的配置间隔为相同程度，并且从相邻的光学单元30射出的照射光的底部彼此重合，在X轴方向上得到均匀性好的照射强度分布。

柱面透镜36仅在Y轴方向具有正的折射率，使从LED元件32放射的发散光的扩散角向Y轴方向汇聚，形成细长线状的照射强度分布。

在本实施方式中，汇聚透镜34和柱面透镜36使用平凸透镜，但也可使用具有正的折射率的其他形状的透镜（例如，双凸透镜或凸凹透镜）。另外，在本实施方式中，在各光学单元30设置有1个短的柱面透镜36，但也可是多个光学单元30共用一个长的柱面透镜。

在基板22的背面，在长度方向等间隔设置有多个雌螺纹22t。在支持板10上设置有多个贯通穴12，形成正方格子形（即，在X轴方向和Y轴方向等间隔）。利用穿过贯通穴12旋入雌螺纹22t的多个螺栓14，将照射模块20的基板22固定于支持板10。

如上所述，在本实施方式中，排列4个照射模块20，而在支持板10表面上围成规定的矩形区域S。因此，分别由4个照射模块20形成的线状的照射强度分布，沿框形部F无隙间地重合，从框形部F射出的照射光均匀性好，具有框形的照射强度分布。

通过如本实施方式所示配置多个照射模块20（即，使各照射模块20长度方向一端部接近另一照射模块20短边方向的一侧面），可将各照射模块20的基板22直接安装于支持板10上，并使各LED元件32的发光面32a（图2、图3）在Z轴方向上的位置固定（即，位于同一面上）。由此，可以使用4个相同设计的照射模块20，形成照射强度分布均匀的框形的照射光。

本实施方式的各照射模块20简单地仅利用螺栓14固定于支持板10，可通过拆除将各照射模块20与支持板10固定的螺栓14，并使螺栓14穿过另一贯通穴12再次旋入基板22的雌螺纹22t，而容易地改变各照射模块20在支持板10上的固定位置。也就是说，如图1中箭头所示，通过使各照射模块20分别向X轴方向和Y轴方向移动，而如图4所示，改变有4个照射模块20围成的矩形区域S的大小，其结果是，能够改变框形部F的大小。

如上所述，根据本实施方式的结构，可以根据涂布成矩形长宽比不同，对边长度不同等多种形状的紫外线硬化型粘合剂，调整紫外线照射区域（即，框形部F）的形状。因此，能够对框形的照射对象区域全体一齐照射强度大致均匀的紫外线，因而能够生产亮度及精细度不均小的高品质的平板显示器。

如图1所示，控制部50具有对由各照射模块20发生的UV光的射出进行控制的光量调整部52。光量调整部52控制各LED元件32的驱动电流，可对每个LED元件32进行点亮／熄灭的切换及光量调整。

在采用本实施方式中照射模块20的配置的情形下，在两个照射模块20接近的部位（即，框形部F与突出部G的边界部），光学单元30的配置密度高，因此存在UV光的照射强度增大的问题。

在图4中，由虚线包围的区域A是照射模块20B长度方向一端部与照射模块20A接近的部分（即，框形部F与突出部G的边界部），由虚线包围的区域B是照射模块20B长度方向一端部未发生接近的部分。在区域A中共配置有4个光学单元30，即，配置在其中央的光学单元30A，配置在光学单元30A的X轴方向两侧的两个光学单元30（照射模块20A）和配置在光学单元30A的Y轴负方向侧的一个光学单元30（照射模块20B）。另一方面，在区域B中共配置有3个光学单元30，即，配置在其中央的光学单元30B和配置在光学单元30B的X轴方向两侧的两个光学单元30（照射模块20A）。因此，在设定各光学单元30的照射量为固定时，配置有4个光学单元30的区域A与配置有三个光学单元30的区域B相比，光学单元30的配置密度高，因而导致照射强度高。为此，利用光量调整部52使配置在区域A的光学单元30（例如，与照射模块20B的长度方向一端部相邻的光学单元30A或30A2）的光量降低，从而可得到均匀的框形照射强度分布。另外，考虑如下情形，即，利用柱面透镜36使由本实施方式的各光学单元30射出的UV光向各光学单元30的中心汇聚，因此对于区域A，利用柱面透镜36的折射率或基板22的宽度（短边方向的长度），使得从照射模块20A射出的UV光与从照射模块20B射出的UV光离开过远。此时，区域A的照射强度小于区域B的照射强度，因此，提供提高配置在区域A中的光学单元30（例如，与照射模块20B的长度方向一端部相邻的光学单元30A或30A2）的光量，可得到均匀的框形的照射强度分布。

而且，两个照射模块20接近是指，具体为接近到对照射强度（能量密度）分布的均匀性产生影响的程度时，产生各照射模块20的照射强度分布的相互重合。区域A是产生上述照射强度分布的相互重合的区域。更具体为，例如令各照射模块20的照射强度分布中，峰值强度的1／2以上（或1／4以上、1／8以上、1／16以上等）的区域彼此发生重叠的区域为区域A。

另外，在本实施方式中，由于必须为框形的照射光，因此不需要由配置在突出部G的光学单元30X（图4）进行照射。因此，可利用光量调整部52，选择性地仅使光学单元30X熄灭或变暗。

在上述第1实施方式中，螺栓14使各照射模块20固定在支持板10上，必须通过手动作业改变照射模块20的配置。但是，如下面要说明的本发明第2实施方式，通过使用自动载台等移动装置，可自动改变各照射模块20在支持板10上配置。

（第2实施方式）

图5是本发明第2实施方式的光照射装置100的正面图。图6是图5中E－E剖视图。在以下说明中，对于与第1实施方式相同或相应的结构使用相同或类似的符号，并省略重复说明。

本实施方式的支持板10′形成为具有从四边竖起的侧壁10′W的箱形。对于侧壁10′W，在与照射模块20A、20B、20C和20D相对的面分别安装有直线载台60（60A，60B，60C和60D）。直线载台60是具有电磁方式驱动机构的自动载台，包括1个直线形的轨道62和两个滑动器63、64。滑动器63、64与轨道62卡合，能够沿轨道62移动。

各轨道62A、62B、62C、62D分别与支持板10′平行配置，利用螺栓（未图示）安装于侧壁10′W。相互平行配置沿X轴方向滑动的直线载台60A和60C，安装于相同高度（Z轴方向的位置）。同样地，相互平行配置沿Y轴方向滑动的直线载台60B和60D也安装于相同高度。沿Y轴方向滑动的直线载台60B和60D，与沿X轴方向滑动的直线载台60A和60C配置在不同高度。如图6所示，在本实施方式中，直线载台60B和60D配置在高于直线载台60A和60C的位置。

光照射装置100还具有4个直线载台70（70A、70B、70C和70D）。直线载台70是与直线载台60结构相同的自动载台，具有1个直线形的轨道72（72A、72B、72C、72D）和两个滑动器73（73A、73B、73C、73D。其中图中只表示了73C。）、74（74A，74B，74C，74D。其中74A未图示。）。如图6所示，各直线载台70A、70B、70C和70D分别配置在各照射模块20A、20B、20C和20D的正下方，各直线载台70的滑动器73、74利用杆80与各照射模块20的背面连结。

直线载台70A的轨道72A，其长度方向一端与直线载台60D的滑动器63D连接，另一端与直线载台60B的滑动器63B连接。因此，在同步驱动滑动器63D和滑动器63B时，轨道72A在Y轴方向上滑动。在同步驱动直线载台70A的滑动器73D（未图示）和74D时，照射模块20A沿轨道72A在X轴方向上移动。即，通过驱动直线载台60B、60D和70A，能够使照射模块20A保持其姿态（朝向）并在X轴和Y轴方向移动。

同样地，直线载台70C的轨道72C，其一端与直线载台60D的滑动器64D连接，另一端与直线载台60B的滑动器64B连接，通过驱动直线载台60B、60D和70C，能够保持照射模块20C的姿态，而使照射模块20C在X轴和Y轴方向移动。

直线载台70D的轨道72D，其一端与直线载台60A的滑动器63A连接，另一端与直线载台60C的滑动器63C连接。因此，在同步驱动滑动器63A和滑动器63C时，轨道72D在X轴方向滑动。在同步驱动直线载台70D的滑动器73D（未图示）和74D时，照射模块20D沿轨道72D在Y轴方向移动。即，通过驱动直线载台60A、60C和70D，能够使照射模块20D保持其姿态并在X轴和Y轴方向移动。

同样地，直线载台70B的轨道72B，其长度方向的一端与直线载台60A的滑动器64A连接，另一端与直线载台60C的滑动器64C连接，通过驱动直线载台60A、60C和70B，能够使照射模块20B保持其姿态并在X轴和Y轴方向移动。

如上所述，在本实施方式中，使沿Y轴方向滑动直线载台60B和60D，与沿X轴方向滑动的直线载台60A和60C配置在不同高度。因此，与直线载台60B、60D连接的直线载台70A、70C，和与直线载台60A、60C连接的直线载台70B、70D也配置在不同高度。利用该结构，能够不发生相互干涉得移动直线载台70A、70C和直线载台70B、70D。

利用长度不同的杆80使照射模块20A、20C和照射模块20B、20D与直线载台70连接。由此，使4个照射模块20A、20B、20C和20D的高度（Z轴方向的位置）固定。因此，可使平行于XY平面配置的被加工物和各照射模块20的距离均匀，能够对被加工物照射照射强度分布均匀的照射光。

直线载台60A、60B、60C、60D、70A、70B、70C和70D与控制部50连接。控制部50具有移动控制部54，其对各直线载台60、70的驱动进行控制，使照射模块20A、20B、20C和20D移动。可通过自动控制改变各照射模块20A、20B、20C和20D的位置，在改变被加工物的种类时，可以容易地改变照射强度分布的设定。

以上对本发明实施方式进行了说明，但本发明不局限于上述实施方式的结构，可在其技术思想的范围内作各种变形。

（变形例1）

以下说明可应用于上述各实施方式的若干变形例。图7是表示变形例1的概略结构的放大图。变形例1的照射模块20′，其基板22′长度方向一端部（与另一照射模块20n短边方向的一侧面接近的端部），向照射模块20n长度方向（图8中的X轴方向）两侧突出，而具有形成T字形的T字形部22t。在T字形部22t，在其突出方向并列配置有两个光学单元30t。照射模块20′关于光学单元30的配置形成面对称性（对称面S）。即，在除T字形部22t以外的部分（光学单元30排成一列的部分），光学单元30在对称面S上以等间隔排列。另外，在T字形部22t中，两个光学单元30t未配置于对称面S上，而是夹着对称面S配置在相互对称的位置。

如图7所示，在照射模块20′的上述一端部近傍，光学单元30t排列的中心线，与光学单元30i排列的中心线垂直相交，而排列成T字形。

通过如上所述构成照射模块20′的一端部，即使在因基板尺寸的制约等，使相邻的照射模块20t、20′间光学单元30的间隔扩大时，也能够确保在照射模块20的接缝（即，框形部F与突出部G的边界部）处具有必需的照射强度。

在本变形例1中，在照射模块20′长度方向的一端部（与基板22′的长度方向一端相邻的部分）排列两列光学单元30，在其以外的部分排列1列光学单元30，但也可采用其他排列。例如，也可以在一端部以外的部分使光学单元排成多列。此时，可以使在一端部的排列数多于除了该一端部以外的部分的排列数。若用一般的描述对变形例1的排列方法加以记载，可以是，在照射模块20′的一端部，排列m列（m为2以上的整数）光学单元30t，在一端部以外排列比m列少的k列（k为1以上的整数）光学单元30t。

（变形例2）

下面说明本发明实施方式的变形例2。在本发明第1和第2实施方式中，在照射模块20上排列一列光学单元30，但也可以在照射模块20上排列设置多列光学单元30。

图8是表示变形例2的概略结构的图。在变形例2的照射模块20″中，在基板22″的长度方向并列配置两列光学单元30″。在各列（L列、R列）中以等间隔（间隔p）排列光学单元30″。在L列和R列中，光学单元30″的列方向上的位置错开排列间隔p的1／2，即交错排列。通过如上所述排列光学单元30″，可提高光学单元30″的配置密度，且使其配置均匀，因此能够得到更均匀的照射强度分布。

在变形例2中，LED元件32″具有正方形的发光面，各LED元件32″，使其发光面上一个对角线朝向排列方向（基板22的长度方向）配置。利用上述结构，可在LED元件32″的排列方向（直线方向）上得到更均匀的照射强度分布。

当在照射模块中并列n列（n为3以上的整数）地配置光学单元30″时，也可以与上述变形例2同样地，使相邻的两列间光学单元30″在列方向上的位置错开排列间隔p的1／2。另外，在配置n列光学单元30″时，也可以使相邻的列之间光学单元30″在列方向上的位置错开排列间隔p的1／n。

上述变形例1和变形例2均可应用于第1实施方式和第2实施方式两者。

在上述各实施方式中，对配置4个照射模块20A、20B、20C、20D，而形成包围矩形区域S为框形的框形部F和从框形部F向外侧突出的4个突出部G的情形进行了说明，但并不限于上述结构，可以如下述说明的变形例3～5那样来配置4个照射模块20A、20B、20C、20D。

（变形例3）

图9是表示本发明第1实施方式的光照射装置1的变形例图。本变形例的光照射装置1A，在配置4个照射模块20A、20B、20C、20D而形成两个突出部G这一点上，与第1实施方式不同。也就是说，在本变形例中，照射模块20A和照射模块20D配置成L字形，未对照射模块20D形成突出部G。同样地，照射模块20B和照射模块20C配置成倒L字形，未对照射模块20B形成突出部G。在本变形例中，照射模块20A和照射模块20D为一个组件，照射模块20B和照射模块20C为一个组件，均仅能够在X方向移动。可利用上述结构改变由照射模块20包围的矩形区域S的大小，而改变框形部F的大小。并且，可以连结照射模块20A和照射模块20D构成一个照射模块，并连结照射模块20B和照射模块20C形成一个照射模块。

（变形例4）

图10是表示本发明第1实施方式的光照射装置1的变形例的图。本变形例的光照射装置1B，与变形例3同样地在配置4个照射模块20A、20B、20C、20D而形成两个突出部G这一点上，与第1实施方式不同。也就是说，在本变形例中，照射模块20A、照射模块20D和照射模块20C配置成“コ”字形，照射模块20B配置在由照射模块20A、照射模块20D和照射模块20C包围的区域内，对照射模块20D和照射模块20B未形成突出部G。而且，在本变形例中，照射模块20A、照射模块20D和照射模块20C为一个组件，照射模块20B仅能够在X方向移动。可利用上述结构改变由照射模块20包围的矩形区域S的大小，而改变框形部F的大小。并且，可以连结照射模块20A、照射模块20D和照射模块20C形成一个照射模块。

（变形例5）

图11是表示本发明第1实施方式的光照射装置1的变形例的图。本变形例的光照射装置1B，在使照射模块20B和20D夹在照射模块20A和20C之间，对照射模块20A和20C分别形成向左右方向（即，X轴方向）延伸的两个突出部G这一点上，与第1实施方式不同。在本变形例中，使照射模块20A和20C固定，并使照射模块20B和20D仅能够在X方向移动。可利用上述结构改变由照射模块20包围的矩形区域S大小，而改变框形部F的大小。

而且，上述各实施方式均为将4个照射模块连接成矩形的例子，但本发明实施方式的结构不限于此，也可以将三个以上的照射模块连接成环形（例如：三角形、五边形、六边形、……十二边形……）。并且，不必形成为正多边形，可根据被加工部（被照射部）的形状设定照射模块的配置。

上述各实施方式是将多个照射模块连接成凸多边形的例子，但将照射模块连接成凹多边形（多边形的内角超过180°）的情形也包含在本发明的范围内。

在上述各实施方式中，利用汇聚透镜34减小从LED元件放射的发散光在X轴方向和Y轴方向的扩散角，但也可将汇聚透镜34替换为其他光学部品（例如，反射镜或衍射光栅）。另外，在光学单元30中除光学滤镜外，也可采用调整光谱特性或照射强度分布的结构。

上述各实施方式是为了使紫外线硬化型粘合剂硬化，而照射能够使紫外线硬化型粘合剂硬化的UV光的光照射装置的例子，但本发明实施方式不限于该构成。本发明也能够应用于，照射包含对紫外线硬化型粘合剂以外的感光性材料（例如：紫外线硬化型树脂、紫外线硬化型油墨、紫外线硬化型涂料、紫外线硬化型涂布剂、紫外线硬化型抗蚀剂等）起作用的波长的光的光照射装置。另外，本发明实施方式，不限于照射UV光的光照射装置，也可应用于照射可见光或红外线等其他波段的光的照射装置。

另外，在上述第2实施方式中，使用具有电磁方式驱动机构的自动载台，可使各照射模块自动改变在支持板上的配置，但也可以使用不具有驱动机构的手动载台。作为驱动机构不限于使用电磁力的机构，也可以是使用油压式、空压式、或其他驱动方式的执行机构。

在上述第2实施方式中，作为使照射模块移动的移动机构，使用直线载台，但本发明实施方式不限于该构成。例如，使用多关节机器手臂等其他种类的移动机构来使照射模块移动的构成，也包含在本发明的范围内。

Claims (18)

1.一种光照射装置，其用于对平面状的照射面照射光，其特征在于，具有：

照射单元，其包括，从所述照射面侧观看，包围规定矩形区域而配置的板状的基板，和在所述基板的表面，沿所述矩形区域的各边隔开规定间隔排成至少一列，并使光轴朝向垂直于所述基板的表面的方向而配置的多个发光元件；以及

光量调整单元，其调整所述多个发光元件的光量，

所述多个发光元件配置在与所述照射面平行的同一平面上，

从所述照射面侧观看，所述照射单元包括：包围所述规定矩形区域形成框形的框形部，和向所述框形部的外侧突出的突出部，

所述光量调整单元，至少对位于所述框形部的所述发光元件的光量进行调整，使其分别为规定的光量，

所述照射单元包括第1～第4照射单元，其具有沿所述矩形区域的各边延伸的直线形的基板，

所述第1和第2照射单元，使其长度方向沿第1方向平行配置，

所述第3和第4照射单元，使其长度方向沿垂直于所述第1方向的第2方向平行配置，

所述第1照射单元的长度方向一端部，与所述第3照射单元的侧面接近，

所述第3照射单元的长度方向一端部，与所述第2照射单元的侧面接近，

所述第2照射单元的长度方向一端部，与所述第4照射单元的侧面接近，

所述第4照射单元的长度方向一端部，与所述第1照射单元的侧面接近，

所述第1和第2照射单元的长度方向另一端部形成两个所述突出部，

位于所述第1～第4照射单元的长度方向一端部的所述多个发光元件排列成m列，其中m为2以上的整数，

所述一端部以外的部分的所述多个发光元件排列成比m列少的k列，其中k为1以上的整数。

2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于：

所述第3和第4照射单元的长度方向另一端部形成两个所述突出部。

3.如权利要求1或2所述的光照射装置，其特征在于：还具有使各所述第1～第4照射单元沿所述第1方向移动的第1移动模块。

4.如引用权利要求2的权利要求3所述的光照射装置，其特征在于：

还具有使各所述第1～第4照射单元沿所述第2方向移动的第2移动模块。

5.一种光照射装置，其用于对平面状的照射面照射光，其特征在于，具有：

照射单元，其包括，从所述照射面侧观看，包围规定矩形区域而配置的板状的基板，和在所述基板的表面，沿所述矩形区域的各边隔开规定间隔排成至少一列，并使光轴朝向垂直于所述基板的表面的方向而配置的多个发光元件；以及

光量调整单元，其调整所述多个发光元件的光量，

所述多个发光元件配置在与所述照射面平行的同一平面上，

从所述照射面侧观看，所述照射单元包括：包围所述规定矩形区域形成框形的框形部，和向所述框形部的外侧突出的突出部，

所述光量调整单元，至少对位于所述框形部的所述发光元件的光量进行调整，使其分别为规定的光量，

所述照射单元包括：

第1照射单元，其具有沿所述矩形区域的3个边延伸的“コ”字形基板；和

第2照射单元，其具有沿所述矩形区域的另一边延伸的直线形的基板，

所述第1照射单元垂直于所述第2照射单元的长度方向，具有在第1方向延伸的两个所述突出部。

6.一种光照射装置，其用于对平面状的照射面照射光，其特征在于，具有：

照射单元，其包括，从所述照射面侧观看，包围规定矩形区域而配置的板状的基板，和在所述基板的表面，沿所述矩形区域的各边隔开规定间隔排成至少一列，并使光轴朝向垂直于所述基板的表面的方向而配置的多个发光元件；以及

光量调整单元，其调整所述多个发光元件的光量，所述多个发光元件配置在与所述照射面平行的同一平面上，

从所述照射面侧观看，所述照射单元包括：包围所述规定矩形区域形成框形的框形部，和向所述框形部的外侧突出的突出部，

所述光量调整单元，至少对位于所述框形部的所述发光元件的光量进行调整，使其分别为规定的光量，

所述照射单元包括：

第1照射单元，其具有沿所述矩形区域的两个边延伸的L字形的基板；和

第2照射单元，其具有沿所述矩形区域的另两个边延伸的倒L字形的基板，

所述第1照射单元和所述第2照射单元分别具有相互平行地沿第1方向延伸的两个所述突出部。

7.如权利要求5或6所述的光照射装置，其特征在于：还具有使 所述第2照射单元沿所述第1方向移动的第1移动模块。

8.一种光照射装置，其用于对平面状的照射面照射光，其特征在于，具有：

照射单元，其包括，从所述照射面侧观看，包围规定矩形区域而配置的板状的基板，和在所述基板的表面，沿所述矩形区域的各边隔开规定间隔排成至少一列，并使光轴朝向垂直于所述基板的表面的方向而配置的多个发光元件；以及

光量调整单元，其调整所述多个发光元件的光量，

所述多个发光元件配置在与所述照射面平行的同一平面上，从所述照射面侧观看，所述照射单元包括：包围所述规定矩形区域形成框形的框形部，和向所述框形部的外侧突出的突出部，

所述光量调整单元，至少对位于所述框形部的所述发光元件的光量进行调整，使其分别为规定的光量，

所述照射单元包括第1～第4照射单元，其具有沿所述矩形区域的各边延伸的直线形的基板，

所述第1和第2照射单元，使其长度方向沿第1方向平行配置，

所述第3和第4照射单元，使其长度方向沿垂直于所述第1方向的第2方向平行配置，

所述第3和第4照射单元的长度方向一端部，与所述第1照射单元的侧面接近，

所述第3和第4照射单元的长度方向另一端部，与所述第2照射单元的侧面接近，

所述第1和第2照射单元的长度方向一端部形成两个所述突出部。

9.如权利要求8所述的光照射装置，其特征在于：

所述第1和第2照射单元的长度方向另一端部形成两个所述突出部。

10.如权利要求8或9所述的光照射装置，其特征在于：

还具有使所述第3和第4照射单元的至少任一方沿所述第1方向移动的第3移动模块。

11.如权利要求1、2、5、6、8、9中任一项所述的光照射装置，其特征在于：

所述光量调整单元选择性地对位于所述框形部和所述突出部边界的所述发光元件的光量进行调整。

12.如权利要求1、2、5、6、8、9中任一项所述的光照射装置，其特征在于：

所述光量调整单元选择性地使配置在所述突出部的所述发光元件光量降低。

13.如权利要求1、2、5、6、8、9中任一项所述的光照射装置，其特征在于：

具有配置在所述各发光元件的光路上，用于改变从所述各发光元件放射的光的放射角度的至少一个光学元件。

14.如权利要求1、2、5、6、8、9中任一项所述的光照射装置，其特征在于：

所述多个发光元件排成n列，其中n为2以上的整数。

15.如权利要求14所述的光照射装置，其特征在于：

所述排成n列的所述多个发光元件，在各列中以第1间隔排列，在相邻的列之间，所述多个发光元件在所述长度方向上的位置错开所述第1间隔的1/2。

16.如权利要求14所述的光照射装置，其特征在于：

所述排成n列的所述多个发光元件，在各列中以第1间隔排列，在相邻的列之间，所述多个发光元件在所述长度方向上的位置错开所述第1间隔的1/n。

17.如权利要求1、2、5、6、8、9中任一项所述的光照射装置，其特征在于：所述照射单元具有多个柱面透镜，其焦线向着所述发光元件的排列方向，且与所述多个发光元件分别对置。

18.如权利要求1、2、5、6、8、9中任一项所述的光照射装置，其特征在于：

所述多个发光元件为具有正方形的发光面的面发光LED，

所述发光面的一个对角线沿所述基板的长度方向配置。