CN104067094B - 扫描器皮带负载和拉伸补偿控制系统 - Google Patents

扫描器皮带负载和拉伸补偿控制系统 Download PDF

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Abstract

在双扫描系统中,由上到下的组件模拟位置传感器测量对准偏移。控制器使用来自位置传感器的误差信号计算在相同方向上的下一次扫描中使用的致动器误差轮廓,其中不同的误差轮廓被用于正向和反向扫描。由于对于扫描器条件的给定组的对准误差轮廓是可重复的,因此在每次扫描组件到达给定位置之前,致动器控制器预测误差信号将是什么。基于误差轮廓和致动器带宽,可以计算优化的误差校正,而不用关于反馈环速度、超调以及不稳定的控制震荡的考虑。通过主动改变偏移驱动滑轮处的皮带张力和/或改变传感器组件相对于驱动皮带系统的位置,由误差轮廓驱动的致动系统可以针对对准偏移校正。

Description

扫描器皮带负载和拉伸补偿控制系统
技术领域
本发明总体上涉及一种扫描器测量系统,用于确定连续薄片材料在生产期间的参数,并且更具体地,涉及一种用于维持双扫描器组件的对准以实现准确测量轮廓的技术。
背景技术
为了检测“在线”、即在其操作时薄片制作机器上薄片的特性,已经开发了各种传感器系统。用于连续扁平薄片生产过程的传感器通常采用具有在制造期间横穿或扫描薄片材料的行进卷材的在线传感器的单一或双面封装。利用双扫描器,头或组件被固定到扫描器框架系统的梁,其跨越薄片的两侧,具有允许传感器在横向方向上(即在垂直于薄片行进方向的方向上)一致地移动的线性导轨。根据薄片制作的操作,横向方向的距离可变动达大约12米或更多。例如在纸张制作工艺中,在线传感器检测在制造期间的变量,诸如基本重量、湿气含量,以及薄片的卡钳(caliper)。过程扫描系统依赖上和下传感器组件的对准来实现准确测量轮廓。存在对监控上、下头对准的有效系统的需要。控制对准在高扫描速度下尤其关键,其中增加的加速度负载被置于驱动系统上,其将另外增加对准误差到不可接受的水平。
发明内容
用于双扫描系统的上和下传感器头组件的移动,通常通过连接到共驱动轴系统的分开的皮带系统独立驱动。如果两个皮带系统被同等地拉张并且来自两个传感器头组件的质量和摩擦力相等,那么上和下组件两者将以维持相对位置的同步方式跨越过薄片。但是,质量、摩擦力,和/或皮带张力上的差异将表现为上和下传感器头组件超前/延迟偏移,其可以引起传感器读数的误差。超前/延迟偏移或未对准的大小还可以横跨扫描的宽度而变化。例如,在加速下,较高质量组件将在一个皮带中引起比另一个更多的拉伸,而在横穿的恒速阶段期间,负载变得更平均并且将减小超前/延迟误差。
利用本发明,在双扫描系统中安装由上到下组件模拟位置传感器,以测量对准偏移。来自这些传感器的信号用作控制系统中的有效误差信号。本发明部分地基于认识到对于扫描器条件的给定组的对准误差轮廓(profile)是可重复的,从而允许致动器控制器预测或预知在每次扫描组件到达给定位置之前误差信号将是什么。这考虑到基于误差轮廓和致动器带宽来计算优化的误差校正,而不用关于反馈环速度、超调以及不稳定的控制震荡的考虑。通过误差轮廓驱动的致动系统可以通过如下对于对准偏移校正:(i)诸如通过偏移上和下皮带系统的驱动滑轮来有效改变皮带张力,或者(ii)操纵传感器头组件相对于驱动皮带系统的位置。后面的程序不会影响皮带的张力,但需要移动一个或两个传感器头组件的不同致动器机构。
在操作中,当双传感器头沿横向或扫描方向来回扫描时,从头对头位置传感器获得的误差信号被馈送到控制器,其计算在相同方向上的下一次扫描中使用的致动器误差轮廓。(优选地使用不同误差轮廓用于正向和反向扫描)。该致动器系统可以包括线性螺杆致动器,其被附着到用于张力控制的皮带张力器中的一个。这些张力致动器优选地以180度转动被定位在位于支撑梁末端的滑轮的周围。由于误差轮廓相对迟缓的性质,螺杆类型的致动器将足够用于大部分误差轮廓的校正。另外的益处将是实施自动皮带张力调整以及安全锁定到位(lock in place)失效模式。替代地,为了操纵一个或两个传感器头组件,诸如螺杆或音圈系统之类的线性致动器可以被插入在耦合之间,其连接头传感器组件,对应的皮带系统。这些头移动致动器优选地被定位在皮带与托架之间的连接处用于直接位置控制。
因此,在一个方面中,本发明针对一种用于控制扫描系统的移动的系统,其具有限定适合于容纳连续卷材的测量间隙的双安装头,连续卷材具有第一侧和第二侧并且在下游方向上行进,该系统包括:
(a)沿第一方向延伸的第一细长构件,其中第一细长构件支撑邻近卷材的第一侧设置的第一可移动安装头,第一安装头包括面对卷材第一侧的第一操作表面;
(b)用于驱动第一可移动安装头的装置;
(c)沿平行于第一方向的第二方向延伸的第二细长构件,其中第二细长构件支撑邻近卷材第二侧设置的第二可移动安装头,第二安装头包括面对卷材第二侧的第二操作表面,其中第一操作表面和第二操作表面限定连续卷材通过其行进的测量间隙,并且其中测量间隙具有卷材入口端和在卷材入口端下游的卷材出口端,并且其中第一可移动托架的移动与第二可移动安装头的移动同步;
(d)用于驱动第二可移动安装头的装置;
(e)对准误差生成装置,用于在第一和第二可移动头沿着平移轴线来回扫描时,生成表示第一和第二可移动头之间的对准差异的误差信号;以及
(f)致动器装置,用于调节第一可移动安装头和/或第二可移动安装头的相对位置,其中通过误差信号控制致动器装置。
在另一个方面中,本发明针对一种用于监控扫描系统的系统,其检测薄片材料在沿双向驱动可移动检测器设备的平移轴线的线性平移期间的特性,该系统包括:
(a)被监控的扫描系统,其包括:
(i)沿第一方向延伸的第一细长构件,其中第一细长构件支撑在其上安装第一传感器头的第一托架;
(ii)沿平行于第一方向的第二方向延伸的第二细长构件,其中第二细长构件支撑在其上安装第二传感器头的第二托架;以及
(iii)共驱动机构,沿主扫描方向移动第一托架以及沿平行于第一方向的第二方向移动第二托架,其中第一传感器头和第二传感器头以同步方式移动,并且其中共驱动机构包括第一滑轮组件,其引导耦合到第一托架的第一皮带;和第二滑轮组件,其引导耦合到第二托架的第二皮带。
(b)对准传感器,被配置为在可移动检测器设备沿着平移轴线来回平移时,连续地测量第一传感器头与第二传感器头之间的偏移,并且生成与移动的可移动检测器设备的位置及其移动的方向相关的未对准误差信号。
(c)致动器装置,用于操纵共驱动机构以改变第一皮带和/或第二皮带中的张力,或者用于调节第一传感器头与第二传感器头的相对位置。
(d)计算装置,与对准传感器通信,以处理未对准误差信号来生成对准校正轮廓并存储对准校正轮廓;以及
(e)控制装置,与计算装置通信,用于通过使致动器装置致动来校正未对准偏移,以维持未对准误差在特定水平内。
在另一方面中,本发明针对一种控制扫描系统中的双扫描器头的同步移动的方法,其检测薄片材料在沿双向驱动可移动检测器设备的平移轴线的线性平移期间的特性,其中该扫描系统包括:(i)沿第一方向延伸的第一细长构件,其中第一细长构件支撑在其上安装第一传感器头的第一托架,其中第一安装头包括面对卷材第一侧的第一操作表面;(ii)沿平行于第一方向的第二方向延伸的第二细长构件,其中第二细长构件支撑在其上安装第二传感器头的第二托架,其中第二安装头包括面对卷材第二侧的第二操作表面,并且其中第一操作表面和第二操作表面限定连续卷材通过其行进的测量间隙;并且(iii)共驱动机构,其沿主扫描方向移动第一托架以及沿平行于第一方向的第二方向移动第二托架,其中第一传感器头和第二传感器头以同步方式移动,并且其中共驱动机构包括第一滑轮组件,其引导耦合到第一托架的第一皮带;和第二滑轮组件,其引导耦合到第二托架的第二皮带;所述方法包括如下步骤:
(a)在可移动检测器设备沿着平移轴线来回平移时,测量第一传感器头与第二传感器头之间的未对准。
(b)生成与移动的可移动检测器设备的位置及其移动的方向相关的未对准误差信号。
(c)通过使一个或多个致动器致动来校正未对准偏移,以维持未对准误差在特定水平内。
附图说明
图1A示出了具有平行的上和下支撑梁以及驱动机构的双扫描器系统;
图1B和1C是示出安装在线性致动器上的滑轮的侧视图和顶视图;
图1D和1E是示出安装在偏心中心上的滑轮的侧视图和顶视图;
图1F是沿着图1D中的线1F-1F得到的截面图;
图2是描绘驱动机构的马达的扫描器系统的侧视图;
图3是上和下支撑梁的截面图;
图4示出了被定位在一组轨道上的托滚架,并且传感器头从其悬挂;
图5是由两个托滚架组成的双扫描系统的侧视图,每个托滚架支撑双传感器头中的一个;以及
图6是用于产生优化误差校正的控制系统,以及用于响应于优化误差校正而产生操作各种致动器的信号的致动器接口的框图。
具体实施方式
图1A和2示出了扫描器框架系统2,其具有被安装到一对竖直的端构件8、10上的上和下支撑梁4,6。相关联的上和下悬浮轨道38和44分别被固定到上和下支撑梁4和6的下表面。特别地,一系列的上部单个垂直支撑结构120支撑上轨道38以及一系列的下部单个垂直支撑结构144支撑下轨道44。如本文进一步描述的,每个轨道限定了安装传感器的托滚架沿着其行进的路径。
上支撑梁4被配备多个上固定转向滑轮20、22和24,其用销被固定到梁。上固定转向滑轮中的每个优选地具有围绕其外周界的凹槽,其被定尺寸以容纳缠绕在上固定转向滑轮和驱动轴110的近端112上的柔性皮带或缆线32。柔性缆线32被连接到被附着上托滚架(未示出)的耦合设备36。用足够的张力固定柔性缆线32,以在其沿着端构件8、10之间的主扫描方向来回移动时,避免过度松弛并且保持拉紧。
类似地,下支撑梁6被配备多个下固定转向滑轮26、28和30,其用销被固定到梁。下固定转向滑轮中的每个具有围绕其外周界的凹槽,其被定尺寸以容纳缠绕在下固定转向滑轮和驱动轴110的远端114上的柔性皮带或缆线42。柔性缆线42连接到被附着下托滚架(未示出)的耦合设备46。
可以将线性致动器定位成在上和下回转滑轮20、30(turn aroundpulley)中的一个或两个处控制间接影响头对头位置的皮带张力。同样地可以将线性致动器添加到转向滑轮22、24、26和/或28中的一个或多个。图1B和1C图示出耦合到滑轮20的具有导螺杆228和马达230的线性致动器226,滑轮20摩擦地连接到柔性缆线或同步皮带32。该线性致动器被固定到上支撑梁4。图1E、1F和1G中示出了可替换的连接配置,其中滑轮20被安装在考虑到生成线性运动的旋转调整的偏心中心上。特别地,采用具有末端244和246的偏心中心装置,其中末端246被可旋转地附着到上支撑梁4并且被耦合到蜗杆传动,蜗杆传动包括蜗轮242、蜗杆240和马达250。末端244被耦合到围绕其固定同步皮带32的滑轮20。启动马达240引起滑轮的轴线绕着末端246的轴线旋转,从而引起滑轮20移动有在侧向方向上的位移分量,由此控制皮带张力。
可替换地,如图1A中所示,可以通过向耦合设备36和46中的一个或两个分别添加螺杆或音圈致动器37和47来实现更直接的头对头对准定位。启动头移动致动器37和47来分别操纵耦合设备35和46,以便将它们对准。
如在图1A和2中进一步示出的,用于托滚架(未示出)的共驱动机构116包括可反转的电马达12,其被安装在端构件8上并且具有从那里延伸的从动轴118,其使从动滑轮14旋转。齿轮皮带18环绕在从动滑轮14和驱动或空转滑轮16上;空转滑轮16的中心被连接到驱动轴110。柔性缆线42环绕在下固定转向滑轮28和驱动轴110的远端114上,而柔性缆线32环绕在上固定滑轮22和驱动轴110的近端112上。驱动轴110的近端112与远端114的直径是相同的,使得柔性缆线32、42与末端112、114的接合使马达12能够生成施加到每个柔性缆线的相同量的转矩。在这种方式中,利用上和下固定转向滑轮的双布置以及其相关的柔性皮带,马达12的启动同时接合两个耦合设备36和46。旋转编码器122被安装成邻近马达12,用于在追踪马达轴118的位置中的运动反馈。此外,编码器被用来使马达部件的操作同步。上和下固定转向滑轮的配置和尺寸优选地是相同的,使得耦合设备36和46沿平行路径以相同速度和方向来回移动。
在监控卷材材料时,共驱动机构的恒定且循环的移动沿横向方向来回平移双传感器头。驱动机构可能是未对准的源。例如,驱动滑轮偏心可能引起周期性加速度,其中频率与滑轮直径和扫描速度有关。此外,驱动轴承或皮带故障生成经由驱动皮带传输到扫描器头的高频振动。
参考图3,上和下结构支撑梁4,6被安装到垂直端构件10,其通常用螺栓固定到工厂地板(factory floor)。具有其中空截面的每个单一单片梁被优选地由挤制铝材制造。在上支撑梁4中,卷材构件50、52添加了结构的完整性并且通过阻止梁的侧面形变来在挤制制造过程期间提供侧向支撑。类似地,下梁结构6包括内部的卷材构件54、56。支撑梁4、6的长度通常从6变动到14米和更多。在具有伴随温度变化的环境条件中,支撑梁4、6易受到波动。所得到的梁的热变形,除了别的之外,引起双扫描器头系统中的辐射源和检测器的未对准,这在本文中被进一步描述。在上或下支撑梁中可能发生共振(resonantvibration)。
在扫描器系统中使用的托滚架特别适合于沿着悬浮轨道系统,也就是位于地面之上的轨道系统运送物品。在这种方式中,托滚架可以运送在被监控的薄片或其它材料上行进的检测设备。如图3中所示,上轨道38、58以及下轨道44、62限定了用于双托架(未示出)的固定路径。图4描绘了一组悬浮轨道38、58,被定尺寸以容纳托滚架70的轮子,托滚架70运送经由支撑组件60附着到托架下侧的传感器头98。轨道38、58限定了在主扫描器方向上的固定路径,托架70通过其运送悬浮的传感器头98。
图5示出了具有扫描器传感器头98和102的扫描机构。当传感器在传输模式中操作时,通常采用双传感器配置。例如,上传感器头98可以收容红外辐射源,而下传感器头102收容红外检测器,其测量通过被监控材料传输的辐射。上扫描器头98由上支撑梁4支撑,其具有安装一系列侧向间隔开的刚性支撑结构120的下表面。这些垂直的结构支撑轨道38。在托架沿着横向方向前进到移动薄片106时,托滚架70的轮子与轨道38接合。类似地,下扫描器头102由下支撑梁6支撑,其具有在其上安装多个侧向间隔开的刚性支撑结构144的下表面。这些垂直结构支撑托滚架94的轮子被接合到其上的轨道44。通过与上扫描器头的驱动机构相似的驱动机构来便于托滚架的移动。电源链92向下扫描器头102供应电及电信号。
下传感器头102被固定到支撑组件66,支撑组件66被安装到从托滚架94延伸的构件96上,以便将下传感器头102定位成邻近上扫描器头98。下和上扫描器头102、98的操作面限定了具有入口108和出口110的间隙,在机器方向上移动的卷材材料106通过该间隙。模拟位置传感器测量上和下传感器头98和102的x方向(左/右)偏移。确定这个x或沿着皮带或横向方向轴线的扫描方向未对准的优选位置传感器是磁性传感器,其包括安装在上头98中的霍尔效应设备128和安装在下头138中并且被对准以从第一霍尔效应设备128直接横穿的参考条形(bar)磁体138。霍尔效应设备128的敏感方向被精确取向使得其仅对在其位置处的磁场的x分量敏感。在上头92相对于下头102移动时,磁场相对于传感器移动并且测量信号变化,其被校准到距离测量。例如,在King等的第6,281,679号美国专利中描述了霍尔效应设备,其被并入本文。例如,在Chase等的第5,714,763号美国专利中描述了光学对准确定测量设备,其包括辐射和成像源,以及对应的光学位置敏感检测器,其通过引用被并入本文。
存在引起上和下传感器头实质未对准的与双扫描机构相关的机械皮带误差的三个主要源。第一个是皮带齿隙,其中与张力有关的皮带拉伸的差异,表明为两个不同方向的轮廓之间的恒定误差偏移。第二个是皮带齿距变化,其由制造缺陷所引起,并且表现为在波长通常为0.5m到2m的长度的情况下的误差轮廓中的波峰和波谷。最后,上和下头组件上承载的质量变化,结果是上和下驱动系统之间的摩擦阻力和惯性力的差异。当扫描器头从扫描器的一端行进到另一端时,这种皮带拉伸的差异特性表现为随着误差积累的误差轮廓的总比降(general slope)。在三个贡献因素(contributor)中,第一个因素引起皮带拉伸,其在操作温度以及部件年龄变化的情况下随着时间变化。耦合到一个或多个滑轮20、30的线性致动器(图1A)可以改变或控制皮带张力,并且因此补偿随着时间的皮带张力变化以及控制同一致动器的短期头位置误差。相反,螺杆致动器37、47(图1A)不改变皮带张力,但是能够相对于其驱动皮带并且因此相对于其它头移动其中一个头。
双扫描器头102、98的移动相对于速度和方向是同步的,使得其相互对准。例如,Shead的第5,773,714号美国专利以及Dahlquist的第5,166,748号美国专利中,描述了在被分析的薄片的相对侧的具有传感器部件的扫描系统,其通过引用并入本文。
扫描器头98、102用作承载传感器的平台,以检测薄片属性,诸如在纸张情况下的基本重量。例如,下扫描器头102可以承载辐射源,诸如β核辐射源,并且上扫描器头98可以承载检测器。在这种情况下,可以采用传感器,以通过测量当存在薄片时入射在检测器上的辐射强度,与当不存在薄片时入射在检测器之上的β辐射相比较,来进行基本重量的测量;也就是说,通过由薄片材料衰减的β辐射来测量基本重量。
可替换地,为了测量纸张的湿气含量,可以将红外辐射源定位在下扫描器头102中并且通过位于上扫描器头98中的检测器捕获通过纸张传输的辐射。对传输辐射的分析产生湿气含量。例如,Chase等的第5,654,799号美国专利,Gordon等的第5,793,486号美国专利以及Haran的第7,494,567号美国专利中描述了采用辐射源和检测器的示例性扫描双头传感器,其通过引用并入本文。虽然在测量纸张特性中示出了传感器,但应理解的是可以采用传感器来检测包括,例如,塑料、涂覆材料、织物等的多种不同材料中的各种部件。
在双传感器头从扫描器一端向另一端扫描期间的操作中,其近似地对应于从移动卷材的一个边缘到另一个边缘,每个传感器头在其接近末端时减速,并且在其在相反方向上加速到某一速度前完全停止,在另一端减速等等。位置误差传感器128、138(图5)被安装到头,并且在头加速到扫描速度,接近扫描器的相对端并且减速到完全停止时具有相同的速度轮廓。相对于扫描器头沿着x或扫描轴线的位置并不相对于时间来描绘来自传感器的数据。因此,例如,假定lkhz的恒定数据采集速率,与较快的全速中间位置相反,存在在每次扫描的缓慢移动尾部处收集的更多数据。
本发明的实施扫描皮带负载和拉伸补偿过程的技术,是采用控制系统来在每次扫描期间接收来自位置误差传感器128、138(图5)的偏移读数,并且如果存在偏移,那么可以启动(i)张力致动器和/或在滑轮张力组件20、30的一个或两个上(图1A)或(ii)头移动致动器37、47(图1A),以减少或消除未对准。
对来自传感器的读数进行处理以将其转换成用于回转滑轮处的(多个)张力致动器或安装到头的(多个)耦合致动器的可用信号。优选地,采用低通滤波系统,使得在其响应范围之外的频率信号不被发送到致动器,并且使得不超过最大到最小范围。另外,多扫描的平均值可能在减小对瞬态的响应方面是有用的。然后通过增益设置发送误差条件,以允许其适当地与致动器输入范围成比例。在某些条件下,皮带校正可以超过致动器的范围。在那点上,可以设置警报条件,指示技术人员可能需要手动张力调整来减小系统中的基线误差。
图6描绘了具有分别位于扫描器头98和102中的霍尔效应设备128和对应的磁体138的位置传感器的操作,(图5)。诊断模块150包括处理器152,其被编程以控制和操作诊断模块150中的不同部件。存储器154存储误差轮廓。数据通信系统158将处理器152与接口设备160以及主计算机156对接。处理器152控制(多个)线性致动器236。
在扫描器系统的操作期间,因为正向和反向运动两者被测量,位置传感器128、138测量在沿着扫描器长度的每个位置处的扫描方向偏移(或误差轮廓)。误差轮廓信号被记录在存储器154中。由于误差基本上是可重复的,可以将其用作前馈环中的信号,用于在相同方向上的下一次扫描,而不是在其来自位置传感器时实时地对信号反应。在这点上,处理器152访问存储器154以预测偏移,并相应地启动(多个)线性致动器236。命令和参数信息经由数据通信系统158被传达。
前述已经描述了本发明的原理、优选实施例以及操作模式。然而,本发明不应被解释为局限于所讨论的特定实施例。因此,上述实施例应当被认为是示例性的而不是限制性的,并且应当意识到本领域技术工人可以对那些实施例进行改变,而不脱离如由下面权利要求所限定的本发明的范围。

Claims (8)

1.一种用于控制扫描系统(2)的移动的系统,其具有限定测量间隙的双可移动安装头(98,102),所述测量间隙具有卷材入口端(108)和在卷材入口端下游的卷材出口端(110),并且其适合于容纳具有第一侧和第二侧并且在下游方向上行进的连续卷材(106),该用于控制扫描系统的移动的系统包括:
(a)沿第一方向延伸的第一细长构件(4),其中第一细长构件(4)支撑邻近卷材(106)的第一侧设置的第一可移动安装头(98),第一可移动安装头(98)包括面对卷材(106)的第一侧的第一操作表面;
(b)用于驱动第一可移动安装头(98)的装置,其包括第一皮带系统(32);
(c)沿平行于第一方向的第二方向延伸的第二细长构件(6),其中第二细长构件(6)支撑邻近卷材(106)的第二侧设置的第二可移动安装头(102),第二可移动安装头(102)包括面对卷材(106)的第二侧的第二操作表面,其中第一操作表面和第二操作表面限定连续卷材(106)通过其行进的测量间隙;
(d)用于驱动第二可移动安装头(102)的装置,其包括第二皮带系统(42),使得第一可移动安装头(98)的移动关于速度和方向与第二可移动安装头(102)的移动同步,从而它们彼此对准;
(e)对准传感器(128,138),其确定第一可移动安装头(98)和第二可移动安装头(102)之间的未对准并且在第一和第二可移动安装头(98,102)沿着平移轴线来回扫描时,生成表示第一和第二可移动安装头(98,102)之间的对准的差异的误差信号;以及
(f)致动器装置(37,47,226),用于调节第一可移动安装头(98)和/或第二可移动安装头(102)的相对位置,其中致动器装置被误差信号控制并且调节第一皮带系统(32)中的张力和/或第二皮带系统(42)中的张力。
2.根据权利要求1的用于控制扫描系统的移动的系统,其中用于调节相对位置的致动器装置包括一个或多个皮带张力致动器(226),该皮带张力致动器(226)被耦合到第一皮带系统(32)、第二皮带系统(42)或者两个皮带系统,其调节第一和第二皮带系统中的一个或两个中的张力。
3.根据权利要求1的用于控制扫描系统的移动的系统,其中用于调节相对位置的致动器装置包括一个或多个头移动致动器(37,47),其操纵第一可移动安装头(98)、第二可移动安装头(102),或者第一和第二可移动安装头两者。
4.根据权利要求1的用于控制扫描系统的移动的系统,包括共驱动机构(116),其被耦合到第一和第二可移动安装头(98,102)两者。
5.根据权利要求1的用于控制扫描系统的移动的系统,其进一步包括:
(g)计算机(150),其与对准传感器(128,138)通信,以处理未对准误差信号,从而生成对准校正简档,并且存储对准校正简档;以及
(f)控制装置(152),用于通过使致动器装置致动来校正未对准偏移,以维持第一可移动安装头(98)和第二可移动安装头(102)之间的偏移在特定水平内。
6.根据权利要求5的用于控制扫描系统的移动的系统,其中计算机(150)包括存储器装置(154),用于根据双可移动安装头(98,102)的方向和位置来记录未对准误差信号,并且其中致动器装置(37,47,226)使用被记录的未对准误差信号来调节第一和第二可移动安装头(98,102)的相对位置。
7.根据权利要求6的用于控制扫描系统的移动的系统,其中控制装置(152)使用记录的在沿着平移轴线的位置处测量的未对准误差信号,来调节第一和第二可移动安装头(98,102)在所述第一和第二可移动安装头(98,102)沿着主扫描方向的后续移动中的相同位置处的相对位置。
8.根据权利要求1的用于控制扫描系统的移动的系统,其中致动器装置(37,47,226)包括一个或多个线性致动器。
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