CN104029908B - 光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶，该胶瓶盖子包括瓶帽、帽芯、盖板和胶管引导锁紧件；其中，瓶帽通过其下部内侧的螺纹与胶瓶的瓶口螺纹连接；帽芯位于瓶口的上方、瓶帽的上部内侧；盖板位于瓶帽和帽芯的上方，并与帽芯相固定；盖板与帽芯之间形成一环形凹槽，瓶帽的上部前端嵌入环形凹槽中，使瓶帽跟盖板与帽芯之间既不可分离又能彼此独立转动；帽芯和盖板上钻有上下贯通的孔眼，胶管引导锁紧件从孔眼中穿过，并与帽芯和/或盖板之间螺纹固定；胶管引导锁紧件的内部中空，引导光刻胶的胶管从中穿过而插入至胶瓶内适当深度，并将胶管与胶瓶盖子锁紧固定。本发明能够将胶管与胶瓶盖子固定，防止胶管因不插到瓶底而造成的抽空，避免晶圆缺胶。

Description

光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶
技术领域
本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体来说，本发明涉及一种光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶。
背景技术
图1为现有技术中的一种用于向涂胶设备供胶的光刻胶的胶瓶盖子的立体结构示意图。如图1所示，现有的涂胶设备(未图示)的供胶方式是在光刻胶胶瓶100的胶瓶盖子101上钻两个孔眼，让供胶管道(outlet)102和回流管道(vent)103分别通过孔眼的胶瓶盖子101伸入胶瓶100，实现供胶和回流的功能。
但是，现有的供胶方式受限于胶瓶盖子101的构造，致使供胶管道102和回流管道103无法被固定，导致供胶管道102经常不插到胶瓶100的瓶底(即供胶管道102经常悬空)，造成向涂胶设备供胶时抽空，机台上的晶圆(wafer)缺胶。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种光刻胶的胶瓶盖子及胶瓶，能够将供胶管道和回流管道与胶瓶盖子固定，防止供胶管道因不插到瓶底而造成的管道抽空，避免晶圆缺胶。
为解决上述技术问题，本发明提供一种光刻胶的胶瓶盖子，包括瓶帽、帽芯、盖板和胶管引导锁紧件；
其中，所述瓶帽通过其下部内侧的螺纹与光刻胶的胶瓶的瓶口螺纹连接；所述帽芯位于所述瓶口的上方、所述瓶帽的上部内侧；所述盖板位于所述瓶帽和所述帽芯的上方，并与所述帽芯相固定；所述盖板与所述帽芯之间形成一环形凹槽，所述瓶帽的上部前端嵌入所述环形凹槽中，使所述瓶帽跟所述盖板与所述帽芯之间既不可分离又能彼此独立转动；所述帽芯和所述盖板上均钻有上下贯通的孔眼，所述胶管引导锁紧件从所述孔眼中穿过，并与所述帽芯和/或所述盖板之间螺纹固定；所述胶管引导锁紧件的内部中空，引导光刻胶的胶管从中穿过而插入至所述胶瓶内适当深度，并将所述胶管与所述胶瓶盖子之间锁紧固定。
可选地，所述胶管引导锁紧件包括胶管引导件、螺母和胶管锁紧件；
其中，所述螺母位于所述胶管引导件的中部并与之相固定；所述胶管引导件的上部和下部均具有螺纹，其下部的螺纹用于使所述胶管引导锁紧件与所述帽芯和/或所述盖板之间固定，其上部的螺纹用于使所述胶管锁紧件与所述胶管引导件之间固定，将所述胶管固定于所述胶管引导锁紧件上，从而最终使得所述胶管与所述胶瓶盖子之间实现锁紧固定。
可选地，所述帽芯和所述盖板上钻有上下贯通的两个孔眼，对应采用的所述胶管引导锁紧件为两套，分别用于引导光刻胶的一供胶管道和一回流管道从中穿过，在所述供胶管道插入至所述胶瓶的瓶底后，将所述供胶管道和所述回流管道与所述胶瓶盖子之间锁紧固定。
可选地，所述胶瓶盖子的整体材质为PVC料。
为解决上述技术问题，本发明还提供一种光刻胶的胶瓶，包括上述任一项所述的胶瓶盖子。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：
本发明通过采用接头锁紧螺母方式，将光刻胶的供胶管道和回流管道与胶瓶盖子锁定，使得供胶管道固定处于胶瓶的瓶底，防止供胶管道因不插到瓶底而造成的管道抽空，晶圆缺胶。
本发明通过极小的成本和相对简单的设备改进，避免了晶圆缺胶，提高了生产合格率。
附图说明
本发明的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变得更加明显，其中：
图1为现有技术中的一种用于向涂胶设备供胶的光刻胶的胶瓶盖子的立体结构示意图；
图2为本发明一个实施例的用于向涂胶设备供胶的光刻胶的胶瓶盖子的剖面结构示意图；
图3为图2所示实施例的光刻胶的胶瓶盖子中胶管引导锁紧件的单独剖面结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，在以下的描述中阐述了更多的细节以便于充分理解本发明，但是本发明显然能够以多种不同于此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下根据实际应用情况作类似推广、演绎，因此不应以此具体实施例的内容限制本发明的保护范围。
图2为本发明一个实施例的用于向涂胶设备供胶的光刻胶的胶瓶盖子的剖面结构示意图。需要注意的是，这个以及后续其他的附图均仅作为示例，其并非是按照等比例的条件绘制的，并且不应该以此作为对本发明实际要求的保护范围构成限制。如图2所示，该胶瓶盖子201可以安装于光刻胶的胶瓶200上。为突出重点，该胶瓶200仅示出所安装的瓶口部分，而未示出所有的部分。该胶瓶盖子201的整体材质上可以为PVC料，结构上主要包括瓶帽202、帽芯204、盖板206和胶管引导锁紧件208等部件。
其中，该瓶帽202通过其下部内侧的螺纹与光刻胶的胶瓶200的瓶口螺纹连接。该帽芯204位于瓶口的上方、瓶帽202的上部内侧。该盖板206位于瓶帽202和帽芯204的上方，并与帽芯204相固定。盖板206与帽芯204之间形成一环形凹槽210，瓶帽202的上部前端嵌入环形凹槽210中，使瓶帽202跟盖板206与帽芯204之间既不可分离又能彼此独立转动。帽芯204和盖板206上均钻有上下贯通的孔眼212，该胶管引导锁紧件208从孔眼212中穿过，并与帽芯204和/或盖板206之间螺纹固定。胶管引导锁紧件208的内部中空，引导光刻胶的胶管从中穿过而插入至胶瓶200内适当深度，并将胶管与胶瓶盖子201之间锁紧固定。
图3为图2所示实施例的光刻胶的胶瓶盖子中胶管引导锁紧件的单独剖面结构示意图。请参考图3并结合图2所示，该胶管引导锁紧件208主要包括胶管引导件221、螺母223和胶管锁紧件225等部件。其中，螺母223位于胶管引导件221的中部并与之相固定。胶管引导件221的上部和下部均具有螺纹，其下部的螺纹用于使胶管引导锁紧件208与帽芯204和/或盖板206之间固定，其上部的螺纹用于使胶管锁紧件225与胶管引导件221之间固定，将胶管固定于胶管引导锁紧件208上，从而最终使得胶管与胶瓶盖子201之间实现锁紧固定。
请继续参考图2所示，在本实施例中，为了实际光刻工艺中能够使用两根胶管，在该胶瓶盖子201的帽芯204和盖板206上共钻有上下贯通的两个孔眼212。对应采用的胶管引导锁紧件208也为两套，分别用于引导光刻胶的一供胶管道214和一回流管道216从中穿过。在供胶管道214插入至胶瓶200的瓶底后，可以将供胶管道214和回流管道216与胶瓶盖子201之间锁紧固定。
在本实施例中，该胶管引导锁紧件208的胶管锁紧件225可以采用本领域公知的各类技术，对此图2和图3中所示的内部构造仅为示意，并非用以特指只能采用如图所示的方式，不再赘述。
综上所述，本发明通过采用接头锁紧螺母方式，将光刻胶的供胶管道和回流管道与胶瓶盖子锁定，使得供胶管道固定处于胶瓶的瓶底，防止供胶管道因不插到瓶底而造成的管道抽空，晶圆缺胶。
本发明通过极小的成本和相对简单的设备改进，避免了晶圆缺胶，提高了生产合格率。
本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何修改、等同变化及修饰，均落入本发明权利要求所界定的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种光刻胶的胶瓶盖子(201)，其特征在于，包括瓶帽(202)、帽芯(204)、盖板(206)和胶管引导锁紧件(208)；
其中，所述瓶帽(202)通过其下部内侧的螺纹与光刻胶的胶瓶(200)的瓶口螺纹连接；所述帽芯(204)位于所述瓶口的上方、所述瓶帽(202)的上部内侧；所述盖板(206)位于所述瓶帽(202)和所述帽芯(204)的上方，并与所述帽芯(204)相固定；所述盖板(206)与所述帽芯(204)之间形成一环形凹槽(210)，所述瓶帽(202)的上部前端嵌入所述环形凹槽(210)中，使所述瓶帽(202)跟所述盖板(206)与所述帽芯(204)之间既不可分离又能彼此独立转动；所述帽芯(204)和所述盖板(206)上均钻有上下贯通的孔眼(212)，所述胶管引导锁紧件(208)从所述孔眼(212)中穿过，并与所述帽芯(204)和/或所述盖板(206)之间螺纹固定；所述胶管引导锁紧件(208)的内部中空，引导光刻胶的胶管从中穿过而插入至所述胶瓶(200)内适当深度，并将所述胶管与所述胶瓶盖子(201)之间锁紧固定。
2.根据权利要求1所述的光刻胶的胶瓶盖子(201)，其特征在于，所述胶管引导锁紧件(208)包括胶管引导件(221)、螺母(223)和胶管锁紧件(225)；
其中，所述螺母(223)位于所述胶管引导件(221)的中部并与之相固定；所述胶管引导件(221)的上部和下部均具有螺纹，其下部的螺纹用于使所述胶管引导锁紧件(208)与所述帽芯(204)和/或所述盖板(206)之间固定，其上部的螺纹用于使所述胶管锁紧件(225)与所述胶管引导件(221)之间固定，将所述胶管固定于所述胶管引导锁紧件(208)上，从而最终使得所述胶管与所述胶瓶盖子(201)之间实现锁紧固定。
3.根据权利要求2所述的光刻胶的胶瓶盖子(201)，其特征在于，所述帽芯(204)和所述盖板(206)上钻有上下贯通的两个孔眼(212)，对应采用的所述胶管引导锁紧件(208)为两套，分别用于引导光刻胶的一供胶管道(214)和一回流管道(216)从中穿过，在所述供胶管道(214)插入至所述胶瓶(200)的瓶底后，将所述供胶管道(214)和所述回流管道(216)与所述胶瓶盖子(201)之间锁紧固定。
4.根据权利要求3所述的光刻胶的胶瓶盖子(201)，其特征在于，所述胶瓶盖子(201)的整体材质为PVC料。
5.一种光刻胶的胶瓶(200)，包括权利要求1至4中任一项所述的胶瓶盖子(201)。
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