CN104018134A - 一种连续自动真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种连续自动真空镀膜设备，包括真空镀膜室，真空镀膜室的内部上设有靶材，真空镀膜室上设有工件进口以及工件出口，工件进口处设有进口阀门，工件出口处设有出口阀门，工件进口处设有工件真空预热室，工件真空预热室上设有预热室进口阀，工件真空预热室内设有加热装置，工件出口处设有工件真空冷却室，工件真空冷却室上设有冷却室出口阀，工件真空冷却室内设有冷却装置，真空镀膜室、工件真空预热室以及工件真空冷却室内贯穿着用于传送工件的输送链条，输送链条上设有用于夹持工件的夹持装置。保证真空镀膜室始终处于真空状态，能够连续进行镀膜，提高工作效率，提高产品的镀膜质量。

Description

一种连续自动真空镀膜设备

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种连续自动真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜技术主要是在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，目前电子产品、光学元件等金属或塑料制品的外观装饰性镀膜或功能性镀膜，均可以通过真空镀膜技术获得，传统的真空镀膜设备，通常是在真空镀膜室内固定一挂架，通过靶材和工件通电而达成镀膜的效果，由于挂件固定在真空镀膜室内，每次进行镀膜和取件时均需要打开真空镀膜室，这样就需要对真空镀膜室反复进行抽真空操作，浪费大量的镀膜时间，从而导致产品的生产效率降低，并且在打开和关闭真空镀膜室时，容易引入灰尘颗粒，影响镀膜的质量。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种能够连续工作并且不会引入灰尘颗粒的连续自动真空镀膜设备。

本发明解决其技术问题所采取的技术方案是：一种连续自动真空镀膜设备，包括真空镀膜室，所述的真空镀膜室的内部上设有靶材，所述的真空镀膜室上设有工件进口以及工件出口，所述的工件进口处设有进口阀门，所述的工件出口处设有出口阀门，所述的工件进口处设有工件真空预热室，所述的工件真空预热室上设有预热室进口阀，所述的工件真空预热室内设有加热装置，所述的工件出口处设有工件真空冷却室，所述的工件真空冷却室上设有冷却室出口阀，所述的工件真空冷却室内设有冷却装置，所述的真空镀膜室、工件真空预热室以及工件真空冷却室内贯穿着用于传送工件的输送链条，所述的输送链条上设有用于夹持工件的夹持装置。

进一步具体的，所述的夹持装置包括固定在输送链条上的固定支架和活动支架，所述的固定支架上设有一供活动支架穿过的固定孔，所述的活动支架上设有一限位块，限位块位于固定孔的上方，所述的活动支架底部设有一用于夹持工件的夹持端。

进一步具体的，所述的真空镀膜室内的顶部设有电机，所述的电机的轴上设有一电磁铁，所述的活动支架顶端设有一能被电磁铁吸住的吸盘。

进一步具体的，所述的工件真空预热室内壁四周设有压缩空气喷射头连接压缩空气泵。

本发明的有益效果是：采用了上述结构之后，能够在进行镀膜前对工件进行预热操作并且工件预热室以及工件冷却室在进口阀门和出口阀门打开时均为真空状态，可以保证真空镀膜室始终处于真空状态，能够连续进行镀膜，提高工作效率，提高产品的镀膜质量。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图中：1、真空镀膜室；2、工件真空预热室；3、工件真空冷却室；4、预热室进口阀；5、进口阀门；6、出口阀门；7、冷却室出口阀；8、夹持装置；9、输送链条；10、电磁铁；11、电机；12工件。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作详细的描述。

如图1所述一种连续自动真空镀膜设备，包括真空镀膜室1，所述的真空镀膜室1的内部上设有靶材，所述的真空镀膜室1上设有工件进口以及工件出口，所述的工件进口处设有进口阀门5，所述的工件出口处设有出口阀门6，所述的工件进口处设有工件真空预热室2，所述的工件真空预热室2上设有预热室进口阀4，所述的工件真空预热室4内设有加热装置，所述的工件出口处设有工件真空冷却室3，所述的工件真空冷却室3上设有冷却室出口阀7，所述的工件真空冷却室3内设有冷却装置，所述的真空镀膜室1、工件真空预热室2以及工件真空冷却室3内贯穿着用于传送工件的输送链条9，所述的输送链条9上设有用于夹持工件12的夹持装置8；所述的夹持装置8包括固定在输送链条9上的固定支架81和活动支架82，所述的固定支架81上设有一供活动支架82穿过的固定孔，所述的活动支架82上设有一限位块83，限位块83位于固定孔的上方，所述的活动支架82底部设有一用于夹持工件12的夹持端；所述的真空镀膜室1内的顶部设有电机11，所述的电机11的轴上设有一电磁铁10，所述的活动支架82顶端设有一能被电磁铁吸住的吸盘；所述的工件真空预热室2内壁四周设有压缩空气喷射头连接压缩空气泵。

连续自动真空镀膜设备的工作过程：首先，工人将工件夹持在活动支架82上，控制工件真空预热室2的预热室进口阀4打开，通过输送链条9将活动支架82前进一步输送到工件真空预热室2内，关闭预热室进口阀4，通过压缩空气对工件12进行吹洗，去除掉粉尘；此时冷却室出口阀7打开，输送链条9将活动支架82前进一步，将工件真空冷却室3内的工件12送出，关闭冷却室出口阀7，此时工件12还处于工件真空预热室2内并开始抽真空，同时工件真空冷却室3抽真空，工件真空预热室2以及工件真空冷却室3抽成真空之后，进口阀门5和出口阀门6打开，输送链条9将活动支架82前进一步，在工件真空预热室2内的工件12进入到真空镀膜室1，在真空镀膜室1内的工件12进入到工件真空冷却室3内，关闭进口阀门5和出口阀门6；此时电磁铁10通电将活动支架82吸起并通过电机11开始转动，开始镀膜操作；此时预热室进口阀4打开，输送链条9前进一步，工件12进入到工件真空预热室2内进行预热操作，此时电机11以及电磁铁10跟随输送链条9前进一步；冷却室出口阀7打开，输送链条9前进一步，将工件12从工件真空冷却室3内送出并关闭冷却室出口阀7，此时，对工件真空预热室2以及工件真空冷却室3抽真空，之后，进口阀门5和出口阀门6打开，电磁铁10断电将活动支架82放回到固定支架81上，电机11和电磁铁10回到进口阀门5处，输送链条9前进一步，将工件真空预热室2内的工件12送入到真空镀膜室1内，将真空镀膜室1的工件12送入到工件真空冷却室3内，关闭进口阀门5和出口阀门6；工件真空冷却室3对产品进行冷却，打开预热室进口阀4，输送链条9前进一步，将工件12送入工件真空预热室2内，工件真空冷却室3内的工件12仍然在工件真空冷却室3内进行冷却，此时打开冷却室出口阀7，输送链条9前进一步，将工件12从工件真空冷却室3内取出。

需要强调的是，以上是本发明的较佳实施列而已，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (4)

1.一种连续自动真空镀膜设备，包括真空镀膜室（1），所述的真空镀膜室（1）的内部上设有靶材，所述的真空镀膜室（1）上设有工件进口以及工件出口，所述的工件进口处设有进口阀门（5），所述的工件出口处设有出口阀门（6），其特征是：所述的工件进口处设有工件真空预热室（2），所述的工件真空预热室（2）上设有预热室进口阀（4），所述的工件真空预热室（2）内设有加热装置，所述的工件出口处设有工件真空冷却室（3），所述的工件真空冷却室（3）上设有冷却室出口阀（7），所述的工件真空冷却室（3）内设有冷却装置，所述的真空镀膜室（1）、工件真空预热室（2）以及工件真空冷却室（3）内贯穿着用于传送工件（12）的输送链条（9），所述的输送链条（9）上设有用于夹持工件的夹持装置（8）。

2.根据权利要求1所述的连续自动真空镀膜设备，其特征是：所述的夹持装置（8）包括固定在输送链条（9）上的固定支架（81）和活动支架（82），所述的固定支架（81）上设有一供活动支架（82）穿过的固定孔，所述的活动支架（82）上设有一限位块（83），限位块（83）位于固定孔的上方，所述的活动支架（82）底部设有一用于夹持工件（12）的夹持端。

3.根据权利要求2所述的连续自动真空镀膜设备，其特征是：所述的真空镀膜室（1）内的顶部设有电机（11），所述的电机（11）的轴上设有一电磁铁（10），所述的活动支架（82）顶端设有一能被电磁铁（10）吸住的吸盘。

4.根据权利要求1所述的连续自动真空镀膜设备，其特征是：所述的真空预热室（1）内壁四周设有压缩空气喷射头连接压缩空气泵。