CN104002602A - 具有加工精度纠正功能的激光活化设备和激光活化方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种激光活化设备和一种激光活化方法。所述激光活化设备包括：机器人，所述机器人具有承载产品的工装治具，所述机器人用于承载和搬运产品；激光器，所述激光器用于在所述产品上加工出图案；检测器，所述检测器用于检测所述工装治具的当前工装治具位置；和控制器，所述控制器内存储有标准工装治具位置，所述控制器分别与所述机器人、所述激光器和所述检测器相连，所述控制器用于将所述检测器检测到的所述当前工装治具位置与所述标准工装治具位置比较，且根据比较结果控制所述机器人移动以调整所述工装治具的当前工装治具位置。该激光活化设备可以提高产品表面的图案的加工精度，保证激光活化的效果。

Description

具有加工精度纠正功能的激光活化设备和激光活化方法

技术领域

本发明涉及一种激光加工设备和激光加工方法，尤其是涉及一种具有加工精度纠正功能的激光活化设备和激光活化方法。

背景技术

高能量束诱导沉积（SBID：Super-energy Beam Induced Deposition）技术涉及SBID材料、各种工艺注塑、激光活化、化学镀等。激光活化设备是根据SBID技术工艺特点设计和开发的工艺设备，用于实现产品如智能手机高能量束诱导沉积表面的预加工。激光活化设备通常包括激光器和机器人，激光器用于加工图案，机器人用于承载产品并根据图案的要求改变产品与激光雕刻机的相对位置，从而在产品表面加工出预期的三维图案。图案的加工精度，例如产品表面的三维图案的形状精度、位置精度、图案线条的灰度精度，要求非常高。

现有的激光活化设备无法保证上述形状尺寸精度和位置尺寸精度，例如，现有的机器人激光活化设备加工的图案位置精度偏差通常达到100μm以上，甚至超出了200μm，因此，现有激光活化设备存在改进的需要。

发明内容

本发明是基于发明人对以下问题的发现和认识做出的：

激光活化设备的加工精度通常由激光活化设备的机器人的重复定位（加工位置）精度保证。激光活化设备的加工精度直接影响SBID技术的应用范围和应用质量，如何提高激光活化设备的加工精度特别是图案的位置尺寸精度，已经成为SBID技术广泛应用的关键所在。

理论上，机器人生产商设定的重复定位精度能够达到要求。但是，机器人生产商在测试重复定位精度时要求的测试条件非常苛刻，例如，在环境温度稳定、轻负载、机器人以相同轨迹和方向到达目标加工位置、机器人先低速热身3小时、再以高速热身9小时之后进行测试、机器人在距离目标加工位置预定距离处减速，以非常慢的速度接近目标加工位置。然而，在实际应用中，满足上述条件非常困难，从而实际定位精度低于机器人的设定定位精度，因此机器人的重复定位精度不能满足激光活化图案的位置精度的要求。而且机器人需要热身12小时，降低了效率。此外，不同机器人之间的重复定位精度也不相同，限制了激光活化设备的加工一致性，设备的调试费用以及维修频率和时间都会提高。

此外，在将产品每次固定到机器人上的工装治具上时，也会存在误差，从而导致图案的位置精度进一步降低。

而且，现有激光活化设备的激光器的出光功率人为设定。经过一定时间的工作后，激光器的出光功率会出现衰减，会导致后续工艺的不良，例如图案线条的灰度降低。

本发明旨在至少从一定程度上解决上述技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种具有加工精度纠正功能的激光活化设备，该激光活化设备和激光活化方法可以提高产品表面的图案的加工精度。

本发明的另一目的在于提出一种具有加工精度纠正功能的激光活化方法。

为达到上述目的，本发明一方面的实施例提出的一种激光活化设备，包括：机器人，所述机器人具有承载产品的工装治具，所述机器人用于承载和搬运产品；激光器，所述激光器用于在所述产品上加工出图案；检测器，所述检测器用于检测所述工装治具的当前工装治具位置；和控制器，所述控制器内存储有标准工装治具位置，所述控制器分别与所述机器人、所述激光器和所述检测器相连，所述控制器用于将所述检测器检测到的所述当前工装治具位置与所述标准工装治具位置比较，且根据比较结果控制所述机器人移动以调整所述工装治具的当前工装治具位置。

根据本发明实施例的激光活化设备，通过实时监控工装治具，闭环控制机器人的重复定位精度，从而能够实时地纠正加工图案的位置精度，保证了产品表面的激光活化图案的加工精度。并且，还能闭环控制激光器的出光功率，实时纠正激光器的功率衰减，保证激光活化的效果。

此外，本发明的另一方面实施例还提出了一种激光活化方法，包括以下步骤：将产品固定到机器人的工装治具上；检测所述工装治具的当前工装治具位置；将检测到所述当前工装治具位置与标准工装治具位置进行比较，且根据比较结果控制所述机器人移动以调整所述工装治具的当前工装治具位置；和通过激光器在所述工装治具上的产品上加工出图案。

根据本发明实施例的激光活化方法，通过实时监控工装治具，能够实时地纠正加工图案的位置精度，保证了产品表面的激光活化图案的加工精度，并且还能实时纠正激光器的功率衰减，保证激光活化的效果。该激光活化方法简单易实行，极大地提高了SBID技术的应用范围和应用前景，方便产品的品质管控，提高了生产效率。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的激光活化设备的整体示意图；

图2为根据本发明实施例的激光活化设备的结构示意图；以及

图3为根据本发明实施例的激光活化方法的流程图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

已知的是，传统激光活化设备主要包括激光器、机器人和电气控制系统。操作时，操作人员根据不同的产品三维图案在机器人的夹持法兰上安装相应的工装，然后把产品放置到工装上。机器人便会根据设定的程序把产品移动到激光器下方的某一个位置，激光器以一定的功率在产品表面一定范围内加工。等到所述范围内的激光活化图案加工完成后，机器人通过空间移动，使产品的下一个加工范围落入激光器下方，激光器对产品继续加工，直至在产品上形成设计的三维图案。实际操作时，通常会有两个机器人交替工作。其中，产品的图案位置加工精度主要由机器人的重复定位精度保证，整体属于开环控制，无闭环反馈纠正功能。并且，激光器的出光功率为人为设定，无闭环反馈纠正。因此，传统激光活化设备存在以下缺点：（1）机器人生产商在测试重复定位精度时要求的测试条件非常苛刻，例如，在环境温度稳定、轻负载、机器人以相同轨迹和方向到达目标加工位置、机器人先低速热身3小时、再以高速热身9小时之后进行测试、机器人在距离目标加工位置预定距离处减速，以非常慢的速度接近目标加工位置。然而，在实际应用中，满足上述条件非常困难，从而实际定位精度低于机器人的设定定位精度，因此机器人的重复定位精度不能满足激光活化图案的位置精度的要求。而且机器人需要热身12小时，降低了效率。此外，不同机器人之间的重复定位精度也不相同，限制了激光活化设备的加工一致性，激光活化设备的调试费用以及维修频率和时间都会提高。（2）在将产品每次固定到机器人上的工装治具上时，也会存在误差，从而导致图案的位置精度进一步降低。（3）人为设定激光器的出光功率，在经过一定时间的工作后，激光器的出光功率会出现衰减，会导致后续工艺的不良，例如图案线条的灰度降低。这些缺点导致传统的激光活化设备加工的图案位置精度偏差通常达到100μm以上，甚至超出了200μm。

下面参照图1至图3来描述根据本发明实施例的具有加工精度纠正功能的激光活化设备和激光活化方法。

首先描述根据本发明实施例的激光活化设备。图1为根据本发明实施例的激光活化设备的示意图。图2为图1所示激光活化设备的结构示意图。

如图1和图2所示，根据实施例的激光活化设备包括机器人1、激光器2、检测器3和控制器（图中未示出）。

更具体地，根据本发明实施例的激光活化设备还包括设备支架4、具有操作窗口7钣金外壳5以及机器人支架6，这对于本领域的技术人员是可以理解的，这里不再详细描述。优选地，在本发明的一些实施例中，机器人（也可以称为机械手）1包括左右两个六轴机器人（即左侧六轴机器人a和右侧六轴机器人b）。可以理解的是，机器人的个数并不限于两个六轴机器人，也可以为多个。

如图2所示，机器人1具有承载产品（例如，所述产品可以手机外壳，但不限于此）的工装治具（未示出），工装治具例如安装在机器人夹持法兰8上，产品安装在工装治具上，从而机器人1可以承载和搬运产品。

激光器2用于在所述产品上加工出激光活化图案。检测器3用于检测所述工装治具的当前工装治具位置。控制器内存储有标准工装治具位置，所述控制器分别与所述机器人1、激光器2和检测器3相连，所述控制器用于将检测器3检测到的所述当前工装治具位置与所述标准工装治具位置比较，且根据比较结果控制所述机器人1移动以调整所述工装治具的当前工装治具位置，以便使所述工装治具的当前工装治具位置与标准工装治具位置无限接近，更优选地，与标准工装治具位置完全重合。

在本发明的一些实施例中，优选地，检测器3还用于检测所述产品的当前加工位置，所述控制器还存储有标准加工位置，所述控制器还用于将检测器3检测到的所述当前加工位置与所述标准加工位置比较，且根据比较结果控制所述机器人1移动以调整所述产品的当前加工位置，以便使所述产品的当前加工位置与标准加工位置无限接近，更优选地，与标准加工位置完全重合，由此提高产品的活化精度。

在本发明的一些实施例中，优选地，检测器3还用于检测所述产品上的激光活化图案的灰度，所述控制器还存储有标准图案灰度，所述控制器还用于将检测器3检测到的所述灰度与所述标准图案灰度比较，且根据比较结果控制调整激光器2的出光功率，以便使激光活化图案的灰度与所述标准图案灰度无限接近，更优选地，与所述标准图案灰度完全一致。

具体地，在本发明的一个示例中，如图2所示，检测器3包括CCD（Charge CoupledDevice，电荷耦合器件）摄像机10和位移传感器20。其中，CCD摄像机10用于对所述工装治具上的标识图像进行成像，以得到所述标识图像在XY平面内的坐标。位移传感器20用于检测所述工装治具在Z轴上的坐标，其中位移传感器20可以为激光位移传感器。具体而言，所述标识图像在XY平面内的坐标包括：所述标识图像在X轴上的坐标、在Y轴上的坐标和在所述XY平面内的旋转角度U。

在本发明的一些实施例中，左侧六轴机器人a和右侧六轴机器人b的夹持法兰上分别安装有工装治具，激光活化产品安装在工装治具上，并且工装治具上有一方框标识图像。六轴机器人1用于将产品从操作窗口移动到激光器2正下方焦点处进行激光活化。CCD摄像机10位于机器人移动轨迹上，靠近激光活化的位置。激光位移传感器20安装于CCD摄像机10旁边，保证机器人1在进行CCD拍照时能够检测到机器人夹持法兰相对于激光器2的高度。

根据本发明实施例的激光活化设备，通过检测器3实时检测工装治具，闭环控制机器人1的重复定位精度，进而，通过实时地纠正产品在工装治具上的位置精度，提高了产品表面的激光活化图案的加工精度。并且，通过闭环控制激光器2的出光功率，可以实时纠正激光器的功率衰减，保证激光活化的效果。因此，不仅可以保证激光活化产品上的加工图案的形状精度，位置精度也可以从原来的100μm以上偏差限定在40μm（即±20μm）以内。并且，通过实时纠正激光器的功率衰减，能够避免后续工艺的不良，保证激光活化产品的质量。

本领域技术人员可以理解的是，控制器内存储的标准工装治具位置可以在通过调试激光活化设备时设定；在确定了标准工装治具位置后，优选地，将产品安装在工装治具上，以设定产品的标准加工位置；在标准加工位置装设标准产品，检测器3采集该标准产品图案的灰度作为标准图案灰度，存储在控制器内。

具体而言，激光活化设备调试时，进行标准工装治具位置、标准加工位置和标准图案灰度设定。首先找到激光器焦平面的高度，然后操作机器人1将工装治具移动到激光焦平面上。保证工装治具高度不变，操作机器人1将工装治具上的标识图像移动到CCD摄像机10的正下方。操作CCD摄像机10采集工装治具上的标识图像。分析采集到的标识图像，且将当前机器人1的坐标反馈给控制器，控制器根据机器人的坐标和标识图像在所拍摄的图像中的位置和方向计算出当前工装治具上的标识图像的X、Y、U坐标，其中并将这些坐标作为模板保存在控制器内。同时，激光位移传感器20采集工装治具相对于激光器2的高度数据，并反馈给控制器。控制器根据机器人当前坐标，计算出工装治具当前在Z轴上的坐标，并将该坐标保存在控制器内，作为Z轴模板。模板保存完成后，操作机器人1将工装治具移动到激光器2正下方，调整激光活化产品的姿态和位置，保证激光器2照射在产品期望的位置。调整好后，保存激光活化位置。也就是说，根据标识图像的X、Y、U坐标和工装治具在Z轴上的坐标得到标准工装治具位置并进行存储，处于标准工装治具位置的工装治具上的标准产品的位置即为激光活化产品的标准加工位置。然后将一激光活化后的标准产品装于工作治具上，操作机器人1将产品移动到CCD摄像机10正下方。操作CCD摄像机10采集标准产品的激光活化图像，提取产品激光活化后的标线位置、标线宽度以及标线灰度，并反馈给控制器，控制器保存这些数据作为检测模板即标准图像灰度。

如图1所示，实际生产中，操作人员通过钣金外壳5的操作窗口7把产品放置到工装治具上。六轴机器人1把工装治具上的标识图像移动到CCD摄像机10正下方，CCD摄像机10采集工装治具上的标识图像，并反馈给控制器，控制器将当前采集的标识图像与模板进行对比，计算出X、Y、U方向的偏差。同时，激光位移传感器20采集当前工装治具的高度，反馈给控制器，控制器将当前工装治具的高度与模板进行对比，计算出Z轴方向的偏差。然后机器人1移动到激光活化位置，控制器根据X、Y、U、Z轴的偏差控制机器人1做相应的偏移，保证激光活化位置与设定的激光活化位置即标准加工位置一致。随后激光器2开始工作，在产品上雕刻出相应的图案即激光活化图案。当该区域的图案加工完成后，机器人1便会通过旋转、伸缩等动作把产品移动到下一个加工位置，激光器2随即加工，直至三维图案加工结束。

激光活化结束后，机器人1将产品移动到CCD摄像机10正下方，采集激光活化后产品的活化标线的宽度、位置及标线灰度数据，反馈给控制器。控制器将这些数据与检测模板进行对比，将宽度、位置的偏差给出检测报告，并将标线灰度的偏差进行保存。例如每检测10次，对灰度偏差取平均值，此值如果超出标准图案灰度值，控制器就计算出相应的激光衰减值，发送给激光器2中的激光控制单元，增加相应的功率，以补偿激光器2的功率衰减，保证激光活化的效果。

在产品完成激光活化后，还要将激光活化后的产品进行化学镀处理。需要说明的是，产品只有经过激光活化的地方才可以实现化学镀。也就是说，产品图案的激光活化精度直接决定了图案化学镀的精度，也最终决定了产品的精度和使用效果。因此，本发明实施例的激光活化设备保证了激光活化产品上的加工图案的形状精度和位置精度，然后激光活化的地方进行化学镀，最终保证了产品的精度，保证了产品的质量。

在本实施例中，左侧六轴机器人a和右侧六轴机器人b共用一个CCD摄像机10交替工作。控制器作为服务器，与检测器3连接，做数据交换。机器人（更具体而言，机器人本身的控制装置）作为客户端访问服务器。需要摄像时，机器人向服务器发送请求，服务器做出响应，将检测器3的数据发送给相应的客户端，实现左侧六轴机器人a和右侧六轴机器人b共用一个CCD摄像机10。

综上所述，根据本发明实施例的激光活化设备，激光活化产品上的加工图案不仅形状精度可以得到保证，位置精度也可以从原来的100μm以上偏差限定在40μm（即±20μm）以内。并通过CCD摄像机对产品的激光活化图案的灰度检测，实现了对激光器衰减的实时在线纠正。这样，极大提高了SBID技术的应用范围。此外，CCD摄像机输出的图案位置、尺寸、灰度精度参数等可以通过数据运算，作为产品生产中质量管控的数据输入，如作为6西格玛质量管理的数据分析工具等，非常方便产品的品质管控管理工作，提高了生产效率。

下面描述根据本发明实施例的激光活化方法。图3为根据本发明实施例的激光活化方法的流程图。如图3所示，根据本发明实施例的激光活化方法包括以下步骤：

S1，将产品，例如手机壳体，固定到机器人的工装治具上。

S2，检测工装治具的当前工装治具位置。

S3，将检测到的当前工装治具位置与标准工装治具位置进行比较，且根据比较结果控制机器人移动以调整工装治具的当前工装治具位置。

如上所述，标准工装治具位置预存在激光活化设备的控制器内。具体而言，在所述工装治具上设有标识图像，其中通过CCD摄像机对所述标识图像进行成像，以得到所述标识图像在XY平面内的坐标，以及通过位移传感器检测所述工装治具在Z轴上的坐标。并且，所述标识图像在XY平面内的坐标包括：所述标识图像在X轴上的坐标、在Y轴上的坐标和在所述XY平面内的旋转角度U。因此，根据标识图像的X、Y、U坐标和工装治具在Z轴上的坐标得到标准工装治具位置并存储在控制器内。

S4，通过激光器在工装治具上的产品上加工出图案。

进一步地，在本发明的一个实施例中，上述的激光活化方法还包括如下步骤：

S10，检测产品的当前加工位置；和

S20，将检测到的当前加工位置与标准加工位置比较，且根据比较结果控制机器人移动以调整产品的当前加工位置。

其中，处于标准工装治具位置的工装治具上的标准产品的位置即为激光活化产品的标准加工位置。

在产品完成激光活化后，还要将激光活化后的产品进行化学镀处理。需要说明的是，产品只有经过激光活化的地方才可以实现化学镀。也就是说，产品图案的激光活化精度直接决定了图案化学镀的精度，也最终决定了产品的精度和使用效果。

根据本发明实施例的激光活化方法使得激光活化产品上的加工图案不仅形状精度可以保证，位置精度也可以从原来的100μm以上偏差限定在40μm（即±20μm）以内。因此，使用本发明的激光活化方法对产品进行激光活化，然后在激光活化的地方进行化学镀，最终保证了产品的精度，保证了产品的质量。

此外，上述激光活化方法还包括以下步骤：

S30，检测图案的灰度；和

S40，将检测到的所述灰度与标准图案灰度比较，且根据比较结果控制调整所述激光器的出光功率。

其中，将激光活化后的标准产品装于工装治具上，操作机器人将产品移动到CCD摄像机正下方。操作CCD摄像机采集标准产品的激光活化图像，提取产品激光活化后的标线位置、标线宽度以及标线灰度，并反馈给控制器，控制器保存这些数据作为检测模板即标准图像灰度。

通过CCD摄像机对产品图案灰度的检测，能够实现对激光器衰减的实时在线纠正。

根据本发明实施例的激光活化方法，通过实时检测工装治具的当前工装治具位置以及检测产品的当前加工位置，能够实时地纠正加工图案的位置精度，保证了产品表面的图案的加工精度，并且还能实时纠正激光器的功率衰减，保证激光活化的效果。该激光活化方法简单易实行，极大地提高了SBID技术的应用范围和应用前景，方便产品的品质管控，提高了生产效率。

在本说明书中，流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定功能或过程的步骤，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (13)

1.一种激光活化设备，其特征在于，包括：

机器人，所述机器人具有承载产品的工装治具，所述机器人用于承载和搬运产品；

激光器，所述激光器用于在所述产品上加工出图案；

检测器，所述检测器用于检测所述工装治具的当前工装治具位置；和

控制器，所述控制器内存储有标准工装治具位置，所述控制器分别与所述机器人、所述激光器和所述检测器相连，所述控制器用于将所述检测器检测到的所述当前工装治具位置与所述标准工装治具位置比较，且根据比较结果控制所述机器人移动以调整所述工装治具的当前工装治具位置。

2.根据权利要求1所述的激光活化设备，其特征在于，所述检测器还用于检测所述产品的当前加工位置，所述控制器还存储有标准加工位置，所述控制器还用于将所述检测器检测到的所述当前加工位置与所述标准加工位置比较，且根据比较结果控制所述机器人移动以调整所述产品的当前加工位置。

3.根据权利要求1或2所述的激光活化设备，其特征在于，所述检测器还用于检测所述图案的灰度，所述控制器还存储有标准图案灰度，所述控制器还用于将所述检测器检测到的所述灰度与所述标准图案灰度比较，且根据比较结果控制调整所述激光器的出光功率。

4.根据权利要求1所述的激光活化设备，其特征在于，所述检测器包括：

CCD摄像机，所述CCD摄像机用于对所述工装治具上的标识图像进行成像，以得到所述标识图像在XY平面内的坐标；和

位移传感器，所述位移传感器用于检测所述工装治具在Z轴上的坐标。

5.根据权利要求4所述的激光活化设备，其特征在于，所述标识图像在XY平面内的坐标包括：所述标识图像在X轴上的坐标、在Y轴上的坐标和在所述XY平面内的旋转角度。

6.根据权利要求4所述的激光活化设备，其特征在于，所述位移传感器为激光位移传感器。

7.根据权利要求1所述的激光活化设备，其特征在于，所述机器人为六轴机器人。

8.根据权利要求7所述的激光活化设备，其特征在于，所述机器人为两个。

9.一种激光活化方法，其特征在于，包括以下步骤：

将产品固定到机器人的工装治具上；

检测所述工装治具的当前工装治具位置；

将检测到所述当前工装治具位置与标准工装治具位置进行比较，且根据比较结果控制所述机器人移动以调整所述工装治具的当前工装治具位置；和

通过激光器在所述工装治具上的产品上加工出图案。

10.根据权利要求9所述的激光活化方法，其特征在于，还包括：

检测所述产品的当前加工位置；和

将检测到的所述当前加工位置与标准加工位置比较，且根据比较结果控制所述机器人移动以调整所述产品的当前加工位置。

11.根据权利要求9或10所述的激光活化方法，其特征在于，还包括：

检测所述图案的灰度；和

将检测到的所述灰度与标准图案灰度比较，且根据比较结果控制调整所述激光器的出光功率。

12.根据权利要求9所述的激光活化方法，其特征在于，在所述工装治具上设有标识图像，其中通过CCD摄像机对所述标识图像进行成像，以得到所述标识图像在XY平面内的坐标，以及通过位移传感器检测所述工装治具在Z轴上的坐标。

13.根据权利要求12所述的激光活化方法，其特征在于，所述标识图像在XY平面内的坐标包括：所述标识图像在X轴上的坐标、在Y轴上的坐标和在所述XY平面内的旋转角度。