CN104002555A

CN104002555A - 流道单元及其制造方法、液体喷射头、液体喷射装置

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Publication number: CN104002555A
Application number: CN201410060318.9A
Authority: CN
Inventors: 小松友子
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2013-02-22
Filing date: 2014-02-21
Publication date: 2014-08-27
Anticipated expiration: 2034-02-21
Also published as: JP2014162038A; US20140240400A1; CN104002555B; US9033465B2

Abstract

本发明提供一种流道单元及其制造方法、液体喷射头、液体喷射装置，其在不阻碍基板彼此的固定的条件下利用被覆膜对液体流道进行覆盖。具有供液体流通的液体流道的流道单元具备：第一流道基板，其形成液体流道的流道壁；第二流道基板，其形成液体流道的流道壁；被覆膜，其以连续的方式具备被覆部和固定部，其中，所述被覆部对第一流道基板的流道壁进行覆盖，所述固定部对第一流道基板和第二流道基板进行固定。

Description

流道单元及其制造方法、液体喷射头、液体喷射装置

技术领域

本发明涉及一种具备供液体流通的液体流道的流道单元、具有该流道单元的液体喷射头、液体喷射装置、以及流道单元的制造方法。

背景技术

一直以来，已知一种具有供液体流通的液体流道的液体喷射头。液体喷射头经由液体流道而将填充有液体的一侧的开口和喷射液体的一侧的开口相连。这种液体喷射头通过重叠多个基板而形成。而且，液体流道也通过将形成于各个基板上的槽或孔组合在一起而形成（例如，参照专利文献1）。

此外，公开了一种如下的结构，即，为了保护液体流道的壁面不受液体影响，而用被覆膜覆盖该液体流道的结构（例如，参照专利文献2、3）。

当对构成液体喷射头的基板彼此进行固定时，被成膜于基板上的被覆膜有时会阻碍基板彼此的固定。在这种情况下，需要在基板上对被覆膜进行了成膜之后，对接合其他基板的部位进行清洗等以去除被覆膜。此外，虽然也考虑在对基板彼此进行固定之后在液体流道上对被覆膜进行成膜，但也考虑到了如下的情况，即，在液体流道被基板密封的情况下、或液体流道的结构复杂化的情况下，难以适当地对被覆膜进行成膜。

专利文献1：日本特开2007-309328号公报

专利文献2：日本实开平5-60844号公报

专利文献3：日本特开平10-250078号公报

发明内容

本发明是为了解决上述课题而被完成的，其目的在于，提供一种容易进行基板彼此的固定的利用被覆膜来覆盖液体流道的流道单元、液体喷射头、液体喷射装置、流道单元的制造方法。

为了解决上述课题，在本发明中，具有供液体流通的液体流道的流道单元的特征在于，具备：第一流道基板，其形成所述液体流道的流道壁；第二流道基板，其重叠固定于所述第一流道基板上，并形成所述液体流道的流道壁；被覆膜，其以连续的方式具有被覆部和固定部，其中，所述被覆部对所述第一流道基板的流道壁进行覆盖，所述固定部对所述第一流道基板和所述第二流道基板进行固定。

在以上述方式构成的发明中，被覆膜以跨接对液体流道进行覆盖的部位、和对基板彼此进行固定的部位的方式而被设置。因此，被覆膜能够在不阻碍第一流道基板和第二流道基板的固定的条件下，对液体流道进行覆盖。被覆膜中也包括在放大观察时以不损害被覆膜的功能的程度隔开了间隙的被覆膜。

此外，也可以采用如下方式，即，所述被覆膜的材质为热可塑性树脂。

在以上述方式构成的发明中，通过对被覆膜的固定部施加热量，从而能够对基板彼此进行固定，从而能够容易地实施基板彼此的固定。

在此，作为热可塑性树脂，能够应用公知的聚丙烯类树脂、聚乙烯类树脂、聚苯乙烯类树脂、对二甲苯类树脂。

而且，也可以采用如下方式，即，所述被覆膜的材质在所述被覆部和所述固定部的至少一部分中是相同的。

在以上述方式构成的发明中，包括如下的情况，即，对液体流道进行覆盖的被覆部、和对基板彼此进行固定的固定部的一部分为相同的材质，而该以外的部位由不同的材质构成。因此，能够根据膜被形成的形状以及使用条件，而对所使用的材质的粘性、强度、抗化学药品性等进行最佳组合。

而且，也可以采用如下方式，即，所述被覆膜通过将所述被覆部和所述固定部设为相同的材质，而对所述第一流道基板进行覆盖。

此外，也可以采用如下结构，即，所述固定部的膜厚与所述被覆部的膜厚相比较厚。

在以上述方式构成的发明中，能够通过在第一流道基板和第二流道基板上对各自的被覆膜进行了成膜之后，对该被覆膜彼此进行连接，从而形成固定部。

而且，也可以采用如下的结构，即，所述第一流道基板和所述第二流道基板中的任意一方由陶瓷构成。

在由陶瓷构成形成液体流道的基板时，如果膜厚较薄，则存在溶液等液体的成分从液体流道中漏出的情况。

因此，在以上述方式构成的发明中，能够抑制在基板上产生的溶液的泄漏。

而且，也能够将本发明应用于如下的液体喷射头中，所述液体喷射头具有：本发明的流道单元；喷嘴板，其具有与所述液体流道连通的喷嘴孔。

此外，也能够将本发明应用于具有这种液体喷射头的液体喷射装置中。此外，也能够理解为这种液体喷射头或液体喷射装置的制造方法。

附图说明

图1为对液体喷射头的结构进行说明的剖视图。

图2为对液体喷射头的结构进行说明的立体展开图。

图3为表示流道单元的结构的剖视图。

图4为表示喷墨打印机的一个示例的概要图。

图5为对液体喷射头的制造方法进行说明的工序图。

图6为对液体喷射头的制造方法进行说明的工序图。

图7为表示第二实施方式所涉及的液体喷射头的剖视图。

图8为对液体喷射头的制造方法进行说明的工序图。

图9为对液体喷射头的制造方法进行说明的工序图。

具体实施方式

以下，按照如下的顺序对本发明的实施方式进行说明。

1.第一实施方式

2.第二实施方式

3.其他实施方式

1.第一实施方式

以下，参照附图，对将本发明所涉及的液体喷射头具体化了的第一实施方式进行说明。图1为对液体喷射头的结构进行说明的剖视图。此外，图2为对液体喷射头的结构进行说明的立体展开图。而且，图3为表示流道单元的结构的剖视图。在此，图1与图2中的A-A’线处的剖视图相对应。

液体喷射头1作为印刷装置等液体喷射装置的一部分而被使用。液体喷射头1具备流道单元50、密封板60、贮液器板70、喷嘴板80。此外，液体喷射头1通过使上述的流道单元50、密封板60、贮液器板70、喷嘴板80以层压状的方式进行重叠并组合，从而在内部形成液体流道90。

流道单元50具备振动板10、流道形成基板20、被覆膜30、压电元件40。在第一实施方式中，振动板10为第一流道基板，流道形成基板20为第二流道基板。另外，虽然在本实施方式中，采用在流道单元50中包括压电元件40的装置而进行了说明，但也可以采用在流道单元50中不包括压电元件40的装置。

如图2所示，在流道形成基板20上，通过壁部26而以在第二方向D2上并排设置的方式划分出多个压力室22。此外，各压力室22以在流道形成基板20的上表面21侧开口的方式被形成，而且，在流道形成基板20的下表面23侧，通过壁部26而分别划分出与各压力室22连通的连通孔侧开口24以及贮液器侧开口25。

另外，虽然在本实施方式中，采用了将压力室22、连通孔侧开口24、以及贮液器侧开口25设置于同一个流道形成基板20上的结构，但也可以采用如下的结构，即，将基板分为形成压力室22的基板和形成连通孔侧开口24以及贮液器侧开口25的基板，并使它们分离的结构。

在此，流道形成基板20通过对陶瓷的薄板体进行层压而被构成。此外，作为其材料，可以使用部分稳定化氧化锆（Zr）或稳定化氧化锆。

而且，在流道形成基板20的上表面21侧，固定有振动板10。因此，流道形成基板20的各个压力室22的开口通过振动板10而被密封。振动板10例如由陶瓷的薄板体构成。作为其材料，可以使用部分稳定化氧化锆、稳定化氧化锆、或二氧化硅（SiO₂）。此外，振动板10的第三方向D3上的厚度例如可以设为2.0微米（μｍ）至5.4微米。

如图1所示，被覆膜30以连续的方式具有对液体流道90的壁面进行覆盖的部分（被覆部31）、和对振动板10和流道形成基板20进行固定的部分（固定部32）。因此，被覆膜30保护液体流道90不受油墨的影响，并对振动板10和流道形成基板20进行固定。

被覆部31以如下方式成膜，即，对流道形成基板20的连通孔侧开口24的内壁、贮液器侧开口25的内壁、以及压力室22的内壁进行覆盖的方式。

此外，固定部32以如下方式成膜，即，位于振动板10与相当于压力室22外周的流道形成基板20的壁部26之间的方式。

因此，振动板10的压力室22侧的面、振动板10与流道形成基板20之间、流道形成基板20的流道壁（压力室22侧的壁面、构成连通孔侧开口24以及贮液器侧开口25的流道的壁面）全部具备被覆膜30。

被覆膜30例如由厚度为0.5微米至20微米的热可塑性树脂构成。作为热可塑性树脂，可以应用众所周知的聚丙烯类树脂、聚乙烯类树脂、聚苯乙烯类树脂、对二甲苯类树脂（对二甲苯类聚合物）。作为对二甲苯类聚合物的一个示例，可以使用帕里纶（Parylene：注册商标）。

此外，在使用热可塑性树脂而构成被覆膜30时，被覆部31和固定部32的厚度具有如图3所示的关系。即，被覆膜30中的固定部32的厚度T2与被覆部31的厚度T1相比较厚。这表示，以对被独立设置的不同的膜彼此进行热熔敷的方式形成了固定部32。当然，当通过热熔敷以外的方式形成被覆膜30时，各部的厚度并不局限于此。此外，在被覆膜中也包括在放大观察时以不会损害被覆膜的功能的程度隔开有间隙的被覆膜。

此外，在振动板10的与流道形成基板20进行固定的一侧的相反侧的面（上表面11）上，形成有压电元件40。压电元件40针对每个压力室22而设置。压电元件40具备下电极41、上电极42、和位于下电极41和上电极42之间的压电体43。例如，下电极41和上电极42由金、铂等导电物质构成。此外，压电体43例如由锆钛酸铅（PZT）之类的电介质构成。

而且，在流道形成基板20的下表面23侧，固定有密封板60。密封板60为具有多个第一连通孔61和共用供给孔62的薄板体。

第一连通孔61在第三方向D3上贯穿密封板60，并与流道形成基板20的各个连通孔侧开口24连通。此外，共用供给孔62由长度方向上的边在第二方向D2上延伸、并在第三方向D3上贯穿密封板60的矩形的狭缝构成。

密封板60由使用了部分稳定化氧化锆或稳定化氧化锆的陶瓷、或金属构成。

此外，在密封板60的不与流道形成基板20进行固定的一侧的面上，固定有贮液器板70。贮液器板70为具有多个第二连通孔71和贮液器72的薄板体。第二连通孔71在第三方向D3上贯穿贮液器板70，并与密封板60的各个第一连通孔61连通。此外，贮液器72被构成为，在第二方向D2上延伸并贯穿贮液器板70的矩形的狭缝。

贮液器板70例如由使用了部分稳定化氧化锆或稳定化氧化锆的陶瓷、或金属构成。

而且，在贮液器板70的不与密封板60进行固定的一侧的面上，固定有喷嘴板80。喷嘴板80为，沿着第二方向D2而以预定间隔形成有多个喷嘴孔81的薄板体。此外，各喷嘴孔81以与贮液器板70的第二连通孔71分别连通的方式而被形成。

喷嘴板80例如由使用了部分稳定化氧化锆或稳定化氧化锆的陶瓷、或金属构成。

此外，喷嘴板80可以采用如下结构，即，在第一方向D1上并排设置多个喷嘴列，所述喷嘴列由多个喷嘴孔81沿着第二方向D2而形成，并且使一个喷嘴列与另一个喷嘴列在第二方向D2上错开配置（采用所谓的交错配置）。

在上述结构的液体喷射头1中，通过使各基板以层压状的方式被固定，从而压力室22经由连通孔侧开口24、第一连通孔61、以及第二连通孔71而与喷嘴孔81连通。此外，压力室22经由贮液器侧开口25以及共用供给孔62而与贮液器72连通。其结果为，喷嘴孔81和贮液器72通过压力室22而相连通，并构成液体流道90。

因此，从贮液器72被供给的油墨被填充到该液体流道90内。当在该状态下，驱动电压从未图示的电路基板经由电缆类而被施加于下电极41或上电极42时，将使压电元件40发生位移。压电元件40的位移使振动板10振动，从而使压力室22产生压力变化。而且，通过压力室22内的压力变化，从而使被填充到连通孔（第一连通孔61、第二连通孔71）中的油墨从喷嘴孔81向外部喷射。

在此，由于当液体喷射头1的喷嘴数量高密度化时，压力室22的体积将减小，因此存在压力室22的压力变化减小的倾向。在这种情况下，通过使振动板10的厚度变薄，从而能够增大压力室22的压力变化。但是，当使振动板10的厚度过薄时，将会产生油墨的溶液等穿过振动板10而漏出的现象（也记载为油墨排出）。当在振动板10上产生油墨排出时，存在如下的情况，即，以溶液为媒介而从压电元件40流出泄漏电流。当振动板10的厚度在3.0微米以下时，油墨排出将变得显著。因此，通过在振动板10上对被覆膜30进行成膜，从而能够抑制油墨排出，并能够使振动板10的厚度变薄（例如，3.0微米以下）。

此外，液体喷射头1构成具备与油墨盒等连通的油墨供给路径的喷墨式记录头单元的一部分，并被搭载于喷墨打印机200上。喷墨打印机200为液体喷射装置的一个示例。

图4为表示喷墨打印机的一个示例的概要图。在图4中，符号1表示使液体喷射头的喷嘴孔面露出于外部，并对液体喷射头进行了收纳的筐体（头罩）的一部分。在喷墨打印机200中，在具有多个液体喷射头1的喷墨式记录头单元（以下，称为头单元202）中，例如以可拆装的方式设置有油墨盒202A、202B等。搭载了头单元202的滑架203以轴向移动自如的方式被设置在安装于装置主体204上的滑架轴205上。而且，通过使驱动电机206的驱动力经由未图示的多个齿轮和正时带207而被传递至滑架203，从而使滑架203沿着滑架轴205进行移动。

在装置主体204上沿着滑架轴205而设置有压印板208，并且通过未图示的辊等而被供给的印刷介质S在压印板208上被输送。而且，针对被输送的印刷介质S，从液体喷射头1的喷嘴孔81喷出油墨，从而在印刷介质S上印刷任意的图像。另外，喷墨打印机200并不仅限于头单元202以上述方式进行移动的打印机，例如也可以为如下的所谓的行式头型的打印机，即，使液体喷射头1固定，而仅通过使印刷介质S进行移动从而实施印刷。

图5、图6为对液体喷射头1的制造方法进行说明的工序图。以下，使用图5、图6对液体喷射头1的制造方法进行说明。

首先，准备与振动板10、流道形成基板20相对应的烧成前的陶瓷薄片。然后，针对与流道形成基板20相对应的陶瓷薄片，实施冲压加工，以形成相当于压力室22、连通孔侧开口24、以及贮液器侧开口25的贯穿孔。然后，以1000度到1400度的温度对各陶瓷薄片进行烧成，从而形成振动板10、流道形成基板20。

接下来，如图5（a）所示，在振动板10的下表面12上对上侧被覆膜33进行成膜（第一工序）。在此，上侧被覆膜33为成为被覆膜30的一部分的膜。当使用对二甲苯类树脂以作为上侧被覆膜33的材料时，例如能够使用众所周知的帕里纶（注册商标）。当将对二甲苯类树脂使用于材料时，首先，对对二甲苯类固体二聚体进行气化并热分解，从而产生对二甲苯类单体。然后，在配置于腔室内的振动板10上使对二甲苯类单体发生反应而成膜。更加具体而言，可以使用化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition：CVD）法而在振动板10上进行成膜。

接下来，如图5（b）所示，在流道形成基板20的下表面23侧的面上对掩膜27进行成膜。而且，在流道形成基板20中的使用掩膜27而被挡住的内侧（相当于壁部26、贮液器侧开口25、以及连通孔侧开口24的部分）对下侧被覆膜34进行成膜。例如，下侧被覆膜34的材料可以使用对二甲苯类树脂。下侧被覆膜34为成为被覆膜30的一部分的膜。作为下侧被覆膜34的成膜方法，可以通过与上侧被覆膜33相同的CVD法等而在流道形成基板20上进行成膜。

接下来，如图5（c）所示，对成膜于振动板10上的上侧被覆膜33和成膜于流道形成基板20上的下侧被覆膜34进行热熔敷（第二工序、第三工序）。作为一个示例，首先，对振动板10和流道形成基板20进行层压。接下来，对上侧被覆膜33中的相当于固定部32的部分、和下侧被覆膜34中的相当于固定部32的部分施加圧力（1.4兆帕（MPa）～2.0兆帕）。而且，使用加热器等分别将上侧被覆膜33和下侧被覆膜34加热至熔点以上。当由对二甲苯类树脂构成被覆膜30时，以140度到200度的温度进行加热。在以此方式进行加热的同时进行接合，以使其熔敷。因此，上侧被覆膜33和下侧被覆膜34一体化，从而形成被覆膜30。因此，在压力室22、贮液器侧开口25、以及连通孔侧开口24中，流通有液体的一侧的面（流道壁）全部被被覆膜30所覆盖。

接下来，如图6（a）所示，在振动板10的上表面11侧，以与压力室22的位置相对应的方式形成压电元件40。作为压电元件40的形成方法的一个示例，在振动板10的上表面11侧形成由Au（铜）构成的下电极41。接下来，在下电极41的上部上形成由PZT构成的压电体43。然后，在该压电体43的上部上形成与压力室22相应的上电极42。

接下来，如图6（b）所示，在流道形成基板20上粘合密封板60。密封板60使用例如粘合剂而被粘合于流道形成基板20上。然后，在密封板60上粘合贮液器板70。贮液器板70使用例如粘合剂而被粘合于密封板上。作为粘合剂，可以使用环氧类的粘合剂。另外，通过在对下侧被覆膜34进行成膜前预先对掩膜27进行成膜，从而在流道形成基板20的下表面23侧的面上不存在下侧被覆膜34。由此，能够使用与被覆膜30不同的粘合剂而容易地对流道形成基板20和密封板60进行粘合。

最后，如图6（c）所示，在贮液器板70上粘合喷嘴板80。喷嘴板80使用例如粘合剂而被粘合于贮液器板70上。与上述同样地，作为粘合剂，可以使用环氧类的粘合剂。

另外，密封板60、贮液器板70、以及喷嘴板80能够通过在对成为材料的陶瓷生片进行冲压加工之后，进行烧成，从而被形成。

通过以上的工序，从而可制造出第一实施方式所涉及的液体喷射头1。

如以上所说明的那样，在该第一实施方式中，被覆膜30以同一材质连续地设置被覆部31和固定部32，所述被覆部31对振动板10的流道壁进行覆盖，所述固定部32对振动板10和流道形成基板20进行固定。因此，被覆膜30能够在不阻碍基板彼此的固定的条件下，对液体流道90进行覆盖。

此外，当形成于流道形成基板20上的压力室22细密化时，即使通过CVD等众所周知的方法来进行成膜，被覆膜30也难以生成均匀的膜。因此，如果在振动板10和流道形成基板20上分别对膜进行了成膜之后，对膜彼此进行粘合以对基板彼此间进行固定，则能够使成膜于液体流道90内的被覆膜的膜厚均匀。

而且，通过对被覆膜30进行热熔敷而对基板彼此进行固定，从而能够降低粘合剂的量。

2.第二实施方式：

图7为表示第二实施方式所涉及的液体喷射头2的剖视图。该液体喷射头2于在流道形成基板20和密封板60之间具备被覆膜300的结构上，与第一实施方式所涉及的液体喷射头1不同。

液体喷射头2与第一实施方式同样地，具备流道单元50、密封板60、贮液器板70、喷嘴板80。此外，通过流道单元50、密封板60、贮液器板70、喷嘴板80以层压状被固定，从而构成将压力室22作为一部分而具备的液体流道90。

而且，流道单元50具备振动板10、流道形成基板20、压电元件40。

而且，液体喷射头2具备被覆膜300。该被覆膜300以连续的方式具备位于流道形成基板20和密封板60之间的部位、以及对液体流道90的内壁进行覆盖的部位。在图7中，被覆膜300以连续的方式具备被覆部301和固定部302，其中，所述被覆部301对压力室22的壁面（振动板10的压力室22侧的面、流道形成基板20的压力室22侧的壁部26、流道形成基板20的连通孔侧开口24的壁面、流道形成基板20的贮液器侧开口25的壁面）、密封板60的第一连通孔61的壁面以及共用供给口62的壁面进行覆盖，所述固定部302位于流道形成基板20与密封板60之间，并对两个基板进行粘合。因此，在该第二实施方式中，流道形成基板20作为第一流道基板而发挥功能，密封板60作为第二流道基板而发挥功能。

被覆膜300与第一实施方式同样地，能够应用众所周知的聚丙烯类树脂、聚乙烯类树脂、聚苯乙烯类树脂、对二甲苯类树脂（对二甲苯类聚合物）这种热可塑性树脂。

此外，当通过热熔敷而形成被覆膜300时，与第一实施方式同样地，被覆膜300的固定部302的厚度与被覆部301的厚度相比变得较厚。

图8、图9为对液体喷射头2的制造方法进行说明的工序图。以下，使用图8、图9对第二实施方式所涉及的液体喷射头2的制造方法进行说明。

首先，如图8（a）所示，将与振动板10相对应的陶瓷生片和与流道形成基板20相对应的陶瓷生片层压在一起。接下来，以1000度到1400度的温度对层压在一起的陶瓷生片进行一体烧成，从而得到振动板10、流道形成基板20。

接下来，如图8（b）所示，在通过振动板10和流道形成基板20而形成的流道（流道壁）内对上侧被覆膜303进行成膜。另外，在此，在流道形成基板20的下表面23上也形成有上侧被覆膜303。上侧被覆膜303为成为被覆膜300的一部分的膜。上侧被覆膜303的材料例如可以使用对二甲苯类树脂。此外，作为上侧被覆膜303的成膜方法，例如可以使用CVD法。

接下来，如图8（c）所示，在振动板10的上表面11侧，以与压力室22的位置相对应的方式形成压电元件40。

接下来，如图9（a）所示，在密封板60的一个面上对掩膜63进行成膜，并对下侧被覆膜304进行成膜。下侧被覆膜304为成为被覆膜300的一部分的膜。作为下侧被覆膜304的材料，可以使用对二甲苯类树脂。此外，作为下侧被覆膜304的成膜方法，例如可以使用CVD法。

接下来，如图9（b）所示，以熔点以上的温度对成膜于流道形成基板20上的上侧被覆膜303和成膜于密封板60上的下侧被覆膜304进行热熔敷。当作为被覆膜300而使用对二甲苯类树脂时，熔点可以采用140度（℃）到200度（℃）。此外，接合时的压力可以采用1.4兆帕（MPa）到2.0兆帕（MPa）。

因此，上侧被覆膜303和下侧被覆膜304一体化，从而形成被覆膜300。

然后，如图9（c）所示，在密封板60上粘合贮液器板70。然后，在贮液器板70上粘合喷嘴板80。贮液器板70和喷嘴板80使用例如与上述被覆膜300不同的材质/材料的粘合剂而被粘合在一起。

通过以上所说明的工序，可制造出第二实施方式所涉及的液体喷射头2。

在该第二实施方式中，起到与第一实施方式所起到的效果相同的效果。此外，能够通过分开使用CVD法这样的一直以来被使用的成膜方法、和本发明的成膜方法，从而与流道的内径等的形状一致地形成均匀的膜。

另外，虽然在第二实施方式中，采用了将压力室22、连通孔侧开口24、以及贮液器侧开口25设置于同一个流道形成基板20上的结构，但也可以与第一实施方式同样地，采用如下的结构，即，将基板分为形成压力室22的基板和形成连通孔侧开口24以及贮液器侧开口25的基板，并使它们分离的结构。

3.其他实施方式：

本发明存在各种各样的实施方式。实施方式中所示的液体喷射头的基本结构并不局限于上述的结构。使用被覆膜来实施固定的部件也并不局限于上述的部件，而是可以应用于各种各样的部件之间的固定，并可以应用于两处以上的位置处的固定。此外，上侧被覆膜和下侧被覆膜无需采用完全相同的材质。只需为如上所述那样能够通过热熔敷而以所需的强度进行固定的材质即可。此外，也包含如下的情况，即，相当于被覆部的部位和相当于固定部的部位的至少一部分由相同的材质构成，而其他的部位由不同的材质构成。在例如通过树脂而形成各被覆膜时，也可以使由材质各不相同的树脂所成膜的膜进行熔敷。因此，能够根据被覆膜被成膜的位置的形状以及使用条件，而对所使用的材质的粘性、强度、抗化学药品性等进行最佳组合。

此外，本发明广泛地以液体喷射头全部作为对象，当然，也能够应用于喷射油墨以外的液体的装置中。作为其他的液体喷射头，例如可以列举出，用于打印机等图像记录装置的各种记录头、用于液晶显示器等的彩色过滤器的制造的颜色材料喷射头、用于有机EL（电致发光）显示器、FED（面发光显示器）等的电极形成的电极材料喷射头、用于生物芯片制造的生物体有机物喷射头等。

另外，当然本发明并不局限于上述实施例。

即，也可以适当地对上述实施例中所公开的能够相互置换的部件以及结构等进行置换，并对其组合进行改变而应用。

也可以适当地对能够与公知技术且上述实施例中所公开的部件以及结构等相互置换的部件以及结构等进行置换，并对其组合进行改变而应用。

也可以适当地对本领域技术人员能够根据公知技术而想到的、作为上述实施例中所公开的部件以及结构等的代用品的部件以及结构等进行置换，并对其组合进行改变而进行应用。

以参照的方式引用将于2013年2月22日申请的日本专利申请第2013-033185的全部内容引用于本发明。

附图说明

1、2…液体喷射头；10…振动板；20…流道形成基板；22…压力室；30…被覆膜；31…被覆部；32…固定部；33…上侧被覆膜；34…下侧被覆膜；40…压电元件；50…流道单元；60…密封板；61…第一连通孔；62…共用供给孔；70…贮液器板；71…第二连通孔；72…贮液器；80…喷嘴板；81…喷嘴孔；90…液体流道；300…被覆膜。

Claims

1.一种流道单元，其特征在于，具有供液体流通的液体流道，并具备：

第一流道基板，其形成所述液体流道的流道壁；

第二流道基板，其重叠固定于所述第一流道基板上，并形成所述液体流道的流道壁；

被覆膜，其以连续的方式具有被覆部和固定部，其中，所述被覆部对所述第一流道基板的流道壁进行覆盖，所述固定部对所述第一流道基板和所述第二流道基板进行固定。

2.如权利要求1所述的流道单元，其特征在于，

所述被覆膜的材质为热可塑性树脂。

3.如权利要求1所述的流道单元，其特征在于，

所述被覆膜的材质在所述被覆部和所述固定部的至少一部分中是相同的。

4.如权利要求3所述的流道单元，其特征在于，

所述被覆膜通过将所述被覆部和所述固定部设为相同的材质，而对所述第一流道基板进行覆盖。

5.如权利要求1所述的流道单元，其特征在于，

所述固定部的膜厚与所述被覆部的膜厚相比被设定得较厚。

6.如权利要求1至5中任一项所述的流道单元，其特征在于，

所述第一流道基板与所述第二流道基板中的任意一方由陶瓷构成。

7.一种液体喷射头，具有：

权利要求1所述的流道单元；

喷嘴板，其具有与所述液体流道连通的喷嘴孔。

8.一种液体喷射装置，具有权利要求7所述的液体喷射头。

9.一种流道单元的制造方法，其为具有供液体流通的液体流道的流道单元的制造方法，并包括：

形成被覆部的第一工序，所述被覆部从形成所述液体流道的流道壁的第一流道基板的、成为所述流道壁的区域覆盖至该区域的外侧的固定区域；

使形成所述液体流道的流道壁的第二流道基板、和具备了所述被覆部的第一流道基板在所述固定区域内重叠的第二工序；

对在所述固定区域内重叠在一起的所述第一流道基板和所述第二流道基板进行固定的第三工序。