CN103996770B - 一种led表面粗化工艺 - Google Patents
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Abstract
一种LED的GaN外延片表面粗化工艺,包括以下步骤:(1)将GaN外延片表面进行ICP刻蚀,ICP的功率为150‑200W,直流自偏压为100V,使用Cl2和Ar感应耦合等离子体刻蚀,使得刻蚀后的GaN表面的粗糙度RMS为0.21‑0.23nm;(2)将GaN外延片清洗:依次放入酒精超声清洗2‑5分钟、去离子水中进行超声清洗2‑3分钟;(3)将GaN外延片使用微波加热预热1分钟使得温度达到200‑220摄氏度,后将加热到熔融状态的KOH均匀涂抹在GaN外延片表面,将微波加热使温度稳定在220摄氏度,持续腐蚀1分钟;(4)撤去微波加热,自然冷却到室温;(5)用去离子水清洗GaN外延片表面的KOH。该工艺提高表面粗化工艺的可控性和精准度。
Description
技术领域
本发明涉及一种LED的制造工艺。
背景技术
目前LED的制造技术已经比较成熟,注入效率和内量子效率都能达到较高的水平。但是由于芯片和封装介质的全反射临界角,芯片材料的吸收等因素,LED的光提取效率认有较大的提升空间。通常采用表面粗化技术来减少光线全反射。表面粗化技术有干法刻蚀,和湿法刻蚀。其中干法刻蚀包括反应离子腐蚀(RIE),高密度等离子体刻蚀,电子回旋共振等离子刻蚀(ECR)感应耦合等离子刻蚀(ICP)等,湿法刻蚀包括NaOH溶液腐蚀,电化学腐蚀等。湿法腐蚀的优点很多,如可以提供低损伤的腐蚀效果,价格便宜,但是局限性也较多,如速度慢,各项同性,可控性较差等;而干法刻蚀如IPC具有较好的各向异性,均匀性,可控性,更高的刻蚀速率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题之一是结合干法刻蚀和湿法刻蚀的优点,提供一种GaN表面粗化工艺,提高表面粗化工艺的可控性和精准度。
作为本发明的第一方面,提供一种LED的GaN外延片表面粗化工艺,包括以下步骤:
(1)将GaN外延片表面进行ICP刻蚀,ICP的功率为150-200W,直流自偏压为100V,使用Cl2和Ar感应耦合等离子体刻蚀,使得刻蚀后的GaN表面的粗糙度RMS为0.21-0.23nm;
(2)将GaN外延片清洗:依次放入酒精超声清洗2-5分钟、去离子水中进行超声清洗2-3分钟;
(3)将GaN外延片使用微波加热预热1分钟使得温度达到200-220摄氏度,后将加热到熔融状态的KOH中均匀涂抹在GaN外延片表面,将微波加热使温度稳定在220摄氏度,持续腐蚀1分钟。
(4)撤去微波加热,自然冷却到室温;
(5)用去离子水清洗GaN外延片表面的KOH。
由于先进行了干法ICP刻蚀,各项异性,可控性好,干法刻蚀后的表面已经有一定的粗糙度,但是在此粗糙表面的基础上只要短时间(1分钟)即可得到符合粗化要求的GaN外延片,这个短时间的湿法刻蚀过程虽为各项异性,可控差,但是刻蚀的精准度已经大大提高。
具体实施方式
为了进一步理解本发明,下面结合本实施例对本发明优选方案进行详细描述,但是应当理解,这些说明内容只是为进一步表达本发明的技术特征,实现途径,不是对本发明的权利要求的限制。
以下为最佳实施例:
(1)将GaN外延片表面进行ICP刻蚀,ICP的功率为180W,直流自偏压为100V,使用Cl2和Ar感应耦合等离子体刻蚀,使得刻蚀后的GaN表面的粗糙度RMS为0.21nm;
(2)将GaN外延片清洗:依次放入酒精超声清洗3分钟、去离子水中进行超声清洗2分钟;
(3)将GaN外延片使用微波加热预热1分钟使得温度达到200摄氏度,后将加热到熔融状态的KOH中均匀涂抹在GaN外延片表面,将微波加热使温度稳定在220摄氏度,持续腐蚀2分钟。
(4)撤去微波,自然冷却到室温;
(5)用去离子水清洗GaN外延片表面的KOH。
Claims (1)
1.一种LED的GaN外延片表面粗化工艺,包括以下步骤:
(1)将GaN外延片表面进行ICP刻蚀,ICP的功率为150-200W,直流自偏压为100V,使用Cl2和Ar感应耦合等离子体刻蚀,使得刻蚀后的GaN表面的粗糙度RMS为0.21-0.23nm;
(2)将GaN外延片清洗:依次放入酒精超声清洗2-5分钟、去离子水中进行超声清洗2-3分钟;
(3)将GaN外延片使用微波加热预热1分钟使得温度达到200-220摄氏度,后将加热到熔融状态的KOH均匀涂抹在GaN外延片表面,微波加热使温度稳定在220摄氏度,持续腐蚀1分钟;
(4)撤去微波加热,自然冷却到室温;
(5)用去离子水清洗GaN外延片表面的KOH。
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CN101494273A (zh) * | 2009-02-27 | 2009-07-29 | 上海蓝光科技有限公司 | 一种发光二极管芯片及其制造方法 |
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