CN103962341B - 一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置 - Google Patents

一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置 Download PDF

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Abstract

一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，包括中间段喷管、顶部喷管、开口度调整螺栓、根部喷管和氮气进口管路等，氮气进口管路把氮气引入到缝式开口内，引入的氮气对静电吸盘上表面进行垂直吹扫，因为中间段喷管直径大于根部喷管和顶部喷管的直径，能使吹扫的氮气在静电吸盘上表面建立一个压力梯度，中心点的压力高，四周的压力低，以保证静电吸盘上表面的污染物能全部被吹扫干净；开口度调整螺栓起到调整中间段喷管开口度的作用，可以建立更大梯度的气流压力，以在各种污染程度下都能保证静电吸盘上表面的清洁度。所以该发明能避免出现静电吸盘的负压报警问题，且操作方便，提高了静电吸盘的作业效率。

Description

一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置
技术领域
本实用新型涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种用于晶圆加工的静电吸盘表面吹扫装置。
背景技术
目前，各家集成电路制造厂在晶圆加工中广泛使用到一种静电吸盘装置，静电吸盘装置用于吸附并固定晶圆，如图1所示，其中，1为晶圆，2为悬臂梁，3为静电吸盘，4为静电吸盘支架，5为负压泵，6为真空管道，7为真空槽，8为立柱；负压泵通过真空管道和真空槽把晶圆吸附在静电吸盘的上表面，悬臂梁上连接有刻蚀晶圆上表面的机械手臂。因为晶圆表面的刻蚀要求达到10纳米的精度，所以要求静电吸盘装置对晶圆的吸附稳定可靠。在原来的静电吸盘装置中，因为静电吸盘表面会存在一些晶圆表面刻蚀后留下来的微小颗粒等污染物，污染物会影响晶圆与静电吸盘上表面之间的贴合程度而造成漏气问题，引起真空槽内压力报警，如果报警复位无效，则需要开腔进行人工清洁静电吸盘，清洁过程需要静电吸盘停机进行，所以降低了静电吸盘的作业效率。
由于静电吸盘上表面要求清洁无污染，以保证晶圆被静电吸盘的负压区域牢固的吸住，从而保证晶圆表面的刻蚀精度，为了达到以上目的，目前现有技术是：
1)增大真空槽的面积，以增大负压区域对晶圆的吸附力；
2)在每次刻蚀晶圆之前，对静电吸盘上表面进行人工吹扫。
但增大真空槽的面积，虽然能增大负压区域对晶圆的吸附力，但不能解决污染物引起真空槽内的压力报警问题，且真空槽面积增大后，会加大真空槽吸附晶圆时引起的晶圆的变形量，从而影响晶圆表面的刻蚀精度；而对静电吸盘上表面进行的人工吹扫，只能保证静电吸盘上表面的局部位置被吹扫干净，而且，从静电吸盘上表面局部吹扫出来的污染物还会被吹到静电吸盘上表面的其他位置上，也会引起真空槽内压力的报警问题。
综上所述，目前国内外所用的这种清洁静电吸盘上表面的方法，有以下几个缺点：
1)污染物引起真空槽内压力报警后，如果复位无效，则需要开腔进行人工清洁静电吸盘，降低了静电吸盘的作业效率；
2)增大真空槽的面积，虽然能增大负压区域对晶圆的吸附力，但不能解决污染物引起的真空槽内压力报警问题，且真空槽面积增大后，会加大真空槽吸附晶圆时引起的晶圆的变形量，从而影响晶圆表面的刻蚀精度；
3)对静电吸盘上表面进行的人工吹扫，只能保证静电吸盘上表面的局部位置被吹扫干净，而且，从静电吸盘上表面局部吹扫出来的污染物还会被吹到静电吸盘上表面的其他位置上，也会引起真空槽内压力的报警问题；
4)人工对静电吸盘上表面的吹扫作业增加了吹扫的工序时间，也降低了静电吸盘的作业效率。
发明内容
为了解决现有技术下的静电吸盘上表面吸附晶圆时所存在的上述问题，本实用新型提供了一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，该吹扫装置在线作业时，能够满足静电吸盘上表面的清洁度要求，以消除污染物对静电吸盘上表面吸附晶圆时的不利影响。本实用新型的具体方案如下所述：
一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，包括垂直地面方向布置的立柱、水平方向布置的悬臂梁、静电吸盘、静电吸盘支架、负压泵、真空管道、真空槽，所述悬臂梁的一端连接在立柱靠近顶部的侧面；其特征在于，还包括中间段喷管、根部喷管、顶部喷管、根部盲板和顶部盲板，根部盲板和顶部盲板分别以满焊方式连接在根部喷管和顶部喷管的外端，中间段喷管、根部喷管和顶部喷管上布置有缝式开口，根部喷管靠近立柱侧的上方连接有氮气进口管路，从氮气进口管路引进的氮气从缝式开口内以垂直方向吹向静电吸盘的上表面。
根据本实用新型的一种吹扫装置，其特征在于，所述中间段喷管的直径大于根部喷管和顶部喷管的直径，所述中间段喷管位于静电吸盘上表面中心的正上方。
此处设计目的在于，中间段喷管、根部喷管和顶部喷管上布置的缝式开口，能使吹扫的氮气在一条连续的直线宽度上对静电吸盘上表面进行吹扫，避免了孔式开口吹扫的不均匀性；中间段喷管位于静电吸盘上表面中心的正上方，且中间段喷管的直径大于根部喷管和顶部喷管的直径，能使吹扫的氮气在静电吸盘上表面建立一个压力梯度，中心点的压力高，四周的压力低，以保证静电吸盘上表面的污染物能全部被吹扫干净。
根据本实用新型的一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，其特征在于，所述顶部喷管外端还有一段顶部气流缓冲段。
根据本实用新型的一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，其特征在于，所述根部喷管外端还有一段根部气流缓冲段。
根据上述的吹扫装置，其特征在于，所述中间段喷管的喷嘴开口度大于根部喷管和顶部喷管的喷嘴开口度。
根据本实用新型的一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，其特征在于，所述中间段喷管的缝式开口上方还有至少一颗呈水平方向布置的开口度调整螺栓，该开口度调整螺栓贯穿缝式开口两侧的管壁，与缝式开口的一侧管壁以左旋螺纹连接，与缝式开口的另一侧管壁以右旋螺纹连接。
根据本实用新型的一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，其特征在于，所述开口度调整螺栓位于中间段喷管的下侧管壁上。
此处设计目的在于，顶部气流缓冲段和根部气流缓冲段能缓解顶部喷管和根部喷管所喷出的气流的压力和流速，避免出现顶部喷管和根部喷管的两个外端气流的不稳定性；中间段喷管的下侧管壁上呈水平方向布置的开口度调整螺栓，起到调整中间段喷管开口度的作用，需要增大静电吸盘上表面中间位置的吹扫力度时，可以调整该开口度调整螺栓，以建立更大梯度的气流压力，在各种污染程度下都能保证静电吸盘上表面的清洁度，避免出现吸附作用的负压报警，且操作方便，提高了静电吸盘的作业效率。
根据本实用新型的一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，其特征在于，所述中间段喷管与根部喷管之间还有一段根部过渡段喷管；所述中间段喷管与顶部喷管之间还有一段顶部过渡段喷管。
根据本实用新型的一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，其特征在于，所述缝式开口的长度不小于静电吸盘上表面的直径。
根据本实用新型的一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，其特征在于，所述中间段喷管以焊接或者螺纹连接的方式固定在悬臂梁上。
此处设计目的在于，顶部过渡段喷管和根部过渡段喷管对中间段喷管到顶部喷管和根部喷管之间的过渡部分起到缓冲作用，避免过度部分的氮气吹扫压力出现大的波动，防止出现静电吸盘表面的污染物被吹起后再次落在静电吸盘表面的问题。
使用本实用新型的一种用于清除静电吸盘上表面异物的吹扫装置获得了如下有益效果：
1)缝式开口能使吹扫的氮气在一条连续的直线宽度上对静电吸盘上表面进行吹扫，避免了孔式开口吹扫的不均匀性；
2)中间段喷管直径大于根部喷管和顶部喷管的直径，能使吹扫的氮气在静电吸盘上表面建立一个压力梯度，中心点的压力高，四周的压力低，以保证静电吸盘上表面的污染物能全部被吹扫干净；
3)顶部气流缓冲段和根部气流缓冲段能避免出现顶部喷管和根部喷管的两个外端气流的不稳定性；
4)开口度调整螺栓起到调整中间段喷管开口度的作用，可以建立更大梯度的气流压力，在各种污染程度下都能保证静电吸盘上表面的清洁度；
5)避免出现吸附作用的负压报警问题，且操作方便，提高了静电吸盘的作业效率。
附图说明
图1为原静电吸盘在线工作示意图；
图2为改进后的吹扫装置主视图；
图3为图2中吹扫装置的A向视图；
图4为图3中中间段喷管的B-B剖视图；
图中：1-晶圆，2-悬臂梁，3-静电吸盘，4-静电吸盘支架，5-负压泵，6-真空管道，7-真空槽，8-立柱，9-顶部盲板，10-顶部气流缓冲段，11-顶部喷管，12-顶部过渡段喷管，13-中间段喷管，14-开口度调整螺栓，15-根部过渡段喷管，16-根部喷管，17-根部气流缓冲段，18-根部盲板，19-氮气进口管路，20-缝式开口。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型的一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置做进一步的描述。
实施例
如图2至图4所示，一种用于清除静电吸盘3表面异物的吹扫装置，包括垂直地面方向布置的立柱8、水平方向布置的悬臂梁2、静电吸盘3、静电吸盘支架4、负压泵5、真空管道6、真空槽7，所述悬臂梁2的一端连接在立柱8靠近顶部的侧面；还包括中间段喷管13、根部喷管16、顶部喷管11、根部盲板18和顶部盲板9，根部盲板18和顶部盲板9分别以满焊方式连接在根部喷管16和顶部喷管11的外端，中间段喷管13、根部喷管16和顶部喷管11上布置有缝式开口20，根部喷管16靠近立柱8侧的上方连接有氮气进口管路19，从氮气进口管路19引进的氮气从缝式开口20内以垂直方向吹向静电吸盘3的上表面。
中间段喷管13的直径大于根部喷管16和顶部喷管11的直径，中间段喷管13位于静电吸盘3上表面中心的正上方。
中间段喷管13、根部喷管16和顶部喷管11上布置的缝式开口20，能使吹扫的氮气在一条连续的直线宽度上对静电吸盘3上表面进行吹扫，避免了孔式开口吹扫的不均匀性；中间段喷管13位于静电吸盘3上表面中心的正上方，且中间段喷管13的直径大于根部喷管16和顶部喷管11的直径，能使吹扫的氮气在静电吸盘3上表面建立一个压力梯度，中心点的压力高，四周的压力低，以保证静电吸盘3上表面的污染物能全部被吹扫干净。
顶部喷管11外端还有一段顶部气流缓冲段10。
根部喷管16外端还有一段根部气流缓冲段17。
中间段喷管13的喷嘴开口度大于根部喷管16和顶部喷管11的喷嘴开口度。
中间段喷管13的缝式开口20上方还有至少一颗呈水平方向布置的开口度调整螺栓14，该开口度调整螺栓14贯穿缝式开口20两侧的管壁，与缝式开口20的一侧管壁以左旋螺纹连接，与缝式开口20的另一侧管壁以右旋螺纹连接。
开口度调整螺栓14位于中间段喷管13的下侧管壁上。
顶部气流缓冲段10和根部气流缓冲段17能缓解顶部喷管16和根部喷管11所喷出的气流的压力和流速，避免出现顶部喷管16和根部喷管11的两个外端气流的不稳定性；中间段喷管13的下侧管壁上呈水平方向布置的开口度调整螺栓14，起到调整中间段喷管13开口度的作用，需要增大静电吸盘3上表面中间位置的吹扫力度时，可以调整该开口度调整螺栓14，以建立更大梯度的气流压力，在各种污染程度下都能保证静电吸盘3上表面的清洁度，避免出现吸附作用的负压报警，且操作方便，提高了静电吸盘的作业效率。
中间段喷管13与根部喷管16之间还有一段根部过渡段喷管15；中间段喷管13与顶部喷管11之间还有一段顶部过渡段喷管12。
缝式开口20的长度不小于静电吸盘3上表面的直径。
中间段喷管13以焊接或者螺纹连接的方式固定在悬臂梁2上。
顶部过渡段喷管12和根部过渡段喷管15对中间段喷管13到顶部喷管16和根部喷管11之间的过渡部分起到缓冲作用，避免过度部分的氮气吹扫压力出现大的波动，防止出现静电吸盘3表面的污染物被吹起后再次落在静电吸盘3表面的问题。
使用本实用新型的一种用于清除静电吸盘上表面异物的吹扫装置，能使吹扫的氮气在一条连续的直线宽度上对静电吸盘上表面进行吹扫，避免了孔式开口吹扫的不均匀性；中间段喷管直径大于根部喷管和顶部喷管的直径，能使吹扫的氮气在静电吸盘上表面建立一个压力梯度，中心点的压力高，四周的压力低，以保证静电吸盘上表面的污染物能全部被吹扫干净；顶部气流缓冲段和根部气流缓冲段能避免出现顶部喷管和根部喷管的两个外端气流的不稳定性；开口度调整螺栓起到调整中间段喷管开口度的作用，可以建立更大梯度的气流压力，在各种污染程度下都能保证静电吸盘上表面的清洁度；避免出现吸附作用的负压报警问题，且操作方便，提高了静电吸盘的作业效率。本实用新型适用于各种集成电路制造中的静电吸盘表面吹扫装置领域。

Claims (10)

1.一种用于清除静电吸盘(3)表面异物的吹扫装置，包括垂直地面方向布置的立柱(8)、水平方向布置的悬臂梁(2)、静电吸盘(3)、静电吸盘支架(4)、负压泵(5)、真空管道(6)、真空槽(7)，所述悬臂梁(2)的一端连接在立柱(8)靠近顶部的侧面；其特征在于，还包括中间段喷管(13)、根部喷管(16)、顶部喷管(11)、根部盲板(18)和顶部盲板(9)，根部盲板(18)和顶部盲板(9)分别以满焊方式连接在根部喷管(16)和顶部喷管(11)的外端，中间段喷管(13)、根部喷管(16)和顶部喷管(11)上布置有缝式开口(20)，根部喷管(16)靠近立柱(8)侧的上方连接有氮气进口管路(19)，从氮气进口管路(19)引进的氮气从缝式开口(20)内以垂直方向吹向静电吸盘(3)的上表面。
2.根据权利要求1所述的吹扫装置，其特征在于，所述中间段喷管(13)的直径大于根部喷管(16)和顶部喷管(11)的直径，所述中间段喷管(13)位于静电吸盘(3)上表面中心的正上方。
3.根据权利要求1所述的吹扫装置，其特征在于，所述顶部喷管(11)外端还有一段顶部气流缓冲段(10)。
4.根据权利要求1所述的吹扫装置，其特征在于，所述根部喷管(16)外端还有一段根部气流缓冲段(17)。
5.根据权利要求1所述的吹扫装置，其特征在于，所述中间段喷管(13)的喷嘴开口度大于根部喷管(16)和顶部喷管(11)的喷嘴开口度。
6.根据权利要求1所述的吹扫装置，其特征在于，所述中间段喷管(13)的缝式开口(20)上方还有至少一颗呈水平方向布置的开口度调整螺栓(14)，该开口度调整螺栓(14)贯穿缝式开口(20)两侧的管壁，与缝式开口(20)的一侧管壁以左旋螺纹连接，与缝式开口(20)的另一侧管壁以右旋螺纹连接。
7.根据权利要求6所述的吹扫装置，其特征在于，所述开口度调整螺栓(14)位于中间段喷管(13)的下侧管壁上。
8.根据权利要求1所述的吹扫装置，其特征在于，所述中间段喷管(13)与根部喷管(16)之间还有一段根部过渡段喷管(15)；所述中间段喷管(13)与顶部喷管(11)之间还有一段顶部过渡段喷管(12)。
9.根据权利要求1所述的吹扫装置，其特征在于，所述缝式开口(20)的长度不小于静电吸盘(3)上表面的直径。
10.根据权利要求1所述的吹扫装置，其特征在于，所述中间段喷管(13)以焊接或者螺纹连接的方式固定在悬臂梁(2)上。
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