CN103901731A - 可动刀口装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可动刀口装置，该可动刀口装置采用双运动层的布置方法，使X向刀片与Y向刀片之间不再存在互相干扰，提高了刀片运动时的安全性，并且该装置采用四个直线电机独立驱动四个刀片，使得该装置的电机负载较小，满足了高加速度的工作需求，无需增加下部刀片的厚度以增强其刚度，对于不同机型的接口适应性良好。

Description

可动刀口装置

技术领域

本发明涉及光刻工艺，尤其涉及一种可动刀口装置。

背景技术

在光刻过程中，激光光束通过一个狭缝窗口将掩模版图形投影曝光到工件台上的硅片上。曝光系统通过一套装置调整隙缝窗口的大小，称为可动刀口装置。可动刀口装置的工作原理是：两个方向的刀片相互运动拼接形成狭缝窗口。在步进曝光中，狭缝窗口的尺寸在曝光前预先调整好；在扫描曝光中，狭缝窗口须在扫描方向与工件台、掩模台同步扫描。

如图1所示，图1为现有技术中曝光系统的结构示意图，激光光束1通过灯室、快门、耦合透镜等模块(图中未示)，到达积分棒2，从积分棒2出来的光束具有一定大小，可动刀口装置3通过上层指令下达的狭缝窗口大小要求、以及与掩模台5和投影物镜6同步扫描的运动指令，实现可动刀口装置3的刀片的各自或整体的动作。从可动刀口装置3出来的光束，形成一定的视场大小，再经过中继透镜组4、掩模版5’、投影物镜6最终到达工件台7上的硅片7’处完成曝光。可动刀口装置3受到积分棒一侧的光照，所承受的热载荷很大。

于2007年11月20日公开的公开号为US7298455的美国专利中提出了一种X/Y向刀口共面布的可动刀口结构，分别通过四套摩擦轮和旋转电机独立驱动四个共面的刀片，实现窗口调整。该专利中的可动刀口结构的缺点是其共面的刀片运动时相互耦合，运动层间相互干扰，不能满足高加速度的工作需求；摩擦轮结构和旋转电机的传动和驱动方式具有一定的误差传递，精度不高。

于2003年7月22日公开的公开号为US6597002的美国专利中提出了一种层叠式的可动刀口结构，其X/Y向刀片分别固联成两个L形刀片组，两个L形刀片组分别设置在X向与Y向运动层上，Y向运动层叠加于X向运动层上，从而实现狭缝窗口的尺寸调整。该专利中可动刀口结构的缺点是Y向模块的动定子、X向模块动子的质量均由X向电机驱动，负载相对较大，不能适应高加速度的工作需求；另外，由于X向刀片与Y向刀片的固联，使设置于下部的刀片必须具有一定的厚度以增强其刚度，对于不同机型的接口适应性不好；以及，刀片长时间承受光照强度，刀片热变形串扰，使刀片组产生扭曲，影响狭缝窗口的正交性。

发明内容

本发明的目的是提供一种可动刀口装置，以实现可动刀口装置中刀片的高精度、低干扰运动。

为解决上述技术问题，本发明提供一种可动刀口装置，其应用于光刻工艺，所述可动刀口装置包括上部Y向刀片、下部Y向刀片、左侧X向刀片和右侧X向刀片，所述四片刀片组合形成狭缝窗口，在光刻过程中，激光光束通过所述狭缝窗口将掩膜版图形投影曝光到工件台的硅片上，所述可动刀口装置还包括框架和四个直线电机，所述四片刀片与四个直线电机均安装于所述框架内，所述左侧X向刀片与右侧X向刀片呈X向排列，所述上部Y向刀片与下部Y向刀片呈Y向排列，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片均位于X向运动层内，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片均位于Y向运动层内，所述四片刀片分别通过所述四个直线电机独立驱动，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片均能够通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿X向运动，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片均能够通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿Y向运动。

进一步的，所述可动刀口装置还包括Y向刀片机械互限位装置，所述Y向刀片机械互限位装置设置于所述框架内，所述Y向刀片机械互限位装置位于所述Y向运动层内，所述Y向刀片机械互限位装置位于所述上部Y向刀片和下部Y向刀片之间。

进一步的，所述可动刀口装置还包括Y向刀片电气互限位传感器，所述Y向刀片电气互限位传感器设置于所述Y向刀片机械互限位装置上，所述Y向刀片电气互限位传感器用于限制上部Y向刀片与下部Y向刀片之间的距离。

进一步的，所述可动刀口装置还包括X向刀片电气互限位传感器，所述X向刀片电气互限位传感器设置于所述框架内，所述X向刀片电气互限位传感器位于所述X向运动层内，所述X向刀片电气互限位传感器用于限制左侧X向刀片与右侧X向刀片之间的距离。

进一步的，所述框架的材料为铸铁或不锈钢材质。

进一步的，所述可动刀口装置还包括X向刀片组件，所述X向刀片组件设置于所述框架内，所述X向刀片组件包括X向驱动侧转接件和X向辅助侧转接件，所述X向驱动侧转接件与所述X向辅助侧转接件通过双侧连接件连接，所述直线电机与所述X向驱动侧转接件连接，所述直线电机驱动所述X向驱动侧转接件带动所述X向刀片组件在所述框架内沿X向运动，所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件上均设有Z向夹持件、左侧X向夹持件和右侧X向夹持件，所述Z向夹持件、左侧X向夹持件和右侧X向夹持件夹持住所述左侧X向刀片或右侧X向刀片，使其固定于X向刀片组件上。

进一步的，所述X向刀片组件还包括X向光栅尺读头，所述X向光栅尺读头设置于所述X向驱动侧转接件上，其对应的X向光栅尺设置于所述框架上，所述X向光栅尺读头通过读取所述X向光栅尺的刻度来控制所述X向刀片组件的X向位移。

进一步的，所述X向刀片组件还包括X向传感器探测片，所述X向传感器探测片设置于所述X向驱动侧转接件上，其对应的X向传感器设置于所述框架上，所述X向传感器探测片通过所述X向传感器限制所述左侧X向刀片或所述右侧X向刀片的最大位移量。

进一步的，所述X向刀片组件还包括冷却装置，所述冷却装置包括冷却液通道、冷却液进水接头、冷却液出水接头和通道连接件，所述冷却液通道分别设置于所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件内，所述通道连接件连通所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件内的冷却液通道，所述冷却液进水接头与冷却液出水接头分别设置于所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件上，且分别与所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件内的冷却液通道连接。

进一步的，所述X向刀片组件还包括轴承调节装置，所述轴承调节装置包括轴承，所述轴承设置于所述X向辅助侧转接件上，所述框架上设有与所述轴承对应的滑道，使所述轴承能够沿所述滑道运动。

可选的，所述轴承调节装置还包括固定件、短轴、轴承转接件、压缩弹簧、顶丝，所述固定件设置于所述X向辅助侧转接件上，所述顶丝设置于所述固定件内的一端，所述压缩弹簧的一端与所述顶丝连接，所述压缩弹簧的另一端与所述轴承转接件连接，所述固定件靠近所述轴承转接件的位置上设有一腰型孔，所述轴承转接件能够沿所述腰型孔的轴线方向运动，所述短轴的一端与所述轴承转接件通过螺纹连接，所述轴承与所述短轴的另一端连接。

可选的，所述轴承调节装置还包括连接杆和拉簧，所述连接杆的一端与所述轴承连接，所述连接杆的另一端固定于所述X向辅助侧转接件上，所述拉簧的一端与所述连接杆连接，所述拉簧的另一端设置于所述转接件上，所述拉簧的拉伸方向与所述连接杆的延伸方向垂直。

进一步的，所述可动刀口装置还包括Y向刀片组件，所述Y向刀片组件设置于所述框架内，所述Y向刀片组件包括Y向驱动侧转接件，所述上部Y向刀片或下部Y向刀片的一端与所述Y向驱动侧转接件固定连接，所述直线电机与所述Y向驱动侧转接件连接，所述直线电机驱动所述Y向驱动侧转接件带动所述Y向刀片组件在所述框架内沿Y向运动。

进一步的，所述Y向刀片组件还包括Y向光栅尺读头，所述Y向光栅尺读头设置于所述Y向驱动侧转接件上，其对应的Y向光栅尺设置于所述框架上，所述Y向光栅尺读头通过读取所述Y向光栅尺的刻度来控制所述Y向刀片组件的Y向位移。

进一步的，所述Y向刀片组件还包括Y向传感器探测片，所述Y向传感器探测片设置于所述Y向驱动侧转接件上，其对应的Y向传感器设置于所述框架上，所述Y向传感器探测片通过所述Y向传感器限制所述上部Y向刀片或所述下部Y向刀片的最大位移量。

进一步的，所述Y向刀片组件还包括滑块、直线导轨、右侧机械限位装置和左侧机械限位装置，所述直线导轨设置于所述框架上，所述右侧机械限位装置和左侧机械限位装置分别设置于所述直线导轨的两端，所述滑块与所述直线导轨滑动连接，所述滑块的一端与所述Y向驱动侧转接件固定连接，所述滑块能够沿所述直线导轨运动。

进一步的，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片上均设有刃口，所述刃口设置于所述上/下部Y向刀片靠近所述下/上部Y向刀片的一侧。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

本发明提供的可动刀口装置采用双运动层的布置方法，使X向刀片与Y向刀片之间不再存在互相干扰，提高了刀片运动时的安全性，并且该装置采用四个直线电机独立驱动四个刀片，使得该装置的电机负载较小，满足了高加速度的工作需求，无需增加下部刀片的厚度以增强其刚度，对于不同机型的接口适应性良好。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步说明：

图1为现有技术中曝光系统的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的可动刀口装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的X向刀片组件的结构示意图；

图4为本发明实施例一提供的轴承调节装置的结构示意图；

图5为本发明实施例二提供的轴承调节装置的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的Y向刀片组件的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的Y向刀片上刃口的结构示意图；

在图1至图7中，

1：激光光束；2：积分棒；3：可动刀口装置；4：中继透镜组；5：掩膜台；5’：掩膜版；6：投影物镜；7：工件台；7’：硅片；10：上部Y向刀片；20：下部Y向刀片；30：左侧X向刀片；40：右侧X向刀片；50：狭缝窗口；60：框架；61：Y向光栅尺；62：Y向传感器；70：直线电机；80：Y向刀片机械互限位装置；90：Y向刀片电气互限位传感器；100：X向刀片电气互限位传感器；110：X向刀片组件；111：X向驱动侧转接件；112：X向辅助侧转接件；113：双侧连接件；114：Z向夹持件；115：左侧X向夹持件；116：右侧X向夹持件；117：X向传感器探测片；118：冷却装置；1181：冷却液通道；1182：冷却液进水接头；1183：冷却液出水接头；1184：通道连接件；119：轴承调节装置；1191：轴承；1192：固定件；1193：短轴；1194：轴承转接件；1195：压缩弹簧；1196：顶丝；1197：腰型孔；1198：连接杆；1199：拉簧；120：Y向刀片组件；121：Y向驱动侧转接件；122：Y向光栅尺读头；123：Y向传感器探测片；124：滑块；125：直线导轨；126：右侧机械限位装置；127：左侧机械限位装置；130：刃口。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的可动刀口装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

本发明的核心思想在于，提供一种可动刀口装置，其应用于光刻工艺，所述可动刀口装置包括上部Y向刀片、下部Y向刀片、左侧X向刀片和右侧X向刀片，所述四片刀片组合形成狭缝窗口，在光刻过程中，激光光束通过所述狭缝窗口将掩膜版图形投影曝光到工件台的硅片上，所述可动刀口装置还包括框架和四个直线电机，所述四片刀片与四个直线电机均安装于所述框架内，所述左侧X向刀片与右侧X向刀片呈X向排列，所述上部Y向刀片与下部Y向刀片呈Y向排列，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片均位于X向运动层内，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片均位于Y向运动层内，所述四片刀片分别通过所述四个直线电机独立驱动，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片均能够通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿X向运动，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片均能够通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿Y向运动，本发明提供的可动刀口装置采用双运动层的布置方法，使X向刀片与Y向刀片之间不再存在互相干扰，提高了刀片运动时的安全性，并且该装置采用四个直线电机独立驱动四个刀片，使得该装置的电机负载较小，满足了高加速度的工作需求，无需增加下部刀片的厚度以增强其刚度，对于不同机型的接口适应性良好。

请参考图1至图7，图1为现有技术中曝光系统的结构示意图；图2为本发明实施例提供的可动刀口装置的结构示意图；图3为本发明实施例提供的X向刀片组件的结构示意图；图4为本发明实施例一提供的轴承调节装置的结构示意图；图5为本发明实施例二提供的轴承调节装置的结构示意图；图6为本发明实施例提供的Y向刀片组件的结构示意图；图7为本发明实施例提供的Y向刀片上刃口的结构示意图。

实施例一

请重点参考图1和图2，如图1和图2所示，本发明实施例提供一种可动刀口装置，其应用于光刻工艺，所述可动刀口装置包括上部Y向刀片10、下部Y向刀片20、左侧X向刀片30和右侧X向刀片40，所述四片刀片组合形成狭缝窗口50，在光刻过程中，激光光束1通过所述狭缝窗口50将掩膜版图形投影曝光到工件台7的硅片7’上，所述可动刀口装置还包括框架60和四个直线电机70，所述四片刀片与四个直线电机70均安装于所述框架60内，所述左侧X向刀片30与右侧X向刀片40呈X向排列，所述上部Y向刀片10与下部Y向刀片20呈Y向排列，所述左侧X向刀片30和右侧X向刀片40均位于X向运动层内，所述上部Y向刀片10和下部Y向刀片20均位于Y向运动层内，所述四片刀片分别通过所述四个直线电机70独立驱动，所述左侧X向刀片30和右侧X向刀片40均能够通过其对应直线电机70的驱动在所述框架60内沿X向运动，所述上部Y向刀片10和下部Y向刀片20均能够通过其对应直线电机70的驱动在所述框架60内沿Y向运动。

进一步的，所述左侧X向刀片30和右侧X向刀片40的材料均采用CVD金刚石或SiC陶瓷，其厚度大约为0.5mm，这样设计能够使左侧X向刀片30和右侧X向刀片40具有较小的线性热膨胀系数和较高的导热系数，同时质量较轻。

进一步的，所述上部Y向刀片10和下部Y向刀片20的材料均采用铝片、SiC陶瓷片，其厚度为3～5mm，使上部Y向刀片10和下部Y向刀片20具有较小的线性热膨胀系数、较高的导热系数以及较轻的质量。

进一步的，所述可动刀口装置还包括Y向刀片机械互限位装置80，所述Y向刀片机械互限位装置80设置于所述框架60内，所述Y向刀片机械互限位装置80位于所述Y向运动层内，所述Y向刀片机械互限位装置80位于所述上部Y向刀片10和下部Y向刀片20之间，该Y向刀片机械互限位装置为一柔性固定块，其能够防止上部Y向刀片10和下部Y向刀片20互相碰撞，并且碰撞到柔性固定块的刀片也不易损坏，保护该装置不受损伤。

进一步的，所述可动刀口装置还包括Y向刀片电气互限位传感器90，所述Y向刀片电气互限位传感器90设置于所述Y向刀片机械互限位装置80上，所述Y向刀片电气互限位传感器90用于限制上部Y向刀片10与下部Y向刀片20之间的距离，该Y向刀片电气互限位传感器90的探测头面呈圆形或椭圆形，当所述上部Y向刀片10或下部Y向刀片20内侧面进入到该Y向刀片电气互限位传感器90的探测范围时，该Y向刀片电气互限位传感器90便控制该刀片停止运动，从而防止两个Y向刀片之间的碰撞。

进一步的，所述可动刀口装置还包括X向刀片电气互限位传感器100，所述X向刀片电气互限位传感器100设置于所述框架60内，所述X向刀片电气互限位传感器100位于所述X向运动层内，所述X向刀片电气互限位传感器100用于限制左侧X向刀片30与右侧X向刀片40之间的距离，该X向刀片电气互限位传感器100的结构和工作方式与上述Y向刀片电气互限位传感器90相同。

进一步的，所述框架60的材料为铸铁或不锈钢材质。

请重点参考图3，如图3所示，所述可动刀口装置还包括X向刀片组件110，所述X向刀片组件110设置于所述框架60内，所述X向刀片组件110包括X向驱动侧转接件111和X向辅助侧转接件112，所述X向驱动侧转接件111与所述X向辅助侧转接件112通过双侧连接件113连接，所述直线电机70与所述X向驱动侧转接件111连接，所述直线电机70驱动所述X向驱动侧转接件111带动所述X向刀片组件110在所述框架60内沿X向运动，所述X向驱动侧转接件111与X向辅助侧转接件112上均设有Z向夹持件114、左侧X向夹持件115和右侧X向夹持件116，所述Z向夹持件114、左侧X向夹持件115和右侧X向夹持件116夹持住所述左侧X向刀片30或右侧X向刀片40，使其固定于X向刀片组件110上。

进一步的，所述X向刀片组件110还包括X向光栅尺读头(图中未示)，所述X向光栅尺读头设置于所述X向驱动侧转接件111上，其对应的X向光栅尺(图中未示)设置于所述框架60上，所述X向光栅尺读头通过读取所述X向光栅尺的刻度来控制所述X向刀片组件110的X向位移。

进一步的，所述X向刀片组件110还包括X向传感器探测片117，所述X向传感器探测片117设置于所述X向驱动侧转接件111上，其对应的X向传感器(图中未示)设置于所述框架60上，所述X向传感器探测片117通过所述X向传感器限制所述左侧X向刀片30或所述右侧X向刀片40的最大位移量。

进一步的，所述X向刀片组件110还包括冷却装置118，所述冷却装置118包括冷却液通道1181、冷却液进水接头1182、冷却液出水接头1183和通道连接件1184，所述冷却液通道1181分别设置于所述X向驱动侧转接件111与X向辅助侧转接件112内，所述通道连接件1184连通所述X向驱动侧转接件111与X向辅助侧转接件112内的冷却液通道1181，所述冷却液进水接头1182与冷却液出水接头1183分别设置于所述X向驱动侧转接件111与X向辅助侧转接件112上，且分别与所述X向驱动侧转接件111与X向辅助侧转接件112内的冷却液通道1181连接，在需要冷却上述X向刀片组件110时，将水从冷却液进水接头1182泵入，冷却液为冷却水或其他冷却剂，即可完成冷却循环，对上述X向刀片组件110进行冷却降温，防止光照条件下刀片的热变形情况产生，提高其使用寿命及工作速度。

进一步的，所述X向刀片组件110还包括轴承调节装置119，所述轴承调节装置119包括轴承1191，所述轴承1191设置于所述X向辅助侧转接件112上，所述框架60上设有与所述轴承1191对应的滑道，使所述轴承1191能够沿所述滑道运动，所述X向刀片组件110采用单侧驱动，另一侧通过将轴承1191与滑道滑动连接，使轴承1191能够沿所述滑道运动，起到了支撑的作用，防止X向刀片组件110产生过约束，并降低装调难度。

请重点参考图4，如图4所示，所述轴承调节装置119还包括固定件1192、短轴1193、轴承转接件1194、压缩弹簧1195、顶丝1196，所述固定件1192设置于所述X向辅助侧转接件111上，所述顶丝1196设置于所述固定件1192内的一端，所述压缩弹簧1195的一端与所述顶丝1196连接，所述压缩弹簧1195的另一端与所述轴承转接件1194连接，所述固定件1192靠近所述轴承转接件1194的位置上设有一腰型孔1197，所述腰型孔1197的轴线方向与所述压缩弹簧1195的轴线方向垂直，所述轴承转接件1194能够沿所述腰型孔1197的轴线方向运动，所述短轴1193的一端与所述轴承转接件1194通过螺纹连接，所述轴承1191与所述短轴1193的另一端连接，通过调整轴承1191在腰型孔1197中的位置，使轴承1191能够对准框架60中的滑道，让轴承1191起到支撑X向刀片之间110的作用，所述压缩弹簧1195能够通过其弹力压住所述轴承转接件1194，不让其轻易移动。

请重点参考图6，如图6所示，所述可动刀口装置还包括Y向刀片组件120，所述Y向刀片组件120设置于所述框架60内，所述Y向刀片组件120包括Y向驱动侧转接件121，所述上部Y向刀片10或下部Y向刀片20的一端与所述Y向驱动侧转接件121固定连接，所述直线电机70与所述Y向驱动侧转接件121连接，所述直线电机70驱动所述Y向驱动侧转接件121带动所述Y向刀片组件120在所述框架60内沿Y向运动。

进一步的，所述Y向刀片组件120还包括Y向光栅尺读头122，所述Y向光栅尺读头122设置于所述Y向驱动侧转接件121上，其对应的Y向光栅尺61设置于所述框架60上，所述Y向光栅尺读头122通过读取所述Y向光栅尺61的刻度来控制所述Y向刀片组件120的Y向位移。

进一步的，所述Y向刀片组件120还包括Y向传感器探测片123，所述Y向传感器探测片123设置于所述Y向驱动侧转接件121上，其对应的Y向传感器62设置于所述框架60上，所述Y向传感器探测片123通过所述Y向传感器62限制所述上部Y向刀片10或所述下部Y向刀片20的最大位移量。

进一步的，所述Y向刀片组件120还包括滑块124、直线导轨125、右侧机械限位装置126和左侧机械限位装置127，所述直线导轨70设置于所述框架60上，所述右侧机械限位装置126和左侧机械限位装置127分别设置于所述直线导轨125的两端，所述滑块124与所述直线导轨70滑动连接，所述滑块124的一端与所述Y向驱动侧转接件121固定连接，所述滑块124能够沿所述直线导轨70运动，所述Y向刀片组件120也是单边驱动，并通过滑块124在导轨125上滑动，所述导轨125沿Y向设置于框架60上，起到支撑Y先刀片组件120的作用。

请重点参考图7，如图7所示，所述上部Y向刀片10和下部Y向刀片20上均设有刃口130，所述刃口130设置于所述上/下部Y向刀片靠近所述下/上部Y向刀片的一侧，该刃口130的尖端宽度必须小于0.05mm，以减小光照后刀片引起的半影尺寸。

实施例二

本发明实施例提供的可动刀口装置相对于实施例一中可动刀口装置的区别点在于：请重点参考图5，如图5所示，所述轴承调节装置119还包括连接杆1198和拉簧1199，所述连接杆1198的一端与所述轴承1191连接，所述连接杆1198的另一端固定于所述X向辅助侧转接件112上，所述拉簧1199的一端与所述连接杆1198连接，所述拉簧1199的另一端设置于所述转接件1198上，所述拉簧1199的拉伸方向与所述连接杆1198的延伸方向垂直，所示拉簧通过其拉力使所示轴承1191不会轻易在X向辅助侧转接件112上轻易滑动，调整连接杆1198的另一端与X向辅助侧转接件112的连接点，改变轴承1191的位置，使其能够对准上述滑道，起到支撑X向刀片组件110的作用。

本发明实施例提供的可动刀口装置相对于实施例一中的可动刀口装置在其他结构上均无变化，故在此便不再赘述。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变形而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (17)

1.一种可动刀口装置，应用于光刻工艺，所述可动刀口装置包括上部Y向刀片、下部Y向刀片、左侧X向刀片和右侧X向刀片，所述四片刀片组合形成狭缝窗口，外部照明光束通过所述狭缝窗口将掩膜版图形投影曝光到硅片上，其特征在于，还包括框架和四个直线电机，所述四片刀片与四个直线电机均安装于所述框架内，所述左侧X向刀片与右侧X向刀片呈X向排列，所述上部Y向刀片与下部Y向刀片呈Y向排列，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片均位于X向运动层内，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片均位于Y向运动层内，所述四片刀片分别通过所述四个直线电机独立驱动，所述左侧X向刀片和右侧X向刀片分别通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿X向运动，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片分别通过其对应直线电机的驱动在所述框架内沿Y向运动。

2.根据权利要求1所述可动刀口装置，其特征在于，还包括Y向刀片机械互限位装置，所述Y向刀片机械互限位装置设置于所述框架内，所述Y向刀片机械互限位装置位于所述Y向运动层内，所述Y向刀片机械互限位装置位于所述上部Y向刀片和下部Y向刀片之间。

3.根据权利要求2所述可动刀口装置，其特征在于，还包括Y向刀片电气互限位传感器，所述Y向刀片电气互限位传感器设置于所述Y向刀片机械互限位装置上，所述Y向刀片电气互限位传感器用于限制上部Y向刀片与下部Y向刀片之间的距离。

4.根据权利要求3所述可动刀口装置，其特征在于，还包括X向刀片电气互限位传感器，所述X向刀片电气互限位传感器设置于所述框架内，所述X向刀片电气互限位传感器位于所述X向运动层内，所述X向刀片电气互限位传感器用于限制左侧X向刀片与右侧X向刀片之间的距离。

5.根据权利要求1至4任一项所述可动刀口装置，其特征在于，所述框架的材料为铸铁或不锈钢材质。

6.根据权利要求1至4任一项所述可动刀口装置，其特征在于，还包括X向刀片组件，所述X向刀片组件设置于所述框架内，所述X向刀片组件包括X向驱动侧转接件和X向辅助侧转接件，所述X向驱动侧转接件与所述X向辅助侧转接件通过双侧连接件连接，所述直线电机与所述X向驱动侧转接件连接，所述直线电机驱动所述X向驱动侧转接件带动所述X向刀片组件在所述框架内沿X向运动，所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件上均设有Z向夹持件、左侧X向夹持件和右侧X向夹持件，所述Z向夹持件、左侧X向夹持件和右侧X向夹持件夹持住所述左侧X向刀片或右侧X向刀片，使其固定于X向刀片组件上。

7.根据权利要求6所述可动刀口装置，其特征在于，所述X向刀片组件还包括X向光栅尺读头，所述X向光栅尺读头设置于所述X向驱动侧转接件上，其对应的X向光栅尺设置于所述框架上，所述X向光栅尺读头通过读取所述X向光栅尺的刻度来控制所述X向刀片组件的X向位移。

8.根据权利要求6所述的可动刀口装置，其特征在于，所述X向刀片组件还包括X向传感器探测片，所述X向传感器探测片设置于所述X向驱动侧转接件上，其对应的X向传感器设置于所述框架上，所述X向传感器探测片通过所述X向传感器限制所述左侧X向刀片或所述右侧X向刀片的最大位移量。

9.根据权利要求6所述的可动刀口装置，其特征在于，所述X向刀片组件还包括冷却装置，所述冷却装置包括冷却液通道、冷却液进水接头、冷却液出水接头和通道连接件，所述冷却液通道分别设置于所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件内，所述通道连接件连通所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件内的冷却液通道，所述冷却液进水接头与冷却液出水接头分别设置于所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件上，且分别与所述X向驱动侧转接件与X向辅助侧转接件内的冷却液通道连接。

10.根据权利要求6所述的可动刀口装置，其特征在于，所述X向刀片组件还包括轴承调节装置，所述轴承调节装置包括轴承，所述轴承设置于所述X向辅助侧转接件上，所述框架上设有与所述轴承对应的滑道，使所述轴承能够沿所述滑道运动。

11.根据权利要求10所述的可动刀口装置，其特征在于，所述轴承调节装置还包括固定件、短轴、轴承转接件、压缩弹簧、顶丝，所述固定件设置于所述X向辅助侧转接件上，所述顶丝设置于所述固定件内的一端，所述压缩弹簧的一端与所述顶丝连接，所述压缩弹簧的另一端与所述轴承转接件连接，所述固定件靠近所述轴承转接件的位置上设有一腰型孔，所述轴承转接件能够沿所述腰型孔的轴线方向运动，所述短轴的一端与所述轴承转接件通过螺纹连接，所述轴承与所述短轴的另一端连接。

12.根据权利要求10所述的可动刀口装置，其特征在于，所述轴承调节装置还包括连接杆和拉簧，所述连接杆的一端与所述轴承连接，所述连接杆的另一端固定于所述X向辅助侧转接件上，所述拉簧的一端与所述连接杆连接，所述拉簧的另一端设置于所述转接件上，所述拉簧的拉伸方向与所述连接杆的延伸方向垂直。

13.根据权利要求1至4任一项所述的可动刀口装置，其特征在于，还包括Y向刀片组件，所述Y向刀片组件设置于所述框架内，所述Y向刀片组件包括Y向驱动侧转接件，所述上部Y向刀片或下部Y向刀片的一端与所述Y向驱动侧转接件固定连接，所述直线电机与所述Y向驱动侧转接件连接，所述直线电机驱动所述Y向驱动侧转接件带动所述Y向刀片组件在所述框架内沿Y向运动。

14.根据权利要求13所述的可动刀口装置，其特征在于，所述Y向刀片组件还包括Y向光栅尺读头，所述Y向光栅尺读头设置于所述Y向驱动侧转接件上，其对应的Y向光栅尺设置于所述框架上，所述Y向光栅尺读头通过读取所述Y向光栅尺的刻度来控制所述Y向刀片组件的Y向位移。

15.根据权利要求13所述的可动刀口装置，其特征在于，所述Y向刀片组件还包括Y向传感器探测片，所述Y向传感器探测片设置于所述Y向驱动侧转接件上，其对应的Y向传感器设置于所述框架上，所述Y向传感器探测片通过所述Y向传感器限制所述上部Y向刀片或所述下部Y向刀片的最大位移量。

16.根据权利要求13所述的可动刀口装置，其特征在于，所述Y向刀片组件还包括滑块、直线导轨、右侧机械限位装置和左侧机械限位装置，所述直线导轨设置于所述框架上，所述右侧机械限位装置和左侧机械限位装置分别设置于所述直线导轨的两端，所述滑块与所述直线导轨滑动连接，所述滑块的一端与所述Y向驱动侧转接件固定连接，所述滑块由直线电机驱动沿所述直线导轨运动。

17.根据权利要求1至4任一项所述的可动刀口装置，其特征在于，所述上部Y向刀片和下部Y向刀片上均设有刃口，所述刃口设置于所述上/下部Y向刀片靠近所述下/上部Y向刀片的一侧。

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