CN110908250A - 投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置和方法 - Google Patents

投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110908250A
CN110908250A CN201911291599.8A CN201911291599A CN110908250A CN 110908250 A CN110908250 A CN 110908250A CN 201911291599 A CN201911291599 A CN 201911291599A CN 110908250 A CN110908250 A CN 110908250A
Authority
CN
China
Prior art keywords
output
distance sensor
knife
integrating rod
edge slit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201911291599.8A
Other languages
English (en)
Inventor
林辉
葛斌
高中原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hua Hong Semiconductor Wuxi Co Ltd
Original Assignee
Hua Hong Semiconductor Wuxi Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hua Hong Semiconductor Wuxi Co Ltd filed Critical Hua Hong Semiconductor Wuxi Co Ltd
Priority to CN201911291599.8A priority Critical patent/CN110908250A/zh
Publication of CN110908250A publication Critical patent/CN110908250A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70058—Mask illumination systems
    • G03F7/70075—Homogenization of illumination intensity in the mask plane by using an integrator, e.g. fly's eye lens, facet mirror or glass rod, by using a diffusing optical element or by beam deflection

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

本发明公开了一种投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置，刀口狭缝设置在积分棒的出光侧面的下游；刀口狭缝由上下左右4个档片设置；在积分棒的出光侧面上设置有距离传感器，用于实时监测积分棒和刀口狭缝之间的横向间距；控制电路接收距离传感器输出的横向间距，当距离传感器输出的横向间距在安全范围内时，投影光刻系统正常工作；当距离传感器输出的横向间距小于安全范围内时，控制电路使投影光刻系统停止工作。本发明还公开了一种投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法。能防止积分棒和刀口狭缝产生摩擦，从而能提高光刻质量并能减少设备损伤。本发明能防止积分棒和刀口狭缝产生摩擦，从而能提高光刻质量并能减少设备损伤。

Description

投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置和方法
技术领域
本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置。本发明还涉及一种投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法。
背景技术
如图1所示，是现有投影光刻系统的积分棒101(Integrator Rod)和刀口狭缝(REMA Blade)的结构示意图；投影光刻系统中的积分棒101：简单的讲就是一个玻璃长方体，光在积分棒101中经过多次折射后，光被打散，然后出来的光更加均匀，所以积分棒101的主要作用就是提高了光的照明均匀性。
如图2所示，是图1中积分棒101的出光侧面104的结构示意图；所述积分棒101的输出光源从出光侧面104的窗口105输出。
投影光刻系统中的刀口狭缝：刀口狭缝的整个组成装置如虚线框102所示，积分棒101出来后有了均匀的光，但是通常不需要全部视场大小的光，只需要曝光一个很小的区域，这时候刀口狭缝就成了挡光的机构，刀口狭缝由上下左右四块档片103组成，由线性马达驱动。档片103通常为Y型刀片(Y Blade)。
现有技术中，积分棒101和刀口狭缝的Y Blade的距离非常近,由于Y Blade是由线性马达驱动，Y Blade在长期的高速运动状态下，可能会发生位置的偏移，从而与积分棒101侧面产生摩擦，同时造成Y Blade和积分棒101镜头的损伤。积分棒101和刀口狭缝一旦发生摩擦，会影响到光斑的成像，而且会影响线宽的大小，所以发生问题后有可能需要对积分棒101和刀口狭缝都进行更换，但是积分棒101和刀口狭缝部件价格非常昂贵，付出的代价极高。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置，能防止积分棒和刀口狭缝产生摩擦，从而能提高光刻质量并能减少设备损伤。为此，本发明所要解决的技术问题是提供一种投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法。
为解决上述技术问题，本发明提供的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置中刀口狭缝设置在积分棒的出光侧面的下游，所述刀口狭缝用于在所述积分棒的输出光源中选择部分区域输出。
所述刀口狭缝由上下左右4个档片设置，所述4个所述档片的间距形成所述刀口狭缝，所述挡片的位置通过线性马达驱动调节。
在所述积分棒的出光侧面上设置有距离传感器，所述距离传感器用于实时监测所述积分棒和所述刀口狭缝之间的横向间距。
控制电路接收所述距离传感器输出的横向间距，当所述距离传感器输出的横向间距在安全范围内时，所述投影光刻系统正常工作；当所述距离传感器输出的横向间距小于安全范围内时，所述控制电路使所述投影光刻系统停止工作。
进一步的改进是，所述距离传感器为超声波距离传感器，所述超声波距离传感器包括发射器和接收器。
进一步的改进是，所述距离传感器的数量为4个，各所述距离传感器分别和一个所述挡片对应并用于测量所述积分棒的出光侧面和对应的所述挡片之间的横向间距。
进一步的改进是，所述距离传感器输出的横向间距包括4个所述距离传感器所测得的横向间距。
进一步的改进是，所述挡片的结构为Y型刀片。
进一步的改进是，所述超声波距离传感器还包括直流电压源、稳压控制器和信号转换器。
所述直流电压源将直流电压输入到所述稳压控制器中，所述稳压控制器为所述发射器提供工作电源。
所述发射器通过振子振动产生超声波并向外辐射；所述接收器的振子接收超声波并根据超声波发生相应的机械振动并将机械振动转换为电压输出。
所述信号转换器将所述接收器输出的信号转换成能实时监控和可视化的值并输入到所述控制电路中。
进一步的改进是，所述直流电压源输出的电压为12V的直流电压。
所述距离传感器输出的横向间距由所述接收器的输出电压表示，所述距离传感器输出的横向间距的安全范围为6±1V。
进一步的改进是，当所述距离传感器输出的横向间距在安全范围内时，所述信号转换器将所述接收器的输出电压都转换1；当所述距离传感器输出的横向间距超出安全范围内时，所述信号转换器将所述接收器的输出电压都转换0。
为解决上述技术问题，本发明提供的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法包括如下步骤：
步骤一、设置距离传感器。
刀口狭缝设置在积分棒的出光侧面的下游，所述距离传感器设置在所述积分棒的出光侧面上；所述刀口狭缝用于在所述积分棒的输出光源中选择部分区域输出。
所述刀口狭缝由上下左右4个档片设置，所述4个所述档片的间距形成所述刀口狭缝，所述挡片的位置通过线性马达驱动调节。
步骤二、在投影光刻系统工作过程中，所述距离传感器实时监测所述积分棒和所述刀口狭缝之间的横向间距。
步骤三、控制电路接收所述距离传感器输出的横向间距，当所述距离传感器输出的横向间距在安全范围内时，所述投影光刻系统正常工作；当所述距离传感器输出的横向间距小于安全范围内时，所述控制电路使所述投影光刻系统停止工作。
进一步的改进是，所述距离传感器为超声波距离传感器，所述超声波距离传感器包括发射器和接收器。
进一步的改进是，所述距离传感器的数量为4个，各所述距离传感器分别和一个所述挡片对应并用于测量所述积分棒的出光侧面和对应的所述挡片之间的横向间距。
进一步的改进是，所述距离传感器输出的横向间距包括4个所述距离传感器所测得的横向间距。
进一步的改进是，所述挡片的结构为Y型刀片。
进一步的改进是，所述超声波距离传感器还包括直流电压源、稳压控制器和信号转换器。
所述直流电压源将直流电压输入到所述稳压控制器中，所述稳压控制器为所述发射器提供工作电源。
所述发射器通过振子振动产生超声波并向外辐射；所述接收器的振子接收超声波并根据超声波发生相应的机械振动并将机械振动转换为电压输出。
所述信号转换器将所述接收器输出的信号转换成能实时监控和可视化的值并输入到所述控制电路中。
进一步的改进是，所述直流电压源输出的电压为12V的直流电压。
所述距离传感器输出的横向间距由所述接收器的输出电压表示，所述距离传感器输出的横向间距的安全范围为6±1V。
当所述距离传感器输出的横向间距在安全范围内时，所述信号转换器将所述接收器的输出电压都转换1；当所述距离传感器输出的横向间距超出安全范围内时，所述信号转换器将所述接收器的输出电压都转换0。
本发明通过在积分棒的出光侧面上设置距离传感器，能实时监测积分棒和刀口狭缝之间的横向间距，当距离传感器输出的横向间距小于安全范围内时，控制电路使投影光刻系统停止工作，能防止积分棒和刀口狭缝产生摩擦，并从而能提高光刻质量并能减少设备损伤，并节约由积分棒和刀口狭缝产生摩擦时需要进行积分棒和刀口狭缝所产生的维修成本。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
图1是现有投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的结构示意图；
图2是图1中积分棒的出光侧面的结构示意图；
图3是本发明实施例投影光刻系统的积分棒的结构示意图；
图4是本发明实施例的距离传感器的工作原理示意图；
图5是本发明实施例的距离传感器的组成结构图。
具体实施方式
如图3所示，是本发明实施例投影光刻系统的积分棒1的结构示意图；本发明实施例投影光刻系统的积分棒1和刀口狭缝的防摩擦装置中，刀口狭缝设置在积分棒1的出光侧面4的下游，所述刀口狭缝用于在所述积分棒1的输出光源中选择部分区域输出。
所述刀口狭缝由上下左右4个档片设置，所述4个所述档片的间距形成所述刀口狭缝，所述挡片3的位置通过线性马达驱动调节。图4中，整个所述刀口狭缝的装置由虚线框2标出。
在所述积分棒1的出光侧面4上设置有距离传感器6，所述距离传感器6用于实时监测所述积分棒1和所述刀口狭缝之间的横向间距。图3中，所述积分棒1的输出光源通过出光侧面4上的窗口5输出。
控制电路12接收所述距离传感器6输出的横向间距，当所述距离传感器6输出的横向间距在安全范围内时，所述投影光刻系统正常工作；当所述距离传感器6输出的横向间距小于安全范围内时，所述控制电路12使所述投影光刻系统停止工作。
如图4所示，是本发明实施例的距离传感器6的工作原理示意图；所述距离传感器6为超声波距离传感器6，所述超声波距离传感器6包括发射器7和接收器8。
所述距离传感器6的数量为4个，各所述距离传感器6分别和一个所述挡片3对应并用于测量所述积分棒1的出光侧面4和对应的所述挡片3之间的横向间距。
所述挡片3的结构为Y型刀片。
所述距离传感器6输出的横向间距包括4个所述距离传感器6所测得的横向间距。
如图5所示，是本发明实施例的距离传感器6的组成结构图。所述超声波距离传感器6还包括直流电压源9、稳压控制器10和信号转换器11。
所述直流电压源9将直流电压输入到所述稳压控制器10中，所述稳压控制器10为所述发射器7提供工作电源。
所述发射器7通过振子振动产生超声波并向外辐射；所述接收器8的振子接收超声波并根据超声波发生相应的机械振动并将机械振动转换为电压输出。
所述信号转换器11将所述接收器8输出的信号转换成能实时监控和可视化的值并输入到所述控制电路12中。
现通过具体参数来更加详细说明本发明实施例：
所述直流电压源9输出的电压为12V的直流电压。
所述距离传感器6输出的横向间距由所述接收器8的输出电压表示，所述距离传感器6输出的横向间距的安全范围为6±1V。
当所述距离传感器6输出的横向间距在安全范围内时，所述信号转换器11将所述接收器8的输出电压都转换1；当所述距离传感器6输出的横向间距超出安全范围内时，所述信号转换器11将所述接收器8的输出电压都转换0。
如表一所示，A、B、C和D分别表示4个所述距离传感器6；所述距离传感器6的输出值为所述接收器8的输出电压，4个所述距离传感器6的输出值分别为：6.2V、6.1V、5.8V和5.6V；由于这四个值都在安全范围内，故所述信号转换器11将各所述距离传感器6的输出值都转换为1。相反，如果四个所述距离传感器6的输出值中有一个以上的值超出安全范围，则所述信号转换器11对应的输出值会变为0，所述控制电路12接收到信号0之后，就会使机台产生报警并停止机台继续工作。
表一
Figure BDA0002319225790000061
本发明实施例通过在积分棒1的出光侧面4上设置距离传感器6，能实时监测积分棒1和刀口狭缝之间的横向间距，当距离传感器6输出的横向间距小于安全范围内时，控制电路12使投影光刻系统停止工作，能防止积分棒1和刀口狭缝产生摩擦，并从而能提高光刻质量并能减少设备损伤，并节约由积分棒1和刀口狭缝产生摩擦时需要进行积分棒1和刀口狭缝所产生的维修成本。
本发明实施例投影光刻系统的积分棒1和刀口狭缝的防摩擦方法包括如下步骤：
步骤一、设置距离传感器6。
刀口狭缝设置在积分棒1的出光侧面4的下游，所述距离传感器6设置在所述积分棒1的出光侧面4上；所述刀口狭缝用于在所述积分棒1的输出光源中选择部分区域输出。
所述刀口狭缝由上下左右4个档片设置，所述4个所述档片的间距形成所述刀口狭缝，所述挡片3的位置通过线性马达驱动调节。图4中，整个所述刀口狭缝的装置由虚线框2标出。
步骤二、在投影光刻系统工作过程中，所述距离传感器6实时监测所述积分棒1和所述刀口狭缝之间的横向间距。
步骤三、控制电路12接收所述距离传感器6输出的横向间距，当所述距离传感器6输出的横向间距在安全范围内时，所述投影光刻系统正常工作；当所述距离传感器6输出的横向间距小于安全范围内时，所述控制电路12使所述投影光刻系统停止工作。
本发明实施例方法中，所述距离传感器6为超声波距离传感器6，所述超声波距离传感器6包括发射器7和接收器8。
所述距离传感器6的数量为4个，各所述距离传感器6分别和一个所述挡片3对应并用于测量所述积分棒1的出光侧面4和对应的所述挡片3之间的横向间距。
所述距离传感器6输出的横向间距包括4个所述距离传感器6所测得的横向间距。
所述挡片3的结构为Y型刀片。
所述超声波距离传感器6还包括直流电压源9、稳压控制器10和信号转换器11。
所述直流电压源9将直流电压输入到所述稳压控制器10中，所述稳压控制器10为所述发射器7提供工作电源。
所述发射器7通过振子振动产生超声波并向外辐射；所述接收器8的振子接收超声波并根据超声波发生相应的机械振动并将机械振动转换为电压输出。
所述信号转换器11将所述接收器8输出的信号转换成能实时监控和可视化的值并输入到所述控制电路12中。
现通过具体参数来更加详细说明本发明实施例方法：
所述直流电压源9输出的电压为12V的直流电压。
所述距离传感器6输出的横向间距由所述接收器8的输出电压表示，所述距离传感器6输出的横向间距的安全范围为6±1V。
当所述距离传感器6输出的横向间距在安全范围内时，所述信号转换器11将所述接收器8的输出电压都转换1；当所述距离传感器6输出的横向间距超出安全范围内时，所述信号转换器11将所述接收器8的输出电压都转换0。
如表一所示，A、B、C和D分别表示4个所述距离传感器6；所述距离传感器6的输出值为所述接收器8的输出电压，4个所述距离传感器6的输出值分别为：6.2V、6.1V、5.8V和5.6V；由于这四个值都在安全范围内，故所述信号转换器11将各所述距离传感器6的输出值都转换为1。相反，如果四个所述距离传感器6的输出值中有一个以上的值超出安全范围，则所述信号转换器11对应的输出值会变为0，所述控制电路12接收到信号0之后，就会使机台产生报警并停止机台继续工作。
所述直流电压源9输出的电压为12V的直流电压。
所述距离传感器6输出的横向间距由所述接收器8的输出电压表示，所述距离传感器6输出的横向间距的安全范围为6±1V。
当所述距离传感器6输出的横向间距在安全范围内时，所述信号转换器11将所述接收器8的输出电压都转换1；当所述距离传感器6输出的横向间距超出安全范围内时，所述信号转换器11将所述接收器8的输出电压都转换0。
以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。

Claims (15)

1.一种投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置，其特征在于：刀口狭缝设置在积分棒的出光侧面的下游，所述刀口狭缝用于在所述积分棒的输出光源中选择部分区域输出；
所述刀口狭缝由上下左右4个档片设置，所述4个所述档片的间距形成所述刀口狭缝，所述挡片的位置通过线性马达驱动调节；
在所述积分棒的出光侧面上设置有距离传感器，所述距离传感器用于实时监测所述积分棒和所述刀口狭缝之间的横向间距；
控制电路接收所述距离传感器输出的横向间距，当所述距离传感器输出的横向间距在安全范围内时，所述投影光刻系统正常工作；当所述距离传感器输出的横向间距小于安全范围内时，所述控制电路使所述投影光刻系统停止工作。
2.如权利要求1所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置，其特征在于：所述距离传感器为超声波距离传感器，所述超声波距离传感器包括发射器和接收器。
3.如权利要求2所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置，其特征在于：所述距离传感器的数量为4个，各所述距离传感器分别和一个所述挡片对应并用于测量所述积分棒的出光侧面和对应的所述挡片之间的横向间距。
4.如权利要求3所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置，其特征在于：所述距离传感器输出的横向间距包括4个所述距离传感器所测得的横向间距。
5.如权利要求1所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置，其特征在于：所述挡片的结构为Y型刀片。
6.如权利要求2所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置，其特征在于：所述超声波距离传感器还包括直流电压源、稳压控制器和信号转换器；
所述直流电压源将直流电压输入到所述稳压控制器中，所述稳压控制器为所述发射器提供工作电源；
所述发射器通过振子振动产生超声波并向外辐射；所述接收器的振子接收超声波并根据超声波发生相应的机械振动并将机械振动转换为电压输出；
所述信号转换器将所述接收器输出的信号转换成能实时监控和可视化的值并输入到所述控制电路中。
7.如权利要求6所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置，其特征在于：所述直流电压源输出的电压为12V的直流电压；
所述距离传感器输出的横向间距由所述接收器的输出电压表示，所述距离传感器输出的横向间距的安全范围为6±1V。
8.如权利要求6所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置，其特征在于：当所述距离传感器输出的横向间距在安全范围内时，所述信号转换器将所述接收器的输出电压都转换1；当所述距离传感器输出的横向间距超出安全范围内时，所述信号转换器将所述接收器的输出电压都转换0。
9.一种投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法，其特征在于：包括如下步骤：
步骤一、设置距离传感器；
刀口狭缝设置在积分棒的出光侧面的下游，所述距离传感器设置在所述积分棒的出光侧面上；所述刀口狭缝用于在所述积分棒的输出光源中选择部分区域输出；
所述刀口狭缝由上下左右4个档片设置，所述4个所述档片的间距形成所述刀口狭缝，所述挡片的位置通过线性马达驱动调节；
步骤二、在投影光刻系统工作过程中，所述距离传感器实时监测所述积分棒和所述刀口狭缝之间的横向间距；
步骤三、控制电路接收所述距离传感器输出的横向间距，当所述距离传感器输出的横向间距在安全范围内时，所述投影光刻系统正常工作；当所述距离传感器输出的横向间距小于安全范围内时，所述控制电路使所述投影光刻系统停止工作。
10.如权利要求9所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法，其特征在于：所述距离传感器为超声波距离传感器，所述超声波距离传感器包括发射器和接收器。
11.如权利要求10所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法，其特征在于：所述距离传感器的数量为4个，各所述距离传感器分别和一个所述挡片对应并用于测量所述积分棒的出光侧面和对应的所述挡片之间的横向间距。
12.如权利要求11所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法，其特征在于：所述距离传感器输出的横向间距包括4个所述距离传感器所测得的横向间距。
13.如权利要求1所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法，其特征在于：所述挡片的结构为Y型刀片。
14.如权利要求10所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法，其特征在于：所述超声波距离传感器还包括直流电压源、稳压控制器和信号转换器；
所述直流电压源将直流电压输入到所述稳压控制器中，所述稳压控制器为所述发射器提供工作电源；
所述发射器通过振子振动产生超声波并向外辐射；所述接收器的振子接收超声波并根据超声波发生相应的机械振动并将机械振动转换为电压输出；
所述信号转换器将所述接收器输出的信号转换成能实时监控和可视化的值并输入到所述控制电路中。
15.如权利要求6所述的投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦方法，其特征在于：所述直流电压源输出的电压为12V的直流电压；
所述距离传感器输出的横向间距由所述接收器的输出电压表示，所述距离传感器输出的横向间距的安全范围为6±1V；
当所述距离传感器输出的横向间距在安全范围内时，所述信号转换器将所述接收器的输出电压都转换1；当所述距离传感器输出的横向间距超出安全范围内时，所述信号转换器将所述接收器的输出电压都转换0。
CN201911291599.8A 2019-12-16 2019-12-16 投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置和方法 Pending CN110908250A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911291599.8A CN110908250A (zh) 2019-12-16 2019-12-16 投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置和方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911291599.8A CN110908250A (zh) 2019-12-16 2019-12-16 投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置和方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110908250A true CN110908250A (zh) 2020-03-24

Family

ID=69824513

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911291599.8A Pending CN110908250A (zh) 2019-12-16 2019-12-16 投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置和方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110908250A (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1550911A (zh) * 2003-05-16 2004-12-01 Asml 光刻装置，器件制造方法以及该方法制造的器件
CN1573566A (zh) * 2003-05-30 2005-02-02 Asml荷兰有限公司 光刻装置
US20090274963A1 (en) * 2008-05-01 2009-11-05 Canon Kabushiki Kaisha Measurement apparatus, measurement method, exposure apparatus, and device manufacturing method
CN103901731A (zh) * 2012-12-28 2014-07-02 上海微电子装备有限公司 可动刀口装置
CN103969648A (zh) * 2014-04-22 2014-08-06 南昌大学 抗噪声超声波测距设备及方法
CN108010266A (zh) * 2017-11-10 2018-05-08 陈永 一种施工机械近电安全预警装置
CN109526125A (zh) * 2018-02-27 2019-03-26 山东省青岛第十七中学 一种智能型学习装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1550911A (zh) * 2003-05-16 2004-12-01 Asml 光刻装置，器件制造方法以及该方法制造的器件
CN1573566A (zh) * 2003-05-30 2005-02-02 Asml荷兰有限公司 光刻装置
US20090274963A1 (en) * 2008-05-01 2009-11-05 Canon Kabushiki Kaisha Measurement apparatus, measurement method, exposure apparatus, and device manufacturing method
CN103901731A (zh) * 2012-12-28 2014-07-02 上海微电子装备有限公司 可动刀口装置
CN103969648A (zh) * 2014-04-22 2014-08-06 南昌大学 抗噪声超声波测距设备及方法
CN108010266A (zh) * 2017-11-10 2018-05-08 陈永 一种施工机械近电安全预警装置
CN109526125A (zh) * 2018-02-27 2019-03-26 山东省青岛第十七中学 一种智能型学习装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20090249128A1 (en) Predictive diagnostics system, apparatus, and method for improved reliability
US2280948A (en) Inspection scheme
CN105228932A (zh) 面板加工系统
JP7108825B2 (ja) レーザ駆動電源
US20140144885A1 (en) Wire electrical discharge machining apparatus
JP2017024027A (ja) プレスシステムおよびプレスシステムの制御方法
CN110908250A (zh) 投影光刻系统的积分棒和刀口狭缝的防摩擦装置和方法
CN104570945B (zh) 一种无设置器的模高指示器及显示方法和外置设置器
JP2018043309A (ja) 切削装置
US9243994B1 (en) Measurement device
JP2018192537A (ja) ワイヤ放電加工機および表示方法
KR20120025616A (ko) 반도체 레이저 구동 장치 및 그 반도체 레이저 구동 장치를 구비한 화상 형성 장치
CN106092033A (zh) 平整度自动检测装置
TW201902613A (zh) 加工裝置
CN110907032B (zh) 照度校正装置、照度校正方法以及照度检测方法
EP3287224A2 (en) Electrical discharge machine
CN108731723A (zh) 一种接近传感器的校准方法及装置
ES2050726T3 (es) Instalacion protectora contra sobretensiones.
JP2015119571A (ja) ステッピングモータ制御装置、ステッピングモータ制御プログラム、光学機器および交換レンズ
JPH10149892A (ja) 除電用電源装置
JPWO2016103371A1 (ja) 搬送物検出システム
JP6568906B2 (ja) コイルばね検長装置及びコイルばね製造装置
JP5382171B2 (ja) ワイヤ放電加工装置
CN211956080U (zh) 一种快门装置
JP5201044B2 (ja) ワイヤ放電加工装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20200324

RJ01 Rejection of invention patent application after publication