CN103896270A - 多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构 - Google Patents
多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103896270A CN103896270A CN201210588896.0A CN201210588896A CN103896270A CN 103896270 A CN103896270 A CN 103896270A CN 201210588896 A CN201210588896 A CN 201210588896A CN 103896270 A CN103896270 A CN 103896270A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tail gas
- temperature tail
- high temperature
- heat exchanger
- adjustable structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
本发明涉及一种多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构，所述结构包括圆柱堵头（1）、螺旋孔排管（2）和固定连接件（3），圆柱堵头（1）与螺旋孔排管（2）一端的内孔螺纹连接，固定连接件（3）与螺旋孔排管（2）另一端的内孔螺纹连接，所述螺旋孔排管（2）是在管壁开设多排螺旋孔。本发明使防冲件能够耐高温耐腐蚀，并能控制高温尾气进气的流速以及使高温尾气气体均匀分布，达到理想的换热效果，提高了多晶硅高温尾气热交换器的使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及多晶硅领域，尤其是涉及多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构。属多晶硅制备技术领域。
背景技术
多晶硅是生产单晶硅的直接材料。高纯度多晶硅是光电转换电池、集成电路等半导体器件的基础材料。随着世界半导体工业的迅猛发展、超大规格集成电路的大量应用、光伏电池的大量需求，整个世界对多晶硅的需求量在逐年增加。
而生产多晶硅的过程中，还原炉等设备的尾气出口温度高达1000℃左右，且具有高温腐蚀性，为了把该温度降低到可以使用，通过U型多晶硅高温尾气热交换器来实现。通常都是在热交换器的高温腐蚀尾气气体的入口处焊接金属防冲板，该结构无法控制气体的流速和分布，且运行一段时间后，金属防冲板会被腐蚀烂掉，气体就会直接冲击换热管束，会在换热管表面产生无定型硅，从而影响换热效果轻则停炉拆开换热器更换管束，重则腐蚀掉换热管，使物料串通与水产生爆炸反应的严重事故。
多晶硅高温尾气热交换器作为多晶硅生产过程中的主要辅助设备，对多晶硅的生产起到极其重要的作用，而多晶硅高温尾气热交换器的高温尾气防冲件又是保护该设备的核心，目前的防冲件普遍存在如下问题：
1、金属防冲件无法耐高温腐蚀，寿命短；
2、金属防冲板无法调节气体的流速，使换热不充分；
3、气体无法均匀通过换热管表面，出口尾气温度过高。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足，提供一种石墨碳的能耐高温和流速调节，以及能使气体均匀通过换热管表面的多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构。
本发明的目的是这样实现的：一种多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构，所述结构包括圆柱堵头、螺旋孔排管和固定连接件，圆柱堵头与螺旋孔排管一端的内孔螺纹连接，固定连接件与螺旋孔排管另一端的内孔螺纹连接，所述螺旋孔排管是在管壁开设多排螺旋孔。
本发明多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构，所述螺旋孔排管采用石墨材质。
本发明的有益效果是：
1、由于不同客户对高温尾气出口温度要求不同，通过调整圆柱堵头和螺旋孔排管的相对位置，可以控制高温尾气防冲件有效螺旋孔的数量，即可控制高温尾气进气的流速。以满足出口温度的要求。
2、针对原有金属防冲板易被腐蚀，无法长期使用，采用耐高温的石墨材质，解决了耐高温耐腐蚀的情况。
3、针对原有金属防冲板进气无法均匀分布的情况，采用石墨管，在其壁上开设多排螺旋孔，使气体均匀分布。
通过上述高温尾气防冲件结构调整，可以最大的保证U型多晶硅高温尾气热交换器的寿命，还能满足高温尾气的不同进气要求，实现高温尾气均匀分布换热，进而达到理想的换热效果。
附图说明
图1为本发明多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构示意图。
图2为圆柱堵头示意图。
图3为图2的俯视图。
图4为螺旋孔排管示意图。
图5为图4的俯视图。
图6为固定连接件示意图。
图7为图6的俯视图。
图中：圆柱堵头1、螺旋孔排管2、固定连接件3、螺旋孔4。
具体实施方式
参见图1，图1为本发明多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构示意图。由图1可以看出，本发明多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构，包括圆柱堵头1（见图2和图3）、螺旋孔排管2（见图4和图5）和固定连接件3（见图6和图7），圆柱堵头1与螺旋孔排管2一端的内孔螺纹连接，固定连接件3与螺旋孔排管2另一端的内孔螺纹连接，所述螺旋孔排管2是在管壁开设多排螺旋孔。
所述螺旋孔排管2采用石墨材质。
Claims (2)
1.一种多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构，其特征在于：所述结构包括圆柱堵头（1）、螺旋孔排管（2）和固定连接件（3），圆柱堵头（1）与螺旋孔排管（2）一端的内孔螺纹连接，固定连接件（3）与螺旋孔排管（2）另一端的内孔螺纹连接，所述螺旋孔排管（2）是在管壁开设多排螺旋孔。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构，其特征在于：所述螺旋孔排管（2）采用石墨材质。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210588896.0A CN103896270A (zh) | 2012-12-31 | 2012-12-31 | 多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210588896.0A CN103896270A (zh) | 2012-12-31 | 2012-12-31 | 多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103896270A true CN103896270A (zh) | 2014-07-02 |
Family
ID=50987904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210588896.0A Pending CN103896270A (zh) | 2012-12-31 | 2012-12-31 | 多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103896270A (zh) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105543954A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-05-04 | 陈鸽 | 一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉 |
| CN105603515A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-05-25 | 陈鸽 | 一种用于多晶铸锭炉的导流装置 |
| CN105603522A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-05-25 | 陈鸽 | 一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉 |
| CN105645415A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-06-08 | 黄河水电光伏产业技术有限公司 | 一种多晶硅还原炉气流控制器 |
| CN105671633A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-06-15 | 陈鸽 | 一种改变载气流向的引流装置 |
| CN105671632A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-06-15 | 陈鸽 | 一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉 |
| DE102015219925A1 (de) | 2015-10-14 | 2017-04-20 | Wacker Chemie Ag | Reaktor zur Abscheidung von polykristallinem Silicium |
-
2012
- 2012-12-31 CN CN201210588896.0A patent/CN103896270A/zh active Pending
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102015219925A1 (de) | 2015-10-14 | 2017-04-20 | Wacker Chemie Ag | Reaktor zur Abscheidung von polykristallinem Silicium |
| US10774443B2 (en) | 2015-10-14 | 2020-09-15 | Wacker Chemie Ag | Reactor for depositing polycrystalline silicon |
| WO2017064048A1 (de) | 2015-10-14 | 2017-04-20 | Wacker Chemie Ag | Reaktor zur abscheidung von polykristallinem silicium |
| CN107419332A (zh) * | 2016-02-03 | 2017-12-01 | 陈鸽 | 一种内置换热器、导流装置及载气加热装置的多晶铸锭炉 |
| CN107699945A (zh) * | 2016-02-03 | 2018-02-16 | 陈鸽 | 一种带有载气加热装置及导流装置的多晶铸锭炉 |
| CN105671632A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-06-15 | 陈鸽 | 一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉 |
| CN105603515A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-05-25 | 陈鸽 | 一种用于多晶铸锭炉的导流装置 |
| CN105603522A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-05-25 | 陈鸽 | 一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉 |
| CN107513763B (zh) * | 2016-02-03 | 2019-11-08 | 江苏锡沂高新区科技发展有限公司 | 一种用于多晶铸锭炉的导流装置 |
| CN107385511A (zh) * | 2016-02-03 | 2017-11-24 | 陈鸽 | 一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉 |
| CN105543954A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-05-04 | 陈鸽 | 一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉 |
| CN105603515B (zh) * | 2016-02-03 | 2017-12-08 | 京山新瑞达通用机器有限公司 | 一种用于多晶铸锭炉的导流装置 |
| CN105543954B (zh) * | 2016-02-03 | 2017-12-08 | 重庆丰银包装材料有限公司 | 一种带有载气加热装置的多晶铸锭炉 |
| CN105603522B (zh) * | 2016-02-03 | 2017-12-22 | 重庆市龙泉汽车配件有限公司 | 一种带有导流装置的多晶硅铸锭炉 |
| CN107513763A (zh) * | 2016-02-03 | 2017-12-26 | 陈鸽 | 一种用于多晶铸锭炉的导流装置 |
| CN107523863A (zh) * | 2016-02-03 | 2017-12-29 | 陈鸽 | 一种内置载气加热装置的多晶铸锭炉 |
| CN105671633A (zh) * | 2016-02-03 | 2016-06-15 | 陈鸽 | 一种改变载气流向的引流装置 |
| CN105671632B (zh) * | 2016-02-03 | 2018-06-05 | 内蒙古上航新能源有限公司 | 一种内置换热器及载气加热装置的多晶铸锭炉 |
| WO2017156952A1 (zh) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 严利容 | 一种多晶硅还原炉气流控制器 |
| CN105645415A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-06-08 | 黄河水电光伏产业技术有限公司 | 一种多晶硅还原炉气流控制器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103896270A (zh) | 多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构 | |
| CN102249241B (zh) | 多晶硅还原炉 | |
| CN100575843C (zh) | 多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜 | |
| CN203006955U (zh) | 72对棒多晶硅还原炉 | |
| CN102330156A (zh) | 太阳能电池中多晶硅腐蚀液及多晶硅腐蚀工艺 | |
| US20120137975A1 (en) | Gas flow guiding device for use in crystal-growing furnace | |
| CN204668282U (zh) | 一种高温低压扩散装置 | |
| CN203904000U (zh) | 一种新型进、出气结构的多晶硅还原炉 | |
| CN202625860U (zh) | 多晶硅高温尾气热交换器之高温尾气防冲件可调结构 | |
| CN201180089Y (zh) | 新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜 | |
| CN101311660A (zh) | 多晶硅还原炉之水冷电极 | |
| CN203325957U (zh) | 用于太阳能电池片钝化的晶体硅氧化处理设备 | |
| CN107512719B (zh) | 多晶硅还原尾气余热利用方法及系统 | |
| CN201551945U (zh) | 一种喷淋吸收装置 | |
| CN201330625Y (zh) | 直接空冷枝状排汽管道系统内导流装置 | |
| CN102320603B (zh) | 多晶硅硅烷分解炉之导热油硅芯夹套式小钟罩 | |
| CN203558861U (zh) | 应用于电子束熔炼多晶硅的水冷铜坩埚 | |
| CN103172067A (zh) | 冷壁流化床及其应用 | |
| CN202878511U (zh) | 多线切割机 | |
| CN204251766U (zh) | 一种晶体硅铸锭炉热场的保温结构 | |
| CN203392869U (zh) | 应用于多晶硅电子束熔炼的水冷铜坩埚 | |
| CN201180090Y (zh) | 新型多晶硅还原炉之水冷电极 | |
| CN202096777U (zh) | 一种太阳能扩散炉废气截流液化装置 | |
| CN102163650B (zh) | 球形半导体光伏器件生长反应器 | |
| TWI418675B (zh) | The air flow guide device of the long crystal furnace |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20140702 |