CN103887213B - 一种调整检测频率的缺陷检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种调整检测频率的缺陷检测方法，涉及半导体生产工艺领域，包括将集成电路生产流程中的产品的若干工艺的工艺时间存储在生产服务器中；将产品的若干工艺对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间存储在缺陷检测数据服务器；预测产品的若干工艺的产能以调整产品的若干工艺对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间。本发明的技术方案可以最大程度的防止由于生产线上产品分布不均造成设备的闲置，并在确保产品缺陷监控的前提下以较快的速率在生产线上流通，减少产品生产的周期提高生产的效率。

Description

一种调整检测频率的缺陷检测方法
技术领域
本发明涉及用于半导体生产工艺领域，尤其涉及一种可预测后续工艺产能以调整检测频率的缺陷检测方法。
背景技术
先进的集成电路制造工艺一般都包含几百步的工序，从开始的原料投入到最后产品的出货要经过2到3个月的生产周期。
一方面由于集成电路的生产设备成本是非常的昂贵，所以在生产过程中需要尽量让在线的流通通畅，减短生产的周期提高生产的效率。但是，在实际的生产运作中由于某些工艺设备产能暂时短缺，就会导致产品堆积，比如，常常会有很大一部产品堆积在有源图形形成工艺。如果不能及时将这些产品加速向后续工序推进，就会使得后面的设备没有足够的产品而闲置。
另一方面由于电路关键尺寸的不断缩小，任何环节的微小错误都将导致整个芯片的失效，其对工艺控制的要求就越严格，所以在生产过程中为能及时的发现和解决问题都配置有昂贵的光学和电子的缺陷检测设备对产品进行在线的检测。不管是光学和电子的缺陷检测，其工作的基本原理都是通过设备获得几个芯片的信号，然后再进行数据的比对，例如在水平方向的相邻芯片的比较，和在垂直方向的相邻芯片的比对。在线产品缺陷检测是按照一定比例抽样进行，通常会对关键的工序的产品以20%～50%的比例并按照一定的规则抽样。
当产品分配到A工艺的各个设备进行作业，然后如果满足生产系统里面设定的缺陷抽检规则有一部分产品就会进入到检测站点进行检测，其他的产品直接跳过缺陷检测站点进入到下个工艺步骤。但是，缺陷检测设备的生产速度相对于工艺的作业是非常滞后的，一旦大量的产品需要经过缺陷检测的工序向下流通就会形成瓶颈，从而会加剧生产线的进一步阻碍，造成生产成本的大幅度的增加。
中国专利（CN103502801A）公开了一种缺陷分类方法，使用拍摄试样的装置以及与制造上述试样的工序对应的分类制程程序来分类缺陷图像，其特征在于，该缺陷分类方法具有以下步骤：通过与第一图像拍摄装置的分类制程程序相同的工序对应的第二图像拍摄装置的分类制程程序，来定义与以上述第一图像拍摄装置的分类制程程序定义的分类相同的分类；从由上述第二图像拍摄装置拍摄得到的缺陷图像中，确定与登记到以上述第一图像拍摄装置的分类制程程序定义的分类类中的示教图像相同种类的缺陷图像；以及将上述确定出的缺陷图像登记到以上述第二图像拍摄装置的分类制程程序定义的分类类中的、与登记了上述示教图像的上述第一图像拍摄装置的分类相同的分类中。但该专利缺乏有效性的产能和检测的协同方法。
中国专利（CN1815206）公开了一种光学元件缺陷检测方法，检测叠积多个具有透光性的层的光学元件的缺陷，其特征在于，包含以下步骤：使检测用的光从光学元件的一端面部入射的入射步骤；以相互不同的多个观察角度，检测从光学元件的叠层方向的一表面出射的光的光强度的检测步骤；对检测出的各观察角度的光强度进行比较的比较步骤；以及根据所述比较步骤的比较结果和预定的缺陷观察角度与光强度的相关关系，判断缺陷的正当性的判断步骤。但该专利任然缺乏有效性的产能和检测的协同方法。
发明内容
鉴于上述问题，本发明提供一种调整检测频率的缺陷检测方法。
本发明解决技术问题所采用的技术方案为：
一种调整检测频率的缺陷检测方法，适用于集成电路生产流程，所述集成电路生产流程中包括对应于若干设备的若干工序，所述集成电路生产流程中还包括相连的生产服务器和缺陷检测数据服务器，所述调整检测频率的缺陷检测方法包括以下步骤：
步骤1，将所述集成电路生产流程中的产品的若干工艺的工艺时间存储在所述生产服务器中；
步骤2，将步骤1中所述产品的若干工艺对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间存储在缺陷检测数据服务器；
步骤3，通过所述生产服务器和缺陷检测数据服务器中的数据预测所述产品的若干工艺的产能以调整所述产品的若干工艺对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间。
其中，所述步骤1中还包括将所述产品的若干工艺的设备的信息存储在所述生产服务器中，并定义所述设备的闲置率等级。
其中，所述步骤2中还包括将所述设备的闲置率等级对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间存储在缺陷检测数据服务器。
其中，所述步骤3中还包括通过所述闲置率等级预测所述产品的若干工艺的产能以调整所述产品的若干工艺对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间。
其中，所述步骤1中包括监控所述产品的若干工艺的设备的信息，并存储在所述生产服务器中。
其中，在所述步骤3中，如果所述设备的闲置率等级大于设定值，则降低缺陷检测抽样的频率。
本发明的技术方案可以最大程度的防止由于生产线上产品分布不均造成设备的闲置，并在确保产品缺陷监控的前提下以较快的速率在生产线上流通，减少产品生产的周期提高生产的效率。
附图说明
参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
图1本发明实施例的生产流程中各个部件的结构示意图；
图2本发明另一实施例的生产流程中各个部件的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，显然，所描述的实例仅仅是本发明一部分实例，而不是全部的实例。基于本发明汇总的实例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有实例，都属于本发明保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实例及实例中的特征可以相互自由组合。
以下将结合附图对本发明的一个实例做具体阐释。
如图1中所示，本发明的实例是一种调整检测频率的缺陷检测方法，适用于集成电路生产流程。集成电路生产流程中包括对应于若干设备的若干工序，还包括生产服务器和缺陷检测数据服务器。调整检测频率的缺陷检测方法包括以下步骤：
步骤1，将集成电路生产流程中的产品的若干工艺的设备的信息和工艺时间存储在生产服务器中，并定义设备的闲置率等级；
步骤2，将步骤1中产品的若干工艺及设备的闲置率等级对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间存储在缺陷检测数据服务器；
步骤3，通过生产服务器和缺陷检测数据服务器中的数据和闲置率等级预测产品的若干工艺的产能，调整产品的若干工艺对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间。
本发明的实施例将集成电路生产流程中的不同产品的每个工序对应设备信息和工艺时间集中存储在一个生产服务器中，用此生产服务器来计算产品在每个工艺站点流出产品的速率。
同时再将其对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间存储在一个缺陷检测数据服务器中，用此生产服务器来计算缺陷检测站点的生产负荷。在实际的生产中可以为不同的设备设定不同等级的闲置率k，当这个闲置率k大于某个设定值时，服务器就将此信息反馈给缺陷检测数据服务器，由缺陷检测数据服务器来响应不同的缺陷抽样减少规则，以此把产品用最快的速度推进到设备闲置的站点。
通过本发明的技术方案，可以最大程度的防止由于生产线上产品分布不均造成设备的闲置，并在确保产品缺陷监控的前提下以较快的速率在生产线上流通，减少产品生产的周期提高生产的效率。
如图2中所示，在本发明实施例的实际生产过程中，由于A工序的其中一台设备发生突发情况而不能生产，从而造成产品大量堆积，与此同时其后续的B工序的设备出现闲置情况，而且闲置率k大于了设定的40%。此时这个数据通过生产服务器与缺陷检测数据服务器进行自动的交互，并下指令将A和B工序之间的缺陷检测频率从50%减少到30%，使得产品可以快速流到出现大量闲置的B工序，这样就可以确保产品缺陷监控的前提下以较快的速率在生产线上流通，减少产品生产的周期提高生产的效率。
以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所做出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (3)

1.一种调整检测频率的缺陷检测方法，适用于集成电路生产流程，所述集成电路生产流程中包括对应于若干设备的若干工序，其特征在于，所述集成电路生产流程中还包括相连的生产服务器和缺陷检测数据服务器，所述调整检测频率的缺陷检测方法包括以下步骤：
步骤1，将所述集成电路生产流程中的产品的若干工艺的工艺时间以及设备的信息存储在所述生产服务器中，并定义所述设备的闲置率等级；
步骤2，将步骤1中所述产品的若干工艺以及所述设备的闲置率等级对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间存储在缺陷检测数据服务器；
步骤3，通过所述生产服务器和缺陷检测数据服务器中的数据以及所述闲置率等级预测所述产品的若干工艺的产能以调整所述产品的若干工艺对应的缺陷检测抽样的规则和检测的时间。
2.如权利要求1所述的调整检测频率的缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤1中包括监控所述产品的若干工艺的设备的信息，并存储在所述生产服务器中。
3.如权利要求2所述的调整检测频率的缺陷检测方法，其特征在于，在所述步骤3中，如果所述设备的闲置率等级大于设定值，则降低缺陷检测抽样的频率。
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