CN103868982B - 一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和应用 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和应用。所述微腔阵列质谱靶板包括基片、在所述基片上形成的粘附层和在所述粘附层上形成的导电层，所述微腔阵列质谱靶板的有导电层的一侧设有与表面等离子体共振成像检测区域相一致的微腔区域，所述微腔区域位置的基片上蚀刻有微腔，所述微腔开口于所述导电层并排列成阵列。本发明的微腔阵列质谱靶板可筛选和富集“一珠一物”多肽文库中的阳性靶标，并将其直接进行原位基质辅助激光解析电离‑飞行时间质谱检测；并可与表面等离子体共振成像联用，进行原位亲和力鉴定，实现对多肽文库的高效、高通量筛选和检测。

Description

一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和应用

技术领域

本发明涉及微阵列芯片技术领域，尤其涉及一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和在组合化学多肽文库的筛选中的应用。

背景技术

芯片实验室（Lab on a chip）已发展成为当今世界上最前沿的科技领域之一（Sens.Actutors,B,1990,1,244-248.）。微芯片技术是把化学和生物学等领域所涉及的前处理、加样、反应、分离、分析等基本操作单元集成或基本集成到方寸大小的芯片之上，以取代常规化学或生物实验室各种功能的技术平台。

组合化合物库的合成方法有液相组合合成和固相组合合成两种。由于固相合成所得产物较易纯化，可使用过量反应试剂，较易实现自动化，成为最为广泛的多肽文库构建方法。在固相合成过程中，通过对树脂微珠的多次混合与均分，使每个树脂微珠上带有唯一一种随机多肽序列，称之为“一珠一物”肽库。如Lam等在Nature上首先报道了以聚苯乙烯树脂珠为载体合成的“一珠一物”五肽库，将受体蛋白偶联至荧光素上，放入多肽固相化合物库中，通过可结合受体蛋白的多肽微珠颜色变化寻找亲和多肽序列。在传统方法中，需要将筛选后的数百万个树脂微珠置于显微镜下，用微镊将产生光学信号的阳性微珠挑出，并逐个分配至相应的裂解容器中进行测序和鉴定。整个过程都需要人工完成，十分耗时费力。

常见的生物芯片是指一种不含微通道，没有流体流动，以生物分子间静态杂交和高密度点阵为特征的芯片。这种芯片先于微流控芯片问世，专一地应用于某些生物领域。狭义上的生物芯片即指微点阵芯片。微点阵生物芯片往往在一层基片上加工出一系列面积非常小的活性区域，生物分子可以固定于表面。利用固定的生物分子与样品中被分析物的特异性结合可对样品进行检测。微点阵芯片往往集成了若干相同的操作单元，其最显著的特征是高通量，可以利用微点阵芯片的这一特点进行高通量多肽筛选与检测。

微点阵芯片体系对于高通量肽库筛选具有独特优势。然而，这些微点阵芯片平台仍然存在不足，主要表现在：基于微点阵芯片肽库筛选的通量一般不超过10⁴，筛选容量有限；微点阵肽库制备和筛选过程需要电敏、光敏等特殊的试剂和极为复杂的软件、硬件平台，造价昂贵。而目前的微流控芯片只能将高通量肽库筛选本身在线完成，而更为重要的测序和鉴定则要离线完成，筛选效率偏低。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供一种微腔阵列质谱靶板及其制作方法和在组合化学多肽文库的筛选中的应用。本发明的微腔阵列质谱靶板可筛选和富集“一珠一物”多肽文库中的阳性靶标，并将其直接进行原位基质辅助激光解析电离-飞行时间质谱检测；并可与表面等离子体共振成像联用，进行原位亲和力鉴定，实现对多肽文库的高效、高通量筛选和检测。

在第一方面，本发明提供一种微腔阵列质谱靶板，包括基片、在所述基片上形成的粘附层和在所述粘附层上形成的导电层，所述微腔阵列质谱靶板的有导电层的一侧设有与表面等离子体共振成像检测区域相一致的微腔区域，所述微腔区域位置的基片上蚀刻有微腔，所述微腔开口于所述导电层并排列成阵列。

本发明中，所述微腔的形状可以人为设计，例如可以设计成半球形、圆柱体形、正方体形或棱台形，所述棱台形如正四棱台形或正六棱台形，优选为正方体形或棱台形。

本发明中，作为正方体形或棱台形的微腔的边长宽度优选为30～300微米，例如40微米、50微米、80微米、120微米、150微米、180微米、250微米、280微米或290微米；深度优选为30～300微米，例如40微米、50微米、80微米、120微米、150微米、180微米、250微米、280微米或290微米。

本发明中，每个微腔仅能容纳一个多肽微珠；其中，所述多肽微珠的粒径优选为100～300微米，例如110微米、120微米、150微米、180微米、200微米、230微米、250微米或270微米，更优选为120～250微米，特别优选为150～180微米。

本发明中，所述微腔区域的微腔个数优选为4～900个，例如4个、9个、16个、25个、36个、64个、144个、225个、400个、625个或784个。优选地，所述微腔排列成正方形阵列。

本发明中，所述微腔区域的面积优选为0.5～4cm²，例如0.54cm²、0.58cm²、0.62cm²、0.78cm²、0.82cm²、0.90cm²、1.20cm²、1.50cm²、1.80cm²、1.96cm²、2.04cm²、2.58cm²、2.82cm²、3.32cm²、3.64cm²、3.78cm²或3.98cm²。

本发明中，所述基片的材料优选为硅。优选地，所述基片的厚度为200微米～1毫米，例如210微米、240微米、270微米、330微米、350微米、500微米、700微米、820微米、880微米、920微米或970微米。

本发明中，所述粘附层的材料优选为钛。优选地，所述粘附层的厚度为10～100纳米，例如12纳米、15纳米、17纳米、22纳米、24纳米、28纳米、40纳米、70纳米、88纳米、92纳米、95纳米或98纳米。

本发明中，所述导电层的材料优选为金、银或铂，更优选为银。优选地，所述导电层的厚度为100～500纳米，例如120纳米、130纳米、150纳米、170纳米、210纳米、250纳米、280纳米、320纳米、380纳米、410纳米、450纳米、470纳米、480纳米或498纳米。

在第二方面，本发明提供一种制作第一方面所述的微腔阵列质谱靶板的方法，所述方法采用目前比较成熟的光刻技术。本领域的技术人员根据第一方面对所述的微腔阵列质谱靶板特征的描述，设计出待制作的微腔阵列质谱靶板的规格和尺寸，然后用光刻技术实现其制作。

具体地，所述方法可以包括如下步骤：

（1）打印预先设计的微腔阵列图，形成掩膜；

（2）利用光刻胶将所述掩膜转移到基片上；

（3）通过曝光、显影和去胶得到微腔阵列图；

（4）蚀刻所述基片，并去除剩余的光刻胶和氧化层，得到微腔阵列；

（5）分别溅射粘附层和导电层；

（6）按照预先设计的规格划片得到所述微腔阵列质谱靶板。

在本发明的一个具体实施方案中，提供了一种以硅片为基片的微腔阵列质谱靶板的制作方法，包括如下步骤：

（1）掩膜设计：绘制芯片设计图（可以利用L-edit或Adobe illustrator等软件绘制），用激光排照机打印掩膜（其具有高分辨率）；

（2）甩胶：将硅片置于甩胶机上，在硅片中央滴加光刻胶（适量），将甩胶机转速设为600～2000r/min进行旋涂，旋涂时间为10～80s；

（3）前烘：在加热平台上以5～10℃/min的速率由室温升至75～105℃，在最高温度保持5～15min，之后缓慢降至室温；

（4）曝光：紫外曝光，时间为10～30s；

（5）后烘：在加热平台上以5～10℃/min的速率由室温升至75～105℃，在最高温度保持5～15min，之后缓慢降至室温；

（6）显影：将硅片在显影液（厂家配套）中浸泡10～50s并轻轻摇晃，使照到光的部分溶解；

（7）坚膜：在100～120℃，硬烤坚膜20～40min，使光刻胶能坚固的依附在硅片表面；

（8）去底胶：在刻蚀之前用氧等离子体轰击硅片表面3～5min，以去除在显影过程中被显影液洗掉的区域残留的一层底胶；

（9）干法刻蚀：采用Bosch工艺进行刻蚀（Plasmalab System100ICP180），参数设置：沉积/刻蚀时间：7-9s；气体压强：30-40mT；上电极射频功率：700-750w；下电极射频功率：5-15w；载片台温度：30-45℃；沉积气体：C₄F₈；刻蚀气体：SF₆；

（10）去胶：把硅片放入发烟硝酸中，超声清洗20～30min，去除剩余的光刻胶；

（11）去除氧化层：在溅射金属之前，用氩等离子体轰击硅片表面（功率：800w，时间：3min），去除表面氧化层，以提高金属与硅片的粘附性；

（12）溅射：将硅片放入金属溅射仪，抽真空，分别溅射钛作为粘附层以及溅射金、银或铂等作为导电层；

（13）划片：将硅片放入划片机中，按照预先设计的规格将整片硅片划成相应规格，以适合质谱仪靶托。

需要说明的是，上述具体实施方案只是一种优选实施方案，本领域的技术人员可以根据其具有的专业知识和具体需要，调整相应的步骤、工艺和参数。

在第三方面，本发明提供一种第一方面所述的微腔阵列质谱靶板在组合化学多肽文库的筛选中的应用。

本发明的微腔阵列质谱靶板的一个具体应用情形如下：通过“混合裂分”合成组合化学多肽文库，库容量可为10³～10⁶，选用Fmoc合成策略使得只有在碱性溶液六氢吡啶条件下才能将氨基保护基脱除，从而进行固相多肽合成循环，C-端首位偶联甲硫氨酸可以使得使多肽侧链保护基团脱除（使用三氟乙酸）的同时而不与固相载体裂解，用于肽珠富集和筛选，在N-端偶联半胱氨酸；而使用特异性识别甲硫氨酸的试剂溴化氰（CNBr）则可将多肽从微珠上裂解成为游离肽，从而进行质谱测定；选取目标蛋白，利用生物素标记试剂使得目标蛋白具有生物素信号；选取磁性微珠，粒径在0.1～5微米之间，在磁性微珠表面标记亲和素或链霉亲和素；将多肽微珠、目标蛋白与磁性微珠进行相互作用，通过亲和素或链霉亲和素与生物素之间的特异性高亲和相互作用，阳性多肽微珠被上述磁性微珠包裹而具有磁性可被磁场富集；被富集后的阳性多肽微珠悬浮于溶液中，逐滴加入至所述微腔阵列芯片中；通过轻刮使得阳性肽珠进入所述微腔阵列质谱靶板的微腔之中，保证每个微腔只能容纳一个阳性多肽微珠；在上述微腔阵列质谱靶板原位加入多肽裂解液（或通过紫外光裂解）；将上述微腔阵列质谱靶板导入质谱仪进行检测；将上述微腔阵列质谱靶板与表面等离子体共振成像金片面对面贴合，使得一部分多肽转移至表面等离子体共振成像金片上来，通过半胱氨酸的巯基与金表面特异性共价相连，从而可进行表面等离子共振成像检测。

本发明的有益效果为：本发明的微腔阵列质谱靶板能够对阳性肽珠自动化逐个捕获，避免了传统方法中多次分选、多次转移造成的肽库信息缺失。在集成微流控分选和微点阵捕获的基础上，将分布有阳性肽珠的微腔阵列质谱靶板进行原位基质辅助激光解析电离-飞行时间质谱鉴定和分析；并可与表面等离子体共振成像联用，进行原位亲和力鉴定，实现对多肽文库的高效、高通量筛选和检测。

附图说明

图1为本发明实施例1制作的微腔阵列质谱靶板结构示意图。

图2为本发明实施例1制作的微腔阵列质谱靶板捕获区域（微腔区域）的设计规格平面示意图。

图3为本发明实施例2中利用微腔阵列质谱靶板对多肽微珠进行捕获的示意图。

图4为本发明实施例2中微腔阵列质谱靶板（按照实施例1制作）与表面等离子共振成像芯片通过接触而进行阵列复制以及进行表面等离子共振成像检测的情景示意图。

图5为本发明实施例2中通过高通量肽库筛选获得阳性多肽的质谱图。

图6为本发明实施例2中通过高通量肽库筛选获得阳性多肽与蛋白之间的相互作用的表面等离子体共振曲线图。

附图标记说明：

1-微腔阵列质谱靶板，2-基片，3-粘附层，4-导电层，5-微腔，6-校正微腔，7-阳性肽珠，8-表面等离子体共振成像芯片，9-反应腔室，10-复制阵列，11-入射光源，12-滤光片，13-棱镜，14-出射光，15-检测器。

具体实施方式

下面将结合实施例对本发明的实施方案进行详细描述。本领域技术人员将会理解，以下实施例仅为本发明的优选实施例，以便于更好地理解本发明，因而不应视为限定本发明的范围。

下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法；所用的实验材料，如无特殊说明，均为自常规生化试剂厂商购买得到的。

实施例1：微腔阵列质谱靶板的制作

如图1所示，本实施例提供的微腔阵列质谱靶板1，包括基片2、在所述基片2上形成的粘附层3和在所述粘附层3上形成的导电层4，所述微腔阵列质谱靶板1的有导电层4的一侧设有与表面等离子体共振成像检测区域相一致的微腔区域（图1中的阵列所在的区域），所述微腔区域位置的基片2上蚀刻有微腔5，所述微腔5开口于所述导电层4并排列成阵列。为校正需要，还可包括标准样品校正微腔6。

如图2所示，微腔5设计为正方体（图中示出微腔5的俯视图），其边长为250μm，相邻微腔5之间的距离也是250μm。上述规格的微腔阵列质谱靶板的微腔区域与表面等离子体共振成像检测区域正好吻合。

本实施例通过以下步骤实现具有上述特征的微腔阵列质谱靶板的制作：

（1）掩膜设计：利用Adobe illustrator软件绘制芯片设计图，用激光排照机打印高分辨率光掩膜；

（2）甩胶：将4寸硅片置于甩胶机上，用滴管在硅片中央滴加适量AZ1640光刻胶，根据光刻胶使用手册，将甩胶机前后两个转速设为600r/min、40s和2000r/min、40s进行旋涂；

（3）前烘：实验中在加热平台上以5℃/min的速率由室温升至95℃，在95℃保持15min，之后缓慢降至室温；

（4）曝光：紫外曝光，时间为30s；

（5）后烘：实验中在加热平台上以5℃/min的速率由室温升至95℃，在95℃保持10min，之后缓慢降至室温；

（6）显影：将硅片在厂家配套的显影液中浸泡约40s并轻轻摇晃，使照到光的部分溶解；

（7）坚膜：在120℃，30min硬烤坚膜，使光刻胶能坚固的依附在硅片表面；

（8）去底胶：在显影过程中，被显影液洗掉的区域会残留一层很薄的底胶；在刻蚀之前用氧等离子体轰击硅片表面3min去除底胶；

（9）干法刻蚀：采用Bosch工艺进行刻蚀（Plasmalab System100ICP180），参数设置：沉积/刻蚀时间：7s；气体压强：30mT；上电极射频功率：700w；下电极射频功率：10w；载片台温度：35℃（氦气背冷辅助冷却）；沉积气体（C₄F₈）/刻蚀气体（SF₆）；

（10）去胶：把硅片放入盛有发烟硝酸的烧杯中，超声清洗30min，去除剩余光刻胶；

（11）去除氧化层：在溅射金属之前，为提高金属与硅片的粘附性，用氩等离子体轰击硅片表面（功率：800w，时间：3min），去除表面氧化层；

（12）溅射：将硅片放入金属溅射仪，抽真空，溅射钛作为粘附层，并溅射银作为导电层；

（13）划片：将硅片放入划片机中，按照设计将硅片划成75毫米×25毫米的两片。

实施例2：利用实施例1制作的微腔阵列质谱靶板进行多肽文库的筛选

（1）多肽文库的构建

选取血凝素蛋白九肽片段HA作为模型多肽（序列为YPYDVPDYA）。选取HA抗体AHA作为能与之特异结合的受体蛋白，建立包含HA的模型八肽文库。肽库构建方法采用氨基修饰的TentaGel（溶胀粒径可为200微米）树脂作为固相载体，在合成首个氨基酸之前，在C-端首位偶联甲硫氨酸。利用Fmoc合成策略进行混合均分合成，选取构成HA九肽的四种氨基酸Y、P、D、V作为反应单元，经过六轮合成，构建库容量为4⁶的肽库，多肽以“一珠一物”随机均匀分布，合成冗余量为3倍，即微珠数量约为10⁵个。

（a）称取80mg Tentagel-s-NH₂树脂，按照固相多肽合成程序循环，依次加入160mg Met、Ala、Tyr、Asp进行反应四个循环；

（b）待反应完成后，把树脂均分为4份，向每管分别加入40mg Tyr、Pro、Asp、Val与等量的2-(7-偶氮苯并三氮唑)-四甲基脲六氟磷酸酯（HBTU）进行偶联，待偶联完毕后，把4管树脂混合，脱保护；再把树脂均分为4份；

（c）重复5次步骤b；

（d）经过脱保护和收缩步骤，真空抽干，得到偶联有肽库的干燥树脂备用。

（2）蛋白的前处理

通过以下步骤进行蛋白的前处理：

（a）准备标记缓冲液和磷酸缓冲液（PBS）各1.5mL；

（b）拧紧取下过滤柱的底部并松开盖子；

（c）将每个过滤柱放入一个1.5mL离心管中离心（1500g，1min）；

（d）取出过滤柱，倒掉离心管中的废液（不要扔掉收集管）；

（e）标记过滤柱中树脂斜面所在位置；

（f）在过滤柱盖子上分别标记A和B；

（g）加入300μL标记缓冲液（pH=8.0）到A柱中，300μL PBS到B柱中；

（h）将柱子放入收集管中离心（1500g，1min），去除收集液并重复洗2次；

（i）洗脱完后将A柱转入一新的收集管中；

（j）用标记缓冲液溶解蛋白样品至总体积100μL倒入A柱中离心（1500g，2min），把滤过液体收集到离心管，标记为A。

（k）倒掉B柱滤过液，再向B柱加入300μL PBS，保持树脂湿润备用。

（3）二喹啉甲酸法测定蛋白浓度

通过以下步骤测定蛋白浓度：

（a）取5mL二喹啉甲酸定量试剂盒（Pierce）中试剂A至15mL离心管中再加100μL BCA试剂B混合得到工作液；

（b）取10μL AHA样品，用去离子水稀释至20μL，同时将标准白蛋白依次稀释成浓度分别为2000、1500、1000、750、500、250、125、25、0μg/mL的溶液，各取20μL滴加到酶标板的孔中，每孔再滴加200μL工作液，37℃孵育30min；

（c）将酶标板放入酶标仪检测标准白蛋白和AHA吸光度（波长：450nm），绘制标准曲线，将HA抗体吸光度（0.2864）代入标准曲线，得到AHA浓度（1.48mg/mL）。

（4）蛋白的生物素标记

通过以下步骤进行蛋白的生物素标记：

（a）100μL无水N,N-二甲基甲酰胺悬浮溶解固体生物素粉末；

（b）加入2.32μL生物素至90μL蛋白溶液中，室温反应2小时；

（c）反应结束前，将含有PBS的B柱与用水配平的A柱离心（1500g，1min），弃滤过液；

（d）在新收集管中将上一步蛋白反应液加入B柱中，配平A柱离心（1500g，2min），收集B柱滤过的蛋白样品；

（5）多肽微珠与蛋白和磁珠的相互作用

通过以下步骤进行多肽微珠与蛋白和磁珠的相互作用

（a）用PBS把肽库微珠清洗3次；

（b）用5%的脱脂牛奶在混旋仪上对肽珠混合封闭（37℃，2h）；

（c）用PBS清洗3次；

（d）用溶于PBS的5%脱脂牛奶按1:1000稀释生物素标记的AHA，然后与阳性HA肽珠在混旋仪上混合孵育（37℃，2h）；

（e）用PBS清洗3次；

（f）用过量链酶亲和素标记的磁珠与肽库微珠在混旋仪上混合孵育（37℃，1h）。

（6）利用微腔阵列质谱靶板进行原位检测

通过以下步骤利用实施例1制作的微腔阵列质谱靶板进行原位检测：

（a）用移液枪将筛选后的阳性肽珠移至微腔阵列质谱靶板左端，缓慢滑动玻璃盖片使阳性肽珠掉入微腔阵列，用培养皿收集未掉入微腔中的阳性肽珠，加入少量PBS，用移液枪吸取培养皿中的阳性肽珠，重新移至微腔阵列质谱靶板左端，重复上述过程，直至全部阳性肽珠掉入微腔阵列中。如图3所示，每个微腔5的大小设计成仅能容纳一个阳性肽珠7，因此众多阳性肽珠7在所述微腔阵列质谱靶板1的阵列状的微腔5内形成阵列分布，便于高效、高通量地筛选、检测和分析。

（b）把微腔阵列质谱靶板暴露在紫外灯下（波长：340nm，时间：5min），使一部分多肽从阳性肽珠上裂解下来，用表面等离子体共振成像芯片轻轻盖在上面，使被裂解下来的阳性多肽粘到表面等离子体共振成像芯片表面。如图4所示，微腔阵列质谱靶板1上的微腔区域中的阳性多肽被粘到表面等离子体共振成像芯片8的检测区域（成为复制阵列10）；然后通过表面等离子体共振成像仪（包括入射光源11、滤光片12、棱镜13、出射光14和检测器15）进行表面等离子体共振成像分析。

（c）将微腔阵列质谱靶板导入质谱仪进行检测。

（d）在质谱的显微观察窗口中选取相应的多肽微珠所处的微腔进行原位质谱检测，获得相应质谱谱图。其中一个阳性多肽微珠的质谱检测结果如图5所示。

（e）使用基质辅助激光解析电离-飞行时间质谱（MALDI-TOF-MS）的TOF-TOF模式，进行二级质谱的检测与鉴定，获得相应的二级质谱谱图。

（7）表面等离子体共振成像检测

首先进行芯片前处理：（a）孵育：在多肽被转到到表面等离子体共振成像芯片上后，将表面等离子体共振成像芯片在4℃孵育过夜（12小时）；（b）清洗：考虑到粘到表面等离子体共振成像芯片上的多肽是过量的，因此用10×PBS轻轻冲洗，然后将芯片依次放入盛有10×PBS、1×PBS和去离子水（两次）的培养皿在摇床上清洗10min；（c）封闭：将芯片在5%牛奶的PBS溶液中封闭过夜（4℃，12小时）；（d）重复步骤（b）的清洗步骤。

然后，（e）将芯片装入表面等离子体共振成像仪进行检测；（f）配置10M的磷酸作为洗脱液，分别配置1×PBS、2×PBS以及0.625mg/mL（0.004M）、1.25mg/mL（0.008M）、2.5mg/mL（0.017M）、5mg/mL（0.033M）和10mg/mL（0.067M）溶于PBS的蛋白作为反应试剂。样品流速设为2μL/s，结合时间200s，解离时间200s。获得图6所示的阳性多肽与蛋白之间的相互作用的表面等离子体共振曲线图。

申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细特征以及详细方法，但本发明并不局限于上述详细特征以及详细方法，即不意味着本发明必须依赖上述详细特征以及详细方法才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明选用组分的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (15)

1.一种微腔阵列质谱靶板，包括基片、在所述基片上形成的粘附层和在所述粘附层上形成的导电层，所述微腔阵列质谱靶板的有导电层的一侧设有与表面等离子体共振成像检测区域相一致的微腔区域，所述微腔区域位置的基片上蚀刻有4～900个微腔，所述微腔区域的面积为0.5～4cm²，所述微腔开口于所述导电层并排列成阵列；每个微腔仅能容纳一个多肽微珠。

2.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述微腔的形状为正方体或棱台形。

3.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述微腔边长宽度为30～300微米、深度为30～300微米。

4.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述多肽微珠的粒径为100～300微米。

5.根据权利要求4所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述多肽微珠的粒径为120～250微米。

6.根据权利要求4所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述多肽微珠的粒径为150～180微米。

7.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述基片的材料为硅。

8.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述基片的厚度为200微米～1毫米。

9.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述粘附层的材料为钛。

10.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述粘附层的厚度为10～100纳米。

11.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述导电层的材料为金、银或铂。

12.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述导电层的材料为银。

13.根据权利要求1所述的微腔阵列质谱靶板，其特征在于，所述导电层的厚度为100～500纳米。

14.一种制作权利要求1-13任一项所述的微腔阵列质谱靶板的方法，包括如下步骤：

(1)打印预先设计的微腔阵列图，形成掩膜；

(2)利用光刻胶将所述掩膜转移到基片上；

(3)通过曝光、显影和去胶得到微腔阵列图；

(4)蚀刻所述基片，并去除剩余的光刻胶和氧化层，得到微腔阵列；

(5)分别溅射粘附层和导电层；

(6)按照预先设计的规格划片得到所述微腔阵列质谱靶板。

15.一种权利要求1-13任一项所述的微腔阵列质谱靶板在组合化学多肽文库的筛选中的应用。