CN103849922A - 基于cae分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法 - Google Patents

基于cae分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103849922A
CN103849922A CN201310742839.8A CN201310742839A CN103849922A CN 103849922 A CN103849922 A CN 103849922A CN 201310742839 A CN201310742839 A CN 201310742839A CN 103849922 A CN103849922 A CN 103849922A
Authority
CN
China
Prior art keywords
current density
current
cathode
rotating
reference value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201310742839.8A
Other languages
English (en)
Inventor
孙永爱
王宇
李永峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung High Tech Electro Mechanics Tianjin Co Ltd
Original Assignee
Samsung High Tech Electro Mechanics Tianjin Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung High Tech Electro Mechanics Tianjin Co Ltd filed Critical Samsung High Tech Electro Mechanics Tianjin Co Ltd
Priority to CN201310742839.8A priority Critical patent/CN103849922A/zh
Publication of CN103849922A publication Critical patent/CN103849922A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)

Abstract

本发明涉及电镀技术领域,尤其涉及一种基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法,包括以下步骤:a、建立旋转电镀装置有限元模型,选取阴极圈为分析对象;b、设定垂直旋转电镀锡的阳极篮电流值、阴极导电孔处的电位;c、对阴极圈内壁电流密度分布进行仿真;d、将仿真结果与基准参考值进行比较,若仿真结果大于基准参考值,则说明此部位容易发生流动不良,反之,为合格。本发明结构简单,工艺参数修改方便,大大减少实验次数,缩短实验周期,降低实验成本,基于该评价结果的改善大大降低了MLCC制品流动不良率,提升了MLCC制品的品质,更适于对未知的复杂系统的研究。

Description

基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法
技术领域
本发明涉及电镀技术领域,尤其涉及一种基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法。 
背景技术
随着制造业的发展,电镀加工件的形状越来越复杂,要求及标准不断提高,特别是小型复杂的零件,单靠传统的挂镀+阴极移动,很难达到较高的成品合格率,旋转电镀相对于传统的电镀方式具有明显的优点。旋转电镀是一种在电镀过程中实现待镀工件(阴极)相对阳极不断旋转,实现了工件在电镀槽内的溶液中沿中心轴作圆周旋转,这使得镀液对镀件表面不断的大幅度的冲刷和充分的接触交换,同时工件的旋转也使得在旋转电镀装置内的电力线分布较均匀,从而最终达到镀件的镀层均匀、质量好、成本低的目的。在水平旋转电镀、垂直旋转电镀、倾斜旋转电镀等方式中,垂直旋转电镀方式是适应现代化自动化生产发展要求的,最具前景的旋转电镀方式。 
虽然旋转电镀可以满足生产的需要,但随着MLCC小型化的发展,对镀层的质量要求越来越高,电镀过程中发生的不良越来越难以控制。由于镀层质量与阴极的电流密度直接相关,而旋转电镀过程中由于电镀发生在密闭的空间内,阴极的电流密度无法进行直接测量,因此寻找一种操作简单、方便修改工艺参数,减少实验次数,缩短实验周期,降低实验成本的电流密度评价方法,成为现阶段本领域技术人员亟待解决的重要问题。 
发明内容
本发明的目的在于克服上述技术的不足,而提供一种基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法,方便修改工艺参数,减少实验次数,缩短实验周期,降低实验成本。 
本发明为实现上述目的,采用以下技术方案:一种基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法,包括以下步骤: 
a、建立旋转电镀装置有限元模型,选取阴极圈为分析对象;
b、设定垂直旋转电镀锡的阳极篮电流值、阴极导电孔处的电位;
c、对阴极圈内壁电流密度分布进行仿真;
d、将仿真结果与基准参考值进行比较,若仿真结果大于基准参考值,则说明此部位容易发生流动不良,反之,为合格。
优选地,所述阳极篮电流值为30A-90A,阴极导电孔处的电位为0V。 
优选地,所述步骤d中基准参考值为12.9mA/mm2
本发明的有益效果是: 本发明结构简单,工艺参数修改方便,大大减少实验次数,缩短实验周期,降低实验成本,基于该评价结果的改善大大降低了MLCC制品流动不良率,提升了MLCC制品的品质,更适于对未知的复杂系统的研究。
附图说明
图1是 旋转电镀装置改善前的模型图; 
图2是 旋转电镀装置改善后的模型图;
图3是改善前边界条件设定及求解结果说明图;
图4是改善后边界条件设定及求解结果说明图;
图5 是改善前镀层表面形貌SEM 图;
图6 是改善后右镀层表面形貌SEM 图;
图7是改善前后不良率趋势对比图。
图中:1、阳极;2、Canopy;3、阴极圈;4、阴极圈绝缘底板;5、导电底座;6、阴极导电孔。 
具体实施方式
下面结合附图及较佳实施例详细说明本发明的具体实施方式。实施例1 
   应用上述方法对改善前阴极圈内壁电流密度分布进行模拟,如图1和3所示,步骤如下:
(1)打开Workbench,从工具箱中调入电场分析系统【Electric】到项目流程图【Project Schematic】,工具栏中单击【Save】按钮,保存文件Current Density.wbpj。
(2)双击【Engineering Data】单元格。 
(3)定义工程材料数据:数据大纲列表中新建材料名称【阳极】。 
(4)工具箱中单击【Electric】→【Isotropic Resistivity】,输入各项同性电阻率,属性窗口中输入【Isotropic Resistivity】数值。 
(5)工具栏中单击【Return to Project】返回项目流程图。 
(6)创建改善前几何模型:右键单击【Geometry】,导入3D模型。 
(7)稳态电流传导分析: 
1)切换回Workbench窗口,双击【Model】单元格进入稳态电场分析环境。
2)明细窗口中指定材料:【Material】→【Assignment】。 
3)采用默认网格划分(该步略),导航树中选择【Steady-State Electric Conduction】,工具栏中添加电流【Current】,并将加入的电压重命名为【Current-anode】。 
4)图形区中选中阳极篮表面。 
5)明细窗口【Geometry】处单击Apply确认。 
6)输入电流值:【Magnitude】=90A。 
7)同样在导电孔处加实测电压【Voltage-Ground】,输入电压值【Magnitude】=0V。 
8)导航树中选择【Solution】,加入电流密度结果:工具栏中单击【Electric】→【Current Density】,工具栏中单击【Solve】求解。 
(8)查看电流密度分布结果导航树选择【Current Density】,如图5。 
 实施例2 
   应用上述方法对改善后阴极圈内壁电流密度分布进行模拟,如图2和图4所示,步骤如下:
(1)打开Workbench,从工具箱中调入电场分析系统【Electric】到项目流程图【Project Schematic】,工具栏中单击【Save】按钮,保存文件Current Density.wbpj。
(2)双击【Engineering Data】单元格。 
(3)定义工程材料数据:数据大纲列表中新建材料名称【阳极】。 
(4)工具箱中单击【Electric】→【Isotropic Resistivity】,输入各项同性电阻率,属性窗口中输入【Isotropic Resistivity】数值。 
(5)工具栏中单击【Return to Project】返回项目流程图。 
(6)创建改善后几何模型:右键单击【Geometry】,导入3D模型。 
(7)稳态电流传导分析: 
1)切换回Workbench窗口,双击【Model】单元格进入稳态电场分析环境。
2)明细窗口中指定材料:【Material】→【Assignment】。 
3)采用默认网格划分(该步略),导航树中选择【Steady-State Electric Conduction】,工具栏中添加电流【Current】,并将加入的电压重命名为【Current-anode】。 
4)图形区中选中阳极篮表面。 
5)明细窗口【Geometry】处单击Apply确认。 
6)输入电流值:【Magnitude】=90A。 
7)同样在导电孔处加实测电压【Voltage-Ground】,输入电压值【Magnitude】=0V。 
8)导航树中选择【Solution】,加入电流密度结果:工具栏中单击【Electric】→【Current Density】,工具栏中单击【Solve】求解。 
(8)查看电流密度分布结果导航树选择【Current Density】,如图6。 
 由实例1分析,阴极圈内壁底部由于边缘效应电流密度较大,使得电镀时发生流动不良,因此将阴极圈底部的绝缘板由原来的平板改为“凸”字形的底板,将阴极圈内壁底部电流密度较大的区域进行遮蔽。实例2结果显示变更后阴极内壁与制品接触区域的电流密度减小,并且实验证明制品的流动不良率大大下降。 
在低电流密度下,离子放电速度缓慢,易于加快既有的结晶的生长速度,因此镀层呈现比较粗糙的结晶核,晶粒较粗大,而不是生成新的结晶核。在高电流密度下,新核的生长速度提高,电沉积结晶比较微细,形成的晶粒较多较细;证明了双倍CELL阴极的电流密度值整体较单倍CELL偏大。因此适当减小局部区域的电流密度可以减少流动不良的发生。 
将改善前后实际不良率进行统计,改善后Lot流动不良率下降15.56%,Cell流动不良率下降17.71% 。  
表1 改善前后不良率数据对比
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法,包括以下步骤:
a、建立旋转电镀装置有限元模型,选取阴极圈为分析对象;
b、设定垂直旋转电镀锡的阳极篮电流值、阴极导电孔处的电位;
c、对阴极圈内壁电流密度分布进行仿真;
d、将仿真结果与基准参考值进行比较,若仿真结果大于基准参考值,则说明此部位容易发生流动不良,反之,为合格。
2.根据权利要求1所述的基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法,其特征在于:所述阳极篮电流值为30A-90A,阴极导电孔处的电位为0V。
3.根据权利要求1或2所述的基于CAE分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法,其特征在于:所述步骤d中基准参考值为12.9mA/mm2
CN201310742839.8A 2013-12-24 2013-12-24 基于cae分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法 Pending CN103849922A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310742839.8A CN103849922A (zh) 2013-12-24 2013-12-24 基于cae分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310742839.8A CN103849922A (zh) 2013-12-24 2013-12-24 基于cae分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103849922A true CN103849922A (zh) 2014-06-11

Family

ID=50858036

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310742839.8A Pending CN103849922A (zh) 2013-12-24 2013-12-24 基于cae分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103849922A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104213160A (zh) * 2014-08-22 2014-12-17 常熟市董浜镇徐市鸿磊五金机械厂 一种五金件电镀工艺

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11302895A (ja) * 1998-04-20 1999-11-02 Japan Steel Works Ltd:The 筒体内面のめっき方法及び内面をめっき施工された筒体
TW574435B (en) * 1999-11-19 2004-02-01 Ebara Corp Plating analysis method
US20040099532A1 (en) * 2002-11-26 2004-05-27 Hachman John T. Apparatus and method for controlling plating uniformity
CN202415720U (zh) * 2011-12-15 2012-09-05 合肥恒力电子装备公司 旋转电镀装置
CN101974771B (zh) * 2010-07-05 2013-01-23 无锡出新环保设备有限公司 一种旋转电镀装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11302895A (ja) * 1998-04-20 1999-11-02 Japan Steel Works Ltd:The 筒体内面のめっき方法及び内面をめっき施工された筒体
TW574435B (en) * 1999-11-19 2004-02-01 Ebara Corp Plating analysis method
US20040099532A1 (en) * 2002-11-26 2004-05-27 Hachman John T. Apparatus and method for controlling plating uniformity
CN101974771B (zh) * 2010-07-05 2013-01-23 无锡出新环保设备有限公司 一种旋转电镀装置
CN202415720U (zh) * 2011-12-15 2012-09-05 合肥恒力电子装备公司 旋转电镀装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104213160A (zh) * 2014-08-22 2014-12-17 常熟市董浜镇徐市鸿磊五金机械厂 一种五金件电镀工艺

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110016700B (zh) 一种表面增强拉曼光谱镀银活性基底及其制备方法
CN103096638A (zh) 一种压入式高导热pcb板及其制作方法
Cao et al. Effects of pulse reverse electroforming parameters on the thickness uniformity of electroformed copper foil
CN208829786U (zh) 一种电镀装置
CN108251869A (zh) 镀锡液及其制备方法与应用
CN103014792A (zh) 一种锡钴合金装饰性代铬电镀液及其电镀方法
CN105696064B (zh) 一种图形电镀参数的获取方法
CN110795881B (zh) 一种基于有限元仿真获得结晶器铜板均匀镀层的方法
CN103849922A (zh) 基于cae分析的旋转电镀阴极电流密度分布的评价方法
CN110769617B (zh) Pcb板中的孔径补偿方法及装置
CN105603472A (zh) 酸性镀铜系列添加剂
CN105115415A (zh) 一种线路板盲孔深度测试结构及其测试方法
CN103068176B (zh) 一种精密线路的线路板电镀方法
CN208507914U (zh) Lds天线
CN204859775U (zh) 一种图形电镀治具
CN111025980B (zh) 一种多路分时共同电沉积装置
CN104281337B (zh) 电容屏边缘走线镀金属方法及电容屏
CN102054712A (zh) 一种控制线路板表面粗糙度的方法
CN207713851U (zh) 一种新型多窗口pcb电镀挂具
CN204129159U (zh) 新型高密度互连线路板
Zeng et al. The effects of electrolyte composition and deposition voltage on the copper-nickel alloy micropillars fabricated by Jet ECD
CN202114039U (zh) 铜箔边部硅点消除装置
CN205340736U (zh) 一种自动调节锂电池浆料粘度的控制系统
CN109853006A (zh) 一种高温高速条件下电镀铜的添加剂配方及电镀方法
CN204509474U (zh) 一种在镀层金属表面制备阵列微纳结构的电镀装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
AD01 Patent right deemed abandoned

Effective date of abandoning: 20170721