CN103833232A - 一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，通过将AL2O3与乙醚混合形成AL2O3溶液，将AL2O3溶液喷涂在安装在加工车床上的石英管，然后进行两次烧结后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用多次成型车床，从而使AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品。本发明可耐高温1280℃，还能提高使用寿命，降低扩散石英管成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种耐高温石英管的制造方法，特别是一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法。
背景技术
石英玻璃管是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料。石英玻璃具有一系列优良的物理、化学性能，其耐高温，耐腐蚀，热稳定性好，透光性好，电绝缘性好。由石英玻璃制成的石英管大致可分为透明石英管、滤紫外石英管以及彩色石英管等。其中，透明石英管在应用最为广泛。目前市场上，透明石英管在用于电子材料时，使用寿命在3个月左右，而且生产成本较高。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法。本发明可耐高温1280℃，还能提高使用寿命，降低扩散石英管成本。
本发明的技术方案：一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，其特征在于：通过将AL2O3与乙醚混合形成AL2O3溶液，将AL2O3溶液喷涂在安装在加工车床上的石英管，然后进行两次烧结后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用多次成型车床，从而使AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品。
前述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法中，具体按下述步骤进行：
①将AL2O3在滚磨装置中汽化成均匀粉末与乙醚混合，再采用滚动式磨床进行高度混合，形成AL2O3密度为60-62%的AL2O3溶液；
②将石英管用18兆高纯水冲洗，再用氮气饱和烘干，将石英管安装在加工车床上进行喷涂AL2O3溶液；
③再用温度为1800℃的氢氧火焰烧结两次后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用3-8次成型车床使AL2O3熔合在石英管中，从而保证AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品。
前述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法中，所述两次烧结依次为：
第一步烧结：烧干喷涂在石英管上的AL2O3溶液得喷涂层，喷涂层厚度为2um；
第二步烧结：将喷涂层烧结至透明，透明度为95-99%。
前述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法中，所述乙醚的纯度为99.5%。
与现有技术相比，本发明通过将AL2O3溶液喷涂在石英管上，并依次进行多次烧结与多次成型车床，从而使AL2O3熔合在石英管中，保证AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网（方石英晶体网），使石英管可耐高温1280℃，符合VDMOS器件电路扩散要求，同时还大幅延长使用寿命，在原来基础3个月上延长一倍（即6个月），还为生产厂家节约了40-50%的扩散石英管成本，从而大大降低了生产成本。本发明工艺简单，操作便利。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步的说明，但并不作为对本发明限制的依据。
实施例1。一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，
具体按下述步骤进行：
①将AL2O3在滚磨装置中汽化成均匀粉末与乙醚混合，再采用滚动式磨床进行高度混合，形成AL2O3密度为60%的AL2O3溶液；
②将石英管用18兆高纯水冲洗，再用氮气饱和烘干，将石英管安装在加工车床上进行喷涂AL2O3溶液；
③再用温度为1800℃的氢氧火焰烧结两次后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用8次成型车床使AL2O3熔合在石英管中，从而保证AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品；
所述两次烧结依次为：
第一步烧结：烧干喷涂在石英管上的AL2O3溶液得喷涂层，喷涂层厚度为2um；
第二步烧结：将喷涂层烧结至透明，透明度为95%；
所述乙醚的纯度为99.5%。
实施例2。一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，
具体按下述步骤进行：
①将AL2O3在滚磨装置中汽化成均匀粉末与乙醚混合，再采用滚动式磨床进行高度混合，形成AL2O3密度为62%的AL2O3溶液；
②将石英管用18兆高纯水冲洗，再用氮气饱和烘干，将石英管安装在加工车床上进行喷涂AL2O3溶液；
③再用温度为1800℃的氢氧火焰烧结两次后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用3次成型车床使AL2O3熔合在石英管中，从而保证AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品；
所述两次烧结依次为：
第一步烧结：烧干喷涂在石英管上的AL2O3溶液得喷涂层，喷涂层厚度为2um；
第二步烧结：将喷涂层烧结至透明，透明度为99%；
所述乙醚的纯度为99.5%。
实施例3。一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，
具体按下述步骤进行：
①将AL2O3在滚磨装置中汽化成均匀粉末与乙醚混合，再采用滚动式磨床进行高度混合，形成AL2O3密度为61%的AL2O3溶液；
②将石英管用18兆高纯水冲洗，再用氮气饱和烘干，将石英管安装在加工车床上进行喷涂AL2O3溶液；
③再用温度为1800℃的氢氧火焰烧结两次后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用5次成型车床使AL2O3熔合在石英管中，从而保证AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品；
所述两次烧结依次为：
第一步烧结：烧干喷涂在石英管上的AL2O3溶液得喷涂层，喷涂层厚度为2um；
第二步烧结：将喷涂层烧结至透明，透明度为97%；
所述乙醚的纯度为99.5%。
Claims (4)
1.一种方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，其特征在于：通过将AL2O3与乙醚混合形成AL2O3溶液，将AL2O3溶液喷涂在安装在加工车床上的石英管，然后进行两次烧结后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用多次成型车床，从而使AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品。
2.根据权利要求1所述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，其特征在于，具体按下述步骤进行：
①将AL2O3在滚磨装置中汽化成均匀粉末与乙醚混合，再采用滚动式磨床进行高度混合，形成AL2O3密度为60-62%的AL2O3溶液；
②将石英管用18兆高纯水冲洗，再用氮气饱和烘干，将石英管安装在加工车床上进行喷涂AL2O3溶液；
③再用温度为1800℃的氢氧火焰烧结两次后得透明的AL2O3石英管，最后将AL2O3石英管用3-8次成型车床使AL2O3熔合在石英管中，从而保证AL2O3与石英管结合形成方石英晶层网，得成品。
3.根据权利要求2所述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，其特征在于，所述两次烧结依次为：
第一步烧结：烧干喷涂在石英管上的AL2O3溶液得喷涂层，喷涂层厚度为2um；
第二步烧结：将喷涂层烧结至透明，透明度为95-99%。
4.根据权利要求1、2或3所述的方石英晶层网耐高温石英管的制造方法，其特征在于：所述乙醚的纯度为99.5%。
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