CN103809577A - 一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法 - Google Patents

Abstract

一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，该方法包括：采用数据库设置并存储所有报警及其属性，其中，所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监控模块属性和/或报警恢复属性；读取数据库中所有报警及其属性并注册PLC报警监控；如果PLC部分发生报警事件，进入PLC报警监控函数模块读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数并向上位机发出报警；如果上位机部分发生报警事件，进入上位机报警监控函数读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数并发出报警；最后，根据报警处理函数所对应数据库中该报警的处理方式属性，选择相应的报警恢复方式进行报警处理。

Description

一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，更具体地说，涉及一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法。

背景技术

目前，半导体器件的设计向高密度、高集成度的方向迅速发展，对半导体设备热处理设备提出了越来越高的要求。半导体热处理设备由于结构复杂、系统庞大，且其产品（晶圆）价值高。因此，在半导体制造工艺中，用户希望热处理设备能够长时间连续运行多组工艺而不出现故障，这对设备的稳定性提出了很高的要求。

为满足工艺过程中对半导体加工设备的安全性和稳定性的高要求，这就要求操作人员能够及时且准确地掌握设备的当前状态，以便随时处理出现的异常。在半导体加工设备的控制结构中，不可避免的需要用到报警机制，并且，半导体加工设备还涉及到液体、温度、压力、运动及多路气体等模块的控制，对于各个模块的控制过程，均会因为状态异常、命令执行失败等原因需发送报警来通知用户设备的异常状态。

然而，由于半导体加工设备的控制单元和处理单元通常由上位机+下位机架构构成；其中，下位机为可编程控制器（Programmable Logic Device,简称PLD），因此，报警的来源分为PLC发送报警及上位机发送报警两种，且报警所属模块也是多种多样的，这就为报警的管理带来了很大的不便。

具体地说，目前报警大多是在各个模块独立设置、记录、发送和处理的，这样，在每个模块的代码编写过程中，都需要对该模块所涉及的报警进行声明、注册、记录、发送、处理等工作，这样做有很多的弊端：

①、由于同一报警可能会对多个模块会有影响，这就造成了同一个报警在不同的模块中重复的进行声明、注册等；

②、分散报警的管理和处理为报警管理带来了很大不便，添加或删除报警都十分困难，且必须通过对代码的修改才能实现。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，其将报警及其属性以数据库形式记录的设计思想，数据库中每条报警有其必要属性记录，发生在各个模块中的报警，通过事件的方式通知同一报警处理模块，由该模块统一管理、发送、处理的方法。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，所述半导体加工设备中包括多个被监控模块，所述被监控模块由上位机和/或下位机发送报警；其中，所述下位机为可编程控制器，所述方法具体包括：

步骤S1：采用报警及属性数据库设置并存储所有报警及其属性，其中，所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监控模块属性和/或报警恢复属性；

步骤S2：在工艺过程启动过程中，读取数据库中所有报警及其属性，并且注册PLC报警监控；

步骤S3：在工艺过程中，如果PLC部分发生报警事件，进入PLC报警监控函数模块读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数，并向报警发送函数模块发出报警；如果上位机部分发生报警事件，进入上位机报警监控函数模块读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数，并向报警发送函数模块发出报警；

步骤S4：报警处理函数单元根据报警发送函数所对应数据库中该报警的处理方式属性，选择相应的报警恢复方式，通知报警处理方式执行单元进行报警处理。

优选地，所述报警级别属性包括出错和警告；报警处理方式属性包括停止工艺、暂停和继续工艺；报警恢复方式包括清除、恢复和忽略；报警限定属性为活动状态和非活动状态。

优选地，所述步骤S3中读取该报警事件的相关属性具体包括如下步骤：

步骤S31：判断PLC报警的通道地址是否发生变化；如果有；执行步骤S32；

步骤S32：根据报警名称从数据库中读取报警属性；

步骤S33：判断该报警的报警限定属性是否为活动状态，如果不是，执行步骤S32，如果是，发出报警。

优选地，所述的步骤S4具体包括如下步骤：

步骤S41：当检测到有报警发出时，判断所述报警处理方式属性是否是停止工艺，如果是，执行步骤42；如果不是；继续判断所述报警处理方式属性是否是暂停工艺，如果是，执行步骤S43，否者，执行步骤S44；

步骤S42：判断是否正在进行相应的工艺，如果是，停止工艺，如果不是，停止报警所属模块的功能；

步骤S43：判断是否正在进行相应的工艺，如果是，暂停工艺，如果不是，暂停报警所属模块的功能；

步骤S44：结束。

优选地，所述报警发送函数模块、报警处理函数单元和/或报警处理方式执行单元由上位机实现。

从上述技术方案可以看出，本发明一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，其实现的有益效果具体如下：

①、实现了半导体加工设备报警的集中处理，即多个被监控模块报警集中到同一报警模块进行处理；

②、根据报警数据库文件来管理设备所涉及报警，明确各个报警属性，使报警的管理更加方便；

③、报警的处理方式和级别等信息作为报警属性保存在数据库中，添加或修改报警，只需在数据库中进行修改，而不需修改代码。

附图说明

图1为本发明用于半导体加工设备的报警集中处理系统一较佳实施例的结构示意图

图2为本发明用于半导体加工设备的报警集中处理方法中获得报警一较佳实施例的流程示意图

图3为本发明用于半导体加工设备的报警集中处理方法中报警处理一较佳实施例的流程示意图

具体实施方式

下面结合附图1-3，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

请参阅图1，图1为本发明用于半导体加工设备的报警集中处理系统一较佳实施例的结构示意图。在本实施例中，半导体加工设备中可以包括多个被监控模块，例如，图1中的N个，N为大于1的正整数；监控系统的执行结构通常为上位机+下位机的结构，其中，所述下位机为可编程控制器（Programmable Logic Device,简称PLD）。与现有技术相同的是，被监控模块可以由上位机和/或下位机监控并获得报警信息。

与现有技术不同的是，如图1所示，该监控系统还包括报警属性数据库、PLC报警监控函数模块、上位机报警监控函数模块和报警处理方式执行单元。报警属性数据库包含所有报警及其属性。其中，报警属性包括报警编号ID属性、报警名称属性AlarmName、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址（或名称）、报警所处被监控模块属性和/或报警恢复属性。有了上述属性以后，就允许在报警发生后，只对报警所属模块进行操作。

报警ID用于报警机制在报警发生时，通过ID来查找报警的其他属性，如恢复方式等。报警名称AlarmName直观地展现报警原因，用户可通过报警名称直观的了解报警发生的原因，并且也可作为查找报警属性的一种手段。报警级别属性包括出错Error和警告warn等；报警处理方式属性即报警发生后系统如何响应，包括停止工艺、暂停和继续工艺；报警恢复方式包括清除、恢复和忽略；报警限定属性为活动状态和非活动状态。

请参阅下表1，表1为报警属性数据库的一个样例：

表1中英文表述的属性对应如下：

PLC报警监控函数OnPLCAlarmOccured，即在PLC部分报警发生后，进入该函数，用于读取报警的相关属性；并调用报警发送函数，发送报警函数RaiseException用于通知系统报警的发生。上位机报警监控函数OnExceptionOccured，即在收到模块发送的异常事件后进入该函数，用于读取报警的相关属性，并调用报警发送函数，发送报警函数RaiseException用于通知系统报警的发生。报警函数在初始化时，读取数据库中报警信息，并且注册PLC报警监控。

也就是说，发生在各个被监控模块中的报警，通过事件的方式通知同一报警处理模块，由该模块统一管理、发送、处理的方法。在检测到满足报警条件后，通过发生异常事件，通知报警处理模块，在该模块读取其报警详细信息，并发出报警。

报警处理函数应支持报警恢复的所有方法，如clear清除、recover恢复、ignore忽略等。且对这些方法的处理满足行业要求。该方法为通用方法，对应于数据库中各个报警的处理方式属性，根据该属性的不同，来选择如何处理报警。另外，报警发送函数模块、报警处理函数单元和/或报警处理方式执行单元由上位机实现。

下面图2-3，总结一下本发明用于半导体加工设备的报警集中处理方法，该方法可以具体包括如下步骤：

步骤S1：采用报警及属性数据库设置并存储所有报警及其属性，其中，所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监控模块属性和/或报警恢复属性；

步骤S2：在工艺过程启动过程中，读取数据库中所有报警及其属性，并且注册PLC报警监控；

步骤S3：在工艺过程中，如果PLC部分发生报警事件，进入PLC报警监控函数模块读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数，并向报警发送函数模块发出报警；如果上位机部分发生报警事件，进入上位机报警监控函数模块读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数，并向报警发送函数模块发出报警；

步骤S4：报警处理函数单元根据报警发送函数所对应数据库中该报警的处理方式属性，选择相应的报警恢复方式，通知报警处理方式执行单元进行报警处理。

具体地，请参阅图2，图2为本发明用于半导体加工设备的报警集中处理方法中获得报警一较佳实施例的流程示意图。如图所示，上述步骤S3中读取该报警事件的相关属性可以具体包括如下步骤：

步骤S31：判断PLC报警的通道地址是否发生变化；如果有；执行步骤S32；

步骤S32：根据报警名称从数据库中读取报警属性；

步骤S33：判断该报警的报警限定属性是否为活动状态，如果不是，执行步骤S32，如果是，发出报警。

报警发出后，接下来就可以根据报警属性数据库中个报警处理方式属性，对该报警进行处理。

请参阅图3，图3为本发明用于半导体加工设备的报警集中处理方法中报警处理一较佳实施例的流程示意图。如图所示，上述步骤S4可以具体包括如下步骤：

步骤S41：当检测到有报警发出时，判断所述报警处理方式属性是否是停止工艺，如果是，执行步骤42；如果不是；继续判断所述报警处理方式属性是否是暂停工艺，如果是，执行步骤S43，否者，执行步骤S44；

步骤S42：判断是否正在进行相应的工艺，如果是，停止工艺，如果不是，停止报警所属模块的功能；

步骤S43：判断是否正在进行相应的工艺，如果是，暂停工艺，如果不是，暂停报警所属模块的功能；

步骤S44：结束。

综上所述，本发明将报警信息收集整理到同一数据库中，发生在各个模块中的报警，通过事件的方式通知同一报警处理模块，由该模块统一管理、发送、处理。对报警的处理方式，通过数据库中报警的特定属性来标记，在代码中的处理根据该属性进行区分，提高报警管理控制的效率和灵活性。

以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (5)

1.一种用于半导体加工设备的报警集中处理方法，所述半导体加工设备中包括多个被监控模块，所述被监控模块由上位机和/或下位机监控报警；其中，所述下位机为可编程控制器，其特征在于，所述方法具体包括：

步骤S1：采用报警及属性数据库设置并存储所有报警及其属性，其中，所述属性包括报警编号属性、报警名称属性、报警级别属性、报警的限制属性、报警处理方式属性、PLC报警的通道地址、报警所处被监控模块属性和/或报警恢复属性；

步骤S2：在工艺过程启动过程中，读取数据库中所有报警及其属性，并且注册PLC报警监控；

步骤S3：在工艺过程中，如果PLC部分发生报警事件，进入PLC报警监控函数模块读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数，并向报警发送函数模块发出报警；如果上位机部分发生报警事件，进入上位机报警监控函数模块读取该报警事件的相关属性，调用报警发送函数，并向报警发送函数模块发出报警；

步骤S4：报警处理函数单元根据报警发送函数所对应数据库中该报警的处理方式属性，选择相应的报警恢复方式，通知报警处理方式执行单元进行报警处理。

2.如权利要求1所述的报警集中处理方法，其特征在于，所述报警级别属性包括出错和警告；所述报警处理方式属性包括停止工艺、暂停和继续工艺；报警恢复方式包括清除、恢复和忽略；所述报警限定属性为活动状态和非活动状态。

3.如权利要求2所述的报警集中处理方法，其特征在于，所述步骤S3中读取该报警事件的相关属性具体包括如下步骤：

步骤S31：判断PLC报警的通道地址是否发生变化；如果有；执行步骤S32；

步骤S32：根据报警名称从数据库中读取报警属性；

步骤S33：判断该报警的报警限定属性是否为活动状态，如果不是，执行步骤S32，如果是，发出报警。

4.如权利要求2或3所述的报警集中处理方法，其特征在于，所述的步骤S4中具体包括如下步骤：

步骤S41：当检测到有报警发出时，判断所述报警处理方式属性是否是停止工艺，如果是，执行步骤42；如果不是；继续判断所述报警处理方式属性是否是暂停工艺，如果是，执行步骤S43，否者，执行步骤S44；

步骤S42：判断是否正在进行相应的工艺，如果是，停止工艺，如果不是，停止报警所属模块的功能；

步骤S43：判断是否正在进行相应的工艺，如果是，暂停工艺，如果不是，暂停报警所属模块的功能；

步骤S44：结束。

5.如权利要求1所述的报警集中处理方法，其特征在于，所述报警发送函数模块、报警处理函数单元和/或报警处理方式执行单元由上位机实现。

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