CN110827523B - 半导体设备报警管理系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体设备报警管理系统，包括：多个报警客户端、报警服务器端，其中所述多个报警客户端分别配置于半导体设备的多个功能控制模块中，用于在所述半导体设备出现异常时产生报警信息，并通过统一的报警接口将所述报警信息发送至所述报警服务器端；所述报警服务器端配置于半导体设备的中心控制模块中，用于在用户界面中显示接收到的所述报警信息。实现对半导体设备各种报警资源的综合管理与调度、有效利用系统资源与软件开发成本以及提高半导体设备安全性和稳定性。

Description

半导体设备报警管理系统

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，更具体地，涉及一种半导体设备报警管理系统。

背景技术

在交互式管理系统中，常用的自动化控制系统所采用报警管理方法多数是针对某一个具体的模块，每一个模块都在自身内部采用报警异常处理方法，以达到系统自我修复的目的。

在半导体设备中，同一台设备的控制系统软件往往包括多个不同控制模块，多个不同的控制模块均采用一套相同的报警系统，但多个不同的控制模块分别独立运行。同时，不同控制模块可能运行在一台或多台计算机上，现有的报警异常处理方法在这种分布式计算中缺点表现尤为明显，对运行在多个计算机中(或运行在一台计算机中)的多个模块的异常处理缺乏统一管理，同时也无法对各种相似的异常进行复用，分布在不同模块上的异常发生与处理方法无法进行统一的调度，同时如果硬件系统变更，相应的软件异常处理系统也需要变更，这造成大量现有资源的浪费与软件资源无法复用，造成软件开发成本的升级。同时，模块根据自身内部采用自动处理异常报警会有一定概率出现程序错误导致采用错误的处理方法，从而无法正确的处理异常导致设备出现安全隐患和运行的稳定性。

因此需要提出一种能够实现对半导体设备各种报警资源的综合管理与调度、有效利用系统资源与软件开发成本以及能够提高半导体设备安全性和稳定性的报警管理系统。

发明内容

本发明提出一种半导体设备报警管理系统，实现对半导体设备各种报警资源的综合管理与调度，有效利用系统资源，降低软件开发成本以及提高半导体设备安全性和稳定性。

本发明提出了一种半导体设备报警管理系统，其特征在于，包括：多个报警客户端、报警服务器端，其中

所述多个报警客户端分别配置于半导体设备的多个功能控制模块中，用于在所述半导体设备出现异常时产生报警信息，并通过统一的报警接口将所述报警信息发送至所述报警服务器端；

所述报警服务器端配置于半导体设备的中心控制模块中，用于在用户界面中显示接收到的所述报警信息。

优选地，所述报警服务器端，还用于在所述用户界面中显示针对所述报警信息的多个操作选项，并响应用户的操作，将用户选择的操作选项通过所述报警接口反馈给发送了所述报警信息的报警客户端；

所述报警客户端，还用于接收该操作选项，并在预先封装在内部的多个报警处理策略中确定与该操作选项对应的报警处理策略，并执行该报警处理策略。

优选地，所述操作选项包括确认操作、恢复操作、清除操作。

优选地，所述功能控制模块包括传输控制模块、工艺控制模块，所述中心控制模块包括集束型控制模块。

优选地，所述报警客户端，还用于预先注册所述报警服务器端的远程代理，并基于所述远程代理通过所述报警接口将所述报警信息发送至所述报警服务器端。

优选地，所述报警服务器端，还用于基于用户的订阅设置判断是否显示所述报警信息，并在所述报警信息符合所述订阅设置时，在所述用户界面上显示所述报警信息。

优选地，还包括数据库，所述数据库与所述报警服务器端连接。

优选地，所述中心控制模块、所述多个功能控制模块为安装在所述半导体设备中的控制程序，所述中心控制模块用于对所述多个功能控制模块进行调度和控制。

优选地，所述多个报警客户端与所述报警服务器端构成C/S架构，所述报警客户端与所述报警服务器端之间基于Windows通讯基础WCF技术进行通讯。

本发明的有益效果在于：

通过在报警客户端与报警服务器端之间建立统一的报警接口，报警客户端就可以实现对报警服务器端资源的统一访问，实现了一种与半导体设备弱相关的、标准的、统一的报警信息管理机制和的报警调用和访问机制。

本发明的系统具有其它的特性和优点，这些特性和优点从并入本文中的附图和随后的具体实施方式中将是显而易见的，或者将在并入本文中的附图和随后的具体实施方式中进行详细陈述，这些附图和具体实施方式共同用于解释本发明的特定原理。

附图说明

通过结合附图对本发明示例性实施例进行更详细的描述，本发明的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，在本发明示例性实施例中，相同的参考标号通常代表相同部件。

图1示出了根据本发明的一个实施例的300mm氧化炉系统软件控制模块连接关系示意图。

图2示出了根据本发明的一个实施例的一种半导体设备报警管理系统接口示意图。

图3示出了根据本发明的一个实施例的一种半导体设备报警管理系统报警处理过程示意图。

图4示出了根据本发明的一个实施例的一种半导体设备报警管理系统报警处理过程序列图。

附图标记说明：

1、报警客户端；2、报警服务器端；3、用户界面；4、统一的报警接口；5、远程代理；6、数据库；7、集束型控制模块；8、传输控制模块；9、工艺控制模块。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本发明。虽然附图中显示了本发明的优选实施例，然而应该理解，可以以各种形式实现本发明而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了使本发明更加透彻和完整，并且能够将本发明的范围完整地传达给本领域的技术人员。

本发明实施例提供了一种半导体设备报警管理系统，包括：

多个报警客户端、报警服务器端，其中

多个报警客户端分别配置于半导体设备的多个功能控制模块中，用于在半导体设备出现异常时产生报警信息，并通过统一的报警接口将报警信息发送至报警服务器端；

报警服务器端配置于半导体设备的中心控制模块中，用于在用户界面中显示接收到的报警信息。

具体地，在半导体设备的所有软件控制模块中均使用相同的报警客户端/报警服务器端(C/S)架构的报警管理系统，将报警管理系统的报警服务器端配置在半导体设备的中心控制模块中，将半导体设备中的其他功能控制模块中配置报警管理系统的报警客户端，报警管理服务在报警客户端与报警服务器端之间建立的统一的报警接口，从而建立报警客户端与报警服务器端之间的通信连接，产生报警的报警客户端(发生异常的功能控制模块)通过远程代理和报警接口将异常报警信息发送至报警服务器端，报警服务器端将异常报警信息通过用户界面显示给用户，用户能够通过用户界面查看异常报警的详细信息。

在一个示例中，报警服务器端，还用于在用户界面中显示针对报警信息的多个操作选项，并响应用户的操作，将用户选择的操作选项通过报警接口反馈给发送了报警信息的报警客户端；

报警客户端，还用于接收该操作选项，并在预先封装在内部的多个报警处理策略中确定与该操作选项对应的报警处理策略，并执行该报警处理策略。

具体地，在用户界面可以提供给用户多个可用的操作选项，即针对异常报警的处理方式的相关选项，用户操作执行一个操作选项后，报警服务把用户选择的操作选项信息以信息流的方式发回产生异常报警的报警客户端(即半导体设备中发生异常报警的功能控制模块)；进一步地，报警客户端设有预先封装在内部的异常报警处理策略，报警服务器端将用户选择的操作选项信息发回产生报警的报警客户端后，报警客户端根据用户的操作选项信息自动选择相应的异常报警处理策略对异常报警进行处理。实现了对半导体设备中多个功能控制模块产生异常报警的统一管理和监控，同时加入了人对报警信息的控制因素，以达到半导体设备安全、可控及稳定运行。

在一个示例中，上述操作选项包括确认操作、恢复操作和清除操作。

具体地，操作选项可以是确认操作，可以是恢复操作，可以是清除操作，同时本发明中的用户界面操供给用户的操作不限于这三种操作，本领域人员可以根据用户实际需求定制相应的用户操作选项。

在一个示例中，功能控制模块包括传输控制模块、工艺控制模块，中心控制模块包括集束型控制模块。

具体地，在现有半导体设备中，一般包括一个集束型控制模块和至少一个传输控制模块、至少一个工艺控制模块，或者包括一个集束型控制模块和至少一个传输控制模块，也可以包括一个集束型控制模块和至少一个工艺控制模块，集束型控制模块作为中心控制模块，负责传输控制模块和工艺控制模块的控制和调度。

在一个示例中，报警客户端，还用于预先注册所述报警服务器端的远程代理，并基于所述远程代理通过所述报警接口将所述报警信息发送至所述报警服务器端。

具体地，报警客户端首先注册报警管理服务的远程代理，然后通过远程代理和统一的报警接口即可访问报警服务器端的服务的资源，当报警客户端产生报警，报警客户端将异常报警信息通过注册的远程代理传给报警服务器端。其中，报警客户端通过POST方式将异常报警信息抛送给远程代理，远程代理再将异常报警信息转发至负责报警管理的报警服务器端，采用POST机制可以向报警服务器端递交较大的数据且更加安全。

在一个示例中，报警服务器端，还用于基于用户的订阅设置判断是否显示报警信息，并在该报警信息符合订阅设置时，在用户界面上显示该报警信息。

具体地，用户可以通过用户界面对半导体设备中不同功能控制模块的不同异常报警进行订阅设置，报警服务器端在接收到异常报警信息判断该异常报警信息是否为用户订阅的异常报警，若是则控制用户界面进行显示，否则不在用户界面进行显示。

在一个示例中，还包括数据库，数据库与报警服务器端连接。

具体地，报警服务器端设有用于报警管理的服务器和配套存储报警管理系统信息数据的数据库。

在一个示例中，中心控制模块、多个功能控制模块为安装在半导体设备中的控制程序，中心控制模块用于对多个功能控制模块进行调度和控制。

具体地，半导体设备的软件系统一般包括多个对应不同功能的功能控制模块以及对多个功能控制模块进行控制调度的中心控制模块，多个功能控制模块和中心控制模块可以安装在同一台计算机中，也可以安装在多台计算机中实现分布式计算。

在一个示例中，多个报警客户端与所述报警服务器端为C/S架构，报警客户端与报警服务器端之间基于Windows通讯基础WCF技术进行通讯。

具体地，本发明的报警系统属于C/S(Client/Server)架构，报警服务支持异常信息配置。系统采用.net中的WCF(Windows Communication Foundation，Windows通讯开发平台)技术实现报警客户端与报警服务器端之间的通信，因WCF不能自运行，所以需要配置在半导体设备现有的中心控制模块软件系统中，WCF能够提供解决分布式计算的通信机制，WCF技术为现有技术，本领域人员也可以采用其他的通信技术实现本方案中报警客户端与报警服务器端之间的分布式计算通讯机制，此处不再赘述。

实施例：

本发明以半导体设备300mm立式氧化炉为例进行分析说明，如图1所示，300mm立式氧化炉的软件系统分为三个控制模块，为集束型控制模块7(Cluster Tools Controller)，传输控制模块8(Transfer Tools Controller)和工艺控制模块9(Process ModuleController)，其中集束型控制模块7是中心控制系统，对传输控制模块8和工艺控制模块9进行调度和控制；在300mm立式氧化炉软件系统中，可以将集束型控制模块7、传输控制模块8和工艺控制模块9进行分布式配置安装和管理，即三个控制模块可以安装在一台计算机上，也可以安装在两台计算机上，还可以安装在三台计算机上。在本发明的其他实施例中，半导体设备除包括一个集束型控制模块7以外，传输控制模块8和工艺控制模块9也可以是多个，或者只有一个或多个传输控制模块8，还可以只有一个或多个工艺控制模块9。

在300mm立式氧化炉软件系统中，将报警管理系统的报警服务器端2的程序配置在集束型控制模块7的系统软件中，并配置与报警服务器端2连接的数据库6，在传输控制模块8和工艺控制模块9的系统软件中配置分别配置一个报警客户端1。报警管理系统为半导体设备中的所有功能模块提供统一的访问接口(即统一报警接口4)，报警管理系统属于C/S(Client/Server)架构，报警管理系统支持异常信息配置。

本实施例的报警管理系统在报警客户端1与报警服务器端2之间建立的统一的报警接口4，报警客户端1通过注册一个远程代理通过统一的报警接口4(虚拟接口)就可以实现对报警服务器端2资源的访问，如图2所示，报警客户端1与报警服务器端2之间的通信采用目前.net中的WCF技术，以适应分布式计算的需求。用户界面3属于用户层，可由集束型控制模块7软件系统自带的用户界面提供，对报警服务器端2来说可以是报警服务器端2的一个界面管理系统，通过用户界面3可以监控报警服务器端2运行的所有资源，以达到对报警资源的统一管理与监控。

本实施例的报警管理系统中，报警异常处理过程如图3所示，首先，在异常报警客户端1报警产生以后，通过POST方式把异常抛给报警管理的报警服务器端2，报警服务器端2可以决定是否把异常显示在用户界面3，至于是否要显示在用户界面3由用户通过订阅的方式决定需要在用户界面3中显示的异常信息。报警发生，用户可以在用户界面3中对异常选择一种处理方式，即选择一个操作选项。报警服务器端2监控用户的操作，用户处理完毕，即用户选择一个操作选项以后，用户的操作转化为信息流由用户界面3发送给报警服务器端2，报警服务器端2再把用户的操作选项信息传送给发生异常的报警客户端1，发生异常的报警客户端1(即半导体设备中发生异常报警的功能控制模块)可以通过预先以事件方式封装的处理策略对异常报警的进行自动处理。

报警报警客户端1运行后，通过注册一个远程代理，即可以通过如图3中的统一的报警接口4访问报警服务器端2中的服务。当有报警客户端1产生报警，报警客户端1把报警信息通过注册的远程代理传给报警服务器端2，报警服务器端2再把用户界面3订阅的报警信息传送给用户界面3，在用户界面3可以提供给用户多个可用的操作即此时的操作选项，操作选项可以是确认操作，可以是恢复操作，可以是清除操作，同时用户界面3提供给用户的操作不限于这三种操作，可以根据用户需求定制相应的用户操作。

本管理系统的异常报警处理UML序列过程如图4所示，用户在用户界面3操作完毕后，报警服务器端2把用户操作的信息发回产生报警的功能控制模块(异常报警客户端1)，产生报警的模块根据报警服务器端2发送的处理信息，调用内部封装好的异常理处事件策略处理该报警。此时一条报警信息被处理完毕。报警服务器端2通过消息循环方式接着处理下一条异常报警信息。

上述实施例实现了一种与半导体设备无关的、标准的、统一的报警信息管理机制和的报警调用和访问机制，实现报警信息在异常报警客户端1与管理中心(报警服务器端2)之间数据及时正确的传送和良好的交互，客户可根据不同应用需求配置报警信息，无需更改使用编码，使用机动灵活，实现了可进行分布式和远程监控的扩展报警机制，实现了自动化控制的实时性、同步性和统一调度，在更换设备时本方案的报警管理系统形成的模板也可以直接套用在新设备中，无需进行重复软件开发，节约了开发成本。

以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。

Claims (7)

1.一种半导体设备报警管理系统，其特征在于，包括：多个报警客户端、报警服务器端，其中

所述多个报警客户端分别配置于半导体设备的多个功能控制模块中，用于在所述半导体设备出现异常时产生报警信息，并通过统一的报警接口将所述报警信息发送至所述报警服务器端；

所述报警服务器端配置于半导体设备的中心控制模块中，用于在用户界面中显示接收到的所述报警信息；

所述中心控制模块、所述多个功能控制模块为安装在所述半导体设备中的控制程序，所述中心控制模块用于对所述多个功能控制模块进行调度和控制；

所述报警服务器端还用于在所述用户界面中显示针对所述报警信息的多个操作选项，并响应用户的操作，将用户选择的操作选项通过所述报警接口反馈给发送了所述报警信息的报警客户端；

所述报警客户端还用于接收该操作选项，并在预先封装在内部的多个报警处理策略中确定与该操作选项对应的报警处理策略，并执行该报警处理策略。

2.根据权利要求1所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于，所述操作选项包括确认操作、恢复操作、清除操作。

3.根据权利要求1所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于，所述功能控制模块包括传输控制模块、工艺控制模块，所述中心控制模块包括集束型控制模块。

4.根据权利要求1-3任一项所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于，所述报警客户端，还用于预先注册所述报警服务器端的远程代理，并基于所述远程代理通过所述报警接口将所述报警信息发送至所述报警服务器端。

5.根据权利要求1-3任一项所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于，所述报警服务器端，还用于基于用户的订阅设置判断是否显示所述报警信息，并在所述报警信息符合所述订阅设置时，在所述用户界面上显示所述报警信息。

6.根据权利要求1所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于，还包括数据库，所述数据库与所述报警服务器端连接。

7.根据权利要求1所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于，所述多个报警客户端与所述报警服务器端构成C/S架构，所述报警客户端与所述报警服务器端之间基于Windows通讯基础WCF技术进行通讯。

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