CN111725089B - 报警配置方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种报警配置方法及装置，该报警配置方法包括以下步骤：S1：判断设备是否满足报警功能的报警触发条件；若是，执行步骤S2；S2：判断所述报警功能是否配置为启用；若是，执行步骤S3；若否，执行步骤S4；S3：进入报警流程；S4：忽略报警。通过本发明，提供了处理报警的接口，提高了工艺效率。

Description

报警配置方法及装置

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种报警配置方法及装置。

背景技术

目前，立式炉设备主要用于半导体生产线的氧化和淀积工艺。

即在特定的温度和压力条件下，向反应腔室通入工艺气体，在硅片表面进行氧化和淀积处理。

立式炉设备属于批处理设备，每次处理125～141片产品，单次产品的成本高，为确保设备的可靠运行，设备控制系统对各功能部分，如温度、压力、气路、冷却水、运动部件进行监测，确认设备的运行状态是否正常，当任意功能部件出现反馈的数据异常时会自动抛出报警信息提示操作人员，并且所有的报警按照严重等级进行不同的动作处理。

目前立式炉设备在出厂前从人身安全、设备安全和产品安全的角度出发，将机台可提供的报警均预先进行了配置，报警在触发条件满足时均会执行，并且部分报警执行完后回触发硬互锁；比如，一些安全开关的报警，设备的默认配置是当开关报警条件触发后，操作界面提示报警，报警触发关闭特气，停止运动部件的工作等互锁动作，而部分客户则不希望报警触发互锁动作，但是现有的控制系统没有为用户提供配置报警的功能接口，因此如何使报警具备修改或配置的功能是亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种报警配置方法及装置。

为实现本发明的目的而提供一种报警配置方法，所述方法包括以下步骤：

S1：判断设备是否满足报警功能的报警触发条件；若是，执行步骤S2；

S2：判断所述报警功能是否配置为启用；若是，执行步骤S3；若否，执行步骤S4；

S3：进入报警流程；

S4：忽略报警。

优选地，在执行步骤S1之后并且执行步骤S2之前，所述方法还包括步骤S12：

S12：判断报警功能是否设置为可配置；

若是，执行步骤S2；若否：执行步骤S3。

优选地，在执行步骤S1之前，所述方法还包括：

接收上位机发送的配置文件，所述配置文件包括所述报警功能的配置信息；

在所述步骤S2和所述步骤S12中，从所述配置文件中读取所述配置信息，并进行判断。

优选地，所述方法还包括：配置文件修改过程，包括：

接收用户输入的权限信息，并判断所述用户是否具有权限，若是，则允许所述用户使用所述上位机修改所述配置文件。

优选地，所述方法还包括：

当所述用户不具有权限时，允许所述用户使用所述上位机查看所述配置文件。

优选地，所述步骤S3包括以下步骤：

S31：判断所述报警功能是否触发硬互锁；若是，进行互锁处理；若否，执行步骤S32；

S32：判断所述报警功能是否触发工艺菜单；若是，依据所述工艺菜单进行报警处理；若否，执行步骤S33；

S33：提示所述报警功能的内容。

一种报警配置装置，包括：下位机，所述下位机包括：报警触发模块与报警启用模块；

所述报警触发模块用于判断设备是否满足报警功能的报警触发条件，并将判断结果发送给所述报警启用模块；

所述报警启用模块用于在满足报警触发条件时，判断所述报警功能是否配置为启用；若是，进入报警流程；若否，忽略报警。

优选地，所述下位机还包括：报警配置模块；

所述报警配置模块用于在满足报警触发条件时，判断所述报警功能是否设置为可配置；若是，控制所述报警启用模块判断所述报警功能是否配置为启用；若否，进入报警流程。

优选地，还包括：与所述下位机连接的上位机；

所述上位机用于向所述下位机发送配置文件，所述配置文件包括所述报警功能的配置信息；

所述报警启用模块从所述配置文件中读取所述配置信息，以判断所述报警功能是否配置为启用；

所述报警配置模块从所述配置文件中读取所述配置信息，以判断所述报警功能是否设置为可配置。

优选地，所述下位机还用于接收用户输入的权限信息，并判断所述用户是否具有权限，若是，则允许所述用户使用所述上位机修改所述配置文件。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的报警配置方法，在判断设备满足报警功能的报警触发条件后，判断报警功能是否配置为启用，若是，进入报警流程；若否，忽略报警。通过本发明，为操作人员提供了处理报警的接口，可以在报警功能影响工艺时，将报警功能设置为不启用，使工艺恢复为继续运行，保障工艺效率，进一步，提高了设备的灵活性，满足了客户需求。

本发明还提供了一种报警配置装置，包括下位机，下位机还包括报警启用模块，报警启用模块用于在满足报警触发条件时，判断报警功能是否配置为启用，若是，进入报警流程，若否，忽略报警。通过本发明，提供了处理报警的接口，提高了工艺效率，提高了设备的灵活性，满足了客户需求。

附图说明

图1为本发明实施例报警配置方法的第一种流程图；

图2为本发明实施例报警配置方法的第二种流程图；

图3为本发明实施例报警配置方法的第三种流程图；

图4为本发明实施例报警配置装置的一种结构示意图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的报警配置方法及装置进行详细描述。

实施例一

如图1所示为本发明实施例报警配置方法的第一种流程图，包括以下步骤：

步骤S0：开始。

步骤S1：判断设备是否满足报警功能的报警触发条件；若是，执行步骤S2；若否，返回继续执行步骤S1。

步骤S2：判断报警功能是否配置为启用；若是，执行步骤S3；若否，执行步骤S4；

步骤S3：进入报警流程。

步骤S4：忽略报警。

本发明实施例提供的报警配置方法，在设备满足报警功能的报警触发条件后，判断报警功能是否配置为启用，若是，进入报警流程；若否，忽略报警。通过本发明，为操作人员提供了处理报警的接口，可以在报警功能影响工艺时，将报警功能设置为不启用，使工艺恢复为继续运行，保障工艺效率，进一步，提高了设备的灵活性，满足了客户需求。

具体地，在步骤S2中，在本发明的报警配置方法的执行流程之前，首先对各个报警功能进行第一属性配置，第一属性用于设置报警功能启用或不启用，以使用户根据自身需求配置报警功能启用或不启用。比如，用户可根据自身需求，当某一报警功能不影响工艺要求时，将该报警功能设置为不启用，已使工艺能顺利进行；当某一报警功能影响到工艺要求，需要停止工艺时，则将该报警设置为启用。

具体地，步骤S3还包括以下步骤：

步骤S31：判断报警功能是否触发硬互锁；若是，进行互锁处理；若否，执行步骤S32。

步骤S32：判断报警功能是否触发工艺菜单；若是，依据工艺菜单进行报警处理；若否，执行步骤S33。

步骤S33：提示报警功能的内容。

本发明实施例中，硬互锁是指：报警功能可能引起的设备中的部件操作的互锁反应，如设备上安全门开关的报警功能，该报警功能会触发关闭特气，停止运动部件运动等互锁动作。

工艺菜单是指，以报警功能在工艺流程起到的作用进行报警处理；比如，工艺菜单中将所有的报警功能进行划级处理，如分为三级：通知、警告、警告，工艺菜单中按照严重等级进行不同的动作处理。

实施例二

如图2所示为本发明实施例报警配置方法的第二种流程图，包括以下步骤：

步骤100：开始。

步骤101：判断设备是否满足报警功能的报警触发条件；若是，执行步骤102；若否，返回继续执行步骤101。

步骤102：判断报警功能是否设置为可配置；若是，执行步骤103；否则，执行步骤104。

步骤103：判断报警功能是否配置为启用；若是，执行步骤104；若否，执行步骤105。

步骤104：进入报警流程。

步骤105：忽略报警。

本发明实施例提供的报警配置方法，在执行流程之前，首先对各个报警功能进行第一属性与第二属性配置，第二属性为配置第一属性是否可修改的属性。

本发明实施例提供的报警配置方法，为每个报警功能设置一个是否可配置的第二属性，如果报警功能的第二属性设置为可配置，则操作人员可以修改第一属性；如果报警功能的第二属性设置为不可配置，则进入报警流程。通过本实施例，在提供处理报警的接口的同时，保障了报警处理接口的安全性，进一步提高了设备的灵活性，提高了工艺效率。

实施例三

为了便于操作人员对报警功能属性的设置，可以通过配置文件的形式对报警功能进行配置。

如图3所示为本发明实施例报警配置方法的第三种流程图包括以下步骤：

步骤200：开始。

步骤201：接收上位机发送的配置文件，配置文件包括报警功能的配置信息。

具体地，本发明可由下位机实现整个流程的执行，因此，操作人员可以在上位机设置配置文件，并由上位机下发给下位机，以使下位机根据配置文件中的配置信息，确定第一属性与第二属性的配置。

步骤202：从配置文件中读取配置信息，并判断设备是否满足报警功能的报警触发条件；若是，执行步骤203；若否，返回继续执行步骤202。

步骤203：从配置文件中读取配置信息，并判断报警功能是否设置为可配置；若是，执行步骤204；否则，执行步骤205。

步骤204：判断报警功能是否配置为启用；若是，执行步骤205；若否，执行步骤206。

步骤205：进入报警流程。

步骤206：忽略报警。

本发明实施例中，由上位机向下位机下发包括配置信息的配置文件，为下位机提供了判断依据，从而提高了操作人员的操作的便利性。

具体地，如表1所示为报警文件的配置情况：

表1

该报警配置文件示例中，在进行软件设计时，可以设置第一参数用于代表报警功能是否可配置，当第一参数为1时，代表该报警功能可配置；当第一参数为0时，代表该报警功能不可配置；设置参数第二参数用于代表报警是否启用，当第二参数为1时，代表该报警功能启用；当第二参数为0时，代表该报警功能不启用。例如气路压力报警，第一参数＝1，第二参数＝0，则表示气路压力报警是可配置的，且该报警为不启用状态，当气路压力异常时，该报警不会显示到用户界面，只会在下位机中记录，因此，工艺可以继续进行，无需停止。再例如，特气泄漏报警，第一参数＝0，第二参数＝1，则表示特气泄漏报警不可配置，且该报警为启用状态，当发生特气泄漏时，将会按照默认的配置发生报警，该报警会显示到用户界面，以供操作人员处理该异常。

进一步，本发明的另一个实施例中，还可以包括配置文件修改过程，该过程包括：接收用户输入的权限信息，并判断用户是否具有权限，若是，则允许用户使用上位机修改配置文件。若否，则不允许用户使用上位机修改配置文件。需要说明的是，本发明实施例可以由下位机实现，也可以由上位机实现。本发明实施例，保障了用户对配置文件修改的安全性。

具体地，用户输入的权限信息为上位机或下位机授予的具有操作权限的账户或/和密码等，用户具有了权限信息则具有了修改配置文件的权限；否则，用户没有修改配置文件的权限。通过上位机对操作人员进行操作权限的限定，即必须使用授予操作权限的账户登录上位机才可以对报警功能的属性进行修改。

进一步，本发明的另一个实施例中，当用户不具有权限时，允许用户使用上位机查看配置文件，本发明实施例，可以使用户在不具有权限时，也可以查看配置文件的内部，了解报警功能的属性配置情况，为用户提供的便利。

实施例四

针对上述报警配置方法，本发明还提供了一种报警配置装置，该装置包括：下位机；下位机还包括：报警触发模块与报警启用模块。

报警触发模块用于判断设备是否满足报警功能的报警触发条件，并将判断结果发送给报警启用模块。

报警启用模块用于在满足报警触发条件时，判断报警功能是否配置为启用；若是，进入报警流程；若否，忽略报警。本实施例中，报警启用模块为对第一属性进行判断的模块，第一属性用于设置报警功能启用或不启用。

本实施例中，如果报警的配置属性—第一属性设置为启用，则在硬件条件导致报警触发时，报警会按照设定的功能进行相应的处理；如果报警的配置属性设置为不启用，则在硬件条件导致报警触发时，设备直接忽略此报警，按照没有报警处理，下位机会对报警历史进行记录。

本发明实施例提供的报警配置装置，报警启用模块在满足报警触发条件时，判断报警功能是否配置为启用，若是，进入报警流程，若否，忽略报警。通过本发明，提供了处理报警的接口，提高了工艺效率，提高了设备的灵活性，满足了客户需求。

具体地，下位机是直接控制设备获取设备状况的计算机，一般是PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)或单片机之类的计算机。上位机发出的命令首先给下位机，下位机再根据此命令解释成相应时序信号直接控制相应设备。下位机不时读取设备状态数据(该状态数据一般是模拟量)，转化成数字信号反馈给上位机。

进一步，本发明的另一个实施例中，下位机还可以包括：报警配置模块。

报警配置模块用于在满足报警触发条件时，判断报警功能是否设置为可配置；若是，控制报警启用模块判断报警功能是否配置为启用；若否，进入报警流程。具体地，报警配置模块为第二属性进行判断的模块，第二属性为配置第一属性是否可修改的属性。

本实施例中，通过报警配置模块对报警功能是否启用的属性进行管理，为每个报警功能设置一个是否可配置的属性—第二属性。如果报警的配置属性为可配置，则操作人员可以修改报警功能的是否启用的属性——第一属性。如果报警的配置属性设置为不可配置，则设置按照报警功能的报警流程进行处理。

进一步，如图4所示，本发明的另一个实施例中，还包括：与下位机连接的上位机。

上位机用于向下位机发送配置文件，配置文件包括：报警功能的配置信息。

报警启用模块从配置文件中读取配置信息，并判断报警功能是否配置为启用。

报警配置模块从配置文件中读取配置信息，并判断报警功能是否设置为可配置。

本发明实施例提供的报警配置装置，通过上位机向下位机发送具有报警功能配置信息的配置文件，可以使报警启用模块与报警配置模块根据配置文件中读取的配置信息进行判断，为下位机提供了判断依据，从而提高了操作人员的操作的便利性。

具体地，上位机是指可以向下位机直接发出操控命令的计算机，一般是PC(Personal Computer，个人电脑)，PC的屏幕上显示设备的各种信号变化(液压，水位，温度等)。上位机在设备初始上电时，将所有的报警配置以配置文件的形式下发到下位机中，为用户提供一种默认配置。如果用户不修改，则设备报警按照此配置工作。进一步，为用户提供两种修改报警配置的方式：①是在设备上电之前修改配置文件后将整个配置文件下发到下位机中即时生效；②是在设备上电之前或设备运行工艺菜单的过程中，用户将处于运行状态的设备进行暂停后，手动修改报警的配置属性并应用，即时生效。

进一步，本发明的另一个实施例中，下位机还用于接收用户输入的权限信息，并判断用户是否具有权限，若是，则允许用户使用上位机修改配置文件。

需要说明的是，本发明的另一个实施例中，还可以由上位机接收用户输入的权限信息，并判断用户是否具有权限，若是，则上位机允许用户修改配置文件。

进一步，上位机可以具有第一操作界面，下位机具有第二操作界面，具有权限的用户可以在第一操作界面或第二操作界面对报警的配置属性进行修改；不具备操作权限的操作人员，只能从第一操作界面或第二操作界面查看报警的配置属性。本实施例中配置属性即为前述的第一属性与第二属性。

本发明实施例提供的报警配置装置，通过上位机或下位机对用户的权限信息进行判断，保障了有限权用户的权益。

综上所述，本发明实施例提供的报警配置方法及装置，在保证设备安全性的同时，提高设备的灵活性，满足用户需求；为客户提供了紧急处理报警的接口，如设备因报警而导致工艺停滞，可通过将报警配置为不启用后，将工艺恢复为继续运行，以提高工艺效率。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种报警配置方法，包括以下步骤：

S1：判断报警功能的报警触发条件是否被满足；如所述报警功能的所述报警触发条件被满足，则执行步骤S2；

S2：判断所述报警功能是否配置为启用；如所述报警功能配置为启用，则执行步骤S3；如所述报警功能不配置为启用，则执行步骤S4；

S3：进入报警流程；

S4：忽略报警，

其中在执行步骤S1之后并且在执行步骤S2之前，所述方法还包括步骤S12：

S12：判断所述报警功能是否设置为可配置；如所述报警功能设置为可配置，则执行步骤S2；如所述报警功能不设置为可配置，则执行步骤S3，

其中在执行步骤S1之前，所述方法还包括接收上位机发送的配置文件，所述配置文件包括所述报警功能的配置信息，所述配置信息包括第一属性和第二属性，所述第一属性表示所述报警功能是否配置为启用，所述第二属性表示所述第一属性是否配置为可修改，并且

其中在步骤S2和步骤S12中，从所述配置文件中读取所述配置信息，并根据所述第一属性判断所述报警功能是否配置为启用、根据所述第二属性判断所述报警功能是否设置为可配置。

2.根据权利要求1所述的报警配置方法，其中所述方法还包括配置文件修改过程，所述配置文件修改过程包括：

接收用户输入的权限信息，并判断所述用户是否具有权限；如所述用户具有权限，则允许所述用户使用所述上位机修改所述配置文件中的所述第一属性。

3.根据权利要求2所述的报警配置方法，其中所述方法还包括：

当所述用户不具有权限时，允许所述用户使用所述上位机查看所述配置文件。

4.根据权利要求1-3任一项所述的报警配置方法，其中步骤S3还包括以下步骤：

S31：判断所述报警功能是否触发硬互锁；如所述报警功能触发硬互锁，则进行互锁处理；如所述报警功能不触发硬互锁，则执行步骤S32；

S32：判断所述报警功能是否触发工艺菜单；如所述报警功能触发工艺菜单，则依据所述工艺菜单进行报警处理；如所述报警功能不触发工艺菜单，则执行步骤S33；

S33：提示所述报警功能的内容。

5.一种报警配置装置，包括下位机，所述下位机包括报警触发模块与报警启用模块；

所述报警触发模块用于判断报警功能的报警触发条件是否被满足，并将判断结果发送给所述报警启用模块；

所述报警启用模块用于在所述报警功能的所述报警触发条件被满足时判断所述报警功能是否配置为启用；如所述报警功能配置为启用，则进入报警流程；如所述报警功能不配置为启用，则忽略报警，

其中所述下位机还包括报警配置模块，所述报警配置模块用于在所述报警功能的所述报警触发条件被满足时判断所述报警功能是否设置为可配置；如所述报警功能设置为可配置，则控制所述报警启用模块判断所述报警功能是否配置为启用；如所述报警功能不设置为可配置，则进入报警流程，

其中所述报警配置装置还包括与所述下位机连接的上位机，所述上位机用于向所述下位机发送配置文件，所述配置文件包括所述报警功能的配置信息；所述配置信息包括第一属性和第二属性，所述第一属性表示所述报警功能是否配置为启用，所述第二属性表示所述第一属性是否配置为可修改，并且

其中所述报警启用模块从所述配置文件中读取所述配置信息，并根据所述第一属性判断所述报警功能是否配置为启用，并且所述报警配置模块从所述配置文件中读取所述配置信息，并根据所述第二属性判断所述报警功能是否设置为可配置。

6.根据权利要求5所述的报警配置装置，其中所述下位机还用于接收用户输入的权限信息，并判断所述用户是否具有权限；如所述用户具有权限，则允许所述用户使用所述上位机修改所述配置文件中的所述第一属性。