CN103794536A - 半导体设备运动传输模块的异常处理方法 - Google Patents

半导体设备运动传输模块的异常处理方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种半导体运动传输模块的异常处理方法，用于在作业运行期间捕捉并处理所述半导体设备中各个运动传输模块所发生的异常情况，所述异常处理方法包括捕捉所述作业运行期间的异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块；提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；以及依据触发信号选择一种所述处理方式对该异常情况进行处理。本发明还提供了一种异常处理系统，提高了对于作业期间异常情况的捕捉和处理效率。

Description

半导体设备运动传输模块的异常处理方法
技术领域
本发明涉及半导体设备运动传输模块设备控制技术领域，特别涉及一种半导体设备传输模块的异常处理方法。
背景技术
运动传输模块，是指半导体设备中用于传输物料的模块。在设备运行作业期间，运动传输模块与运动相关的部件会因为长期使用导致精度失准以及命令的接受或反馈错误，从而使得传输作业终止。这时需要软件控制系统对造成作业终止的运动部件的异常进行捕捉，并及时发布，让用户了解异常的情况，并提供一定的处理方式。
由于不可预见传输模块的异常情况会如何发生，以及因为什么原因发生，因此，该异常的捕捉和相应的处理变得较为困难。
发明内容
本发明的主要目的旨在提供一种能够迅速捕捉运动传输模块的异常情况并提供相应处理方式的异常处理方法，以提高传输作业即使因异常情况的发生而终止，在相应处理后仍能继续进行的可能性。
为达成上述目的，本发明提供一种半导体设备运动传输模块的异常处理方法，用于在作业运行期间捕捉并处理所述半导体设备中各个运动传输模块所发生的异常情况，所述异常处理方法包括以下步骤：
S1：捕捉所述作业运行期间的异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块；
S2：提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；以及
S3：依据触发信号选择一种所述处理方式对该异常情况进行处理。
优选地，步骤S3中根据该异常情况的类型提供其对应的至少一种处理方式。
优选地，所述异常情况的类型包括：超时，动作执行失败和命令失效。
优选地，所述异常情况的类型为超时或动作执行失败时，其对应的至少一种处理方式包括重试和终止；所述异常情况的类型为命令失效时，其对应的至少一种处理方式为清除。
优选地，步骤S1中当捕捉到该异常情况时暂停所述作业的运行进程。
优选地，在步骤S1之前，还包括：存储每一个所述运动传输模块在作业运行期间可能发生的异常情况；步骤S2中，根据该存储的信息捕捉所述异常情况并定位发生所述异常情况的运动传输模块。
优选地，在步骤S2中，通过一显示界面提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；在步骤S3中通过该显示界面接收所述触发信号以选择一种所述处理方式对该异常情况进行处理。
本发明还提供了一种半导体设备运动传输模块的异常处理系统，用于在作业运行期间捕捉并处理所述半导体设备中各个运动传输模块所发生的异常情况。所述异常处理系统包括异常处理模块，其包括捕捉定位子模块、信息提供子模块以及处理子模块。其中，捕捉定位子模块用于捕捉所述作业运行期间的异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块；信息提供子模块用于提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；处理子模块用于用于接收一触发信号，并根据该触发信号选择一种所述处理方式对该异常情况进行处理。
优选地，所述信息提供子模块根据该异常情况的类型提供该异常情况对应的至少一种处理方式。
优选地，所述异常情况的类型包括：超时，动作执行失败和命令失效。
优选地，所述异常情况的类型为超时或动作执行失败时，其对应的至少一种处理方式包括重试和终止作业；所述异常情况的类型为命令失效时，其对应的至少一种处理方式为清除。
优选地，所述异常处理模块在所述捕捉定位子模块捕捉到所述异常情况时暂停所述作业的运行进程。
优选地，所述异常处理系统还包括一数据库，用于存储每一个所述运动传输模块在作业运行期间可能发生的异常情况信息；所述捕捉定位子模块根据该数据库所存储的信息捕捉所述异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块。
优选地，所述异常处理系统还包括一显示界面，其与所述信息提供子模块及所述处理子模块相连，所述信息提供子模块通过一显示界面提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；所述处理子模块通过该显示界面接收所述触发信号。
本发明所提出的半导体设备运动传输模块的异常处理方法和系统，能够对传输作业运行中各个运动传输模块的异常情况，如超时、动作失败和命令失效等进行捕捉并提供针对性的处理方式供使用者选择，提高了对运输作业中运动传输模块异常情况的处理效率。
附图说明
图1为本发明半导体运动传输模块的异常处理系统的方块图；
图2为本发明半导体运动传输模块的异常处理方法的流程图；
图3为本发明一实施例半导体运动传输模块的异常处理方法的流程图。
具体实施方式
为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
图1为本发明半导体运动传输模块的异常处理系统的方块图；图2为本发明半导体运动传输模块的异常处理方法的流程图，以下将结合图1和图2对本发明进行详细的说明。
半导体设备运动传输模块的异常处理系统包括异常处理模块10，该异常处理模块包括捕捉定位子模块11，信息提供子模块12和处理子模块13。其中，捕捉定位子模块11用于执行步骤S1，即捕捉运输作业的运行期间所发生的异常情况，并定位发生该异常情况的运动传输模块。信息提供子模块12与捕捉定位子模块11相连，用于执行步骤S2，即提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式。处理子模块13用于执行步骤S3，即接收一触发信号，并根据该触发信号选择一种处理方式对异常情况进行处理。较佳的，为了使异常处理系统能够捕捉到所有的运动传输模块在作业运行期间的异常情况，本实施例中异常处理系统还包括一数据库30，在作业开始之前，该数据库中就已经存储了每一个运动传输模块的作业运行期间可能发生的异常情况。捕捉定位子模块11与该数据库相连，可根据该数据库30中存储的信息来捕捉是否有异常情况发生，以及在捕捉到异常情况时能够迅速找到相应的运动传输模块。
请参考图3，其所示为本发明一具体实施例的异常情况的处理方式的流程示意图。当传输作业期间，各运动传输模块运送物料，例如晶片。若这一期间内未发生任何异常情况，那么运输作业正常完成。一旦捕捉到异常情况，则进入异常处理。具体来说，捕捉定位子模块11捕捉异常情况并能够迅速定位到发生该异常情况的具体的运动传输模块。此外，异常处理模块还可包括作业控制模块，当捕捉到异常情况时，通过该作业控制模块将传输作业暂停（即作业进程挂起）。信息提供子模块12将发生异常情况的运动传输模块的异常情况信息以及针对该异常情况可以采取的所有的处理方式都提供给操作者。异常情况的信息可以包括异常情况的ID、名称、具体描述信息、发生的位置、时间等。其中，异常情况的处理方式根据异常情况的类型而有所不同。在本实施例中，异常情况的类型可以包括以下三类：超时（time out）、动作执行失败（activity failure）以及命令失效（command failure）。“超时”以及“动作执行失败”这类异常情况，通常是指运动传输模块在运动期间，相关的动作指令已经正确发送并收到相关的反馈信息且反馈信息正确，但因为超时或某些因素导致动作无法成功完成；“命令失效”这种异常情况是指运动传输模块在运动期间，相关的动作指令已经正确发送但是收到了错误的反馈信息，从而导致动作无法执行。对于“超时”和“动作执行失败”这两种异常情况，信息提供子模块12均提供重试（Retry）和终止（Abort）两种处理方式。其中，处理方式“重试”是指当前发生异常情况的运动传输模块把正在执行的动作重新执行一遍。如果重试执行后，该动作能够成功完成，那么异常处理模块可控制暂停的作业回到执行状态，并继续接下来的传输运作进程。处理方式“终止”是指终止当前发生异常情况的运动传输模块正在执行的动作。如果“终止”执行后，运动传输模块正在执行的动作终止，同时暂停的作业进程也会被终止，然后可由操作者来排查设备情况。对于“命令失效”这种异常情况，由于其通常涉及到硬件设备本身的故障等问题，在软件控制层次上已无法彻底解决，故而，信息提供子模块所提供的处理方式只有“清除”（clear）这一种，即清除发送至当前运动传输模块的动作指令，由于此时作业进程仍处于暂停状态，因此还需要配合操作者手动终止作业进程，之后对运动传输模块的硬件设备进行排查。较佳的，这些异常情况信息和对应的处理方式都是通过与异常处理模块相连的显示界面来显示，该显示界面可以是触控屏幕。例如当显示的是“超时”或“动作执行失败”的异常情况信息时，对应的处理方式有“重试”和“终止”两种，若显示的是“命令失效”的异常情况信息时，显示的处理方式只有“清除”一种。当显示界面显示出异常情况信息和对应的处理方式后，可由操作者根据异常情况信息在显示界面上选择其认为较为合适的处理方式，由此发出一触发信号。由于信息显示子模块已经将针对异常情况可采用的处理方式提供给操作者，操作者无需再进行分析判断，提高了处理效率。另一方面，信息显示子模块提供的可采用的处理方式并不限于一种，增加了操作者的可选择性。处理子模块也与显示界面相连，当操作者通过按钮或触摸等方式选择显示界面上的一种处理方式时，发出了触发信号，处理子模块接收该触发信号并根据其选择对应的处理方式进行处理。
综上所述，本发明的半导体设备运动传输模块的异常处理方法和异常处理系统，通过异常处理模块对传输作业运行期间各个运动传输模块的异常情况，如超时、动作失败和命令失效等进行捕捉并提供针对性的处理方式供使用者选择，提高了对运输作业中运动传输模块异常情况的处理效率；此外，本发明通过在发生异常情况时将作业暂停而非终止，能够提供在处理完毕后继续运行作业的可能性。
虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然所述诸多实施例仅为了便于说明而举例而已，并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，本发明所主张的保护范围应以权利要求书所述为准。

Claims (14)

1.一种半导体设备的异常处理方法，用于在作业运行期间捕捉并处理所述半导体设备中各个运动传输模块所发生的异常情况，其特征在于，包括以下步骤：
S1：捕捉所述作业运行期间的异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块；
S2：提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；以及
S3：依据触发信号选择一种所述处理方式对该异常情况进行处理。
2.根据权利要求1所述的异常处理方法，其特征在于，步骤S3中根据该异常情况的类型提供其对应的至少一种处理方式。
3.根据权利要求2所述的异常处理方法，其特征在于，所述异常情况的类型包括：超时，动作执行失败和命令失效。
4.根据权利要求3所述的异常处理方法，其特征在于，所述异常情况的类型为超时或动作执行失败时，其对应的至少一种处理方式包括重试和终止；所述异常情况的类型为命令失效时，其对应的至少一种处理方式为清除。
5.根据权利要求1所述的异常处理方法，其特征在于，步骤S1中当捕捉到该异常情况时暂停所述作业的运行进程。
6.根据权利要求1所述的异常处理方法，其特征在于，在步骤S1之前，还包括：存储每一个所述运动传输模块在作业运行期间可能发生的异常情况；
步骤S2中，根据该存储的信息捕捉所述异常情况并定位发生所述异常情况的运动传输模块。
7.根据权利要求1所述的异常处理方法，其特征在于，在步骤S2中，通过一显示界面提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；在步骤S3中通过该显示界面接收所述触发信号以选择一种所述处理方式对该异常情况进行处理。
8.一种半导体设备运动传输模块的异常处理系统，用于在作业运行期间捕捉并处理所述半导体设备中各个运动传输模块所发生的异常情况，其特征在于，所述异常处理系统包括异常处理模块，其包括：
捕捉定位子模块，用于捕捉所述作业运行期间的异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块；
信息提供子模块，用于提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；以及
处理子模块，用于接收一触发信号，并根据该触发信号选择一种所述处理方式对该异常情况进行处理。
9.根据权利要求8所述的异常处理系统，其特征在于，所述信息提供子模块根据该异常情况的类型提供该异常情况对应的至少一种处理方式。
10.根据权利要求9所述的异常处理系统，其特征在于，所述异常情况的类型包括：超时，动作执行失败和命令失效。
11.根据权利要求10所述的异常处理系统，其特征在于，所述异常情况的类型为超时或动作执行失败时，其对应的至少一种处理方式包括重试和终止作业；所述异常情况的类型为命令失效时，其对应的至少一种处理方式为清除。
12.根据权利要求8所述的异常处理系统，其特征在于，所述异常处理模块在所述捕捉定位子模块捕捉到所述异常情况时暂停所述作业的运行进程。
13.根据权利要求8所述的异常处理系统，其特征在于，还包括一数据库，用于存储每一个所述运动传输模块在作业运行期间可能发生的异常情况信息；所述捕捉定位子模块根据该数据库所存储的信息捕捉所述异常情况并定位发生该异常情况的运动传输模块。
14.根据权利要求8所述的异常处理系统，其特征在于，还包括一显示界面，其与所述信息提供子模块及所述处理子模块相连，所述信息提供子模块通过一显示界面提供该运动传输模块的异常情况信息以及对应于该异常情况的至少一种处理方式；所述处理子模块通过该显示界面接收所述触发信号。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113651059A (zh) * 2021-07-28 2021-11-16 北京旷视机器人技术有限公司 异常处理方法、装置、物料传输系统和机器人

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1051452A (ja) * 1996-07-29 1998-02-20 Nec Corp スイッチング装置を介した接続状態チェック方法
CN101937372A (zh) * 2010-08-30 2011-01-05 北京数码大方科技有限公司 异常处理的方法及装置
CN101964922A (zh) * 2009-07-23 2011-02-02 中兴通讯股份有限公司 异常情况捕捉方法及装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1051452A (ja) * 1996-07-29 1998-02-20 Nec Corp スイッチング装置を介した接続状態チェック方法
CN101964922A (zh) * 2009-07-23 2011-02-02 中兴通讯股份有限公司 异常情况捕捉方法及装置
CN101937372A (zh) * 2010-08-30 2011-01-05 北京数码大方科技有限公司 异常处理的方法及装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113651059A (zh) * 2021-07-28 2021-11-16 北京旷视机器人技术有限公司 异常处理方法、装置、物料传输系统和机器人

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