CN103776602A - 一种真空对盒系统的检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种真空对盒系统的检测装置。该真空对盒系统的检测装置包括：真空对盒腔室，其连通多支真空管路；供给气源，其与真空对盒腔室连通；液晶分离排出装置，其与真空管路相连通，用于将残余在真空管路中的液晶排出；管路检测装置，其用于采集真空管道连接处的气源量，判断真空管路是否发生泄漏。本发明所提供的真空对盒系统的检测装置，包括液晶分离排出装置和管路检测装置，可有效将残余在真空管路中的液晶分离出来，提高真空腔中真空度及安全性，另外，可有效检测出真空管路发生的微漏，防止微漏，提高检测效率，进而增强对盒效率。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种真空对盒系统的检测装置。
背景技术
在液晶面板制作工艺中，真空贴合工艺是整个工艺过程中的重要步骤，其具体操作包括在密闭的真空腔室中，通过上定盘和下定盘分别吸附阵列基板和彩膜基板，并且上定盘和下定盘相向移动，将阵列基板和彩膜基板压合在一起从而形成液晶面板。
而真空对盒机的真空度对产品的品质及设备的稼动率都会产生较大的影响。目前真空对盒设备的真空度由简单的真空表来检测，这样当真空管道发生微漏，或是真空泵与真空管道发生泄漏时，无法正确感知该问题出自哪里以及无法判断泄漏对象，导致因真空泄漏进而造成大量的损失。
发明内容
（一）要解决的技术问题
本发明的目的在于提供一种真空对盒系统的检测装置，以克服现有技术中对真空对盒系统的真空度检测不可靠等问题。
（二）技术方案
为了达到上述目的，本发明提供一种真空对盒系统的检测装置，包括：真空对盒腔室，其连通多支真空管路；
供给气源，其与真空对盒腔室连通；
液晶分离排出装置，其与真空管路相连通，用于将残余在真空管路中的液晶排出；
管路检测装置，其用于采集真空管道连接处的气源量，判断真空管路是否发生泄漏。
优选地，所述供给气源为氦气或氮气。
优选地，所述液晶分离排出装置包括冷凝泵、蠕动泵，所述冷凝泵用于将真空管道中混有液晶的气体混合物进行液化处理，液化后的混合液体通过蠕动泵分离作用将液晶分离出来。
优选地，还包括液晶回收装置，用于回收分离后的液晶。
优选地，还包括隔膜泵和过滤泵，所述隔膜泵与冷凝泵连通，所述过滤泵与隔膜泵连通，液化后的混合液体通过隔膜泵和过滤泵的作用将气体分离开来。
优选地，还包括气体回收装置，用于回收分离后的气体。
优选地，所述管路检测装置为氦气质谱检漏仪，所述供给气源充入真空管路的气体为氦气。
优选地，还包括多个采样头，所述氦气质谱检漏仪通过采样头作用于多支真空管路的连接处。
优选地，所述真空对盒腔室还连接干泵和分子泵，用于对真空对盒腔室进行抽真空，其抽真空的量由真空压强控制装置来进行控制。
优选地，还包括真空度在线检测装置，所述真空度在线检测装置包括用于检测真空对盒腔室中的真空度的检测单元，以及用于对所述检测单元检测到的数据进行计算处理的计算单元。
优选地，所述计算单元包括微控制器，所述微控制器连接通讯电路和电源电路，所述检测单元通过定流电路与所述微控制器连接，所述检测单元通过定流电路与所述微控制器连接；所述检测单元依次通过电流采样电路、第一A/D转换电路与所述微控制器连接；所述检测单元还依次通过差分放大电路、第二A/D转换电路与微控制器连接；所述检测单元检测到的数据经差分放大电路放大后由第二A/D转换电路转换为微控制器可识别的数字信号，微控制器通过检测数据与真空度之间的关系算法计算真空度值，获取真空装置真空腔的真空度，并将计算出的真空度数据进行远程传输，实时检测。
优选地，所述微控制器还连接有系统指示灯，当真空对盒腔室中的真空度低于设定值时，提示报警。
（三）有益效果
本发明所提供的真空对盒系统的检测装置，包括液晶分离排出装置和管路检测装置，可有效将残余在真空管路中的液晶分离出来，提高真空腔中真空度及安全性，另外，可有效检测出真空管路发生的微漏，防止微漏，提高检测效率，进而增强对盒效率。
附图说明
图1是本发明实施例真空对盒系统的检测装置示意图。
其中：
1：真空对盒腔室；2：真空管路；3：供给气源；4：冷凝泵；5：蠕动泵；6：液晶回收装置；7：隔膜泵；8：过滤泵；9：气体回收装置；10：氦气质谱检漏仪；11：干泵；12：分子泵；13：真空压强控制装置。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式做进一步描述。以下实施例仅用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1所示，本发明实施例提供一种真空对盒系统的检测装置，包括：真空对盒腔室1，其连通多支真空管路2；
供给气源3，其与真空对盒腔室1连通；
液晶分离排出装置，其与真空管路2相连通，用于将残余在真空管路2中的液晶排出；
管路检测装置，其用于采集真空管道2连接处的气源量，判断真空管路是否发生泄漏。
本发明所提供的真空对盒系统的检测装置，包括液晶分离排出装置和管路检测装置，可有效将残余在真空管路中的液晶分离出来，提高真空腔中真空度及安全性，另外，可有效检测出真空管路发生的微漏，提高检测效率，进而增强对盒效率。
该检测装置中的供给气源可以为氦气或氮气。
其中，该液晶分离排出装置包括冷凝泵4、蠕动泵5和液晶回收装置6，所述冷凝泵4用于将真空管道中混有液晶的气体混合物进行液化处理，液化后的混合液体通过蠕动泵5分离作用将液晶分离出来，分离出来的液晶经过液晶回收装置6进行回收。
其中，该检测装置还包括隔膜泵7和过滤泵8，所述隔膜泵7与冷凝泵4连通，所述过滤泵7与隔膜泵8连通，液化后的混合液体通过隔膜泵7和过滤泵8的作用将气体分离开来，通过气体回收装置9将该气体进行回收再利用。
该管路检测装置采用氦气质谱检漏仪10，所述供给气源充入真空管路的气体为氦气。所述氦气质谱检漏仪通过采样头作用于多支真空管路的连接处，对真空管路连接处的气体量进行检测，若检测到该连接处存在气体量，则说明该处发生了泄漏。
另外，该真空对盒腔室1还连接干泵11和分子泵12，该干泵11分子泵12共同作用对真空对盒腔室1进行抽真空，其抽真空的量由真空压强控制装置13来进行控制。
该装置还包括：真空度在线检测装置，包括用于检测真空对盒腔室的真空度的检测单元以及用于对所述检测单元检测到的数据进行计算处理的计算单元。
所述计算单元包括微控制器，所述微控制器连接有通讯电路和电源电路；所述检测单元通过定流电路与所述微控制器连接；所述检测单元依次通过电流采样电路、第一A/D转换电路与所述微控制器连接；所述检测单元还依次通过差分放大电路、第二A/D转换电路与微控制器连接。所述检测单元检测数据经差分放大电路放大后由第二A/D转换电路转换为微控制器可识别的数字信号，微控制器通过检测数据与真空度之间的关系算法计算真空度值，准确获取真空装置真空腔的真空度，并将计算的真空度数据进行远程传输，便于实时检测。其中，电源电路为DC/DC电源，提供5V的工作电压。所述通讯电路与微控制器之间连接有通讯隔离电路，提高抗干扰性能。所述通讯电路为数据通讯总线，优选常用的数据工业通讯总线。所述微控制器还连接有系统指示灯，当真空度低于设定值时，可以提示报警。所述定流电路连接有电压基准电路，为定流电路提供工作所需的24V基准电压，保证定流电路工作的稳定性可靠性。所述微控制器还连接有报警开关。其中，所述各个电路模块均为现有的成熟电路元件、芯片或集成电路构成。所述真空度检测装置包括真空度检测装置基体，所述真空度检测装置基体上设有用于检测真空装置的真空度的真空检测装置。具体的，所述检测单元为真空控制器。当然也可以是具有在线真空检测特性的其他元件。另外，该装置还包括密封圈基体，其中密封圈基体为陶瓷真空控制阀，所述陶瓷真空控制阀下方连接所述真空控制器，所述真空控制器与内嵌于所述陶瓷真空控制阀内的第一传输信号线连接，所述第一传输信号线两端伸出于所述陶瓷真空控制阀上下两端。具体的，所述第一传输信号线共有四根，四根传输信号线伸出于所述陶瓷真空控制阀下端的部分连接所述真空控制器。所述陶瓷真空控制阀下方还设有用于检测真空装置内的真空的真空传感器，本实施例中真空传感器采用真空压力表。所述真空压力表与内嵌于所述陶瓷真空控制阀内的第二传输信号线连接。所述第二传输信号线共有两根，两根导线伸出于所述陶瓷真空控制阀下端的部分连接所述真空传感器。其中，所述陶瓷真空控制阀为圆柱状，其外侧表面设有密封槽。所述陶瓷真空控制阀上部设有圆形凸台，所述第一传输信号线和第二传输信号线位于所述圆形凸台内并伸出于该圆形凸台。所述圆形凸台上嵌设有接线保护罩。具体的，陶瓷真空控制阀作为真空检测的载体，能适应高、低温环境，且在检测数据传输过程中是绝缘的，对数据信号无干扰。圆形凸台作为真空检测的真空度检测装置工作时安装、拆卸连接件，内嵌的第一传输信号线和第二传输信号线用作检测数据传输的导体，通过第一传输信号线将真空装置内部真空数据导出，通过第二传输信号线将真空装置内部真空数据导出，由所述检测模块对导出数据进行处理获得真空值，采集的真空数据可以用来修正真空值。陶瓷真空控阀与内嵌的第一传输信号线和第二传输信号线采用现有的陶瓷与金属融合技术密封处理，使两材质间无漏气现象，确保真空塞的气密性。真空控制器为检测真空值的检测元件，处于真空装置真空腔中用作检测真空值，并通过内嵌的第一传输信号线将真空值数据导出。真空压力表为检测真空的检测元件，处于真空腔中，用作检测真空装置真空腔的真空，并通过内嵌的第二传输信号线将检测真空数据导出，进而获得真空腔真空数据。处于真空腔中的真空控制器和真空压力表上均设有元件保护罩。真空度检测装置的主体采用陶瓷材料，以适应超低温、高温的工作环境，并对信号实现无干扰采集和导出。该真空度检测装置是安装在预先焊接到真空装置外壁上的真空抽口上的。抽完真空后在真空环境下利用圆形凸台将该真空度检测装置安装到真空抽口上，抽后真空装置内外形成负压差，利用空气对真空度检测装置施加的大气压力，使检测单元密封安装于真空接口上。安装时通过在陶瓷真空控制阀上的密封槽内分别安装密封圈及在陶瓷真空控制阀法兰边下设置密封圈进行三层加强密封。所述密封圈采用为“O”形硅橡胶密封圈。该真空在线检测装置上电工作后，微控制器通过定流电路校准真空度检测装置中真空控制器的工作电流。真空控制器利用气体分子压力传导现象获取当前真空腔的压力电势，微控制器通过压力电势与真空度之间的正比关系算法获取当前真空腔的真空度，并通过通讯电路将该真空度传输至管理系统。所述定流电路与所述真空控制器相连传输信号线连接，所述电流采样电路通过第一A/D采样转换电路与所述微控制器连接，用于实时检测检测单元加压力电流。所述差分放大电路连接检测单元中的真空控制器检测端及真空传感器端，差分放大电路通过第二A/D采样转换电路与所述微控制器连接，用于检测真空控制器所获取的压力电势和真空装置内的真空值，即通过真空度检测装置内部的真空控制器进行数据采集。所述检测数据经差分放大电路放大后由第二A/D转换电路转换为微控制器可识别的数字信号，微控制器通过检测数据与真空度之间的关系算法计算真空度值，采集的真空数据可以用来修正真空度值。微控制器可将计算的真空度数据直接通过数据线进行远程传输，便于实时检测。
下面具体描述一下该检测装置的工作原理。
当通过真空度在线检测装置检测出该真空对盒腔室1中的真空度发生变化时，首先可以先检查真空腔室中是否存在残余液晶影响了该真空管路和真空对盒腔室中的真空度。
具体操作如下：向真空对盒腔室1中通入氦气（或者是氮气），该氦气从真空对盒腔室1进入到真空管路2中，若真空管路2中存在残余液晶，则该氦气可连带真空管路2中残留的液晶一起进入到冷凝泵4中，该冷凝泵4将混有液晶的气体混合物进行冷却液化，液化后的混合液体可通过蠕动泵5的分离作用将液晶分离出来，这样，便可以非常便捷地将液晶从真空管路2中排出。而余下的氦气则可通过隔膜泵7和过滤泵8分离出来，以便后续回收再利用。
将残余液晶排出之后再次检测该真空对盒腔室1中的真空度，若真空度没有任何恢复，或者恢复量非常小时，则要考虑真空管路2（主要指真空管路2的连接处）是否发生泄漏。
具体操作如下，将氦气再次充入真空对盒腔室1中，真空对盒腔室1中的氦气充满多个真空管路2支路，将采样头连接在各个真空管路2的连接处，通过氦气质谱检漏仪10对真空管路2连接位置处的氦气含量进行检测，当检测出该连接位置处具有氦气含量，则说明该位置处已经发生了泄漏，则接下来需要进行管路维修。
本发明所提供的真空对盒系统的检测装置，包括液晶分离排出装置和管路检测装置，可有效将残余在真空管路中的液晶分离出来，提高真空腔中真空度及安全性，另外，可有效检测出真空管路发生的微漏，防止微漏，提高检测效率，进而增强对盒效率。
以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的保护范畴。
Claims (12)
1.一种真空对盒系统的检测装置，其特征在于，包括：
真空对盒腔室，其连通多支真空管路；
供给气源，其与真空对盒腔室连通；
液晶分离排出装置，其与真空管路相连通，用于将残余在真空管路中的液晶排出；
管路检测装置，其用于采集真空管道连接处的气源量，判断真空管路是否发生泄漏。
2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述供给气源为氦气或氮气。
3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述液晶分离排出装置包括冷凝泵、蠕动泵，所述冷凝泵用于将真空管道中混有液晶的气体混合物进行液化处理，液化后的混合液体通过蠕动泵分离作用将液晶分离出来。
4.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述液晶分离排出装置还包括液晶回收装置，用于回收分离后的液晶。
5.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括隔膜泵和过滤泵，所述隔膜泵与冷凝泵连通，所述过滤泵与隔膜泵连通，液化后的混合液体通过隔膜泵和过滤泵的作用将气体分离开来。
6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括气体回收装置，用于回收分离后的气体。
7.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述管路检测装置为氦气质谱检漏仪，所述供给气源充入真空管路的气体为氦气。
8.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括多个采样头，所述氦气质谱检漏仪通过采样头作用于多支真空管路的连接处。
9.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述真空对盒腔室还连接干泵和分子泵，用于对真空对盒腔室进行抽真空，其抽真空的量由真空压强控制装置来进行控制。
10.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括真空度在线检测装置，所述真空度在线检测装置包括用于检测真空对盒腔室中的真空度的检测单元，以及用于对所述检测单元检测到的数据进行计算处理的计算单元。
11.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述计算单元包括微控制器，所述微控制器连接通讯电路和电源电路，所述检测单元通过定流电路与所述微控制器连接，所述检测单元通过定流电路与所述微控制器连接；所述检测单元依次通过电流采样电路、第一A/D转换电路与所述微控制器连接；所述检测单元还依次通过差分放大电路、第二A/D转换电路与微控制器连接；所述检测单元检测到的数据经差分放大电路放大后由第二A/D转换电路转换为微控制器可识别的数字信号，微控制器通过检测数据与真空度之间的关系算法计算真空度值，获取真空装置真空腔的真空度，并将计算出的真空度数据进行远程传输，实时检测。
12.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述微控制器还连接有系统指示灯，当真空对盒腔室中的真空度低于设定值时，提示报警。
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