CN103771690A - 一种大口径石英管的生产方法及连熔炉 - Google Patents
一种大口径石英管的生产方法及连熔炉 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103771690A CN103771690A CN201410063837.0A CN201410063837A CN103771690A CN 103771690 A CN103771690 A CN 103771690A CN 201410063837 A CN201410063837 A CN 201410063837A CN 103771690 A CN103771690 A CN 103771690A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- crucible
- upper cover
- feed liquid
- quartz
- production method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
一种大口径石英管的生产方法,将石英砂原料投入到连熔炉坩锅中,通过上盖将坩锅降到最低,通电熔融成料液,料液高温热沉淀后通过排气孔排出气体杂质和料液杂质,通过上盖提升坩锅,料液进入成型器料台进行成型,同时连续向坩锅内补充原料,通过牵引机向下拉制出石英玻璃母管,将石英玻璃母管输入到二次成型机中进行散步扩管,扩成Φ520±0.1mm、壁厚5mm以上的大口径玻璃石英管,最后,将扩管后的石英玻璃管依次进行两端废料切除、酸洗、超声波清洗、退火处理。本发明通过设上盖和下盖,根据需要生产不同壁厚的石英管;通过设四层保温层,使得连熔炉内的热量散失少,保证料液的良好流动性;通过设扩散器,保证了良好的持续加料状况。
Description
技术领域
本发明涉及一种石英管生产工艺,特别涉及一种大口径石英管的生产方法及连熔炉。
背景技术
现有石英管生产工艺过程中,普遍出现了拉制直径为300mm-500mm、壁厚5mm以上的各种不同规格的大口径或超大口径的石英管,生产以上所述的大口径或超大口径石英管对设备的要求较高,且生产出的石英管质量不佳,生产速度较慢,能耗也较高,现有生产装备不能较全面地满足大口径石英管的市场需求和技术需求,同时,现有石英管生产用连熔炉会经常出现石英砂堵住进料口,致使出现断料的情况,且杂质排除不净,这样就会降低生产效率和产品质量。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种设计合理,使用方便,提高成型速度,保证成型质量的大口径石英管生产方法。
本发明所要解决的另一技术问题是针对现有技术的不足,提供一种设计合理,可实现良好的连续进料,调整石英管管壁厚薄及节能的连熔炉。
本发明所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的,本发明是一种大口径石英管的生产方法,其特征点是,
(1)将纯度为99.998%的石英砂原料投入到连熔炉坩锅中,调节连熔炉的上盖,将坩锅降到最低位置,然后进行熔炼,炉内的温度保持在2000℃~2300℃,经通电熔融的石英料液高温热沉淀后,通过排气孔排出气体杂质和料液杂质后,通过连熔炉的上盖提升坩锅,料液进入成型器料台进行成型,同时通过上盖上的加料石英管连续向坩锅内补充石英砂原料;
通过变频控制的牵引机向下拉制,向下拉制的速度为30~50mm/分钟,得到Φ300mm~Φ320mm、壁厚在10 ~12mm的大口径的石英玻璃母管;
(2)再将石英玻璃母管输入到二次成型机,进行二次扩管成型,根据口径规格要求调整离心阀,石英玻璃母管经过1700℃高温局部熔炼后通过离心扩管系统使石英管的成型尺寸逐步扩大,第一步扩成Φ380±1mm,第二步扩成Φ450±0.3mm,第三步扩成Φ520±0.1mm、壁厚5mm以上的大口径玻璃石英管;
(3)后处理:当二次成型管达到预设的直径后,转送到切机,将两端装夹的废料切除;接着送去酸洗车间,进行清洗;酸洗结束后,转送超声波清洗,然后进行退火处理,消除二次成型管的应力,最后对二次成型管进行质检。
一种采用上述生产方法用的连熔炉,包括炉体和设在炉体内的坩埚,坩埚的底端设有成型器料台,成型器料台上设有成型出口,坩埚的中间设有通气芯杆,通气芯杆的下端设有与成型出口配合的成型器,其特点是,在所述炉体的上方设有上盖和下盖,上盖通过螺栓螺母与下盖相连,下盖与炉体固定,所述坩埚装在上盖底部,在坩埚与炉体之间至少设有四层保温层,四层保温层从内向外依次包括高温砖、高温砂、不锈钢筒和保温棉,高温砖与坩埚之间设有加热装置,在所述上盖上设有与坩埚相通的排气孔和加料石英管,在上盖的上方设有进料斗,进料斗通过上下相接的两个扩散器与上盖上的加料石英管相连。
本发明所要解决的技术问题还可以通过以下的技术方案来进一步实现,在以上所述的连熔炉中,所述扩散器呈圆柱形设置,圆柱形扩散器的底部呈倒锥形,扩散器的顶部设有进料口,倒锥形底部设有出料口。
本发明通过设上盖和下盖,可以根据需要生产不同壁厚的石英管;通过设四层保温层,使得连熔炉内的热量散失少,能耗低,保证了熔融后料液的良好流动性;通过设扩散器,对进料进行疏导,很好地将进料中的杂质进行排除,还使得进料不会积聚在加料石英管处,堵住加料口,保证了良好的持续加料状况。与现有技术相比,其设计合理,使用方便,实现了良好的持续加料,且可根据需要生产不同厚度的石英管,保温性好,能耗低。
附图说明
图1是本发明中连熔炉的结构示意图。
具体实施方式
以下参照附图,进一步描述本发明的具体技术方案,以便于本领域的技术人员进一步地理解本发明,而不构成对其权利的限制。
参照图1,一种大口径石英管的生产方法,
(1)将纯度为99.998%的石英砂原料投入到连熔炉坩锅9中,调节连熔炉的上盖3,将坩锅9降到最低位置,然后进行熔炼,炉内的温度保持在2000℃~2300℃,经通电熔融的石英料液高温热沉淀后,通过排气孔4排出气体杂质和料液杂质后,通过连熔炉的上盖3提升坩锅9,料液进入成型器料台17进行成型,同时通过上盖3上的加料石英管5连续向坩锅9内补充石英砂原料;
通过变频控制的牵引机向下拉制,向下拉制的速度为30~50mm/分钟,得到Φ300mm~Φ320mm、壁厚在10 ~12mm的大口径的石英玻璃母管;
(2)再将石英玻璃母管输入到二次成型机,进行二次扩管成型,根据口径规格要求调整离心阀,石英玻璃母管经过1700℃高温局部熔炼后通过离心扩管系统使石英管的成型尺寸逐步扩大,第一步扩成Φ380±1mm,第二步扩成Φ450±0.3mm,第三步扩成Φ520±0.1mm、壁厚5mm以上的大口径玻璃石英管;
(3)后处理:当二次成型管达到预设的直径后,转送到切机,将两端装夹的废料切除;接着送去酸洗车间,进行清洗;酸洗结束后,转送超声波清洗,然后进行退火处理,消除二次成型管的应力,最后对二次成型管进行质检。
一种采用上生产方法用的连熔炉,包括炉体1和设在炉体1内的坩埚9,坩埚9的底端设有成型器料台17,成型器料台17上设有成型出口16,坩埚9的中间设有通气芯杆8,通气芯杆8的下端设有与成型出口16配合的成型器15,在所述炉体1的上方设有上盖3和下盖2,上盖3通过螺栓螺母与下盖2相连,下盖2与炉体1固定,所述坩埚9装在上盖3底部,在坩埚9与炉体1之间至少设有四层保温层,四层保温层从内向外依次包括高温砖10、高温砂11、不锈钢筒12和保温棉13,高温砖10与坩埚9之间设有加热装置14,在所述上盖3上设有与坩埚9相通的排气孔4和加料石英管5,在上盖3的上方设有进料斗6,进料斗6通过上下相接的两个扩散器7与上盖3上的加料石英管5相连。
在以上所述的连熔炉中,所述扩散器7呈圆柱形设置,圆柱形扩散器7的底部呈倒锥形,扩散器7的顶部设有进料口,倒锥形底部设有出料口。
Claims (3)
1.一种大口径石英管的生产方法,其特征在于:
(1)将纯度为99.998%的石英砂原料投入到连熔炉坩锅中,调节连熔炉的上盖,将坩锅降到最低位置,然后进行熔炼,炉内的温度保持在2000℃~2300℃,经通电熔融的石英料液高温热沉淀后,通过排气孔排出气体杂质和料液杂质后,通过连熔炉的上盖提升坩锅,料液进入成型器料台进行成型,同时通过上盖上的加料石英管连续向坩锅内补充石英砂原料;
通过变频控制的牵引机向下拉制,向下拉制的速度为30~50mm/分钟,得到Φ300mm~Φ320mm、壁厚在10 ~12mm的大口径的石英玻璃母管;
(2)再将石英玻璃母管输入到二次成型机,进行二次扩管成型,根据口径规格要求调整离心阀,石英玻璃母管经过1700℃高温局部熔炼后通过离心扩管系统使石英管的成型尺寸逐步扩大,第一步扩成Φ380±1mm,第二步扩成Φ450±0.3mm,第三步扩成Φ520±0.1mm、壁厚5mm以上的大口径玻璃石英管;
(3)后处理:当二次成型管达到预设的直径后,转送到切机,将两端装夹的废料切除;接着送去酸洗车间,进行清洗;酸洗结束后,转送超声波清洗,然后进行退火处理,消除二次成型管的应力,最后对二次成型管进行质检。
2.一种采用上述权利要求1所述的生产方法用的连熔炉,包括炉体和设在炉体内的坩埚,坩埚的底端设有成型器料台,成型器料台上设有成型出口,坩埚的中间设有通气芯杆,通气芯杆的下端设有与成型出口配合的成型器,其特征在于:在所述炉体的上方设有上盖和下盖,上盖通过螺栓螺母与下盖相连,下盖与炉体固定,所述坩埚装在上盖底部,在所述坩埚与炉体之间至少设有四层保温层,四层保温层从内向外依次包括高温砖、高温砂、不锈钢筒和保温棉,高温砖与坩埚之间设有加热装置,在所述上盖上设有与坩埚相通的排气孔和加料石英管,在上盖的上方设有进料斗,进料斗通过上下相接的两个扩散器与上盖上的加料石英管相连。
3.根据权利要求2所述的拉制大口径石英管的连熔炉,其特征在于:所述扩散器呈圆柱形设置,圆柱形扩散器的底部呈倒锥形,扩散器的顶部设有进料口,倒锥形底部设有出料口。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410063837.0A CN103771690B (zh) | 2014-02-25 | 2014-02-25 | 一种大口径石英管的生产方法及连熔炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410063837.0A CN103771690B (zh) | 2014-02-25 | 2014-02-25 | 一种大口径石英管的生产方法及连熔炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103771690A true CN103771690A (zh) | 2014-05-07 |
CN103771690B CN103771690B (zh) | 2016-01-27 |
Family
ID=50564528
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410063837.0A Active CN103771690B (zh) | 2014-02-25 | 2014-02-25 | 一种大口径石英管的生产方法及连熔炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103771690B (zh) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105463565A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-04-06 | 四川神光石英科技有限公司 | 一种石英玻璃熔化炉 |
CN107021606A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-08-08 | 江苏太平洋石英股份有限公司 | 连熔法生产光纤用外套管的方法 |
CN110156301A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-08-23 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 一种石英管生产用连熔装置及生产方法 |
CN110171921A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-08-27 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 制备半导体及光伏用石英管的均匀加料连熔炉及其方法 |
CN110498595A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-11-26 | 江苏亨通智能科技有限公司 | 石英厚壁管二次成型装置及成型方法 |
EP3656746A1 (en) | 2018-11-23 | 2020-05-27 | Heraeus Conamic UK Limited | Method and apparatus for cutting a hollow quartz glass ingot |
CN112441724A (zh) * | 2020-12-02 | 2021-03-05 | 中能半导体(连云港)有限公司 | 一种密封性良好的石英炉管生产工艺及制作方法 |
CN112624579A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-04-09 | 东海县奥兰石英科技有限公司 | 一种一体集成法生产大直径透明石英坨的制备方法及装置 |
CN112694240A (zh) * | 2020-12-26 | 2021-04-23 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 一种耐腐蚀石英管生产用连熔炉及其生产方法 |
US11053152B2 (en) | 2015-12-18 | 2021-07-06 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass |
US11236002B2 (en) | 2015-12-18 | 2022-02-01 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of an opaque quartz glass body |
US11299417B2 (en) | 2015-12-18 | 2022-04-12 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of a quartz glass body in a melting crucible of refractory metal |
US11339076B2 (en) | 2015-12-18 | 2022-05-24 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of carbon-doped silicon dioxide granulate as an intermediate in the preparation of quartz glass |
US11492285B2 (en) | 2015-12-18 | 2022-11-08 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of quartz glass bodies from silicon dioxide granulate |
US11492282B2 (en) | 2015-12-18 | 2022-11-08 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of quartz glass bodies with dew point monitoring in the melting oven |
CN115321792A (zh) * | 2022-07-28 | 2022-11-11 | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 | 一种玻璃管制备装置及其使用方法 |
US11708290B2 (en) | 2015-12-18 | 2023-07-25 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven |
CN116874164A (zh) * | 2023-07-26 | 2023-10-13 | 安徽高昌硅碳科技发展有限公司 | 电弧法制作的大直径超壁厚不透明石英管材及其工艺方法 |
US11952303B2 (en) | 2015-12-18 | 2024-04-09 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Increase in silicon content in the preparation of quartz glass |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6632086B1 (en) * | 2000-05-22 | 2003-10-14 | Stanley M. Antczak | Quartz fusion crucible |
CN202246376U (zh) * | 2011-09-16 | 2012-05-30 | 东海县圣达石英制品有限公司 | 拉制大口径超厚石英玻璃管的连熔炉 |
CN102887626A (zh) * | 2012-03-30 | 2013-01-23 | 连云港市东海县宏伟石英制品有限公司 | 一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法 |
CN102887624A (zh) * | 2012-03-23 | 2013-01-23 | 连云港市东海县宏伟石英制品有限公司 | 一种超大口径石英玻璃管的制造方法 |
CN102897995A (zh) * | 2012-09-19 | 2013-01-30 | 江苏太平洋石英股份有限公司 | 一种石英管、石英棒连熔炉 |
-
2014
- 2014-02-25 CN CN201410063837.0A patent/CN103771690B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6632086B1 (en) * | 2000-05-22 | 2003-10-14 | Stanley M. Antczak | Quartz fusion crucible |
CN202246376U (zh) * | 2011-09-16 | 2012-05-30 | 东海县圣达石英制品有限公司 | 拉制大口径超厚石英玻璃管的连熔炉 |
CN102887624A (zh) * | 2012-03-23 | 2013-01-23 | 连云港市东海县宏伟石英制品有限公司 | 一种超大口径石英玻璃管的制造方法 |
CN102887626A (zh) * | 2012-03-30 | 2013-01-23 | 连云港市东海县宏伟石英制品有限公司 | 一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法 |
CN102897995A (zh) * | 2012-09-19 | 2013-01-30 | 江苏太平洋石英股份有限公司 | 一种石英管、石英棒连熔炉 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
徐润泽: "《粉末冶金电炉及设计》", 30 November 1990, 中南工业大学出版社 * |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105463565A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-04-06 | 四川神光石英科技有限公司 | 一种石英玻璃熔化炉 |
US11492282B2 (en) | 2015-12-18 | 2022-11-08 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of quartz glass bodies with dew point monitoring in the melting oven |
US11492285B2 (en) | 2015-12-18 | 2022-11-08 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of quartz glass bodies from silicon dioxide granulate |
US11339076B2 (en) | 2015-12-18 | 2022-05-24 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of carbon-doped silicon dioxide granulate as an intermediate in the preparation of quartz glass |
US11299417B2 (en) | 2015-12-18 | 2022-04-12 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of a quartz glass body in a melting crucible of refractory metal |
US11708290B2 (en) | 2015-12-18 | 2023-07-25 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of a quartz glass body in a multi-chamber oven |
US11952303B2 (en) | 2015-12-18 | 2024-04-09 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Increase in silicon content in the preparation of quartz glass |
US11236002B2 (en) | 2015-12-18 | 2022-02-01 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Preparation of an opaque quartz glass body |
US11053152B2 (en) | 2015-12-18 | 2021-07-06 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Spray granulation of silicon dioxide in the preparation of quartz glass |
CN107021606A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-08-08 | 江苏太平洋石英股份有限公司 | 连熔法生产光纤用外套管的方法 |
CN107021606B (zh) * | 2017-04-20 | 2020-01-03 | 江苏太平洋石英股份有限公司 | 连熔法生产光纤用外套管的方法 |
US11225429B2 (en) | 2018-11-23 | 2022-01-18 | Heraeus Conamic Uk Limiied | Continuous production of hollow ingots |
EP3656746A1 (en) | 2018-11-23 | 2020-05-27 | Heraeus Conamic UK Limited | Method and apparatus for cutting a hollow quartz glass ingot |
US11485666B2 (en) | 2018-11-23 | 2022-11-01 | Heraeus Conamic Uk Limited | Continuous production of hollow ingots |
CN110156301B (zh) * | 2019-06-21 | 2023-10-20 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 一种石英管生产用连熔装置及生产方法 |
CN110156301A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-08-23 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 一种石英管生产用连熔装置及生产方法 |
CN110171921B (zh) * | 2019-06-24 | 2023-10-13 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 制备半导体及光伏用石英管的均匀加料连熔炉及其方法 |
CN110171921A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-08-27 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 制备半导体及光伏用石英管的均匀加料连熔炉及其方法 |
CN110498595A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-11-26 | 江苏亨通智能科技有限公司 | 石英厚壁管二次成型装置及成型方法 |
CN112441724A (zh) * | 2020-12-02 | 2021-03-05 | 中能半导体(连云港)有限公司 | 一种密封性良好的石英炉管生产工艺及制作方法 |
CN112624579B (zh) * | 2020-12-03 | 2021-09-17 | 东海县奥兰石英科技有限公司 | 一种一体集成法生产大直径透明石英坨的制备方法及装置 |
CN112624579A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-04-09 | 东海县奥兰石英科技有限公司 | 一种一体集成法生产大直径透明石英坨的制备方法及装置 |
CN112694240B (zh) * | 2020-12-26 | 2022-04-08 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 一种耐腐蚀石英管生产用连熔炉及其生产方法 |
CN112694240A (zh) * | 2020-12-26 | 2021-04-23 | 连云港福东正佑照明电器有限公司 | 一种耐腐蚀石英管生产用连熔炉及其生产方法 |
CN115321792A (zh) * | 2022-07-28 | 2022-11-11 | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 | 一种玻璃管制备装置及其使用方法 |
CN115321792B (zh) * | 2022-07-28 | 2024-03-12 | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 | 一种玻璃管制备装置及其使用方法 |
CN116874164A (zh) * | 2023-07-26 | 2023-10-13 | 安徽高昌硅碳科技发展有限公司 | 电弧法制作的大直径超壁厚不透明石英管材及其工艺方法 |
CN116874164B (zh) * | 2023-07-26 | 2023-12-22 | 安徽高昌硅碳科技发展有限公司 | 电弧法制作的大直径超壁厚不透明石英管材及其工艺方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103771690B (zh) | 2016-01-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103771690A (zh) | 一种大口径石英管的生产方法及连熔炉 | |
CN104190885B (zh) | 一种四枪电子束冷床炉生产巨型高纯镍锭方坯的方法 | |
CN104550805B (zh) | 一种变形用镁合金锭坯制备装置及方法 | |
CN102875007A (zh) | 生产石英玻璃棒的连熔炉以及制造工艺 | |
CN102887624B (zh) | 一种超大口径石英玻璃管的制造方法 | |
CN104294027B (zh) | 一种圆棒整体步进加热炉 | |
CN103042060B (zh) | 一种采用半熔挤压法制备镁合金板生产线及其工艺 | |
CN101234844A (zh) | 连熔法生产ic产业用大口径石英玻璃管的方法 | |
CN203855414U (zh) | 管式石墨化炉 | |
CN102992582B (zh) | 一种具有独立澄清部的平板玻璃池窑结构及其调节方法 | |
CN104959578B (zh) | 一种复合式制备半固态浆料的装置 | |
CN102443706A (zh) | P91电渣钢表面裂纹的控制方法 | |
CN105642802A (zh) | 一种大直径差台阶轴类锻件胎模成形方法 | |
CN203922970U (zh) | 厚壁石英管生产用连熔炉 | |
CN109093088B (zh) | 一种单晶铜薄板制备装置 | |
CN105624786A (zh) | 一种人工合成云母超大尺寸单晶的熔制方法 | |
CN204138717U (zh) | 一种圆棒整体步进加热炉 | |
CN103243386A (zh) | 一种多晶硅铸锭炉系统 | |
CN107021606A (zh) | 连熔法生产光纤用外套管的方法 | |
CN207362147U (zh) | 一种废旧有机玻璃裂解炉 | |
CN201832969U (zh) | 一种超声波铜合金管多流连铸装置 | |
CN204251513U (zh) | 用于水泥分解炉物料一次分离和再循环的热工装置 | |
CN107746971A (zh) | 一种用电子束冷床炉浇铸钛或钛合金空心锭的方法 | |
CN104843718B (zh) | 二氧化硅无氧氯化酸萃处理方法及装置 | |
CN112851090B (zh) | 石英母管的生产设备及生产方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 222300 hump new area, Lianyungang, Jiangsu, Donghai County Patentee after: Jiangsu Hongwei quartz Technology Co., Ltd Address before: 222300 hump new area, Lianyungang, Jiangsu, Donghai County Patentee before: Lianyungang Hongwei Quarts Product Co., Ltd. |