CN103769830A - 复杂模具表面微观结构特征的制备方法 - Google Patents

复杂模具表面微观结构特征的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103769830A
CN103769830A CN201410056741.1A CN201410056741A CN103769830A CN 103769830 A CN103769830 A CN 103769830A CN 201410056741 A CN201410056741 A CN 201410056741A CN 103769830 A CN103769830 A CN 103769830A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mould
module
preparation
complex profile
net grid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410056741.1A
Other languages
English (en)
Inventor
胡成亮
赵震
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Jiaotong University
Original Assignee
Shanghai Jiaotong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Jiaotong University filed Critical Shanghai Jiaotong University
Priority to CN201410056741.1A priority Critical patent/CN103769830A/zh
Publication of CN103769830A publication Critical patent/CN103769830A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
    • B23P15/24—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass dies
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

一种模具制造技术领域的复杂模具表面微观结构特征的制备方法，首先制备具有复杂型面特征的塑性成形用模具，对该模具进行强化热处理，并对模具复杂型面进行研磨抛光；然后在所述模具复杂型面上设置网栅阵列并采用磁控溅射方式进行涂层，使得模具复杂型面上未被栅格遮挡的部分形成强化涂层，从而在模具复杂型面上获得由网栅阵列的形状与大小决定的微观结构特征。本发明在改善塑性成形过程中的模具润滑效果的同时，提高了模具强度，而且可以方便地实现大面积特征的快捷制造。

Description

复杂模具表面微观结构特征的制备方法
技术领域
本发明涉及的是一种模具制造技术领域的方法，具体是一种复杂模具表面微观结构特征的制备方法。
背景技术
根据摩擦学基本理论，若在摩擦副表面形成微形凹坑，此阵列式微凹坑，一方面可以扩大实际接触面积，提高对润滑剂的吸附能力；另一方面则可以为润滑剂提高更多储存空间，微凹坑中储存的润滑剂可在接触表面间产生流体润滑膜，从而充分利用两相对运动表面挤压和流体动力的联合作用来改善润滑状况，附有规则微凹坑的表面形貌对流体润滑具有非常重要的影响。金属塑性成形中，摩擦与润滑是重要的工艺条件，尤其是大变形过程。较差的摩擦与润滑条件，容易形成充填不满、成形力过大、表面质量不佳等成形缺陷，甚至导致工艺失败。改变模具表面微观结构特征是改善塑性成形润滑状况的重要手段之一，越来越受到学术界与工业界的重视，因此，如何获得具有微观结构特征的模具表面具有重要的实际意义。
目前，表面微细加工技术主要有光刻、LIGA、微细电加工、激光微细加工与刻蚀等。一般的光刻工艺主要包括硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘与刻蚀等工序，该工艺主要用于半导体器件制造，不适用于金属模具。LIGA由德国学者于1982年首次提出的一种微细加工技术，包括X光深度同步辐射光刻，电铸制模和注模复制等过程，其工艺流程为：辐射—显影—电铸—剥模—充模—脱模—电铸，该技术由于需要使用昂贵的同步X射线发生器作为光源，所以成本非常高；为降低成本，后来出现了准LIGA和UV-LIGA等变形技术，但是LIGA技术通过铸造沉积获得微特征，其强度不能满足塑性成形用模具的表面要求。刻蚀技术，无论是化学刻蚀还是等离子刻蚀，目前的研究与应用对象多为有色金属；微细电加工技术，需要设计制造微细电极，而微细电极本身需要更为可控微细加工技术来完成；激光微细加工技术，虽然摆脱微细电极的限制，但是其加工过程是相对较为耗时。刻蚀、微细电加工与激光微细加工技术，若用于模具表面微特征制造，均属于材料去除技术，实际上很有可能在模具表面形成微裂纹源，减低塑性大变形金属模具的使用寿命。
此外，上述现有技术，致力于服务MEMS系统，以更加细微的特征为目标，对于大面积模具表面特征的应用还是相当困难的，制造周期与成本难以控制。
经过对现有技术的检索发现，中国专利文献号CN102703874，公开日2014-01-08，记载了一种镁合金表面磁控溅射沉积钽膜的制备方法，它涉及镁合金表面钽膜的制备方法，该技术要解决现有的镁合金表面改性技术中存在的镁合金与涂层或膜层间结合力较差、膜层可降解性差、膜层耐磨性差和膜层生物相容性差的问题。该技术通过如下步骤来实现：一、试样的清洗；二、镀膜前的准备；三、镀膜。但是，该技术是针对镁合金基体材料，在其表面形成致密的钽及坦复合模，并没有形成具有微观结构特征表面。
发明内容
本发明针对现有技术存在的上述不足，提供一种复杂模具表面微观结构特征的制备方法，在高强度金属模具表面形成微观结构特征，改善塑性成形过程中的模具润滑效果并进一步提高模具强度，同时可以方便地实现大面积特征的快捷制造。
本发明是通过以下技术方案实现的，本发明首先制备具有复杂型面特征的塑性成形用模具，对该模具进行强化热处理，并对模具复杂型面进行研磨抛光；然后在所述模具复杂型面上设置网栅阵列并采用磁控溅射方式进行涂层，使得模具复杂型面上未被栅格遮挡的部分形成强化涂层，从而在模具复杂型面上获得由网栅阵列的形状与大小决定的微观结构特征。
所述的强化热处理是指淬火处理、回火处理或深冷处理中的一种或多种，使得模具的表面硬度≥58HRC，以保证模具基体的强度。
所述的研磨抛光是指使得模具的表面粗糙度值Ra≤0.15。
所述的网栅阵列是指：采用耐高温玻璃纤维编织而成的网栅。
所述的耐高温玻璃纤维是指在600oC以内不发生软化变形的玻璃纤维。
所述的涂层的材料包括：TiN、TiC、TiCN、ZrN、CrN、TiAlN、TiAlCN和DLC。
技术效果
与现有微细加工技术相比，本发明具有如下优点：①实现大面积金属模具表面的微特征加工；②加工过程方便快捷，易组织批量实际生产；③属于增材制造，加工所得表面微特征，可以增加模具强度，延长模具寿命。
附图说明
图1是本发明的方法流程图；
图2是获得的模具表面微观形貌。
具体实施方式
下面对本发明的实施例作详细说明，本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。
实施例1
如图1所示，本实施例的具体步骤如下：
第一步、根据实际需要设计并加工模具，所述模具具有复杂型面特征，是后续需要加工微特征的模具平面。
第二步、对平面模具进行淬火以及多次回火处理，使其表面硬度为58HRC，以保证模具基体的强度；
第三步、对模具工作平面进行研磨抛光，使其表面粗糙度值为Ra0.15；
第四步、采用耐高温玻璃纤维编织而成的网栅包裹住模具复杂型面；
第五步、利用磁控溅射技术对裹有网栅的模具表面进行涂层，涂层材料为TiN；
第六步、取走耐高温玻璃纤维滤网，网栅遮挡部分没有涂层，未遮挡部分自然形成强化涂层，涂层厚度属于微米级，从而在模具表面获得微特征，如图2所示。
实施例2
如图1所示，本实施例的具体步骤如下：
第一步、根据实际需要设计并加工模具，所述模具具有复杂型面特征，是后续需要加工微特征的模具平面。
第二步、对平面模具进行淬火处理，使其表面硬度为60HRC，以保证模具基体的强度；
第三步、对模具工作平面进行研磨抛光，使其表面粗糙度值为Ra0.10；
第四步、采用耐高温玻璃纤维编织而成的网栅包裹住模具复杂型面；
第五步、利用磁控溅射技术对裹有网栅的模具表面进行涂层，涂层材料为TiCN；
第六步、取走耐高温玻璃纤维滤网，网栅遮挡部分没有涂层，未遮挡部分自然形成强化涂层，涂层厚度属于微米级，从而在模具表面获得微特征。
实施例3
如图1所示，本实施例的具体步骤如下：
第一步、根据实际需要设计并加工模具，所述模具具有复杂型面特征，是后续需要加工微特征的模具平面。
第二步、对平面模具进行淬火以及深冷处理，使其表面硬度为60HRC，以保证模具基体的强度；
第三步、对模具工作平面进行研磨抛光，使其表面粗糙度值为Ra0.10；
第四步、采用耐高温玻璃纤维编织而成的网栅包裹住模具复杂型面；
第五步、利用磁控溅射技术对裹有网栅的模具表面进行涂层，涂层材料为DLC；
第六步、取走耐高温玻璃纤维滤网，网栅遮挡部分没有涂层，未遮挡部分自然形成强化涂层，涂层厚度属于微米级，从而在模具表面获得微特征。

Claims (5)

1.一种复杂模具表面微观结构特征的制备方法，其特征在于，首先制备具有复杂型面特征的塑性成形用模具，对该模具进行强化热处理，并对模具复杂型面进行研磨抛光；然后在所述模具复杂型面上设置网栅阵列并采用磁控溅射方式进行涂层，使得模具复杂型面上未被栅格遮挡的部分形成强化涂层，从而在模具复杂型面上获得由网栅阵列的形状与大小决定的微观结构特征；
所述的网栅阵列是指：采用耐高温玻璃纤维编织而成的网栅。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征是，所述的强化热处理是指淬火处理、回火处理或深冷处理中的一种或多种，使得模具的表面硬度≥58HRC，以保证模具基体的强度。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征是，所述的研磨抛光是指使得模具的表面粗糙度值Ra≤0.15。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征是，所述的耐高温玻璃纤维是指在600oC以内不发生软化变形的玻璃纤维。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征是，所述的涂层的材料包括：TiN、TiC、TiCN、ZrN、CrN、TiAlN、TiAlCN和DLC。
CN201410056741.1A 2014-02-19 2014-02-19 复杂模具表面微观结构特征的制备方法 Pending CN103769830A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410056741.1A CN103769830A (zh) 2014-02-19 2014-02-19 复杂模具表面微观结构特征的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410056741.1A CN103769830A (zh) 2014-02-19 2014-02-19 复杂模具表面微观结构特征的制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103769830A true CN103769830A (zh) 2014-05-07

Family

ID=50562841

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410056741.1A Pending CN103769830A (zh) 2014-02-19 2014-02-19 复杂模具表面微观结构特征的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103769830A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105345917A (zh) * 2015-11-09 2016-02-24 无锡市锡山区仁景模具厂 耐用型路沿石模具
CN112861385A (zh) * 2021-03-23 2021-05-28 吉林大学 一种复杂微特征球冠向柱面投影的建模方法
CN113226601A (zh) * 2018-12-20 2021-08-06 梅塞尔集团有限公司 用于对通过增材制造制成的工件进行精加工的方法
CN115213633A (zh) * 2022-05-31 2022-10-21 东莞正广精密科技有限公司 Ag效果纹理的制备方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1311078A (zh) * 2000-02-28 2001-09-05 邓大仁 塑料光学全反射器模具的制造方法
US6398929B1 (en) * 1999-10-08 2002-06-04 Applied Materials, Inc. Plasma reactor and shields generating self-ionized plasma for sputtering
CN1597241A (zh) * 2004-08-16 2005-03-23 吉林大学 具有仿生非光滑表面的模具
CN201372521Y (zh) * 2009-02-27 2009-12-30 阳正云 一种网栅构架
CN102621201A (zh) * 2012-03-15 2012-08-01 浙江大学 一种制作单根纳米线微电极的方法
CN103526115A (zh) * 2013-01-29 2014-01-22 上海汇众汽车制造有限公司 冷作模具材料及适合于冷作模具材料的组合工艺

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6398929B1 (en) * 1999-10-08 2002-06-04 Applied Materials, Inc. Plasma reactor and shields generating self-ionized plasma for sputtering
CN1311078A (zh) * 2000-02-28 2001-09-05 邓大仁 塑料光学全反射器模具的制造方法
CN1597241A (zh) * 2004-08-16 2005-03-23 吉林大学 具有仿生非光滑表面的模具
CN201372521Y (zh) * 2009-02-27 2009-12-30 阳正云 一种网栅构架
CN102621201A (zh) * 2012-03-15 2012-08-01 浙江大学 一种制作单根纳米线微电极的方法
CN103526115A (zh) * 2013-01-29 2014-01-22 上海汇众汽车制造有限公司 冷作模具材料及适合于冷作模具材料的组合工艺

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105345917A (zh) * 2015-11-09 2016-02-24 无锡市锡山区仁景模具厂 耐用型路沿石模具
CN113226601A (zh) * 2018-12-20 2021-08-06 梅塞尔集团有限公司 用于对通过增材制造制成的工件进行精加工的方法
CN113226601B (zh) * 2018-12-20 2023-09-15 梅塞尔集团有限公司 用于对通过增材制造制成的工件进行精加工的方法
CN112861385A (zh) * 2021-03-23 2021-05-28 吉林大学 一种复杂微特征球冠向柱面投影的建模方法
CN112861385B (zh) * 2021-03-23 2022-05-27 吉林大学 一种复杂微特征球冠向柱面投影的建模方法
CN115213633A (zh) * 2022-05-31 2022-10-21 东莞正广精密科技有限公司 Ag效果纹理的制备方法
CN115213633B (zh) * 2022-05-31 2024-01-30 东莞正广精密科技有限公司 Ag效果纹理的制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103769830A (zh) 复杂模具表面微观结构特征的制备方法
Zhang et al. Advances in precision micro/nano-electroforming: a state-of-the-art review
CN100510196C (zh) 回转体零件电铸加工方法及装置
CN101205054B (zh) 一种微型金属镍模具制作方法
CN103042375B (zh) 一种金属基体或涂层表面制备规则微织构的加工方法
Kawasegi et al. Improving machining performance of single-crystal diamond tools irradiated by a focused ion beam
Kawasegi et al. Single-crystal diamond tools formed using a focused ion beam: Tool life enhancement via heat treatment
JP5135479B2 (ja) プレス成形用金型及びプレス成形金型用保護膜の製造方法
CN103433579B (zh) 一种套筒类零件内表面微凸起的电解加工方法
CN107557784A (zh) 一种涂覆磁流体的织构化表面润滑基体及其处理方法
CN103789740A (zh) 平面模具表面微观结构特征的制备方法
CN101791726A (zh) 圆柱件外曲面有掩膜微结构的加工方法
Kumar et al. Surface texturing by electrochemical micromachining: a review
Tosello et al. Modeling and simulation of surface generation in manufacturing
CN207552455U (zh) 一种涂覆磁流体的织构化表面润滑基体
KR20110027041A (ko) 사출금형용 스탬퍼 제작방법
CN106249323B (zh) 一种微透镜阵列模具和其制造方法
Zhu et al. Electroforming of revolving parts with near-polished surface and uniform thickness
CN105734618A (zh) 一种复杂轮廓薄壁回转体零件电铸方法
Abou-El-Hossein et al. Performance of diamond inserts in ultra-high precision turning of Cu3Cr3Zr alloy
CN105739238B (zh) 一种超精密金属机械零部件的加工方法
Tang et al. Indirect tooling based on micromilling, electroforming and selective etching
CN111014616A (zh) HfZrWMoVNbN/CrSiN高熵合金纳米复合涂层压铸铝模具及其制备方法
KR20040087221A (ko) 플라즈마 이온 주입법을 이용한 금속 제품의 내마모성향상 방법
CN203639142U (zh) 制备无序合金微弹簧的曝光台

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20140507

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication