CN103700599B - 校正治具 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种校正治具，该校正治具包括：校正架，所述校正架包括：校正基台、支撑架和校正顶针，所述校正基台水平放置，所述校正基台上设置有限位槽，所述支撑架设置于所述校正基台上，所述校正顶针竖直穿过所述支撑架，所述校正顶针位于所述限位槽的正上方，所述限位槽用于固定靶材支撑基座或中间连杆，所述校正顶针竖直向下运动至所述靶材支撑基座的凹槽内以对所述凹槽的异常处进行校正，本发明提供校正治具，其操作简单、校正精确度高，同时校正过程中所耗费的时间短、校正工作量小。

Description

校正治具

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种校正治具。

背景技术

在薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）生产制造过程中，需要使用磁控溅射设备（PVD）对玻璃基板进行镀膜。在6代及以上立式磁控溅射设备中，该设备包括一靶材支撑部件，该靶材支撑部件用于支撑靶材和固定防着板（GroundShield，简称GS），其中防着板用于防止靶材原子溅射到被镀物以外的其它位置。

图1为靶材支撑部件的结构示意图；图2为图1中靶材支撑基座与中间连杆装配后的结构示意图，如图1和图2所示：该靶材支撑部件包括：靶材支撑基座1和中间连杆2，靶材支撑基座2上设置有凹槽101，中间连杆2可紧密固定于置于凹槽101内，进一步地，在凹槽101内设置有第一螺孔102，中间连杆上对应第一螺孔102处射有第二螺孔，通过不锈钢螺钉穿过第一螺孔102和第二螺孔可使得靶材支撑基座1与中间连杆2装配。

其中，防着板使用的材料为304不锈钢（0Cr18Ni9），该不锈钢的化学成分为，碳（C）：≤0.07%、硅（Si）：≤1.0%、锰（Mn）：≤2.0%、铬（Cr）：17.0%～19.0%、镍（Ni）：8.0%～11.0%、硫（S）：≤0.03%、磷（P）：≤0.035%；物理特性：拉强度≤620Mpa，屈服强度≤310Mpa，伸长率≤30%，面积缩减≤40%，密度为7.93g/cm3，304不锈钢耐高温方面比较好，能达到750～800度，有较高的塑性、韧性和机械强度，且耐腐蚀。

在利用磁控溅射设备在进行镀膜过程中，加工腔室内为高温、真空环境，在持续高温的作用下，靶材支撑基座容易产生延展变形，进而带动凹槽一起发生形变。具体地，靶材支撑部件的两个端部分别通过定位螺钉固定在加工腔室中，靶材支撑部件的中间部位用来支撑靶材和承接防着板，由于靶材支撑部件的中间部位在加工腔室中没有支撑点，因此该部件在固定受力不均的情况下容易发生整体形变。

当靶材支撑部件发生形变后，加工腔室内的部分等离子体可绕过防着板溅射到中间连杆和凹槽两侧，对靶材支撑部件局部产生应力，且随着中间连杆和凹槽两侧的膜厚的增加，受溅射部位的局部应力随之增加，进而使得靶材支撑基座和中间连杆均产生“S”形变。

而靶材支撑基座和中间连杆均产生“S”形变后，会致使靶材与防着板的间距会发生改变，从而使得防着板的局部会受到等离子体的异常轰击，经过一段时间后，防着板上被异常轰击的位置产生脱落，导致靶材与防着板导通，容易造成加工腔室内的异常放电，最终造成产品不良或者电源短路无法放电，更严重地，则会烧毁电源、击穿靶材支撑部件。

为了提高靶材支撑部件使用寿命，稳定产品品质并降低企业生产成本，则对靶材支撑部件需定期进行清洗，在清洗过程中需要将靶材支撑基座和中间连杆分离清洗。在分离后，靶材支撑基座和中间连杆上的局部应力会得到释放，引起靶材支撑基座和中间连杆发生形变，进而使得靶材支撑基座和中间连杆配合失效。因此，需要对靶材支撑基座和中间连杆进行校正。

传统矫正方法是使用水平台进行形变量的测量，利用专用夹具和液压平台对其形状进行保持，然后边测量边做出适当调整，最后加热6～8小时进行去除应力，传统方式只可矫正靶材支撑基座的外形尺寸，但不能对凹槽形变进行矫正，而且传统的校正方法的矫正时间持续较长，工作量大。

发明内容

本发明提供一种校正治具，该校正治具可对靶材支撑基座的凹槽、外形尺寸以及中间连杆的外形尺寸进行校正，且校正时间较短、工作量小、精确度高。

为实现上述目的，本发明提供一种校正治具，该校正治具包括：校正架，所述校正架包括：校正基台、支撑架和校正顶针，所述校正基台水平放置，所述校正基台上设置有限位槽，所述支撑架设置于所述校正基台上，所述校正顶针竖直穿过所述支撑架，所述校正顶针位于所述限位槽的正上方，所述限位槽用于固定靶材支撑基座或中间连杆，所述校正顶针竖直向下运动至所述靶材支撑基座的凹槽内以对所述凹槽进行校正；所述校正架的数量为至少两个，至少一个所述校正架在水平方向上移动以对所述中间连杆的外形尺寸或所述靶材支撑基座的外形尺寸进行校正。

可选地，所述限位槽的一个侧壁上还设置有调节螺母，所述调节螺母配合所述限位槽的另一个侧壁用于固定所述靶材支撑基座。

可选地，所述支撑架上设置有通孔，所述通孔的内壁设置有内螺纹，所述校正顶针的柱身设置有与所述内螺纹对应的外螺纹，所述校正顶针置于所述通孔内。

可选地，所述校正基台和所述支撑架一体成型。

可选地，所述校正治具还包括：第一底座、第二底座和第一移动导轨，所述第一底座和所述第二底座均水平放置，所述第一底座位于所述第二底座的上方且与所述第二底座垂直，所述第一移动导轨与所述第一底座平行且固定于所述第一底座上，所述校正架位于所述第一移动导轨上方，所述第一移动导轨用于带动所述校正架沿所述第一移动导轨移动。

可选地，所述第一移动导轨包括：第一丝杠和手动转轮，所述手动转轮带动所述第一丝杠转动以使所述校正架移动。

可选地，至少一个所述第一底座的下方还设置有第二移动导轨，所述第二移动导轨与所述第二底座平行且固定于所述第二底座上，所述第二移动导轨用于带动所述第一底座沿所述第二移动导轨移动。

可选地，所述第二移动导轨包括：电动马达和第二丝杠，所述电动马达带动所述第二丝杠转动以使所述第一底座移动。

可选地，还包括：定型模具，所述定型模具包括：第三底座和位于所述第三底座上的凸起，当所述校正治具对所述靶材支撑基座的外形尺寸进行校正时，所述凸起置于所述靶材支撑基座的凹槽内以防止所述靶材支撑基座的凹槽变形。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供了一种校正治具，该校正治具包括校正架，该校正架包括：校正基台、支撑架和校正顶针，通过校正顶针的移动可对支撑基座的凹槽进行校正，通过校正架的移动可对支撑基座的外形尺寸或中间连杆的外形尺寸进行校正，本发明提供校正治具，其操作简单、校正精确度高，同时校正过程中所耗费的时间短、校正工作量小。

附图说明

图1为靶材支撑部件的结构示意图；

图2为图1中靶材支撑基座与中间连杆装配后的结构示意图；

图3为本发明实施例一提供的校正治具的结构示意图；

图4为本发明实施例二提供的校正治具的结构示意图；

图5为图4中A结构的局部放大图；

图6为定型模具的结构示意图；

图7为定型模具与靶材支撑基座对位时的示意图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的校正治具进行详细描述。

图3为本发明实施例一提供的校正治具的结构示意图，如图3所示，该校正治具包括：校正架，校正架包括：校正基台3、支撑架4和校正顶针5，其中，校正基台3水平放置，校正基台3上设置有限位槽301，支撑架4设置于校正基台3上，校正顶针5竖直穿过支撑架4，校正顶针5位于限位槽301的正上方，限位槽301用于固定靶材支撑基座或中间连杆，校正顶针5竖直向下运动至靶材支撑基座的凹槽内以对凹槽的异常处进行校正。

在实际生产过程中，当靶材支撑基座和中间连杆均产生“S”形变时，需要对靶材支撑基座的凹槽、外形尺寸以及中间连杆的外形尺寸均进行校正。

本实施例中，凹槽的校正可分为两种，一是点校正，二是线校正。具体地，点校正是指对凹槽中某一异常点进行校正，线校正是指对凹槽中某一弯曲段进行校正。

在利用本实施例提供的校正治具对靶材支撑基座的凹槽进行点校正时，具体过程如下：首先，查找清洗干净的靶材支撑基座的凹槽上的异常点，并进行标记；然后，将靶材支撑基座固定于限位槽301内，其中，靶材支撑基座带有的凹槽的一面朝上，且校正顶针5位于凹槽的异常点的正上方；接下来，调节校正顶针5的高度，使得校正顶针5紧紧的压入凹槽的异常处且持续一段时间；最后，将校正顶针5移出凹槽，完成对凹槽的点校正。

在利用本实施例提供的校正治具对靶材支撑基座的凹槽进行线校正时，具体过程如下：首先，查找清洗干净的靶材支撑基座的凹槽上的弯曲段，并进行标记；然后，将靶材支撑基座分别固定于三个校正基台3的限位槽301内，其中，为保证校正的精确性，可使得任意两个校正基台3的之间的距离均较小；再然后，调节校正顶针5的高度，使得校正顶针5紧紧的压入凹槽内；接下来，调整三个校正基台3的位置，使得三个校正顶针5位于同于一直线上，并使用超声波消除靶材支撑基座上的应力，从而完成对于异常处的局部校正；最后，重复上面的步骤，对弯曲段中的其他弯曲部位进行校正，直到凹槽的弯曲段与正常段处于同一直线。需要说明的是，在进行线校正时，还可利用四个或多个校正基台3进行校正，此处不再一一举例。

在本实施例中，涉及到的外形尺寸的校正是指，靶材支撑基座或中间连杆变为“S”形后需要进行校正，以使靶材支撑基座或中间连杆的外形为直线形。

在利用本实施例提供的校正治具对中间连杆的外形尺寸进行校正时，具体过程如下：首先，查找清洗干净的中间连杆弯曲段，并进行标记；然后，将中间连杆分别固定于三个校正基台3的限位槽301内，其中，为保证校正的精确性，可使得任意两个校正基台3的之间的距离均较小；再然后，调整三个校正基台3的位置，使得三个校正基台3的限位槽301位于同于一直线上；接下来，使用超声波消除靶材支撑基座上的应力，从而完成对于弯曲处的局部校正；最后，重复上面的步骤，对弯曲段中的其他弯曲部位进行校正，直到中间连杆的弯曲段与正常段处于同一直线。

在利用本实施例提供的校正治具对靶材支撑基座的外形尺寸进行校正的过程与对中间连杆的外形尺寸进行校正时过程类似，具体可参照上述的描述，此处不再赘述。

在利用本实施例提供的校正治具对凹槽进行校正时与对外形尺寸校正进行校正时的区别在于，在进行凹槽校正时，校正顶针5需要压入至凹槽内，而在进行外形尺寸校正时，校正顶针5不用压入至凹槽内。

此外，在对凹槽进行点校正时只需用一个校正架便可完成，而对凹槽进行线校正以及对中间连杆、靶材支撑基座进行外形尺寸校正时需用到至少两个校正架。

需要说明的是，在本实施例中，可预先制备好多个校正顶针5，且不同校正顶针5的顶部的尺寸不同，通过更换不同的校正顶针5来应对不同尺寸的凹槽的校正。同时，由于校正顶针5与凹槽之间会产生较大的力，因此对校正顶针5的材质的硬度要求较高，可选地，校正顶针5的材料为钛合金材料，如钛合金TC4材料，钛合金TC4材料的组成为Ti-6Al-4V，属于(a+b)型钛合金，具有良好的综合力学机械性能；TC4钛合金化学成分:TC4含钛（Ti）余量，铁（Fe）：≤0.30%，碳（C）：≤0.10%，氮（N）：≤0.05%，氢（H）：≤0.015%，氧（O）：≤0.20%，铝（Al）：5.5%～6.8%，钒（V）：3.5%～4.5%，泊松比0.34，密度为4.5g/cm3，抗拉强度≥895σb/MPa，规定残余伸长应力σr0.2≥825MPa，伸长率δ5≥10%，断面收缩率ψ≥25%，比强度为23.5sb/g。

在实际校正过程中，由于待校正的靶材支撑基座的尺寸大小不一致，尺寸较大的靶材支撑基座难以置入限位槽301内，尺寸较小的靶材支撑基座无法固定在限位槽301内。为解决上述问题，可选地，在限位槽301的一个侧壁上还设置调节螺母302，通过调节螺母302配合限位槽301的另一个侧壁将靶材支撑基座固定。本实施例中，可将限位槽301预先设置的较大些，通过调整调节螺母302的伸出量来控制限位槽301的限位尺寸，进而使得限位槽301的限位尺寸与靶材支撑基座的尺寸相匹配。

在本实施中，为便于校正顶针5压入凹槽内，可选地，在支撑架4上设置通孔，通孔的内壁设置有内螺纹，校正顶针5的柱身设置有与内螺纹对应的外螺纹，校正顶针5置于通孔内，通过旋转校正顶针5可使得校正顶针5的高度的改变，进而使校正顶针5的顶部紧紧的压入凹槽中。通过将校正顶针5旋转运动转化竖直运动，不仅可起到省力作用，而且还能实现对校正顶针5的竖直运动的精确控制。

可选地，校正基台3和支撑架4一体成型。本实施中的校正基台3和支撑架4可以为分散结构或一体结构，较优地，校正基台3和支撑架4为一体结构，因为支撑架4在本实施例中仅仅起到竖直支撑校正顶针5的作用，支撑架4越牢固越好。需要说明是，附图中支撑架4的形状和结构并不对本发明的技术方案产生限制，本发明中支撑架4还可为其他形状和结构。

本发明实施例一提供了一种校正治具，该校正治具包括校正架，该校正架包括：校正基台、支撑架和校正顶针，通过校正顶针的移动可对支撑基座的凹槽进行校正，通过校正架的移动可对支撑基座的外形尺寸或中间连杆的外形尺寸进行校正，本发明提供校正治具，其操作简单、校正精确度高，同时校正过程中所耗费的时间短、校正工作量小。

实施例二

图4为本发明实施例二提供的校正治具的结构示意图，图5为图4中A结构的局部放大图，如图4和图5所示，该校正治具包括：第一底座8、第二底座10、第一移动导轨7和至少两个校正架6，其中，第一底座8和第二底座10均水平放置，第一底座8位于第二底座10的上方且与第二底座10垂直，第一移动导轨7与第一底座8平行且固定于第一底座8上，校正架6位于第一移动导轨7上方，第一移动导轨7用于带动校正架6沿第一移动导轨7移动，该校正架6包括：校正基台、支撑架和校正顶针5，其中，校正基台水平放置，校正基台上设置有限位槽301，支撑架设置于校正基台上，校正顶针5竖直穿过支撑架，校正顶针5位于限位槽301的正上方，限位槽301用于固定靶材支撑基座或中间连杆。

校正顶针5竖直向下运动至靶材支撑基座的凹槽内以对凹槽的异常处进行校正，至少一个校正架6在水平方向上移动以对中间连杆的外形尺寸或靶材支撑基座的外形尺寸进行校正。

其中，第一移动导轨7包括：第一丝杠701和手动转轮702，手动转轮702带动第一丝杠701转动以使校正架6移动。

需要说明的是，在图4中，校正架6的数量为三个，第一底座8和第一移动导轨7的数量对应为三个，且本实施例中的水平方向包括：X方向和Y方向，具体地，定义沿第一移动导轨7的移动方向为X方向，第一底座8的长度方向为Y方向。

在利用本实施例提供的校正治具对凹槽进行点校正时，其具体过程与上述实施例一中相同，具体可参见上述实施例一，此处不再赘述。

在利用本实施例提供的校正治具对凹槽进行线校正时，其具体过程如下：首先，查找清洗干净的靶材支撑基座的凹槽上的弯曲段，并进行标记；然后，将靶材支撑基座固定于三个校正基台的限位槽301内；再然后，调节校正顶针5的高度，使得校正顶针5紧紧的压入凹槽内；接下来，调节至少一个第一移动导轨7中的手动转轮702以使校正基台沿X方向移动，直至三个限位槽301位于同一直线上，并使用超声波消除靶材支撑基座上的应力，从而完成对于异常处的局部校正；最后，重复上面的步骤，对弯曲段中的其他弯曲部位进行校正，直到凹槽的弯曲段与正常段处于同一直线。

在利用本实施例提供的校正治具对中间连杆的外形尺寸进行校正时，其具体过程如下：首先，查找清洗干净的中间连杆的弯曲段；然后，通过调节三个校正基台上的调节螺母以使中间连杆固定于三个校正基台的限位槽301内；再然后，调节至少一个第一移动导轨7中的手动转轮702以使校正基台沿X方向移动，直至三个限位槽301位于同一直线上且使用超声波消除中间连杆上的应力；最后，重复上述过程，以对弯曲段中的其他弯曲部位进行校正，直到中间连杆的弯曲段与正常段处于同一直线。

较优地，为保证校正过程中的精确性，在每个手动转轮702上还设置有刻度尺，该刻度用于描述校正基台在第一丝杠701上的位置，在本实施例中，当三个手动转轮702上的刻度尺显示同一刻度时，则表示三个限位槽301位于同一直线上。

需要说明的是，校正架6的数量为三个的情况并不对本发明的技术方案产生限制，在本实施例中，当校正架6的数量为两个、四个或多个时，只要使得全部校正架6所对应的手动转轮702上刻度尺的刻度都相同，则也可实现校正。

可选地，至少一个第一底座8的下方还设置有第二移动导轨9，第二移动导轨9与第二底座10平行且固定于第二底座10上，第二移动导轨9用于带动第一底座8沿第二移动导轨9移动，其中，第二移动导轨9包括：电动马达902和第二丝杠901，电动马达902带动第二丝杠901转动以使第一底座8移动。在图4中，两侧的第一底座8的下方设置有第二移动导轨9，而中间的第一底座8的下方没有设置第二移动导轨9。两侧的校正基台可沿Y方向移动，使得相邻的校正基台的距离可以进行随意的控制，从而可实现对中间连杆以及靶材支撑基座的弯曲部位的拉伸取值作用。

需要说明的是，由于校正基台在X方向上移动的精度要高于在Y方向上的移动精度，因此，本实施例中的校正基台在X方向上的移动是采用手动转轮702驱动，而校正基台在Y方向上的移动是采用电电动马达902驱动。

在利用本实施例提供的校正治具对靶材支撑基座的外形尺寸进行校正时，其过程与对中间连杆的外形尺寸进行校正的过程类似。然而，在对靶材支撑基座的外形尺寸进行校正进行过程中，可能会对靶材支撑基座的凹槽产生二次破坏，因此需要对靶材支撑基座的凹槽进行保护。

图6为定型模具的结构示意图，图7为定型模具与靶材支撑基座对位时的示意图，如图6和图7所示，可选地，该校正治具还包括：定型模具，定型模具包括：第三底座12和位于第三底座上的凸起11，在对靶材支撑基座1的外形尺寸进行校正时，凸起11是置于靶材支撑基座1的凹槽101内的，从而防止靶材支撑基座1的凹槽101变形。

在对靶材支撑基座1的外形尺寸进行校正之前，将定型模具与靶材支撑基座1进行对位和固定，以使定型模具中的凸起11置于靶材支撑基座1的凹槽101内。可选地，在第三底座12上设置有第三螺孔13，且第三螺孔13与靶材支撑基座1上的第一螺孔102对应，通过螺栓可使得定型模具与靶材支撑基座1固定，从而有效避免凹槽101的二次破坏。由于定型模具起到防止凹槽101变形的作用，因此定型模具需要有较高的硬度，可选地，定型模具的材料为钛合金材料。

需要说明的是，在利用实施例提供的校正治具完成对靶材支撑基座和中间连杆的校正后，可利用标准件进行验证，从而确定校正效果。

本实施例与上述实施例一的区别在于，本实施例中设置有第一底座8、第二底座10、第一移动导轨7和第二移动导轨9，其中第一移动导轨7用于控制校正架6在X方向上的移动，第二移动导轨9用于控制校正架6在Y方向上的位置，从而使得本实施例中的校正治具的灵活性较高、校正区域广泛，进而有效避免校正死区的出现；同时，通过多轴联动的方式可精确的控制校正架6的位置，进一步提升了该校正治具的校正精确性。

本实施例中，对第一丝杠701和第二丝杠901的硬度要求不用太高，因此第一丝杠701和第二丝杠901的材质可选用一般有机钢材，如：45号钢，其化学成分，碳（C）：0.42%～0.50%，硅（Si）：0.17%～0.37%，磷（P）：≤0.04%，硫（S）：≤0.045%，铬（Cr）：≤0.25%，镍（Ni）：≤0.25%，铜（Cu）：≤0.25%，其物理特性：抗拉强度为600Mpa，屈服强度为355Mpa，伸长率为16％，断面收缩率为40％，冲击功为39J。

本发明实施例二提供了一种校正治具，该校正治具包括：第一底座、第二底座、第一移动导轨和至少两个校正架，其中，第一底座和第二底座均水平放置，第一底座位于第二底座的上方且与第二底座垂直，第一移动导轨与第一底座平行且固定于第一底座上，校正架位于第一移动导轨上方，第一移动导轨用于带动校正架沿第一移动导轨移动。本发明提供校正治具通过对校正架的位置的精确控制，从而提升了该校正治具的校正精确性，同时，该校正治具的操作简单，校正过程耗费时间短、校正工作量小。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种校正治具，其特征在于，包括：校正架，所述校正架包括：校正基台、支撑架和校正顶针，所述校正基台水平放置，所述校正基台上设置有限位槽，所述支撑架设置于所述校正基台上，所述校正顶针竖直穿过所述支撑架，所述校正顶针位于所述限位槽的正上方，所述限位槽用于固定靶材支撑基座或中间连杆，所述校正顶针竖直向下运动至所述靶材支撑基座的凹槽内以对所述凹槽的异常处进行校正；

所述校正架的数量为至少两个，至少一个所述校正架在水平方向上移动以对所述中间连杆的外形尺寸或所述靶材支撑基座的外形尺寸进行校正。

2.根据权利要求1所述的校正治具，其特征在于，所述限位槽的一个侧壁上还设置有调节螺母，所述调节螺母配合所述限位槽的另一个侧壁用于固定所述靶材支撑基座。

3.根据权利要求1所述的校正治具，其特征在于，所述支撑架上设置有通孔，所述通孔的内壁设置有内螺纹，所述校正顶针的柱身设置有与所述内螺纹对应的外螺纹，所述校正顶针置于所述通孔内。

4.根据权利要求1所述的校正治具，其特征在于，所述校正基台和所述支撑架一体成型。

5.根据权利要求1所述的校正治具，其特征在于，所述校正治具还包括：第一底座、第二底座和第一移动导轨，所述第一底座和所述第二底座均水平放置，所述第一底座位于所述第二底座的上方且与所述第二底座垂直，所述第一移动导轨与所述第一底座平行且固定于所述第一底座上，所述校正架位于所述第一移动导轨上方，所述第一移动导轨用于带动所述校正架沿所述第一移动导轨移动。

6.根据权利要求5所述的校正治具，其特征在于，所述第一移动导轨包括：第一丝杠和手动转轮，所述手动转轮带动所述第一丝杠转动以使所述校正架移动。

7.根据权利要求5所述的校正治具，其特征在于，至少一个所述第一底座的下方还设置有第二移动导轨，所述第二移动导轨与所述第二底座平行且固定于所述第二底座上，所述第二移动导轨用于带动所述第一底座沿所述第二移动导轨移动。

8.根据权利要求7所述的校正治具，其特征在于，所述第二移动导轨包括：电动马达和第二丝杠，所述电动马达带动所述第二丝杠转动以使所述第一底座移动。

9.根据权利要求5-8中任一所述的校正治具，其特征在于，还包括：定型模具，所述定型模具包括：第三底座和位于所述第三底座上的凸起，当所述校正治具对所述靶材支撑基座的外形尺寸进行校正时，所述凸起置于所述靶材支撑基座的凹槽内以防止所述靶材支撑基座的凹槽变形。