CN103699262A

CN103699262A - 一种触摸屏及其制作方法、显示装置

Info

Publication number: CN103699262A
Application number: CN201310712650.4A
Authority: CN
Inventors: 沈奇雨
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2013-12-20
Filing date: 2013-12-20
Publication date: 2014-04-02
Anticipated expiration: 2033-12-20
Also published as: CN103699262B

Abstract

本发明公开了一种触摸屏及其制作方法、显示装置，用以提高触摸屏触摸点定位的灵敏度。所述触摸屏包括衬底基板；位于所述衬底基板上沿第一方向分布的多个第一电极组，所述第一电极组包括不同层设置的第一电极和第二电极；位于所述衬底基板上的沿与第一方向交叉的第二方向分布的多个第二电极组，所述第二电极组包括第三电极和第四电极；所述第一电极组与第二电极组交叉点处，由第一电极、第二电极、第三电极和第四电极围设成一个空心立体区域，还包括位于所述空心立体区域的容纳有磁性材料的绝缘密闭的腔体。

Description

一种触摸屏及其制作方法、显示装置

技术领域

本发明涉及触摸显示技术领域，尤其涉及一种触摸屏及其制作方法、显示装置。

背景技术

随着显示技术的发展，触摸显示越来越受到人们的广泛关注。触摸屏作为显示装置的输出设备已经逐渐成为显示领域的主流。

现有触摸屏按照工作原理主要包括电阻式和电容式触摸屏。电阻式触摸屏的灵敏度不够高。电容式触摸屏的灵敏度相比较电阻式触摸屏的灵敏度较高且可以实现多点触控。但是，随着人们对高品质触摸屏需求的不断提高，触摸屏的灵敏度还有待进一步提高。

以下简单介绍现有电容式触摸屏的结构和工作原理，参见图1，触摸屏的电路结构包括：交叉设置的触摸驱动电极100和触摸感应电极200，相邻触摸驱动电极100和触摸感应电极200之间耦合产生互电容C_m（mutualcapacitance），当手指触碰屏幕时，手指的触碰会改变所述互电容C_m的值，触摸屏的触摸感应电路通过检测手指触碰前后电容C_m对应的电流的改变，从而检测出手指触摸点的位置。上述触摸屏的电路结构探测触摸点的灵敏度还不够高。这是因为，触摸屏内的触摸驱动电极和触摸感应电极之间存在寄生电容，寄生电容产生的噪音电流使得手指触碰前后电容C_m对应的电流的改变非常小，也就是说，噪音电流将因触碰触摸屏引起的电流变化淹没，无法准确检测出仅因为手指触碰前后电容C_m对应的电流的改变，触摸点定位的灵敏度降低。另外，现有触摸显示屏为触摸屏与显示屏集成在一起。对于内嵌式触摸屏，触摸驱动电极和触摸感应电极集成在显示屏内，触摸驱动电极和触摸感应电极与其他功能电极之间存在寄生电容，同理，该寄生电容降低了触摸点定位的灵敏度降低。

发明内容

本发明实施例提供了一种触摸屏及其制作方法、显示装置，用以提高触摸屏触摸点定位的灵敏度，提高触摸屏的触控效果。

本发明实施例提供的一种触摸屏，包括：衬底基板；

位于所述衬底基板上沿第一方向分布的多个第一电极组，所述第一电极组包括不同层设置的第一电极和第二电极；

位于所述衬底基板上的沿与第一方向交叉的第二方向分布的多个第二电极组，所述第二电极组包括第三电极和第四电极；所述第一电极、第二电极、第三电极和第四电极为面状电极；

所述第一电极组与第二电极组交叉点处，由第一电极、第二电极、第三电极和第四电极围设成一个空心立体区域，所述第一电极和第二电极作为空心立体区域的两个相对的面，所述第三电极和第四电极作为空心立体区域另外两个相对的面；

还包括位于所述空心立体区域容纳有磁性材料的绝缘密闭的腔体；

所述第一电极、第二电极、第三电极和第四电极用于在施加触控驱动信号时实现触摸显示。

较佳地，所述腔体的截面为平行四边形，腔体的形状与所述空心立体区域的形状类似，腔体的大小与所述空心立体区域的大小相当。

较佳地，所述腔体的顶部和底部之间的垂直距离为10～100μm；所述腔体上相对的两个侧壁之间的垂直距离为10～100μm。

较佳地，所述衬底基板上还包括彩色树脂层和黑矩阵；

所述第一电极、第二电极、第三电极和第四电极位于与所述黑矩阵相对应的区域。

较佳地，所述彩色树脂层和黑矩阵位于衬底基板的同一侧，所述第一电极、第二电极、第三电极和第四电极位于所述衬底基板的同一侧；

所述彩色树脂层和黑矩阵与所述第一电极、第二电极、第三电极和第四电极位于所述衬底基板的同一侧，或者位于衬底基板的不同侧。

较佳地，所述彩色树脂层、黑矩阵、第一电极、第二电极、第三电极和第四电极位于所述衬底基板的同一侧；所述第三电极、第四电极和腔体设置在所述黑矩阵内。

较佳地，所述磁性材料为磁性量子点。

本发明实施例提供一种触摸屏的制作方法，包括以下步骤：

采用构图工艺在衬底基板上形成多条沿第一方向分布的包括第一电极和第二电极的第一电极组、多条沿与第一方向交叉的第二方向分布的包括第三电极和第四电极的第二电极组；所述第一电极组与第二电极组交叉点处由第一电极、第二电极、第三电极和第四电极围设成一个空心立体区域，所述第一电极和第二电极作为空心立体区域的两个相对的面，所述第三电极和第四电极作为空心立体区域另外两个相对的面；

还包括在所述空心立体区域形成容纳有磁性材料的绝缘密闭的腔体。

较佳地，在所述衬底基板上形成第一电极、第二电极、第三电极、第四电极和容纳有磁性材料的腔体，具体为：

在通过构图工艺在衬底基板上待形成第二电极的区域形成多条第二电极；

在形成有所述第二电极的衬底基板上形成设定厚度的第一绝缘层，在待形成所述第三电极和第四电极的区域形成设定深度的第一狭缝和第二狭缝；

在形成有所述第一狭缝和第二狭缝的衬底基板上形成一层导电层，通过构图工艺保留第一狭缝和第二狭缝中的导电层，去除其余区域的导电层，位于第一狭缝和第二狭缝中的导电层分别作为第三电极和第四电极；

在形成有所述第三电极和第四电极的衬底基板上形成第二绝缘层，以保证第三电极和第四电极与待形成的第一电极保持绝缘；

在形成有所述第二绝缘层的衬底基板上设置位于第二电极与所述第三电极和第四电极交叉区域且容纳有磁性材料的腔体；

通过构图工艺在形成有所述腔体的衬底基板上待形成第一电极的区域形成多条第一电极。

较佳地，所述在待形成第三电极和第四电极的区域形成设定深度的第一狭缝和第二狭缝的同时还包括，在第一绝缘层上待形成腔体的区域形成容纳所述腔体的凹陷区域，使得所述腔体位于所述第一绝缘层之中。

本发明实施例还提供一种显示装置，包括上述任一方式的触摸屏。

本发明通过在衬底基板上设置沿第一方向分布的第一电极和第二电极，沿第二方向分布的第三电极和第四电极，第一方向和第二方向交叉。在第一电极和第二电极与第三电极和第四电极交叉区域形成一个空心立体区域；所述空心立体区域设置容纳有磁性材料的绝缘密闭的腔体。手指触碰触摸屏后，可以改变触碰触摸屏前腔体内磁性材料的空间分布，改变第一电极和第二电极之间的介电常数，以及改变第三电极和第四电极之间的介电常数，从而改变第一电极和第二电极之间的电容，以及第三电极和第四电极之间的电容，确定触摸点的位置。由于容纳有磁性材料的绝缘腔体的设置，使得触碰触摸屏前后电流的变化量非常明显，相比较电容式触摸屏，触摸点定位的灵敏度得到提高。

附图说明

图1为现有内嵌式触摸屏触控原理示意图；

图2为本发明实施例提供的触摸屏俯视示意图；

图3为图2在AA’向的截面局部放大示意图；

图4为本发明实施例提供的设置有触摸驱动电路和触摸感应电路的触摸屏结构示意图；

图5为设置有第一绝缘层的触摸屏结构示意图；

图6为本发明实施例提供的触摸屏上第一电极和第二电极与与腔体的相对位置结构示意图；

图7为本发明实施例提供的触摸屏上第三电极和第四电极与与腔体的相对位置结构示意图；

图8为本发明实施例提供的未触碰触摸屏时的结构示意图；

图9为本发明实施例提供的触碰触摸屏时的结构示意图；

图10为本发明实施例提供的触摸屏中腔体与黑矩阵的相对位置结构示意图；

图11为本发明实施例提供的On cell式触摸屏结构示意图；

图12为本发明实施例提供的In cell式触摸屏结构示意图；

图13为本发明实施例提供的形成有第二电极的触摸屏结构示意图；

图14为本发明实施例提供的第一绝缘层上形成有第一狭缝和第二狭缝的触摸屏结构示意图；

图15为本发明实施例提供的形成有第三电极和第四电极的触摸屏结构示意图；

图16为本发明实施例提供的形成有第二绝缘层的触摸屏结构示意图；

图17为本发明实施例提供的形成有腔体的触摸屏结构示意图；

图18为本发明实施例提供的形成有第一电极的触摸屏结构示意图。

具体实施方式

本发明通过在衬底基板上设置沿第一方向分布的多个第一电极组，第一电极组包括第一电极和第二电极，沿第二方向分布的多个第二电极组，第二电极组包括第三电极和第四电极，第一方向和第二方向交叉。在第一电极组和第二电极组的交叉点，由第一电极、第二电极、第三电极和第四电极围设成一个空心立体区域；所述空心立体区域设置容纳有磁性材料的且绝缘密闭的腔体。手指触碰触摸屏后，可以改变触碰触摸屏前腔体内磁性材料的空间分布，改变第一电极和第二电极之间的介电常数，以及改变第三电极和第四电极之间的介电常数，从而改变第一电极和第二电极之间的电容，以及第三电极和第四电极之间的电容，确定触摸点的位置。由于容纳有磁性材料的绝缘腔体的设置，使得触碰触摸屏前后电流的变化量非常明显，相比较电容式触摸屏，触摸点定位的灵敏度得到提高。

本发明实施例提供的触摸屏，可以为设置在显示面板上的触摸屏（也称Oncell式触摸屏）、内嵌在显示面板中的触摸屏（也称In Cell式触摸屏）、外挂在显示面板上的触摸屏（即独立于显示面板的Out cell式触摸屏）。

以下将结合附图具体介绍本发明实施例提供的触摸屏及其制作方法、显示装置。以下介绍的内容和附图所示的结构均用于解释本发明，并不用于限制本发明。附图中各层薄膜厚度和形状不反映内嵌式触摸屏及显示装置的真实比例，目的只是示意说明本发明的技术方案。

参见图2和图3，图2为本发明实施例提供的触摸屏的俯视图，图3为图2所示的触摸屏在AA’向的局部截面放大示意图。

触摸屏包括：

衬底基板10；

位于衬底基板10上的多条沿第一方向分布的多个第一电极组，每一第一电极组包括不同层设置的第一电极1和第二电极2；

位于衬底基板10上的多条沿与第一方向交叉的第二方向分布的第二电极组，每一第二电极组包括第三电极3和第四电极4；

第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4为面状电极；

第一电极组和第二电极组存在交叉点，即第一电极组的第一电极和第二电极分别与第二电极组的第三电极和第四电极之间存在交叉点，交叉点处的第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4相互保持绝缘；

并且，参见图3，交叉点处的第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4围设成一个空心立体区域，第一电极1和第二电极2作为空心立体区域的两个相对的面，第三电极3和第四电极4作为空心立体区域另外两个相对的面；

还包括位于空心立体区域且容纳有磁性材料5的绝缘密闭的腔体6；

第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4用于在施加有触控驱动信号时实现触摸显示。

优选地，第一电极和第二电极位于衬底基板上的不同层，二者相对设置，则第一电极和第二电极的俯视图如图1所示，第一电极和第二电极的俯视图相重叠，用标号1（2）所示。

以下将具体说明上述触摸屏能够提高触摸灵敏度的原理。

根据电磁原理，磁性材料在恒定磁场中呈一定的空间分布，对应的磁介质为介电常数为一定值，当磁性材料周围的磁场发生变化，则磁场的空间分布也发生变化，对应的磁介质为介电常数也发生变化。

本发明在具体实施时，分别为第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4施加触摸驱动信号，如恒定电压或恒定电流。当手指触屏触摸屏前，交叉区域相对设置的第一电极1和第二电极2周围形成恒定的磁场，第三电极3和第四电极4周围形成恒定的磁场，腔体6内的磁性材料5呈一定的空间分布，对应的第一电极1和第二电极2之间的介电常数为ε1，第三电极3和第四电极4之间的介电常数为ε1’。又因为，第一电极1和第二电极2作为空心立体区域的两个相对的面，二者之间存在电容C1；第三电极3和第四电极4作为空心立体区域另外两个相对的面，二者之间存在电容C2。

当有手指触屏触摸屏时，由于人体生物磁场的作用，腔体6内的磁性材料5受人体生物磁场的作用，空间分布发生变化，第一电极1和第二电极2之间的介电常数变化为ε2，第三电极3和第四电极4之间的介电常数变化为ε2’。第一电极1和第二电极2之间的电容C1的值发生变化，第三电极3和第四电极4之间的电容C2的值发生变化。如果在触摸屏上建立直角坐标系，通过确定电容发生变化的第一电极1和第二电极2的坐标值Y，以及确定电容发生变化的第三电极3和第四电极4之间的坐标值X，确定才触摸点的位置(X，Y)。具体实施时，通过确定第一电极和第二电极的电流的变化确定二者之间电容的变化，确定第三电极和第四电极的电流的变化确定二者之间电容的变化。

具体实施时，参见图4，各第一电极1和第二电极2的一端与第一触摸驱动电路7相连，另一端与第一触摸感应电路8相连。各第三电极3和第四电极4的一端与第二触摸驱动电路9相连，另一端与第二触摸感应电路11相连。

图4中的小圆点“·”代表触摸区域或上述交叉区域（即设置有所述腔体的区域）。第一电极和第二电极的俯视图重叠，用标号1（2）表示。第三电极和第四电极之间的距离，相比较与相邻的第三电极或第四电极之间的距离非常小，因此，第三电极和第四电极的俯视图在图4中几乎重叠。用标号3（4）表示。

本发明提供的上述触摸屏，电极结构简单，触摸驱动电路和触摸感应电路与电极的连接关系简单，探测方法简单，易于实现。触摸驱动电路和触摸感应电路可以为现有技术提供的电路。

本发明通过手指触碰触摸屏改变电极之间的介质的介电常数，从而改变电极之间的电容，进一步确定电容变化的电极对应的位置，实现一种新型的触摸屏。更重要的是，腔体内的磁性材料受人体生物磁场的作用可以灵活改变，容纳有磁性材料的绝缘腔体的介电常数可以灵活改变，使得第一电极和第二电极之间的电容以及第三电极和第四电极之间的电容变化更加灵活，探测触摸屏触摸点定位的灵敏度更高。相比较电阻式和电容式触摸屏，提高了触摸屏触摸点定位的灵敏度。

优选地，参见图5，第一电极1和第二电极2之间设置有第一绝缘层12，腔体6镶嵌于第一绝缘层12上。第三电极3和第四电极4设置于第一绝缘层12内。保证在交叉点处的第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4围设成一个空心立体区域，第一电极1和第二电极2作为空心立体区域的两个相对的面，第三电极3和第四电极4作为空心立体区域另外两个相对的面。

具体实施时，第一绝缘层上待形成腔体的区域形成凹陷区域，容纳有磁性材料的腔体设置在所述第一绝缘层的凹陷区域内，第一绝缘层上待形成第三电极和第四电极的区域形成具有设定深度的第一狭缝和第二狭缝，第三电极和第四电极分别形成在所述第一狭缝和第二狭缝内，第一狭缝和第二狭缝的深度为第三电极和第四电极的宽度，第一狭缝和第二狭缝的宽度为第三电极和第四电极的厚度。一般地，第三电极和第四电极的宽度约10-100μm。第三电极和第四电极的厚度约几微米甚至更小。

图3所示的触摸屏的腔体6的截面形状不限，优选为平行四边形，较佳地为正方形或长方形等，对应腔体6为正方体或长方体等。

优选地，腔体的形状与所述空心立体区域的形状类似，腔体的大小与所述空心立体区域的大小相当。

具体地，腔体6的截面为正方形或长方形，即腔体6为正方体或长方体时，参见图6，交叉的区域的第一电极1和第二电极2分别与腔体6的顶部和底部平行，参见图7，交叉区域的第三电极3和第四电极4分别与腔体6上相对的两个侧壁平行，使得第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4将腔体6的四个面包围，腔体6中的磁场强度更大，更有利于灵活改变腔体6内的磁性材料的空间分布。

第一电极1和第二电极2分别与腔体6的顶部和底部贴合，第三电极3和第四电极4分别与腔体6上相对的两个侧壁贴合。进一步减小了各电极与腔体之间的距离，更有利于提高腔体内的磁场强度，更加灵活地改变腔体内的磁性材料的空间分布。

较佳地，所述腔体的顶部和底部之间的垂直距离约为10～100μm；所述腔体上相对的两个侧壁之间的垂直距离约为10～100μm。

较佳地，为第一电极和第二电极施加方向相反的电流，为第三电极和第四电极施加方向相反的电流，使得触碰触摸屏之前，腔体内的磁性材料分布更集中，当有手指触碰触摸屏时，人体生物磁场作用使得磁性材料分布较分散，手指触摸触摸屏前后磁性材料空间分布变化更大，第一电极和第二电极之间的电容变化更大，第三电极与第四电极之间的电容变化更大，进一步提高了触摸点定位的灵敏度。

参见图8和图9，图8为未触碰触摸屏时的结构示意图，图9为触碰触摸屏时的结构示意图。第一电极1和第二电极2的电流方向平行于纸面，如带箭头的直线段表示电流方向，第三电极3的电流方向垂直纸面向外，第四电极4的电流方向垂直纸面向里。根据磁场方向和电流方向的关系可以得到如图8和图9所示的磁场方向，其中带箭头的闭合曲线表示电极产生的磁场方向。如图9所示，带箭头的曲线表示人手指13产生的磁场。如图8所示，触摸前腔体6内的磁性材料5分布较集中，位于腔体6的左上角。如图9所示，触摸后腔体6内的磁性材料5分布较分散，分散于整个腔体6内。

优选地，本发明实施例提供的磁性材料为磁性量子点，即颗粒尺寸在纳米量级的磁性材料。

容纳磁性材料的腔体可以为预先制作好的腔体，或者也可以在第一绝缘层上直接制作腔体，然后在腔体中注入磁性材料。

优选地，容纳磁性材料的腔体可以由高透过率的树脂材料制作而成，有机树脂材料可以为亚克力(Acryl)树脂或硅碳（Si-C）树脂等。

优选地，第一电极、第二电极、第三电极和第四电极采用低电阻材料制作，例如可以为金属钼（Mo）、铝（Al）、铜（Cu）、或包含钼（Mo）、铝（Al）、铜（Cu）的合金制作而成，也可以采用氧化铟锡（ITO）材料制作而成。

上述任一方式的触摸屏，可以为Out cell式触摸屏。当触摸屏为Out cell式触摸屏，上述触摸屏直接设置在显示面板的出光侧，为显示面板提供触摸功能。

无论触摸屏为何种类型的触摸屏，触摸屏中的第一电极、第二电极、第三电极和第四电极位于与显示面板上的黑矩阵相对应的区域，不影响像素区域光线的透过率。如图10所示，腔体6和第一电极、第二电极、第三电极和第四电极设置在黑矩阵16对应的区域。图10未体现第一电极、第二电极、第三电极和第四电极。

当上述触摸屏为On cell式触摸屏，如图11，衬底基板10上还设置有彩色树脂层和黑矩阵16，图11中未体现彩色树脂层，彩色树脂层和黑矩阵16位于衬底基板10的同一侧，第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4设置在衬底基板10的同一侧，且彩色树脂层和黑矩阵16与第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4位于衬底基板10的两侧。具体地，彩色树脂层和黑矩阵16位于彩膜基板上靠近阵列基板的一侧，第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4位于衬底基板10远离阵列基板的一侧。

当上述触摸屏为In cell式触摸屏，如图12，图12与图11所示的触摸屏区别在于，彩色树脂层和黑矩阵16与第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4位于衬底基板10的同一侧。即彩色树脂层和黑矩阵16与第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4位于衬底基板10上靠近阵列基板的一侧。

优选地，第一绝缘层为黑矩阵，即腔体6设置在黑矩阵16内，可以省掉一层绝缘层的设置，降低了彩膜基板的厚度。

当然，本发明所述的触摸屏上的第一电极1、第二电极2、第三电极3和第四电极4还可以设置在阵列基板上，只要保证不影响其他功能膜层实现正常的功能以及实现良好触摸效果即可。

以下将具体介绍本发明实施例提供的触摸屏的制作方法，主要包括以下步骤：

以下将具体说明上述触摸屏的制作方法的工艺流程。

在所述衬底基板上形成第一电极、第二电极、第三电极、第四电极和容纳有磁性材料的腔体，具体为：

步骤一：参见图13，通过构图工艺在衬底基板10上待形成第二电极的区域形成多条第二电极2；

上述和下述的构图工艺至少包括掩膜、曝光、显影、光刻和刻蚀等步骤。

参见图14，在形成有第二电极2的衬底基板10上形成设定厚度的第一绝缘层12，在待形成第三电极和第四电极的区域形成设定深度的第一狭缝121和第二狭缝122；第一狭缝的宽度约在微米量级，第一狭缝和第二狭缝的长度延伸至基板的边框区域，第一狭缝和第二狭缝深度约为10-100μm。第一狭缝和第二狭缝深度远大于第一狭缝和第二狭缝的宽度。也就是说，第三电极和第四电极为具有一定宽度的条状电极。

可选地，参见图14，在待形成第三电极3和第四电极4的区域形成设定深度的第一狭缝和第二狭缝的同时还包括，在第一绝缘层12上待形成腔体的区域形成容纳所述腔体的凹陷区域123，使得腔体位于所述第一绝缘层之中。

参见图15，在形成有图14所示的第一狭缝121和第二狭缝122的衬底基板10上形成一层导电层，通过构图工艺保留第一狭缝和第二狭缝中的导电层，去除其余区域的导电层，位于第一狭缝和第二狭缝中的导电层分别为第三电极3和第四电极4；

参见图16，在形成有第三电极3和第四电极4的衬底基板10上形成第二绝缘层17，以保证第三电极3和第四电极4与待形成的第一电极1保持绝缘；第二绝缘层17的厚度尽可能小，保证电极之间的绝缘效果即可。但是第一绝缘层的厚度不小于第三电极的宽度。保证第三电极和第四电极与第一电极和第二电极相绝缘。

参见图17，在形成有第二绝缘层17的衬底基板10上设置位于第二电极与所述第三电极和第四电极交叉区域且容纳有磁性材料5的腔体6；该容纳有磁性材料5的腔体6可以预先形成数个，该步骤直接将成型了腔体6设置在第二绝缘层17上。当然，第二绝缘层也可以通过涂覆树脂等绝缘材料代替，即在第一狭缝和第二狭缝对应的第三电极和第四电极上涂覆绝缘层，保证与其他电极之间的绝缘。

参见图18，通过构图工艺在衬底基板10上待形成第一电极的区域形成多条第一电极1；第一电极1与第二电极2相对设置，第三电极3与第四电极4相对设置。

本发明实施例还提供一种显示装置，包括上述触摸屏，例如Out cell式触摸屏、In cell式触摸屏或On cell式触摸屏等。该显示装置可以为液晶面板、液晶显示器、液晶电视、有机电致发光显示OLED面板、OLED显示器、OLED电视或电子纸等显示装置。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种触摸屏，其特征在于，包括：

衬底基板；

位于所述衬底基板上沿与第一方向交叉的第二方向分布的多个第二电极组，所述第二电极组包括第三电极和第四电极；所述第一电极、第二电极、第三电极和第四电极为面状电极；

2.根据权利要求1所述的触摸屏，其特征在于，所述腔体的截面为平行四边形，腔体的形状与所述空心立体区域的形状类似，腔体的大小与所述空心立体区域的大小相当。

3.根据权利要求2所述的触摸屏，其特征在于，所述腔体的顶部和底部之间的垂直距离为10～100μm；所述腔体上相对的两个侧壁之间的垂直距离为10～100μm。

4.根据权利要求3所述的触摸屏，其特征在于，所述衬底基板上还包括彩色树脂层和黑矩阵；

5.根据权利要求4所述的触摸屏，其特征在于，所述彩色树脂层和黑矩阵位于衬底基板的同一侧，所述第一电极、第二电极、第三电极和第四电极位于所述衬底基板的同一侧；

6.根据权利要求5所述的触摸屏，其特征在于，所述彩色树脂层、黑矩阵、第一电极、第二电极、第三电极和第四电极位于所述衬底基板的同一侧；所述第三电极、第四电极和腔体设置在所述黑矩阵内。

7.根据权利要求1所述的触摸屏，其特征在于，所述磁性材料为磁性量子点。

8.一种触摸屏的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在所述衬底基板上形成第一电极、第二电极、第三电极、第四电极和容纳有磁性材料的腔体，具体为：

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述在待形成第三电极和第四电极的区域形成设定深度的第一狭缝和第二狭缝的同时还包括，在第一绝缘层上待形成腔体的区域形成容纳所述腔体的凹陷区域，使得所述腔体位于所述第一绝缘层之中。

11.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求1-7任一权项所述的触摸屏。