CN103691721A - 用于太阳能硅片清洗机的供水加热方法和供水系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种用于太阳能硅片清洗机的供水加热方法和供水系统。供水加热方法，包括将外部动力设备运行所产生的热能输送至太阳能硅片清洗机的第一进水管处，用以对第一进水管内的第一反应水进行预加热处理，第一进水管与太阳能硅片清洗机的进水口连通。由于将外部动力设备产生的热能对第一进水管内的第一反应水进行热处理，因而节省了加热用电，减小了能耗和能源浪费，并且使外部动力设备的热能得以回收利用、提高了能源利用率、进一步减少了能源浪费，从而降低了生产成本、提高了企业的经济效益。同时，本发明中的供水加热方法具有操作简单、节能效果显著的特点。

Description

用于太阳能硅片清洗机的供水加热方法和供水系统

技术领域

本发明涉及太阳能电池技术领域，更具体地，涉及一种用于太阳能硅片清洗机的供水加热方法和供水系统。

背景技术

在太阳能电池生产领域，以单多晶硅片为基体制成的太阳能电池一直都是光伏市场的主流产品之一。硅片清洗工序是生产硅片的最后一道工序，在这道工序中主要用到两种清洗设备，一种是太阳能硅片脱胶机（预清洗），其作用主要是把经过多线切割后的硅片做预冲洗和脱胶处理；另一种是太阳能硅片清洗机，其作用主要是把脱胶后分开的硅片使用加热后的去离子水和药剂进行超声波清洗及烘干处理。

在太阳能硅片脱胶机内，沾满砂浆的硅片需要进行喷淋冲洗操作，在此工序中需要使用大量的反应水（对水质没有特殊要求，例如：自来水或中水），反应水应为温水。如果水温过低，冲淋后极容易出现硅片粘胶侧崩边问题，造成严重损失。经过喷淋冲洗后的硅片再进行脱胶槽药液浸泡后硅片彼此独立分开，而后由人工分装至载片盒后送入太阳能硅片清洗机。

在太阳能硅片清洗机内，硅片需要经过预漂洗槽—药液清洗槽—精漂洗槽—烘干隧道（或甩干箱）的工艺处理。预漂洗槽是通过超声波震动洗掉硅片表面残存的颗粒污物，为保证漂洗效果，该环节使用水温为50摄氏度左右的溢流去离子水；药液清洗槽是通过清洗剂和超声波双重作用来去除硅片表面的有机杂质污物和金属离子，该环节使用水温为50摄氏度以上的无溢流去离子水；精漂洗槽使用水温为50摄氏度以上的溢流去离子水，以进一步去除硅片表面残留的清洗剂、有机杂质污物和金属离子。

现有技术中对太阳能清洗机和太阳能硅片脱胶机的供水加热采用电加热的方式，从而导致能耗高、能源浪费、生产成本高的问题。

发明内容

本发明旨在提供一种用于太阳能硅片清洗机的供水加热方法和供水系统，以解决现有技术中由于供水加热采用电加热的方式从而导致能耗高、能源浪费、生产成本高的问题。

为解决上述技术问题，根据本发明的一个方面，提供了一种用于太阳能硅片清洗机的供水加热方法，包括将外部动力设备运行所产生的热能输送至太阳能硅片清洗机的第一进水管处，用以对第一进水管内的第一反应水进行预加热处理，第一进水管与太阳能硅片清洗机的进水口连通。

进一步地，供水加热方法还包括控制第一反应水的加热温度，控制第一反应水的加热温度包括：步骤S1：采集第一反应水加热后的第一实际水温；步骤S2：将第一实际水温与预设工艺水温进行比较；步骤S3：当第一实际水温低于预设工艺水温时，增加热能，用以提高第一反应水的第一实际水温；否则，减少热能，用以降低第一反应水的第一实际水温。

进一步地，供水加热方法还包括对太阳能硅片脱胶机的供水预热，对太阳能硅片脱胶机的供水预热包括：将热能对第一反应水加热后的余热输送至太阳能硅片脱胶机的第二进水管处，用以对第二进水管内的第二反应水进行预加热处理，第二进水管与太阳能硅片脱胶机的进水口连通。

进一步地，供水加热方法还包括废热处理，废热处理包括：将余热对第二反应水加热后的废热输送至冷却塔的第三进水管处，用以对第三进水管内的外循环冷却水加热以使废热得以耗散，第三进水管与冷却塔的进水口连通。

进一步地，供水加热方法还包括控制外部动力设备正常运行，控制外部动力设备正常运行包括：步骤S10：采集外部动力设备的第四进水管处的第二实际水温；步骤S20：将第二实际水温与预设安全水温进行比较；步骤S30：当第二实际水温低于预设安全水温时，减少废热对第三进水管进行加热，用以提高第二实际水温；否则，增加废热对第三进水管进行加热，用以降低第二实际水温。

根据本发明的另一个方面，提供了一种用于太阳能硅片清洗机的供水系统，包括：第一进水管，第一进水管与太阳能硅片清洗机的进水口连通；外部动力设备，外部动力设备包括热能输送管路；第一中间换热器，第一进水管和热能输送管路的第一段通过第一中间换热器热交换。

进一步地，供水系统还包括第一流量阀，第一流量阀设置在热能输送管路的第一段上。

进一步地，供水系统还包括：第一温度检测元件，第一温度检测元件设置在第一进水管的靠近太阳能硅片清洗机的进水口的一端，用于检测第一进水管内的第一反应水的第一实际水温；控制器，控制器与第一温度检测元件、第一流量阀连接，用于将检测到的第一实际水温与预设工艺水温比较、调节第一流量阀的开度。

进一步地，热能输送管路包括：主管路；第一支管路，第一支管路的两端均与主管路的第一段连通，第一进水管通过第一中间换热器与第一支管路热交换，第一流量阀设置在主管路和第一支管路连接的进口处。

进一步地，热能输送管路还包括第二支管路，第二支管路的两端均与主管路的第二段连通，供水系统包括：第二进水管，第二进水管与太阳能硅片脱胶机的进水口连通；第二中间换热器，第二进水管通过第二中间换热器与第二支管路热交换；第二流量阀，第二流量阀设置在主管路的第二段上，且第二流量阀位于第二支管路的两端之间。

进一步地，供水系统还包括：第三进水管，第三进水管与冷却塔的反应进口连通；第三中间换热器，第三进水管通过第三中间换热器与热能输送管路的第三段热交换。

进一步地，供水系统还包括第三流量阀，热能输送管路包括第三支管路，第三支管路的两端均与主管路的第三段连通，第三进水管通过第三中间换热器与第三支管路热交换，第三流量阀设置在主管路和第三支管路连接的进口处。

进一步地，外部动力设备包括第四进水管，第四进水管与外部动力设备的循环回流进口、热能输送管路的出口连通，供水系统还包括：第二温度检测元件，第二温度检测元件设置在第四进水管的靠近循环回流进口的一端，用于检测第四进水管内的内循环冷却水的第二实际水温；控制器，控制器与第二温度检测元件、第三流量阀连接，用于将检测到的第二实际水温与预设安全水温比较、调节第三流量阀的开度。

进一步地，供水系统还包括：补水管路，补水管路与热能输送管路连通，且补水管路位于热能输送管路的第三段与热能输送管路的出口之间；补水阀门，补水阀门设置在补水管路上。

本发明中的供水加热方法包括将外部动力设备运行所产生的热能输送至太阳能硅片清洗机的第一进水管处，用以对第一进水管内的第一反应水进行预加热处理，第一进水管与太阳能硅片清洗机的进水口连通。由于将外部动力设备产生的热能对第一进水管内的第一反应水进行热处理，因而节省了加热用电，减小了能耗和能源浪费，并且使外部动力设备的热能得以回收利用、提高了能源利用率、进一步减少了能源浪费，从而降低了生产成本、提高了企业的经济效益。同时，本发明中的供水加热方法具有操作简单、节能效果显著的特点。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1示意性示出了本发明中的供水加热方法的流程图；以及

图2示意性示出了本发明中的供水系统的结构示意图。

图中附图标记：10、外部动力设备；11、第四进水管；12、热能输送管路；12a、主管路；12b、第一支管路；12c、第二支管路；12d、第三支管路；20、太阳能硅片清洗机；21、第一进水管；30、太阳能硅片脱胶机；31、第二进水管；40、冷却塔；41、第三进水管；50、第一中间换热器；51、第一流量阀；52、第一温度检测元件；60、第二中间换热器；61、第二流量阀；70、第三中间换热器；71、第三流量阀；72、第二温度检测元件；80、补水管路；81、补水阀门；82、氮封水箱；83、高纯氮气；84、超纯水；85、溢流水路；86、超纯水泵；87、除TOC装置；88、抛光混床；89、紫外线杀菌器；90、终端过滤器；91、第一水泵；92、膨胀箱；93、第二水泵；94、第一压力表；95、第二压力表。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的实施例进行详细说明，但是本发明可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

作为本发明的第一个方面，提供了一种用于太阳能硅片清洗机的供水加热方法。如图1所示，供水加热方法包括将外部动力设备10运行所产生的热能输送至太阳能硅片清洗机20的第一进水管21处，用以对第一进水管21内的第一反应水进行预加热处理，第一进水管21与太阳能硅片清洗机20的进水口连通。由于将外部动力设备10产生的热能对第一进水管21内的第一反应水进行热处理，因而节省了加热用电，减小了能耗和能源浪费，并且使外部动力设备10的热能得以回收利用、提高了能源利用率、进一步减少了能源浪费，从而降低了生产成本、提高了企业的经济效益。同时，本发明中的供水加热方法具有操作简单、节能效果显著的特点。

如图1所示的实施例中，供水加热方法还包括控制第一反应水的加热温度，控制第一反应水的加热温度包括：步骤S1：采集第一反应水加热后的第一实际水温；步骤S2：将第一实际水温与预设工艺水温进行比较；步骤S3：当第一实际水温低于预设工艺水温时，增加热能，用以提高第一反应水的第一实际水温；否则，减少热能，用以降低第一反应水的第一实际水温。由于第一控制方法可以根据第一反应水的第一实际水温与预设工艺水温的比较结果，调节热能的供应量，因而使第一反应水温具有恒温性好的特点，从而使热能得以合理利用，进而保证了供水加热方法的操作可靠性。优选地，第一反应水为去离子水。

如图1所示的实施例中，供水加热方法还包括对太阳能硅片脱胶机30的供水预热，对太阳能硅片脱胶机30的供水预热包括：将热能对第一反应水加热后的余热输送至太阳能硅片脱胶机30的第二进水管31处，用以对第二进水管31内的第二反应水进行预加热处理，第二进水管31与太阳能硅片脱胶机30的进水口连通。由于外部动力设备10运行所产生的热能还能对太阳能硅片脱胶机30的第二进水管31内的第二反应水进行加热，因而进一步提高了热能的利用率，有效地使热能得以回收利用、避免浪费，进一步减少了电能损耗，从而提高了供水加热方法的操作可靠性。优选地，第二反应水为中水或自来水。

如图1所示的实施例中，供水加热方法还包括废热处理，废热处理包括：将余热对第二反应水加热后的废热输送至冷却塔40的第三进水管41处，用以对第三进水管41内的外循环冷却水加热以使废热得以耗散，第三进水管41与冷却塔40的进水管连通。由于外部动力设备10运行所产生的热能较充足，因而当该热能对第一进水管21和第二进水管31加热后仍有余裕，此时将该部分废热通过冷却塔40进行耗散，从而保证了外部动力设备10的使用可靠性和供水加热方法的操作可靠性。

如图1所示的实施例中，供水加热方法还包括控制外部动力设备10正常运行，控制外部动力设备10正常运行（正常负荷、负载稳定运行状态）包括：步骤S10：采集外部动力设备10的第四进水管11处的第二实际水温；步骤S20：将第二实际水温与预设安全水温进行比较；步骤S30：当第二实际水温低于预设安全水温时，减少废热对第三进水管41进行加热，用以提高第二实际水温；否则，增加废热对第三进水管41进行加热，用以降低第二实际水温。由于第二控制方法可以根据外部动力设备10的第四进水管11处的第二实际水温与预设安全水温的比较结果，调节外部动力设备10与冷却塔40的热交换程度，因而使外部动力设备10的第四进水管11内具有恒温内循环冷却水，从而保证外部动力设备10正常、安全运行的同时，还具有热能回收效率高的特点。

作为本发明的第二个方面，提供了一种用于太阳能硅片清洗机的供水系统。如图2所示，供水系统包括第一进水管21、外部动力设备10和第一中间换热器50，第一进水管21与太阳能硅片清洗机20的进水口连通，外部动力设备10包括热能输送管路12，第一进水管21和热能输送管路12的第一段通过第一中间换热器50热交换。由于第一进水管21和热能输送管路12的第一段通过第一中间换热器50热交换，因而使得第一进水管21的第一反应水得以加热，节省了加热用电、减小了能耗和能源浪费，并且使外部动力设备10运行所产生的热能得以回收利用、提高了能源利用率、进一步减少了能源浪费，从而保证了供水系统的使用可靠性、降低了生产成本、提高了企业的经济效益。

如图2所示的实施例中，供水系统还包括第一流量阀51，第一流量阀51设置在热能输送管路12的第一段上。由于设置有第一流量阀51，因而通过调节第一流量阀51可以改变热能输送管路12与第一进水管21的热交换程度，从而使第一进水管21内的第一反应水的温度可控。

如图2所示的实施例中，供水系统还包括第一温度检测元件52和控制器，第一温度检测元件52设置在第一进水管21的靠近太阳能硅片清洗机的进水口的一端，用于检测第一进水管21内的第一反应水的第一实际水温；控制器与第一温度检测元件52、第一流量阀51连接，用于将检测到的第一实际水温与预设工艺水温比较、调节第一流量阀51的开度。由于设置有第一温度检测元件52检测第一进水管21内第一反应水的第一实际水温，因而当该第一实际水温与预设工艺水温比较后，控制器可以根据该比较结果调节第一流量阀51的开度，也就是调节热能的供应量，从而改变热能输送管路12与第一进水管21的热交换程度，进而对第一反应水温的水温实现控制，保证了供水系统的使用可靠性。优选地，预设工艺水温为50摄氏度。优选地，第一温度检测元件52为温度传感器。

如图2所示的实施例中，热能输送管路12包括主管路12a和第一支管路12b，第一支管路12b的两端均与主管路12a的第一段连通，第一进水管21通过第一中间换热器50与第一支管路12b热交换，第一流量阀51设置在主管路12a和第一支管路12b连接的进口处。由于第一流量阀51设置在主管路12a和第一支管路12b连接的进口处，因而通过调节第一流量阀51的开度，可以控制主管路12a和第一支管路12b内热能的流动比例，从而对第一反应水的水温、热能的热交换速率、热能的回收效率等实现有效控制，进而进一步提高了供水系统的使用可靠性。

如图2所示的实施例中，热能输送管路12还包括第二支管路12c，第二支管路12c的两端均与主管路12a的第二段连通，供水系统包括第二进水管31、第二中间换热器60和第二流量阀61，第二进水管31与太阳能硅片脱胶机30的进水口连通，第二进水管31通过第二中间换热器60与第二支管路12c热交换；第二流量阀61设置在主管路12a的第二段上，且第二流量阀61位于第二支管路12c的两端之间。由于第二进水管31通过第二中间换热器60与第二支管路12c热交换，因而使得外部动力设备10运行所产生的热能还能对太阳能硅片脱胶机30的第二进水管31内的第二反应水进行加热，进一步提高了热能的利用率，有效地使热能得以回收利用、避免浪费，进一步减少了电能损耗，从而提高了供水系统的使用可靠性。由于设置有第二流量阀61，因而可以调节第二支管路12c和主管路12a内热能的流动比例，从而对第二反应水的水温、热能的热交换速率、热能的回收效率等实现有效控制。一般情况下，热能全部流经第二支管路12c，对第二进水管31的第二反应水进行加热，从而使热能尽可能多的回收利用，有效避免了能量浪费。优选地，第二流量阀为手动阀。

当然，供水系统还可以仅对太阳能硅片脱胶机30使用的第二反应水进行加热，而对太阳能硅片清洗机使用的第一反应水使用电加热的方式进行加热处理。

如图2所示的实施例中，供水系统还包括第三进水管41和第三中间换热器70，第三进水管41与冷却塔40的反应进口连通，第三进水管41通过第三中间换热器70与热能输送管路12的第三段热交换。由于第三进水管41通过第三中间换热器70与热能输送管路12的第三段热交换，因而经过前级热交换后仍有余裕的热能可以通过冷却塔40进行耗散，从而保证了供水系统的使用可靠性。由于前级使用热能输送管路12内热量对第一反应水和/第二反应水进行加热，因而消耗了大部分的热能，从而降低了冷却塔40的废热耗散压力，从而保证了供水系统正常运行。

如图2所示的实施中，供水系统还包括第三流量阀71，热能输送管路12包括第三支管路12d，第三支管路12d的两端均与主管路12a的第三段连通，第三进水管41通过第三中间换热器70与第三支管路12d热交换，第三流量阀71设置在主管路12a和第三支管路12d连接的进口处。由于第三流量阀71设置在主管路12a和第三支管路12d连接的进口处，因而通过调节第三流量阀71的开度，可以控制主管路12a和第三支管路12d内热能的流动比例，从而对外循环冷却水的水温、热能的热交换速率等实现有效控制，进而进一步提高了供水系统的使用可靠性。

如图2所示的实施例中，外部动力设备10包括第四进水管11，第四进水管11与外部动力设备10的循环回流进口、热能输送管路12的出口连通，供水系统还包括：第二温度检测元件72和控制器，第二温度检测元件72设置在第四进水管11的靠近循环回流进口的一端，用于检测第四进水管11内的内循环冷却水的第二实际水温；控制器与第二温度检测元件72、第三流量阀71连接，用于将检测到的第二实际水温与预设安全水温比较、调节第三流量阀71的开度。通过调节第三流量阀71的开度可以改变主管路12a和第三支管路12d内热能的流动比例，从而改变第四进水管11内的内循环冷却水的温度，使其满足外部动力设备10的使用要求。由于第二温度检测元件72检测第四进水管11内内循环冷却水的第二实际水温，因而当该第二实际水温与预设安全水温比较后，控制器可以根据该比较结果调节第三流量阀71的开度，也就是调节热能与第三支管路12d的热交换情况，从而对内循环冷却水的第二实际水温进行控制，保证了供水系统的使用可靠性。优选地，第二温度检测元件72为温度传感器。

如图2所示的实施例中，供水系统还包括补水管路80和补水阀门81，补水管路80与热能输送管路12连通，且补水管路80位于热能输送管路12的第三段与热能输送管路12的出口之间；补水阀门81设置在补水管路80上。由于设置有补水管路80，因而当第四进水管11内的内循环冷却水水量不足时，可以通过补水的方法，快速补充足量的内循环冷却水，从而保证外部动力设备10正常运行。

优选地，第一流量阀51和第三流量阀71为三通阀。

本发明中的控制器还与第二流量阀61连接。优选地，控制器为PLC控制器。优选地，外部动力设备10为空气压缩机和/或制冷机。优选地，外部动力设备10、热能输送管路12、第四进水管11作为内循环冷却水冷却系统。

优选地，冷却塔40和第三进水管41作为外循环冷却水冷却系统。

如图2所示的实施例中，供水系统还包括氮封水箱82，氮封水箱82依次通过超纯水泵86、除TOC装置87、抛光混床88、紫外线杀菌器89、终端过滤器90与第一进水管21连通。氮封水箱82内通入高纯氮气83和超纯水84。氮封水箱82与溢流水路85连通。第一水泵91与第三进水管41的入口连通。热能输送管路12通过膨胀箱92、第二水泵93与第四进水管11连通。第一压力表94设置在终端过滤器90的后端，第二压力表95设置在膨胀箱92的前端。

工作流程如下：

1.由外部动力设备10产生的热能通过升温冷却水流的方式经热能输送管路12传导；

2.升温后的内循环冷却水在第一中间换热器50处同第一反应水（去离子水）进行高效热交换，使处于常温的去离子水被加热逐渐接近预设工艺水温（预设工艺水温要求为50摄氏度）；

3.第一反应水的第一实际水温由第一温度检测元件52检测，第一温度信号回传控制器，通过控制器运算控制第一流量阀51逐渐截止进入第一中间换热器50内的水流（热能），并控制第一流量阀51的开度控制第一实际水温尽可能保持在预设工艺水温水平；

4.热能输送管路12内主管路12a内的内循环冷却水在第二中间换热器60处会始终全部流入第二支管路12c内（通常第三流量阀71为关闭状态），从而使第二反应水可以大限度地吸收热能升温（由于太阳能硅片脱胶机所需的供水是不连续的，因而第二中间换热器60对内循环冷却水所承载的热量的吸收也是不连续的，这样就需要有保障的外循环冷却水冷却系统作为辅助安全散热来控制回水温度）；

5.当内循环冷却水回流至第四进水管11处时，第二温度检测元件72检测内循环冷却水的第二实际水温，第二温度信号回传控制器，通过控制器运算得知第二实际水温与预设安全水温的差异情况，当第二实际水温低于并逐渐逼近预设安全水温时，控制器控制第三流量阀71逐渐打开进入第三中间换热器70内的水流，并连续调节第三流量阀71的开度，以使第四进水管11内的内循环冷却水水温始终保持低于预设安全水温。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种用于太阳能硅片清洗机的供水加热方法，其特征在于，包括将外部动力设备（10）运行所产生的热能输送至太阳能硅片清洗机（20）的第一进水管（21）处，用以对所述第一进水管（21）内的第一反应水进行预加热处理，所述第一进水管（21）与所述太阳能硅片清洗机（20）的进水口连通。

2.根据权利要求1所述的供水加热方法，其特征在于，所述供水加热方法还包括控制所述第一反应水的加热温度，所述控制所述第一反应水的加热温度包括：

步骤S1：采集所述第一反应水加热后的第一实际水温；

步骤S2：将所述第一实际水温与预设工艺水温进行比较；

步骤S3：当所述第一实际水温低于所述预设工艺水温时，增加所述热能，用以提高所述第一反应水的所述第一实际水温；否则，减少所述热能，用以降低所述第一反应水的所述第一实际水温。

3.根据权利要求1所述的供水加热方法，其特征在于，所述供水加热方法还包括对太阳能硅片脱胶机（30）的供水预热，所述对太阳能硅片脱胶机（30）的供水预热包括：将所述热能对所述第一反应水加热后的余热输送至所述太阳能硅片脱胶机（30）的第二进水管（31）处，用以对所述第二进水管（31）内的第二反应水进行预加热处理，所述第二进水管（31）与所述太阳能硅片脱胶机（30）的进水口连通。

4.根据权利要求3所述的供水加热方法，其特征在于，所述供水加热方法还包括废热处理，所述废热处理包括：将所述余热对所述第二反应水加热后的废热输送至冷却塔（40）的第三进水管（41）处，用以对所述第三进水管（41）内的外循环冷却水加热以使所述废热得以耗散，所述第三进水管（41）与所述冷却塔（40）的进水口连通。

5.根据权利要求4所述的供水加热方法，其特征在于，所述供水加热方法还包括控制所述外部动力设备（10）正常运行，所述控制所述外部动力设备（10）正常运行包括：

步骤S10：采集所述外部动力设备（10）的第四进水管（11）处的第二实际水温；

步骤S20：将所述第二实际水温与预设安全水温进行比较；

步骤S30：当所述第二实际水温低于所述预设安全水温时，减少所述废热对所述第三进水管（41）进行加热，用以提高所述第二实际水温；否则，增加所述废热对所述第三进水管（41）进行加热，用以降低所述第二实际水温。

6.一种用于太阳能硅片清洗机的供水系统，其特征在于，包括：

第一进水管（21），所述第一进水管（21）与太阳能硅片清洗机（20）的进水口连通；

外部动力设备（10），所述外部动力设备（10）包括热能输送管路（12）；

第一中间换热器（50），所述第一进水管（21）和所述热能输送管路（12）的第一段通过所述第一中间换热器（50）热交换。

7.根据权利要求6所述的供水系统，其特征在于，所述供水系统还包括第一流量阀（51），所述第一流量阀（51）设置在所述热能输送管路（12）的所述第一段上。

8.根据权利要求7所述的供水系统，其特征在于，所述供水系统还包括：

第一温度检测元件（52），所述第一温度检测元件（52）设置在所述第一进水管（21）的靠近所述太阳能硅片清洗机（20）的进水口的一端，用于检测所述第一进水管（21）内的第一反应水的第一实际水温；

控制器，所述控制器与所述第一温度检测元件（52）、所述第一流量阀（51）连接，用于将检测到的所述第一实际水温与预设工艺水温比较、调节所述第一流量阀（51）的开度。

9.根据权利要求7所述的供水系统，其特征在于，所述热能输送管路（12）包括：

主管路（12a）；

第一支管路（12b），所述第一支管路（12b）的两端均与所述主管路（12a）的第一段连通，所述第一进水管（21）通过所述第一中间换热器（50）与所述第一支管路（12b）热交换，所述第一流量阀（51）设置在所述主管路（12a）和所述第一支管路（12b）连接的进口处。

10.根据权利要求9所述的供水系统，其特征在于，所述热能输送管路（12）还包括第二支管路（12c），所述第二支管路（12c）的两端均与所述主管路（12a）的第二段连通，所述供水系统包括：

第二进水管（31），所述第二进水管（31）与太阳能硅片脱胶机（30）的进水口连通；

第二中间换热器（60），所述第二进水管（31）通过所述第二中间换热器（60）与所述第二支管路（12c）热交换；

第二流量阀（61），所述第二流量阀（61）设置在所述主管路（12a）的所述第二段上，且所述第二流量阀（61）位于所述第二支管路（12c）的两端之间。

11.根据权利要求9所述的供水系统，其特征在于，所述供水系统还包括：

第三进水管（41），所述第三进水管（41）与冷却塔（40）的反应进口连通；

第三中间换热器（70），所述第三进水管（41）通过所述第三中间换热器（70）与所述热能输送管路（12）的第三段热交换。

12.根据权利要求11所述的供水系统，其特征在于，所述供水系统还包括第三流量阀（71），所述热能输送管路（12）包括第三支管路（12d），所述第三支管路（12d）的两端均与所述主管路（12a）的第三段连通，所述第三进水管（41）通过所述第三中间换热器（70）与所述第三支管路（12d）热交换，所述第三流量阀（71）设置在所述主管路（12a）和所述第三支管路（12d）连接的进口处。

13.根据权利要求12所述的供水系统，其特征在于，所述外部动力设备（10）包括第四进水管（11），所述第四进水管（11）与所述外部动力设备（10）的循环回流进口、所述热能输送管路（12）的出口连通，所述供水系统还包括：

第二温度检测元件（72），所述第二温度检测元件（72）设置在所述第四进水管（11）的靠近所述循环回流进口的一端，用于检测所述第四进水管（11）内的内循环冷却水的第二实际水温；

控制器，所述控制器与所述第二温度检测元件（72）、所述第三流量阀（71）连接，用于将检测到的所述第二实际水温与预设安全水温比较、调节所述第三流量阀（71）的开度。

14.根据权利要求12所述的供水系统，其特征在于，所述供水系统还包括：

补水管路（80），所述补水管路（80）与所述热能输送管路（12）连通，且所述补水管路（80）位于所述热能输送管路（12）的第三段与所述热能输送管路（12）的出口之间；

补水阀门（81），所述补水阀门（81）设置在所述补水管路（80）上。