CN105479604A - 一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，属于切片机技术领域。本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，包括机架、滑动架、脱胶槽、硅片盒和储水箱，机架上具有两个相互对称且竖直设置的导滑槽，滑动架两侧的上下端均设有可嵌入导滑槽且沿着导滑槽上下滑动的滑轮，机架上设有带动滑动架上下滑动的升降机构，硅片盒位于脱胶槽内，硅片盒和脱胶槽固定在滑动架上，脱胶槽底部设有若干用于加热硅片脱胶用水的加热管，脱胶槽底部两侧分别设有输出口和输入口，输出口通过输出管与储水箱相连接，输入口通过输水管与储水箱相连接，输出管上设有过滤机构。本发明不但可使脱胶水循环使用，避免浪费，而且还提高了硅片的脱胶效果。

Description

一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置

技术领域

本发明属于切片机技术领域，涉及一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置。

背景技术

多线切割机是通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入加工区域，对工件进行研磨，将工件一次同时切割为数百片薄片的一种切割加工机床，多线切割机已成为非金属材料切割加工的重要工具，常加工硅片及各种硬脆材料，其原理是通过多个导轮的引导，使一根高速运动的钢线在主线辊上形成一张线网，通过带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。多线切割机具有效率高，产能高，精度高等优点。多线切割机的断丝是一个常见的不可忽略的问题，造成断丝的原因有多种，现有技术中，导轮连杆长度短，这导致相邻导轮间距过短，导致钢丝上的张力不均匀，是其中的一个重要因素，需要加以改进。

为了有效解决上述问题中国发明专利申请(申请号：201410057102.7)公开了一种多线切割机，它至少包括床身、工作面板、后面板，成品字形分布的三个槽轮安装于工作面板上，后面板上安装有放线轮、收线轮、四个导轮连杆，每个导轮连杆的两侧各安装一个导轮，槽轮与导轮间还有多个换向轮，钢丝线由放线轮放出后依次经导向轮、多个导轮和换向轮引三个槽轮并形成一组平行的钢丝线，最后，由槽轮引出，经多个换向轮和多个导轮引至收线轮完成闭合，其特征在于：远离放线轮及收线轮的导轮连杆长度为现有导轮连杆的至少2倍，接近放线轮及收线轮的导轮连杆长度为现有导轮连杆的至少1.3倍。该发明中相邻导轮间距有较大增加，相邻导轮间的钢丝上的应力得到有效释放，钢丝上的张力更均匀，不易断丝。

但是在多线切割晶棒生产硅片的过程中，对切割好的硅片一般采用传统手工进行脱胶，因脱胶过程中对力度、温度掌握不均匀，且不稳定，易出现硅片崩边、毛边、氧化等现象，产生废片。另外用于对硅片脱胶的水往往是一次性使用，即浪费又不环保。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，包括机架、滑动架、脱胶槽、硅片盒和储水箱，其特征在于，所述机架上具有两个相互对称且竖直设置的导滑槽，所述滑动架两侧的上下端均设有可嵌入导滑槽且沿着导滑槽上下滑动的滑轮，所述机架上设有带动滑动架上下滑动的升降机构，所述硅片盒位于脱胶槽内，硅片盒和脱胶槽固定在滑动架上，硅片通过硅片架放置于硅片盒内，所述脱胶槽底部设有若干用于加热硅片脱胶用水的加热管，所述脱胶槽底部两侧分别设有输出口和输入口，所述输出口通过输出管与储水箱相连接，输入口通过输水管与储水箱相连接，所述输出管上设有过滤机构。

硅片架上具有将硅片隔开的分隔板，硅片盒与硅片架为镂空状，位于脱胶槽内的脱胶水流通于硅片盒与硅片架。位于脱胶槽槽底部的加热管为等距排列，且加热管的数量为五根。

原理：首先通过升降机构将滑动架提起，把切割好的硅片放置在硅片架上，然后再将硅片架放置在硅片盒内，最后再通过升降机构使滑动架沿着机架上的导滑槽向下移动，停止移动后往脱胶槽内注入脱胶水，通过加热管进行加热直至理想温度。硅片在脱胶后，脱胶槽内使用过的脱胶水会排入输出管，由输出管上的过滤机构过滤后再进入储水箱，当脱胶槽再次需要注水时，可通过输水管将储水箱内的水引入脱胶槽。使得用于脱胶的水源得以循环利用，即可避免直接排放的不环保现象和浪费现象，又大大可降低成本的投入，具有较高的使用价值。

在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述升降机构包括位于机架一侧的提升机和固定于机架上的若干定滑轮，所述提升机的输出轴上绕有钢绳，钢绳的一端通过定滑轮固定于滑动架上。

采用以上结构，便于将滑动架和固定于滑动架上的脱胶槽与硅片盒缓缓导入或导出机架上的导滑槽，即方便了操作人员的操作，又可避免导入导滑槽时滑动过快影响零部件的使用寿命。

在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，机架一侧还设有用于固定提升机的支撑板。

在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述机架内还设有使滑动架摆动的摆动机构且摆动机构位于滑动架下端，所述摆动机构包括摆动主板和摆动主板两侧的推板，所述推板外侧设有嵌入导滑槽的滑轮，推板上端面与滑动架底部面相互抵靠，所述机架底部设有一驱动电机，驱动电机电机的输出轴上具有若干偏心轮，所述若干偏心轮与摆动主板底部相互抵靠。

通过启动驱动电机，使得驱动电机的输出轴转动且带动偏心轮转动，摆动主板随偏心轮上下移动，位于摆动主板两侧的推板通过滑轮沿着导滑槽做上下移动，推板的上下移动的同时会带动与其相互抵靠的滑动架上下移动，因此会间接改变硅片与脱胶水的相对静止状态，提高了脱胶效果。

在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述输出管包括输出管一和输出管二，过滤机构位于输出管一和输出管二之间。

在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述输出管一上设有控制脱胶槽放水的阀门一。采用以上结构，便于操作人员对脱胶槽内水的排放。

在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，过滤机构包括呈方形过滤壳体，过滤壳体内具有输入连接端和输出连接端，所述输入连接端一侧设有呈漏斗状的防倒流结构，所述输出连接端设有过滤网。

脱胶槽内使用过后的水在排放时，需通过输出管排出，在水与杂质通过输出管一进入过滤机构时，水与杂质先由输入连接端进入，然后再通过防倒流结构，最后水通过过滤网从输出连接端输出，杂质被留在过滤壳体内。过滤壳体为可拆卸式，便于操作人员将过滤壳体内的杂质清理，另外过滤壳体为密封连接。

在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，储水箱底部设有排污管，排污管具有控制其开闭的阀门二。

储水箱顶部为可拆装式，便于操作人员定期的清理，可间接提高脱胶质量，储水箱底部排污管及阀门二的设有，便于操作人员在清理时对污水的排放。

在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述脱胶槽底部还具有抽水泵，抽水泵与伸入脱胶槽内的输水管一端相连。

采用以上结构，通过抽水泵便可将储水箱内的水输送至脱胶槽内，使得硅片脱胶用水得以循环利用。

在上述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中，所述脱胶槽底部一侧还有设有一感温器，所述感温器与控制加热管加热的控制阀相连接。

采用以上结构，可通过感温器测得脱胶槽内水的温度，一般脱胶水的温度达到60度为最佳。当脱胶槽内水温低于60度，感温器会发出信号给加热管控制阀，通过加热管加热提高水温；当脱胶槽内水温高温60度时，感温器会发出信号给加热管控制阀，通过控制阀停止加热管继续加热。这样既提高了脱胶效果，又可降低加热成本。

与现有技术相比，本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置的优点具有以下几点：

1、本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置通过过滤机构可使得用于脱胶的水源得以循环利用，即可避免直接排放的不环保现象和浪费现象，又大大可降低成本的投入，具有较高的使用价值。

2、本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置通过摆动机构可改变切割好的硅片与脱胶水之间相对静止的状态，产生流动性，提高了脱胶效果。

3、本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中脱胶槽底部一侧设有感温器，可保持脱胶槽内的水恒温，提高了脱胶效果。

附图说明

图1是本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置的主视图。

图2是本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置中过滤机构的内视图。

图中，1、机架；2、滑动架；3、脱胶槽；4、硅片盒；5、储水箱；6、导滑槽；7、滑轮；8、硅片架；9、加热管；10、输水管；11、提升机；12、定滑轮；13、钢绳；14、支撑板；15、摆动主板；16、推板；17、驱动电机；18、偏心轮；19、输出管一；20、输出管二；21、阀门一；22、过滤壳体；23、防倒流结构；24、过滤网；25、排污管；26、阀门二；27、抽水泵；28、感温器。

具体实施方式

以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。

如图1、图2所示，本切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，包括机架1、滑动架2、脱胶槽3、硅片盒4和储水箱5，机架1上具有两个相互对称且竖直设置的导滑槽6，滑动架2两侧的上下端均设有可嵌入导滑槽6且沿着导滑槽6上下滑动的滑轮7，机架1上设有带动滑动架2上下滑动的升降机构，硅片盒4位于脱胶槽3内，硅片盒4和脱胶槽3固定在滑动架2上，硅片通过硅片架8放置于硅片盒4内，硅片架8上具有将硅片隔开的分隔板，硅片盒4与硅片架8为镂空状，位于脱胶槽3内的脱胶水流通于硅片盒4与硅片架8。

升降机构包括位于机架1一侧的提升机11和固定于机架1上的若干定滑轮12，提升机11的输出轴上绕有钢绳13，钢绳13的一端通过定滑轮12固定于滑动架2上，其中机架1一侧设有用于固定提升机11的支撑板14。采用以上结构，便于将滑动架2和固定于滑动架2上的脱胶槽3与硅片盒4缓缓导入或导出机架1上的导滑槽6，即方便了操作人员的操作，又可避免导入导滑槽6时滑动过快影响零部件的使用寿命。

脱胶槽3底部设有若干用于加热硅片脱胶用水的加热管9，加热管9为等距排列，且加热管9的数量为五根。脱胶槽3底部两侧分别设有输出口和输入口，输出口通过输出管与储水箱5相连接，输入口通过输水管10与储水箱5相连接，输出管上设有过滤机构。

机架1内还设有使滑动架2摆动的摆动机构且摆动机构位于滑动架2下端，摆动机构包括摆动主板15和摆动主板15两侧的推板16，推板16外侧设有嵌入导滑槽6的滑轮7，推板16上端面与滑动架2底部面相互抵靠，机架1底部设有一驱动电机17，驱动电机17电机的输出轴上具有若干偏心轮18，若干偏心轮18与摆动主板15底部相互抵靠。通过启动驱动电机17，使得驱动电机17的输出轴转动且带动偏心轮18转动，摆动主板15随偏心轮18上下移动，位于摆动主板15两侧的推板16通过滑轮7沿着导滑槽6做上下移动，推板16的上下移动的同时会带动与其相互抵靠的滑动架2上下移动，因此会间接改变硅片与脱胶水的相对静止状态，提高了脱胶效果。

输出管包括输出管一19和输出管二20，过滤机构位于输出管一19和输出管二20之间。输出管一19上设有控制脱胶槽3放水的阀门一21。采用以上结构，便于操作人员对脱胶槽3内水的排放。

过滤机构包括呈方形过滤壳体22，过滤壳体22内具有输入连接端和输出连接端，输入连接端一侧设有呈漏斗状的防倒流结构23，输出连接端设有过滤网24。脱胶槽3内使用过后的水在排放时，需通过输出管排出，在水与杂质通过输出管一19进入过滤机构时，水与杂质先由输入连接端进入，然后再通过防倒流结构23，最后水通过过滤网24从输出连接端输出，杂质被留在过滤壳体22内。过滤壳体22为可拆卸式，便于操作人员将过滤壳体22内的杂质清理，另外过滤壳体22为密封连接。

储水箱5底部设有排污管25，排污管25具有控制其开闭的阀门二26。储水箱5顶部为可拆装式，便于操作人员定期的清理，可间接提高脱胶质量，储水箱5底部排污管25及阀门二26的设有，便于操作人员在清理时对污水的排放。

脱胶槽3底部还具有抽水泵27，抽水泵27与伸入脱胶槽3内的输水管10一端相连。通过抽水泵27便可将储水箱5内的水输送至脱胶槽3内，使得硅片脱胶用水得以循环利用。

脱胶槽3底部一侧还有设有一感温器28，感温器28与控制加热管9加热的控制阀相连接。通过感温器28测得脱胶槽3内水的温度，一般脱胶水的温度达到60度为最佳。当脱胶槽3内水温低于60度，感温器28会发出信号给加热管9控制阀，通过加热管9加热提高水温；当脱胶槽3内水温高温60度时，感温器28会发出信号给加热管9控制阀，通过控制阀停止加热管9继续加热。这样既提高了脱胶效果，又可降低加热成本。

基本原理：首先启动提升机11，利用提升机11输出轴的转动收卷钢绳13，通过钢绳13将滑动架2提起，然后操作人员把切割好的硅片放置在硅片架8上，然后再将硅片架8放置在硅片盒4内，接着再启动提升机11放卷钢绳13，使得滑动架2沿着机架1上的导滑槽6向下移动且与两推板16的上端面相互抵靠，然后往脱胶槽3内注入脱胶水，通过加热管9对脱胶水进行加热直至理想温度，其中需通过感温器28间接控制加热管9的加热，保持脱胶槽3内的水恒温。当硅片在脱胶后，脱胶槽3内使用过的脱胶水会排入输出管一19，脱胶水中的水与杂质会通过输出管一19进入至过滤壳体22，杂质会被过滤壳体22内的过滤网24留在过滤壳体22内，其中过滤壳体22内的防倒流结构23可防止杂质倒流出过滤壳体22。过滤后的水再通过输出管二20进入至储水箱5。当脱胶槽3再次需要注水时，可启动抽水泵27通过输水管10将储水箱5内的水引入至脱胶槽3内。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了机架1、滑动架2、脱胶槽3、硅片盒4、储水箱5、导滑槽6、滑轮7、硅片架8、加热管9、输水管10、提升机11、定滑轮12、钢绳13、支撑板14、摆动主板15、推板16、驱动电机17、偏心轮18、输出管一19、输出管二20、阀门一21、过滤壳体22、防倒流结构23、过滤网24、排污管25、阀门二26、抽水泵27、感温器28等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。

Claims (10)

1.一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，包括机架、滑动架、脱胶槽、硅片盒和储水箱，其特征在于，所述机架上具有两个相互对称且竖直设置的导滑槽，所述滑动架两侧的上下端均设有可嵌入导滑槽且沿着导滑槽上下滑动的滑轮，所述机架上设有带动滑动架上下滑动的升降机构，所述硅片盒位于脱胶槽内，硅片盒和脱胶槽固定在滑动架上，硅片通过硅片架放置于硅片盒内，所述脱胶槽底部设有若干用于加热硅片脱胶用水的加热管，所述脱胶槽底部两侧分别设有输出口和输入口，所述输出口通过输出管与储水箱相连接，输入口通过输水管与储水箱相连接，所述输出管上设有过滤机构。

2.根据权利要求1所述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，其特征在于，所述升降机构包括位于机架一侧的提升机和固定于机架上的若干定滑轮，所述提升机的输出轴上绕有钢绳，钢绳的一端通过定滑轮固定于滑动架上。

3.根据权利要求2所述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，其特征在于，机架一侧还设有用于固定提升机的支撑板。

4.根据权利要求3所述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，其特征在于，所述机架内还设有使滑动架摆动的摆动机构且摆动机构位于滑动架下端，所述摆动机构包括摆动主板和摆动主板两侧的推板，所述推板外侧设有嵌入导滑槽的滑轮，推板上端面与滑动架底部面相互抵靠，所述机架底部设有一驱动电机，驱动电机电机的输出轴上具有若干偏心轮，所述若干偏心轮与摆动主板底部相互抵靠。

5.根据权利要求4所述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，其特征在于，所述输出管包括输出管一和输出管二，过滤机构位于输出管一和输出管二之间。

6.根据权利要求5所述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，其特征在于，所述输出管一上设有控制脱胶槽放水的阀门一。

7.根据权利要求6所述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，其特征在于，过滤机构包括呈方形过滤壳体，过滤壳体内具有输入连接端和输出连接端，所述输入连接端一侧设有呈漏斗状的防倒流结构，所述输出连接端设有过滤网。

8.根据权利要求7所述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，其特征在于，储水箱底部设有排污管，排污管具有控制其开闭的阀门二。

9.根据权利要求8所述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，其特征在于，所述脱胶槽底部还具有抽水泵，抽水泵与伸入脱胶槽内的输水管一端相连。

10.根据权利要求9所述的一种切片机硅片脱胶用水的循环利用装置，其特征在于，所述脱胶槽底部一侧还有设有一感温器，所述感温器与控制加热管加热的控制阀相连接。