CN211620667U - 一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置。所述单晶炉冷却循环系统余热利用装置包括：单晶炉出水管道、第一板式换热器、暖气管路、第一冷却塔、第二板式换热器、清洗水槽和第二冷却塔；所述单晶炉出水管道上设置有第一导流管，所述第一导流管的输出端与所述第一板式换热器的热水出口相互连通，并且第一导流管的左侧设置有分流管。本实用新型提供的单晶炉冷却循环系统余热利用装置具有通过板式换热器将超声波所有冷水加热后效果明显且节约能耗，同时由于板式换热器的作用，使得单晶炉循环水系统开启的冷却风机的数量减少，从而节能降耗，开启的冷却风机减少，开式冷却塔的蒸发量降低，从而节约了生产用水。

Description

一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置

技术领域

本实用新型涉及单晶炉冷却设备技术领域，尤其涉及一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置。

背景技术

单晶炉在进行冷却循环的过程中，多余的热量直接被消耗和浪费掉，使得大量的热水源无法被充分的回收和使用，导致单晶炉余热水源的资源造成大量的浪费。

在现有技术中，现有的单晶炉在进行余热处理的过程中热量直接被排除和浪费，余热无法被重新利用和应用到生产的过程中，辅助设备的运行和提高人们的生活。

因此，有必要提供一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置，解决了单晶炉余热直接排放造成能源浪费的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的单晶炉冷却循环系统余热利用装置包括：单晶炉出水管道、第一板式换热器、暖气管路、第一冷却塔、第二板式换热器、清洗水槽和第二冷却塔；所述单晶炉出水管道上设置有第一导流管，所述第一导流管的输出端与所述第一板式换热器的热水出口相互连通，并且第一导流管的左侧设置有分流管，所述分流管的输出端与所述第一板式换热器的热水进口相互连通，所述第一导流管的右侧设置有第一排流管，所述第一排流管的输出端与所述第一冷却塔的输入端相互连通；所述暖气管路的输出端设置有冷水导入管，并且暖气管路的输入端设置有冷水导出管，所述冷水导入管的输出端与所述第一板式换热器的冷进口相互连通，所述冷水导出管的输入端与所述第一板式换热器的冷出口相互连通；所述单晶炉出水管道上设置有第二导流管，所述第二导流管的输出端与所述第二板式换热器的热进口相互连通，所述第二板式换热器的冷进口设置有自来水导入管，所述清洗水槽的输入端与所述第二板式换热器的冷出口之间设置有排水管，所述第二板式换热器的热出口设置有第二排流管，所述第二排流管的输出端与所述第二冷却塔的输入端相互连通。

优选的，所述第一导流管上且位于所述第一排流管与所述第一板式换热器之间设置有第一控制阀，并且第一导流管上且位于所述单晶炉出水管道与所述第一排流管之间设置有第二控制阀，所述分流管上设置有第三控制阀。

优选的，还包括储存箱，所述储存箱的左侧与所述单晶炉出水管道的输出端相互连通。

优选的，所述储存箱的右侧固定连接有安装板，所述安装板的顶部固定连接有水泵。

优选的，所述水泵的输出端固定连接有吸水管，所述吸水管的输入端贯穿所述储存箱且延伸至所述储存箱的内部。

优选的，所述储存箱上开设有分水槽，并且储存箱的右侧设置有刻度管，所述刻度管的左侧与所述分水槽的内部相互连通。

与相关技术相比较，本实用新型提供的单晶炉冷却循环系统余热利用装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置，通过板式换热器将超声波所有冷水加热后效果明显且节约能耗，同时由于板式换热器的作用，使得单晶炉循环水系统开启的冷却风机的数量减少，从而节能降耗，开启的冷却风机减少，开式冷却塔的蒸发量降低，从而节约了生产用水。

附图说明

图1为本实用新型提供的单晶炉冷却循环系统余热利用装置的第一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型提供的单晶炉冷却循环系统余热利用装置的的第二实施例的结构示意图。

图中标号：1、单晶炉出水管道，11、第一导流管，111、第一控制阀，112、第二控制阀，12、分流管，121、第三控制阀，13、第一排流管，14、第二导流管，2、第一板式换热器，3、暖气管路，31、冷水导入管，32、冷水回流管，4、第一冷却塔，5、第二板式换热器，51、自来水导入管，6、清洗水槽，61、排水管，7、第二冷却塔，71、第二排流管，8、储存箱，81、安装板，82、水泵，83、吸水管，84、分水槽，9、刻度管。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1，其中，图1为本实用新型提供的单晶炉冷却循环系统余热利用装置的第一实施例的结构示意图。一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置包括：单晶炉出水管道1、第一板式换热器2、暖气管路3、第一冷却塔4、第二板式换热器5、清洗水槽6和第二冷却塔7；所述单晶炉出水管道1上设置有第一导流管11，所述第一导流管11的输出端与所述第一板式换热器2的热水出口相互连通，并且第一导流管11的左侧设置有分流管12，所述分流管12的输出端与所述第一板式换热器2的热水进口相互连通，所述第一导流管11的右侧设置有第一排流管13，所述第一排流管13的输出端与所述第一冷却塔4的输入端相互连通；所述暖气管路3的输出端设置有冷水导入管31，并且暖气管路3的输入端设置有冷水导出管32，所述冷水导入管31的输出端与所述第一板式换热器2的冷进口相互连通，所述冷水导出管32的输入端与所述第一板式换热器2的冷出口相互连通；所述单晶炉出水管道1上设置有第二导流管14，所述第二导流管14的输出端与所述第二板式换热器5的热进口相互连通，所述第二板式换热器5的冷进口设置有自来水导入管51，所述清洗水槽6的输入端与所述第二板式换热器5的冷出口之间设置有排水管61，所述第二板式换热器5的热出口设置有第二排流管71，所述第二排流管71的输出端与所述第二冷却塔7的输入端相互连通。

所述第一导流管11上且位于所述第一排流管13与所述第一板式换热器2之间设置有第一控制阀111，并且第一导流管11上且位于所述单晶炉出水管道1与所述第一排流管13之间设置有第二控制阀112，所述分流管12上设置有第三控制阀121。

单晶炉循环回水由于吸收热量温度较高，利用板式换热器，将热源机组的进水加热，从而启动热源机组带动整个工业生产区域和办公宿舍区域的供暖；通过板式换热器将原料制备纯水的自来水加热至25℃，从而取缔了漂洗时加热用的热水器，降低清洗硅片的能耗，超声波清洗也需要30℃左右的热水，通过板式换热器将超声波所有冷水加热后效果明显且节约能耗，同时由于板式换热器的作用，使得单晶炉循环水系统开启的冷却风机的数量减少，从而节能降耗，开启的冷却风机减少，开式冷却塔的蒸发量降低，从而节约了生产用水。

本实用新型提供的单晶炉冷却循环系统余热利用装置的工作原理如下：

利用单晶炉回水作为热源，来提高空调循环热的温度；

当冬季供暖时关闭第二控制阀112，打开第一控制阀111和第三控制阀121，热水就进入第一板式换热器2的内部进行热交换，传递热量给空调机组的暖气管路3；

当不需要供暖时，打来第二控制阀112，关闭第一控制阀111和第三控制阀121，热水不经过第一板式换热器2，直接进入第一冷却塔4；

由于现场条件的限制和水流量的考虑，进入第二板式换热器的热水经过热交换后没有直接回纯水箱，而是直接回冷却塔继续降温后回纯水箱；

利用单晶炉出水热源加热原料清洗用的热水。

与相关技术相比较，本实用新型提供的单晶炉冷却循环系统余热利用装置具有如下有益效果：

通过板式换热器将超声波所有冷水加热后效果明显且节约能耗，同时由于板式换热器的作用，使得单晶炉循环水系统开启的冷却风机的数量减少，从而节能降耗，开启的冷却风机减少，开式冷却塔的蒸发量降低，从而节约了生产用水。

第二实施例：

基于本申请的第一实施例提供的一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置，本申请的第二实施例提出另一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置。第二实施例仅仅是第一实施例优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请参阅图2，本实用新型提供另一种技术方案：还包括储存箱8，所述储存箱8的左侧与所述单晶炉出水管道1的输出端相互连通。

储存箱8接收来自单晶炉出水管道1导出的热水源，并且对多余的热水源进行储存和备用，以方便及时的提取和使用，避免余热水源过多而热量回收不充分。

所述储存箱8的右侧固定连接有安装板81，所述安装板81的顶部固定连接有水泵82。

通过水泵82抽取储存箱8内部的热源进行传输和使用。

所述水泵82的输出端固定连接有吸水管83，所述吸水管83的输入端贯穿所述储存箱8且延伸至所述储存箱8的内部。

所述储存箱8上开设有分水槽84，并且储存箱8的右侧设置有刻度管9，所述刻度管9的左侧与所述分水槽84的内部相互连通。

刻度管9对储存箱8的内部热水源的高度进行显示和读取，方便维护人员及时的确认热水源是否过多，需要及时的进行清理，保障储存箱8内部水源保存的稳定性和安全性。

有益效果：

储存箱8接收来自单晶炉出水管道1导出的热水源，并且对多余的热水源进行储存和备用，以方便及时的提取和使用，避免余热水源过多而热量回收不充分，刻度管9对储存箱8的内部热水源的高度进行显示和读取，方便维护人员及时的确认热水源是否过多，需要及时的进行清理，保障储存箱8内部水源保存的稳定性和安全性。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种单晶炉冷却循环系统余热利用装置，其特征在于，包括：

单晶炉出水管道、第一板式换热器、暖气管路、第一冷却塔、第二板式换热器、清洗水槽和第二冷却塔；

所述单晶炉出水管道上设置有第一导流管，所述第一导流管的输出端与所述第一板式换热器的热水出口相互连通，并且第一导流管的左侧设置有分流管，所述分流管的输出端与所述第一板式换热器的热水进口相互连通，所述第一导流管的右侧设置有第一排流管，所述第一排流管的输出端与所述第一冷却塔的输入端相互连通；

所述暖气管路的输出端设置有冷水导入管，并且暖气管路的输入端设置有冷水导出管，所述冷水导入管的输出端与所述第一板式换热器的冷进口相互连通，所述冷水导出管的输入端与所述第一板式换热器的冷出口相互连通；

所述单晶炉出水管道上设置有第二导流管，所述第二导流管的输出端与所述第二板式换热器的热进口相互连通，所述第二板式换热器的冷进口设置有自来水导入管，所述清洗水槽的输入端与所述第二板式换热器的冷出口之间设置有排水管，所述第二板式换热器的热出口设置有第二排流管，所述第二排流管的输出端与所述第二冷却塔的输入端相互连通。

2.根据权利要求1所述的单晶炉冷却循环系统余热利用装置，其特征在于，所述第一导流管上且位于所述第一排流管与所述第一板式换热器之间设置有第一控制阀，并且第一导流管上且位于所述单晶炉出水管道与所述第一排流管之间设置有第二控制阀，所述分流管上设置有第三控制阀。

3.根据权利要求1所述的单晶炉冷却循环系统余热利用装置，其特征在于，还包括储存箱，所述储存箱的左侧与所述单晶炉出水管道的输出端相互连通。

4.根据权利要求3所述的单晶炉冷却循环系统余热利用装置，其特征在于，所述储存箱的右侧固定连接有安装板，所述安装板的顶部固定连接有水泵。

5.根据权利要求4所述的单晶炉冷却循环系统余热利用装置，其特征在于，所述水泵的输出端固定连接有吸水管，所述吸水管的输入端贯穿所述储存箱且延伸至所述储存箱的内部。

6.根据权利要求5所述的单晶炉冷却循环系统余热利用装置，其特征在于，所述储存箱上开设有分水槽，并且储存箱的右侧设置有刻度管，所述刻度管的左侧与所述分水槽的内部相互连通。

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