CN103691255A - 有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法，其步骤包括：将有机金属化学气相沉积法(MOCVD)所产生的废气导入至水中；将含有有机金属化学气相沉积法的废气的水降温，以保存于水中的氨气，去除杂质；以及将前述含有氨气的水进行升温使氨气逸出；借由上述方法，可将有机金属化学气相沉积法制程的废气去除氮气、氢气以及甲烷等杂质后回收生产成可用氨气，达到废气循环再使用的目的。
Description
技术领域
本发明有关于一种废气回收再利用方法，尤其是有关于一种利用氨气溶解度大的特性可溶解于水中与其他废气进行分离后，再经由气化、加热以及压缩降温的流程，而能达到有机金属化学气相沉积的废气回收再利用的目的。
背景技术
有机金属化学气相沉积法是当今最先进、最重要的氮化镓材料和器件大批量制备技术，随着它的出现，蓝色发光材料的制作成本逐渐降低；其主要使用在LED以及DVD雷射二极管、光通讯雷射二极管、红蓝绿发光二极管、太阳能电池、或是手机通讯射频芯片的射频集成电路等处。然而其所产生的废气目前均是透过废气系统吸附及处理所有通过系统的有毒气体，以减少对环境的污染。常用的废气处理系统可分为干式、湿式及燃烧式等种类。虽可有效处理有毒废气，却无法使废气中可用气体回收再利用。
因此，如何提供一可有效回收有机金属化学气相沉积法的废气，并达到循环再利用的环保目的，是发明人急欲解决的课题。
发明内容
有鉴于现有的有机金属化学气相沉积法的废气处理法仍存在有不完善处，发明人经过长时间不断的研究开发，终于研发出此种可以回收生产氨气以及工业用液氨的废气回收再生方法。
本发明有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法，其步骤包括：(A)将有机金属化学气相沉积法(MOCVD)所产生的废气导入至水中；(B)将含有有机金属化学气相沉积法的废气的水降温，以保存于水中的氨气，去除杂质；以及(C)将前述含有氨气的水进行升温使氨气逸出。
本发明的主要目的在于借由上述方法，可将有机金属化学气相沉积法制程的废气去除氮气、氢气以及甲烷等杂质后回收生产成可用氨气，达到废气循环再使用的目的。
除此之外，本发明可于步骤(C)后将所得的氨气进行压缩降温，更可进一步得到工业用所需的液氨，使其更具有经济价值。
为了能让审查员能更易于了解本发明的特点，请参阅本发明实施方式的说明。
附图说明
图1为本发明有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法的流程图。
图2为本发明有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法的氨水浓度表。
附图标记说明
(A)将有机金属化学气相沉积法所产生的废气导入至水中
(B)将含有有机金属化学气相沉积法的废气的水降温，以保存于水中的氨气，去除杂质
C)将前述含有氨气的水进行升温使氨气逸出
(D)将步骤(C)逸出的氨气进行压缩以及降温
具体实施方式
请同时参阅图1以及图2，图1为本发明有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法流程图，图2为本发明有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法的氨水浓度表。本发明有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法，其步骤包括：(A)将有机金属化学气相沉积法(MOCVD)所产生的废气导入至水中；(B)将含有有机金属化学气相沉积法的废气的水降温，以保存于水中的氨气，去除杂质；以及(C)将前述含有氨气的水进行升温使氨气逸出；借由上述方法，可将有机金属化学气相沉积法制程的废气去除氮气、氢气以及甲烷等杂质后回收生产成可用氨气，达到废气循环再使用的目的。
本发明有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法，可于步骤(C)后再增加步骤(D)，其为将步骤(C)逸出的氨气进行压缩以及降温，用以得到工业级的液氨。
由以上详细说明可使熟知本项技术人员明白本发明的确可达成前述的目的，实已符合专利法的规定，故依法提出发明专利申请。
总之，虽然本发明揭示了优选实施例，但不应该以此限定本发明专利实施的范围，所属领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围下，相对所述实施例进行的等同变化和改进，都应该属于本发明所保护的技术范围。
Claims (2)
1.一种有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法，其步骤包括：
(A)将有机金属化学气相沉积法所产生的废气导入至水中；
(B)将含有有机金属化学气相沉积法的废气的水降温，以保存于水中的氨气，去除杂质；以及
(C)将前述含有氨气的水进行升温使氨气逸出；
借由上述方法，可将有机金属化学气相沉积法制程的废气去除氮气、氢气以及甲烷等杂质后回收生产成可用氨气，达到废气循环再使用的目的。
2.如权利要求1所述的有机金属化学气相沉积法的废气回收再生方法，其中，可于步骤(C)后再增加步骤(D)，以将步骤(C)逸出的氨气进行压缩以及降温。
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