CN103575310A - 光学编码器、马达装置及光学编码器的信号处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种光学编码器、马达装置及光学编码器的信号处理方法，可提高被检测媒介物的位置检测时的检测精度。反射型编码器具有：圆盘；光源；受光元件；补偿值存储部，储存有偏移补偿值；调节部，根据圆盘速度或电信号，调节光源的发光量或偏移补偿值，使光源的发光量与偏移补偿值的比大致一定；减法器，利用偏移补偿值对与由调节部调节的发光量相对应的电信号进行补偿，或者，利用由调节部进行调节后的偏移补偿值而对电信号进行补偿，以除去偏移成分；及位置检测部，利用由减法器进行补偿后的电信号，检测出圆盘的位置。

Description

光学编码器、马达装置及光学编码器的信号处理方法

技术领域

所公开的实施方式涉及一种光学编码器、马达装置及光学编码器的信号处理方法。

背景技术

已知有一种光学编码器，其对被检测媒介物的位置进行光学检测。例如专利文献1中记载的光学编码器具备光源（发光元件）和受光元件。用受光元件检测从光源照射的光。由受光元件产生对应于受光量的电信号。而且，在该光学编码器中，根据来自受光元件的电信号的反馈结果，执行控制光源发光量的发光量控制。

专利文献1：日本国专利4058659号公报

然而，在通过进行如上所述的发光量控制来控制发光量，从而抑制发光量偏移的情况下，进一步抑制发光量的偏移，或者根据发光量的偏移来调节偏移补偿值，以用于除去或降低来自受光元件的电信号中包含的偏移成分，则有利于提高被检测媒介物的位置检测时的检测精度。

发明内容

于是，本发明是鉴于上述问题而进行的，本发明的目的在于提供一种光学编码器、马达装置及光学编码器的信号处理方法，可提高被检测媒介物的位置检测时的检测精度。

为了解决上述课题，根据本发明的一个观点，提供一种光学编码器，其特征在于，具有：

被检测媒介物，具备以规定间隔排列且使光反射或透射的狭缝；

光源，向所述被检测媒介物照射光；

受光元件，检测出从所述光源照射且沿所述狭缝反射或透射的光，产生对应于受光量的电信号；

补偿值存储部，储存有偏移补偿值，用于除去或降低所述电信号中包含的偏移成分；

调节部，根据所述被检测媒介物的移动速度或所述电信号，调节发光量或所述偏移补偿值，使所述光源的所述发光量与所述偏移补偿值的比大致一定；

信号补偿部，利用所述偏移补偿值对与由所述调节部调节的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿，或者，利用由所述调节部调节后的所述偏移补偿值而对所述电信号进行补偿，以除去或降低所述偏移成分；

及位置检测部，利用由所述信号补偿部补偿后的所述电信号，检测出所述被检测媒介物的位置。

而且，也可以是所述调节部根据所述电信号来调节所述偏移补偿值，使所述发光量与所述偏移补偿值的比大致一定，

所述信号补偿部利用由所述调节部调节后的所述偏移补偿值而对所述电信号进行补偿。

而且，也可以是所述光学编码器还具有：

调节量存储部，储存有调节量信息，其表示相对于所述发光量的所述偏移补偿值的调节量；

振幅检测部，检测出所述电信号的振幅；

及光源控制部，根据由所述振幅检测部检测的所述振幅，控制所述发光量，使该振幅的变化减少，

所述调节部具有补偿值减少部，即使由所述光源控制部进行发光量控制，也在由所述振幅检测部检测出的所述振幅减少时，根据该振幅和所述调节量信息，使所述偏移补偿值减少，

所述信号补偿部利用通过所述补偿值减少部而减少后的所述偏移补偿值，对与减少后的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿。

而且，也可以是所述光学编码器还具有：

滤波器，从所述电信号除去或降低规定的高频成分；

特性存储部，储存有滤波器特性信息，其表示相对于所述被检测媒介物的移动速度的由所述滤波器滤波后的所述电信号的振幅；

振幅检测部，检测出所述滤波后的所述电信号的振幅；

速度检测部，检测出所述被检测媒介物的移动速度；

及光源控制部，根据由所述振幅检测部检测出的所述振幅，控制所述发光量，使该振幅的变化减少，

所述调节部具有补偿值增加部，在因所述被检测媒介物的移动速度增加而导致由所述振幅检测部检测出的所述振幅减少从而通过所述光源控制部使所述发光量增加时，根据由所述速度检测部检测出的所述移动速度和所述滤波器特性信息，使所述偏移补偿值增加，

所述信号补偿部利用通过所述补偿值增加部而增加后的所述偏移补偿值，对与通过所述光源控制部而增加的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿。

而且，也可以是所述光学编码器还具有滤波器，从所述电信号除去或降低规定的高频成分，

所述调节部在所述被检测媒介物的移动速度增加时，根据所述被检测媒介物的移动速度的增加来调节所述发光量，或者，调节所述偏移补偿值，使所述发光量与所述偏移补偿值的比大致一定。

而且，也可以是所述光学编码器还具有：

特性存储部，储存有滤波器特性信息，其表示相对于所述被检测媒介物的移动速度的由所述滤波器滤波后的所述电信号的振幅；

振幅检测部，检测出所述滤波后的所述电信号的振幅；

及速度检测部，检测出所述被检测媒介物的移动速度，

所述调节部具有振幅补偿部，在因所述被检测媒介物的移动速度增加而导致由所述振幅检测部检测出的所述振幅减少时，根据由所述速度检测部检测出的所述移动速度和所述滤波器特性信息，对伴随所述被检测媒介物的移动速度的增加的所述滤波后的所述电信号的振幅的减少进行补偿，

所述光学编码器还具有光源控制部，其根据由所述振幅补偿部补偿后的所述振幅来控制所述发光量，使该振幅的变化减少，

所述信号补偿部利用所述偏移补偿值，对与由所述光源控制部控制的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿。

而且，也可以是所述光学编码器还具有：

调节量存储部，储存有调节量信息，其表示相对于所述发光量的所述偏移补偿值的调节量；

振幅检测部，检测出由所述滤波器滤波后的所述电信号的振幅；

及光源控制部，根据由所述振幅检测部检测出的所述振幅，控制所述发光量，使该振幅的变化减少，

所述调节部具有补偿值减少部，即使由所述光源控制部进行发光量控制，也在由所述振幅检测部检测出的所述振幅减少时，根据该振幅和所述调节量信息，使所述偏移补偿值减少，

所述信号补偿部利用通过所述补偿值减少部而减少后的所述偏移补偿值，对与减少后的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿。

而且，为了解决上述课题，根据本发明的另一个观点，提供一种马达装置，具有：马达，使转轴旋转；及光学编码器，检测出所述转轴的位置，其特征在于，所述光学编码器具有：

被检测媒介物，连结于所述转轴，具备以规定间隔排列且使光反射或透射的狭缝；

光源，向所述被检测媒介物照射光；

受光元件，检测出从所述光源照射且沿所述狭缝反射或透射的光，产生对应于受光量的电信号；

补偿值存储部，储存有偏移补偿值，用于除去或降低所述电信号中包含的偏移成分；

调节部，根据所述被检测媒介物的移动速度或所述电信号，调节所述发光量或所述偏移补偿值，使所述光源的发光量与所述偏移补偿值的比大致一定；

信号补偿部，利用所述偏移补偿值对与由所述调节部调节的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿，或者，利用由所述调节部调节后的所述偏移补偿值而对所述电信号进行补偿，以除去或降低所述偏移成分；

及位置检测部，利用由所述信号补偿部补偿后的所述电信号，检测出所述被检测媒介物的位置。

而且，为了解决上述课题，根据本发明的又一个观点，提供一种光学编码器的信号处理方法，是通过光学编码器执行的光学编码器的信号处理方法，该光学编码器具有：被检测媒介物，具备以规定间隔排列且使光反射或透射的狭缝；光源，向所述被检测媒介物照射光；受光元件，检测出从所述光源照射且沿所述狭缝反射或透射的光，产生对应于受光量的电信号；及补偿值存储部，储存有偏移补偿值，用于除去或降低所述电信号中包含的偏移成分，其特征在于，具有如下步骤：

通过调节部，根据所述被检测媒介物的移动速度或所述电信号，调节所述发光量或所述偏移补偿值，使所述光源的发光量与所述偏移补偿值的比大致一定；

通过信号补偿部，利用所述偏移补偿值对与由所述调节部调节的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿，或者，利用由所述调节部调节后的所述偏移补偿值而对所述电信号进行补偿，以除去或降低所述偏移成分；

以及通过位置检测部，利用由所述信号补偿部补偿后的所述电信号，检测出所述被检测媒介物的位置。

根据如上说明的本发明，可以提高被检测媒介物的位置检测时的检测精度。

附图说明

图1是用于说明发光量和偏移成分量的关系的说明图。

图2是用于说明第1实施方式所涉及的伺服系统的说明图。

图3是用于说明该实施方式所涉及的反射型编码器的说明图。

图4是用于说明该实施方式所涉及的圆盘的说明图。

图5是用于说明该实施方式所涉及的光学模块的说明图。

图6是用于说明该实施方式所涉及的位置数据生成部的说明图。

图7是用于说明滤波器特性信息的说明图。

图8是用于说明光源劣化后的通电量、发光量及偏移成分量的变化的说明图。

图9是用于说明调节量信息的说明图。

图10是用于说明该实施方式所涉及的位置数据生成部的基于反射型编码器的信号处理方法的动作内容的一个例子的说明图。

图11是用于说明第2实施方式所涉及的位置数据生成部的说明图。

图12是用于说明该实施方式所涉及的位置数据生成部的基于反射型编码器的信号处理方法的动作内容的一个例子的说明图。

符号说明

100-反射型编码器（光学编码器的一个例子）；110-圆盘（被检测媒介物的一个例子）；111-反射狭缝（狭缝的一个例子）；123-受光元件；131-光源；151a、b-LPF（滤波器的一个例子）；153a、b-减法器（信号补偿部的一个例子）；154-位置检测部；156-振幅检测部；157-调节部；157’-调节部；157a-振幅补偿部；157a’-振幅补偿部；157b-补偿值减少部；157b’-补偿值减少部；157e-补偿值增加部；158-光源控制部；158’-光源控制部；159a-补偿值存储部；159b-调节量存储部；159c-特性存储部；M-马达；SH-转轴；SM-伺服马达（马达装置的一个例子）。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式详细进行说明。另外，在本说明书及附图中，实质上具有同一功能的构成要素原则上以同一符号表示。而且，适当省略对这些构成要素的重复说明。

在此，在说明实施方式之前，说明本申请发明人等锐意研究的结果、所想到的情况等。

如以下说明的各实施方式那样，在使用光学编码器时，从光源照射的光沿被检测媒介物的狭缝反射或透射，该反射或透射的光被受光元件接收（检测）。由受光元件产生对应于受光量的电信号（也称为受光信号、检测信号）。该产生的电信号例如通过有无狭缝而成为正弦波信号。而且，利用上述电信号进行被检测媒介物的位置检测。此时，使狭缝的节距以电角呈360°，根据90°相位不同的电信号而得到电信号，由此，根据具有该相位差的电信号可以描绘出理想上半径一定且以0点为中心的利萨佐斯图形（Lissajous Figure）。

但是，电信号会因漏光等的影响而发生偏移，成为以从0点偏移的点为中心的正弦波。这是因为在电信号中包含根据被检测媒介物的位置而成为不同的强度从而用于该被检测媒介物的位置检测的成分（所谓的交流成分）以及与被检测媒介物的位置无关的一定强度的成分（所谓的偏移成分）。根据上述电信号描绘利萨佐斯图形时，利萨佐斯图形的中心从0点偏移。而且，根据上述利萨佐斯图形进行被检测媒介物的位置检测时则产生误差。因此，例如预先储存偏移补偿值，其用于除去（或降低，以下相同）从光源照射规定光量的条件下的电信号中包含的偏移成分。然后，利用该偏移补偿值对电信号进行补偿，由此，从该电信号除去偏移成分，利用该补偿后的电信号进行被检测媒介物的位置检测。由此，可提高被检测媒介物的位置检测时的检测精度。

然而，根据本申请发明人等的研讨，发现电信号中包含的偏移成分量对应于光源的发光量（也称为照射光量），当发光量发生变化时，与此相应电信号中包含的偏移成分量也发生变化。

以下，参照图1说明发光量和偏移成分量的关系。图1中，横轴取发光量，纵轴取偏移成分量，用曲线示出相对于发光量的偏移成分量。在该曲线所示的例子中，随着发光量增加，偏移成分量也成比例增加。但是，发光量和偏移成分量的关系不限定于上述比例关系。

因而，如上所述，由于当发光量发生变化时，与此相应电信号中包含的偏移成分量也发生变化，因此始终使用如上所述的预先储存的偏移补偿值对电信号进行补偿时，有可能无法充分除去偏移成分，被检测媒介物的位置检测时的检测精度下降。另一方面，例如为了应对经年劣化、温度变化等所引起的发光量的经时变化等，目前是进行如上述现有技术那样的发光量控制。但是，即使通过进行上述发光量控制而将发光量控制为大致一定值，从而想要抑制发光量的偏移，发光量有时也会发生偏移。

料想到上述情况的本申请发明人等进一步锐意研究的结果，想到了以下说明的各实施方式所涉及的光学编码器等。以下，对这些各实施方式详细进行说明。另外，在此说明的课题、效果等只是以下说明的各实施方式的一个例子，不用说该实施方式还具有进一步的作用效果等。

另外，以下说明的各实施方式所涉及的光学编码器可应用于旋转型（rotarytype）、直线型（linear type）等各种各样类型的光学编码器。但是，在以下说明的各实施方式中，为了容易理解该实施方式所涉及的光学编码器，以旋转型光学编码器为例进行说明。对于应用于其它类型的光学编码器的情况，可通过施加将被检测媒介物从旋转型（例如圆盘等）变更为直线型（例如线性标尺等）等的适当变更来实现，因此，省略以下的详细说明。

<1．第1实施方式>

首先，参照图2～图10对第1实施方式进行说明。

（1-1．伺服系统）

首先，参照图2对本实施方式所涉及的伺服系统的构成进行说明。

如图2所示，本实施方式所涉及的伺服系统S具有伺服马达SM（马达装置的一个例子）和控制装置CT。伺服马达SM具有反射型编码器100（光学编码器的一个例子）和马达M。

马达M是不包括反射型编码器100的动力产生源的一个例子。虽然也有将该马达M单体称为伺服马达的情况，但是在本实施方式中，将包括反射型编码器100的构成称为伺服马达SM。另外，马达M具有转轴SH，通过使该转轴SH绕旋转轴心AX旋转而输出转矩。

另外，马达M例如只要是根据如位置数据等这样的反射型编码器100检测出的数据而被控制的马达则不特别进行限定。而且，马达M并不限定于作为动力源使用电力的电动式马达的情况，例如也可以是液压式马达、气动式马达、蒸汽式马达等使用其它动力源的马达。但是，为了便于说明，以下对马达M是电动式马达的情况进行说明。

反射型编码器100连结在与马达M的转矩输出侧相反侧的转轴SH上。该反射型编码器100通过检测出转轴SH的位置（角度），从而检测出马达M的位置x（也称为旋转角度θ），输出表示该位置x的位置数据。

另外，反射型编码器100的配置位置并未特别限定于本实施方式所示的例子。例如，反射型编码器100既可以配置为与转轴SH的输出侧直接连结，也可以通过减速器、转向转换器等其它机构与转轴SH等连结。

控制装置CT取得从反射型编码器100输出的位置数据，并根据该位置数据控制马达M的旋转。因而，在作为马达M使用电动式马达的本实施方式中，控制装置CT通过根据位置数据控制施加在马达M上的电流或电压等来控制马达M的旋转。而且，控制装置CT也可以如下控制马达M，从上位控制装置（未图示）取得上位控制信号，并从马达M的转轴SH输出可实现由该上位控制信号所表示的位置等的转矩。另外，在马达M使用液压式、气动式、蒸汽式等其它动力源时，控制装置CT通过控制这些动力源的供给，从而能够控制马达M的旋转。

（1-2．反射型编码器）

下面，参照图3～图6对本实施方式所涉及的反射型编码器100进行说明。

如图3所示，本实施方式所涉及的反射型编码器100具有圆板状的圆盘110（被检测媒介物的一个例子）、与圆盘110对置的光学模块130、及位置数据生成部140。光学模块130安装在基板BA上。

（1-3．圆盘）

如图3及图4所示，圆盘110被配置为圆盘中心O与旋转轴心AX大致一致。该圆盘110连结于马达M的转轴SH，通过马达M的旋转也就是转轴SH的旋转而旋转。另外，也可以使圆盘110介由例如衬套等而连结于转轴SH。在本实施方式中，虽然作为测定马达M的旋转的被检测媒介物的一个例子，列举圆盘110来进行说明，但是例如也可以将转轴SH的端面等的其它构件作为被检测媒介物而使用。

在圆盘110的与光学模块130相对一侧的面上形成有环状的狭缝阵列SI，其具有沿圆周方向在该圆盘110的全周上排列的多个反射狭缝111（狭缝的一个例子）。1个1个的反射狭缝111反射从光源131（后述）照射的光。反射狭缝111配置为具有增量图案。增量图案是以规定的节距有规则地重复的图案。该增量图案通过来自1个以上的受光元件123（后述）的电信号的和，表示每1个节距或1个节距内的马达M的位置。

另外，圆盘110在本实施方式中例如由玻璃形成。而且，狭缝阵列SI所具有的反射狭缝111可通过在圆盘110的面上涂覆反射光的材料而形成。另外，圆盘110的材质不限定于玻璃，也可以使用金属、树脂等。另外，反射狭缝111也可以如下形成，例如作为圆盘110使用反射率高的金属，利用溅射等使不使光反射的部分成为粗糙面或涂覆反射率低的材质，由此使反射率下降。但是，对于圆盘110的材质、制造方法等不特别进行限定。

（1-4．光学模块）

如图3～图5所示，光学模块130形成为与圆盘110平行的基板BA状，与圆盘110的狭缝阵列SI的一部分相对并被固定。因而，随着圆盘110的旋转，光学模块130可以相对于狭缝阵列SI在与该圆盘110的圆周方向相对应的方向上相对移动。该光学模块130具有光源131和受光阵列PI1、PI2。光源131和受光阵列PI1、PI2配置在基板BA的与狭缝阵列SI相对一侧的面上。另外，在本实施方式中，虽然对光学模块130被形成为使反射型编码器100薄型化、可使制造变得容易的基板BA的情况进行说明，但是光学模块130不必一定构成为基板BA状。

光源131向经过相对位置的狭缝阵列SI（反射狭缝111）的部分（也称为照射区域）照射光。作为该光源131，只要是能向照射区域照射光的光源则不特别进行限定，例如可以使用LED（Light Emitting Diode：发光二极管）。而且，该光源131形成为未特别配置光学透镜等的点光源，从发光部照射漫射光。另外，点光源所指的情况，并不需要是严格的点，只要是在设计上、动作原理上视为从大致点状的位置发出漫射光的光源，则不用说也可以是从有限的面发出光。如此通过使用点光源，光源131即使多少存在因从光轴偏离所引起的光量变化、光程差而导致的衰减等的影响，也由于可以向经过相对位置的狭缝阵列SI的部分照射漫射光，因此可以向该部分大致均等地照射光。而且，由于不进行光学元件的聚光、漫射，因此不容易产生光学元件所引起的误差等，可以提高朝向狭缝阵列SI的照射光的直进性。另外，光源131利用位置数据生成部140的光源控制部158（后述）来控制（调节）发光量，由此，发光量为大致一定值。但是，即使是这种光源131，也由于例如经年变化、温度变化等的影响，而有时导致发光量不为一定值而发生偏移（在后面详细说明）。

受光阵列PI1、PI2接收从光源131照射并被相对的狭缝阵列SI的反射狭缝111反射的反射光。因此，对应于上述增量图案的受光阵列PI1、PI2分别具有沿与圆盘110的圆周方向相对应的方向排列的多个受光元件123。作为1个1个的受光元件123例如可以使用PD（Photodiode：光电二极管）。但是，作为受光元件123，不限定于PD，只要是接收从光源131照射并被反射狭缝111反射的反射光，且能变换为对应于受光量的电信号的元件，则不特别进行限定。以受光阵列PI1为例，对受光阵列PI进行说明。

在本实施方式中，在增量图案的1个节距（投影于光学模块130的图像中的1个节距）中排列有合计4个受光元件123的组（SET），并且，沿圆盘110的圆周方向进一步排列有多个这种4个受光元件123的组。而且，由于增量图案在每1个节距中反复形成反射狭缝111，因此在圆盘110旋转时，各受光元件123在1个节距中生成1个周期（以电角称为360°）的周期信号即电信号。而且，由于在相当于1个节距的1组中配置4个受光元件123，因此1组内的相邻的受光元件123彼此生成相互具有90°相位差的电信号。

由于增量图案表示1个节距中的位置，因此1组中的各相位的电信号和与其相应的其它组中的各相位的电信号成为同样变化的值。因而，同一相位的电信号在多个组中进行加法运算。因而，由受光阵列PI1的很多的受光元件123生成相位各偏置90°的4个电信号。另一方面，受光阵列PI2也构成为与受光阵列PI1相同。因而，由受光阵列PI1、PI2生成相位各偏置90°的4个电信号。将上述4个电信号称为增量值信号。另外，也将上述各电信号称为A相信号（也称为A+信号）、B相信号（相对于A+信号的相位差为90°的信号，也称为B+信号）、A杠相信号（相对于A+信号的相位差为180°的信号，也称为A-信号）、B杠相信号（相对于B+信号的相位差为180°的信号，也称为B-信号）。

另外，在本实施方式中，说明了在相当于增量图案的1个节距的1组中包括4个受光元件123，受光阵列PI1及受光阵列PI2各自具有同样的多个组的情况。但是，1组中的受光元件123的数量并未特别进行限定，另外，受光阵列PI1、PI2也可以构成为取得不同的相位的电信号。

（1-5．位置数据生成部）

如图3所示，位置数据生成部140在测定马达M的位置x的时刻，从光学模块130取得相位各偏置90°的4个增量值信号（A+信号、B+信号、A-信号、及B-信号）。该位置数据生成部140根据所取得的增量值信号，计算出该增量值信号所表示的马达M的位置x，向控制装置CT输出表示该位置x的位置数据。另外，基于位置数据生成部140的位置数据的生成方法可使用各种各样的方法，因此，并不特别进行限定。在此，说明根据增量值信号计算出马达M的位置x，生成位置数据的情况的例子。

如图6所示，位置数据生成部140具有差动放大器150a、150b、滤波器的一个例子即LPF（Low Pass Filter：低通滤波器）151a、151b、A/D（Analog/Digital：模拟/数字）转换器152a、152b、减法器153a、153b（信号补偿部的一个例子）、位置检测部154、速度检测部155、振幅检测部156、调节部157、光源控制部158、补偿值存储部159a、调节量存储部159b及特性存储部159c。

在补偿值存储部159a中储存有偏移补偿值，用于除去基于上述增量值信号的电信号S3a、S3b（后述）中包含的前述偏移成分。该补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值是例如在出货时等根据下述偏移而求出并设定的值（固定值），即在从光源131照射规定光量的条件下取得的上述增量值信号中包含的偏移成分、由差动放大器150a、150b产生的偏移、由LPF151a、151b产生的偏移、及由A/D转换器152a、152b产生的偏移。另外，由于各个设备产生的偏移不同，因此在本实施方式中，作为偏移补偿值，设置有电信号S3a补偿用的偏移补偿值和电信号S3b补偿用的偏移补偿值。

相互具有180°相位的增量值信号彼此分别输入至差动放大器150a、150b。在本例中，A+信号、A-信号输入至差动放大器150a，B+信号、B-信号输入至差动放大器150b。差动放大器150a以规定的差动增益放大所输入的A+信号及A-信号的差分。放大后的电信号S1a被输入至LPF151a。另一方面，差动放大器150b以规定的差动增益放大所输入的B+信号及B-信号的差分。放大后的电信号S1b被输入至LPF151b。如此，通过放大相互具有180°相位的增量值信号彼此的差分，可以使1个节距内的反射狭缝111的制造误差、测定误差等相互抵消。另外，差动放大后的电信号S1a、S1b相互具有90°的相位差。

LPF151a将所输入的电信号S1a中包含的规定的高频成分作为噪声除去（或降低，以下相同）。此时，由于LPF151a的特性，电信号S1a的振幅根据圆盘110的移动速度，也就是圆盘110的转速（以下也称为圆盘速度）的增加而减少（衰减）。滤波后的电信号S2a被输入至A/D转换器152a。另一方面，LPF151b将所输入的电信号S1b中包含的规定的高频成分作为噪声除去（或降低，以下相同）。此时，由于LPF151b的特性，电信号S1b的振幅根据圆盘速度的增加而减少（衰减）。滤波后的电信号S2b被输入至A/D转换器152b。

在特性存储部159c中以适当的形式（例如曲线或图表、函数等的形式）储存有表示上述LPF151a、151b的特性的滤波器特性信息。在本实施方式中，作为滤波器特性信息储存有如下信息，其表示相对于圆盘速度的由基于上述电信号S2a、S2b的电信号S7（后述）所表示的振幅（参照后述的图7）。

A/D转换器152a对所输入的电信号S2a进行数字转换。转换后的电信号S3a被输入至减法器153a。另一方面，A/D转换器152b对所输入的电信号S2b进行数字转换。转换后的电信号S3b被输入至减法器153b。

在减法器153a中除输入上述电信号S3a以外，还输入从调节部157的补偿值减少部157b（后述）输出的调节后的电信号S3a补偿用的偏移补偿值（后述）。另外，调节部157开始后述的调节之前，也可以向减法器153a输入与补偿值存储部159a中储存的电信号S3a补偿用的偏移补偿值为相同值的偏移补偿值。而且，减法器153a通过从所输入的电信号S3a减去所输入的电信号S3a补偿用的偏移补偿值，从而对该电信号S3a进行补偿，以除去偏移成分。补偿后的电信号S4a在输入至位置检测部154的同时输入至振幅检测部156。另一方面，在减法器153b中除输入上述电信号S3b以外，还输入从调节部157的补偿值减少部157b（后述）输出的调节后的电信号S3b补偿用的偏移补偿值（后述）。另外，调节部157开始后述的调节之前，也可以向减法器153b输入与补偿值存储部159a中储存的电信号S3b补偿用的偏移补偿值为相同值的偏移补偿值。而且，减法器153b通过从所输入的电信号S3b减去所输入的电信号S3b补偿用的偏移补偿值，从而对该电信号S3b进行补偿，以除去偏移成分。补偿后的电信号S4b与上述电信号S4a一样，在输入至位置检测部154的同时输入至振幅检测部156。

位置检测部154利用所输入的2个电信号S4a、S4b，检测出1个节距内的位置。虽然该1个节距内的位置的检测方法不特别进行限定，但是作为该检测方法的一个例子，例如可列举如下方法，即：通过对2个电信号S4a、S4b的除法运算结果进行arctan运算而计算出电角

的方法；利用跟踪电路将电信号S4a、S4b变换为电角

的方法；及在预先制作的图表中特定与电信号S4a、S4b的值相关联的电角的方法等。然后，位置检测部154通过1个节距内的位置生成表示前述位置x的位置数据。所生成的位置数据作为电信号S5而被输入至控制装置CT，同时被输入至速度检测部155。

速度检测部155检测出圆盘速度。虽然该圆盘速度的检测方法不特别进行限定，但是作为该检测方法的一个例子，例如可列举通过用时间对由所输入的电信号S5表示的位置x进行微分来运算圆盘速度的方法等。表示所检测的圆盘速度的速度数据作为电信号S6而被输入至调节部157的振幅补偿部157a（后述）。

振幅检测部156利用所输入的2个电信号S4a、S4b，检测出该电信号S4a、S4b的作为整体的振幅。虽然该电信号S4a、S4b的作为整体的振幅的检测方法不特别进行限定，但是作为该检测方法的一个例子，例如可列举通过计算出2个电信号S4a、S4b的二次方和的平方根（换言之，利萨佐斯图形的半径），而运算该电信号S4a、S4b的作为整体的振幅的方法等。另外，由于上述LPF151a、151b的特性的影响而导致电信号S1a、S1b的振幅减少时，在此检测出的电信号S4a、S4b的作为整体的振幅也减少。表示所检测出的电信号S4a、S4b的作为整体的振幅的振幅数据作为电信号S7与上述电信号S6一样被输入至调节部157的振幅补偿部157a（后述）。

调节部157根据由电信号S6表示的圆盘速度或电信号S8（后述），调节发光量或偏移补偿值，使发光量与偏移补偿值的比大致一定。具体而言，调节部157如下进行调节，使输入至减法器153a的电信号S3a的振幅与电信号S3a补偿用的偏移补偿值的比大致一定，换言之，使电信号S3a中包含的偏移成分量与电信号S3a补偿用的偏移补偿值大致一致。而且与此同时，调节部157如下进行调节，使输入至减法器153b的电信号S3b的振幅与电信号S3b补偿用的偏移补偿值的比大致一定，换言之，使电信号S3b中包含的偏移成分量与电信号S3b补偿用的偏移补偿值大致一致。该调节部157具有振幅补偿部157a和补偿值减少部157b。

振幅补偿部157a对上述LPF151a、151b的特性的影响进行补偿。即，振幅补偿部157a根据由所输入的电信号S6表示的圆盘速度和特性存储部159c中储存的滤波器特性信息（参照后述的图7），求出因圆盘速度的增加所引起的由上述电信号S7表示的振幅的减少量。然后，振幅补偿部157a通过将所求出的减少量加在由所输入的电信号S7表示的振幅上，从而进行补偿，其补偿因圆盘速度的增加所引起的由该电信号S7表示的振幅的减少。另外，上述减少量为0时，上述补偿所涉及的补偿量为0（等于不进行补偿）。表示补偿（也包括补偿量为0的情况，以下相同）后的振幅的振幅数据作为电信号S8而被输入至光源控制部158，同时被输入至补偿值减少部157b。另外，由电信号S8表示的振幅成为对LPF151a、151b的特性的影响进行补偿的值，因此，成为对应于发光量的值。即，由电信号S8表示的振幅在发光量为一定值时则为一定值（规定值），在发光量发生变化时则与其相应变化。因而，上述电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量在由电信号S8表示的振幅为规定值时则为一定量（与补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值相对应的量），在由电信号S8表示的振幅发生变化时则与其相应变化。

光源控制部158控制光源131的发光状态，例如除发光/非发光以外还控制发光量。在本实施方式中，虽然光源控制部158例如通过调节供给至光源131的电流（也称为指令电流）来控制光源131的发光状态，但是也可以通过调节施加在光源131上的电压来控制光源131的发光状态。光源控制部158还能够应对例如因光源131的经年劣化、温度变化等引起的发光量的经时变化等。即，光源控制部158根据所输入的电信号S8的振幅，向光源131输出发光量调节值，使发光量成为大致一定值，换言之，使该振幅成为规定值（使该振幅的变化减少），从而控制发光量。发光量调节值是通过调节供给至光源131的电流（供给电流）来调节发光量的值。另外，由于光源控制部158根据由从振幅补偿部157a输出的电信号S8表示的振幅来调节发光量，因此上述振幅补偿部157a进行上述补偿也可以说成是进行发光量的调节。

例如，因光源131的劣化而导致发光量减少时，与此相应由电信号S8表示的振幅也减少。在这种情况下，光源控制部158增加流向光源131的供给电流，使该振幅成为规定值，从而抑制发光量的减少。但是，可以供给至光源131的电流存在上限，光源控制部158的发光量控制的控制幅度已预先确定。因而，当光源131的劣化加重从而流向该光源131的供给电流达到上限时（光源控制部158进行的发光量控制的控制幅度饱和时），此后即使光源控制部158进行发光量控制也无法完全抑制发光量减少，从而发光量减少。而且，与此相应，在由电信号S8表示的振幅减少的同时，电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量减少。另外，在后面说明光源131劣化后的流向光源131的供给电流、发光量及电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量的变化。

调节量存储部159b中以适当的形式（例如曲线或图表、函数等的形式）储存有调节量信息，其表示相对于光源131的发光量的储存在补偿值存储部159a中的偏移补偿值的调节量。在本实施方式中，作为调节量信息储存有如下信息，其表示相对于由电信号S8表示的振幅的储存在补偿值存储部159a中的偏移补偿值的调节量（参照后述的图9）。

补偿值减少部157b根据由所输入的电信号S8表示的振幅和调节量存储部159b中储存的调节量信息（参照后述的图9），检测出对应于该振幅的上述调节量。另外，上述光源控制部158的处理速度比该补偿值减少部157b高，该补偿值减少部157b中参照的由电信号S8表示的振幅成为对应于由光源控制部158进行发光量控制后所取得的上述增量值信号的值。即，在该补偿值减少部157b中参照的由电信号S8表示的振幅即使在受到LPF151a、151b的特性的影响、光源131的劣化的影响时也为规定值。但是，在光源控制部158进行的发光量控制的控制幅度已饱和时，在该补偿值减少部157b中参照的由电信号S8表示的振幅成为比规定值小的值。然后，补偿值减少部157b通过将所检测出的调节量加在补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值上，从而与伴随上述光源控制部158进行的发光量控制的控制幅度饱和的电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量的减少相匹配，进行使该偏移补偿值减少的调节。由此，使上述电信号S3a补偿用的偏移补偿值与电信号S3a中包含的偏移成分量大致一致，使上述电信号S3b补偿用的偏移补偿值与电信号S3b中包含的偏移成分量大致一致。另外，由电信号S8表示的振幅为规定值时，上述调节量为0（等于不进行调节）。调节（也包括调节量为0的情况，以下相同）后的电信号S3a补偿用的偏移补偿值被输入至减法器153a，调节后的电信号S3b补偿用的偏移补偿值被输入至减法器153b。

下面，参照图7说明上述滤波器特性信息。

图7中横轴取圆盘速度，纵轴取由电信号S7表示的振幅，用曲线示出滤波器特性信息的一个例子。在该曲线所示的例子中，在圆盘速度达到规定的速度阈值Vf之前，由电信号S7表示的振幅保持于大致一定值。圆盘速度超过速度阈值Vf时，随着该圆盘速度增加，由电信号S7表示的振幅减少。但是，滤波器特性信息不限定于如该曲线所示的内容。

下面，参照图8说明光源131劣化后的流向光源131的供给电流、发光量及电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量的变化。

图8中横轴取时间，纵轴取流向光源131的供给电流、发光量及电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量，用曲线示出光源131劣化后的它们的变化。如该曲线所示，虽然在供给电流饱和之前，随着光源131的劣化加重（随着时间经过），供给电流增加，但是发光量及偏移成分量保持于大致一定量。而且，供给电流饱和时，随着光源131的劣化加重（随着时间经过），发光量及偏移成分量减少。

下面，参照图9说明上述调节量信息。

图9中横轴取由电信号S8表示的振幅，纵轴取上述调节量，用曲线示出调节量信息的一个例子。在该曲线所示的例子中，由电信号S8表示的振幅为规定值Ef时调节量为0。而且，随着由电信号S8表示的振幅从规定值Ef增加，调节量也成比例增加，随着由电信号S8表示的振幅从规定值Ef减少，调节量也成比例减少。但是，调节量信息不限定于如该曲线所示的内容。

另外，在本例中，储存有从光源131照射规定光量的条件下的偏移补偿值和表示相对于由电信号S8表示的振幅的该偏移补偿值的调节量的调节量信息。另外，虽然补偿值减少部157b通过检测出对应于该振幅的调节量，来调节对应于该振幅的偏移补偿值，但是本公开的实施方式不限定于此。例如，也可以储存如下信息，其表示相对于由电信号S8表示的振幅的偏移补偿值，补偿值减少部157b根据该振幅来调节对应于该振幅的偏移补偿值。

（1-6．位置数据生成部的动作内容）

下面，参照图10说明本实施方式所涉及的位置数据生成部140的基于反射型编码器100的信号处理方法的动作内容的一个例子。

图10中，在步骤SS1，位置数据生成部140通过在减法器153a中从所输入的电信号S3a减去所输入的电信号S3a补偿用的偏移补偿值，从而除去电信号S3a中包含的偏移成分而生成电信号S4a。所生成的电信号S4a在输入至位置检测部154的同时输入至振幅检测部156。而且与此同时，在步骤SS1，位置数据生成部140通过在减法器153b中从所输入的电信号S3b减去所输入的电信号S3b补偿用的偏移补偿值，从而除去电信号S3b中包含的偏移成分而生成电信号S4b。所生成的电信号S4b在输入至位置检测部154的同时输入至振幅检测部156。

其后，在步骤SS2，位置数据生成部140在位置检测部154中利用所输入的2个电信号S4a、S4b，生成表示上述位置x的位置数据。所生成的位置数据作为电信号S5而被输入至控制装置CT，同时被输入至速度检测部155。

然后，在步骤SS3，位置数据生成部140在速度检测部155中利用所输入的电信号S5，检测出上述圆盘速度，生成表示该检测出的圆盘速度的速度数据。所生成的速度数据作为电信号S6而被输入至调节部157的振幅补偿部157a。

其后，在步骤SS4，位置数据生成部140在振幅检测部156中利用所输入的2个电信号S4a、S4b，检测出该电信号S4a、S4b的作为整体的振幅，生成表示该检测出的振幅的振幅数据。所生成的振幅数据作为电信号S7而被输入至调节部157的振幅补偿部157a。

然后，在步骤SS5，位置数据生成部140在振幅补偿部157a中，根据由所输入的电信号S6表示的圆盘速度和特性存储部159c中储存的滤波器特性信息（参照图7），求出因圆盘速度的增加所引起的由上述电信号S7表示的振幅的减少量。然后，位置数据生成部140在振幅补偿部157a中，通过将所求出的减少量加在由所输入的电信号S7表示的振幅上，从而进行补偿，其补偿因圆盘速度的增加所引起的由该电信号S7表示的振幅的减少。

例如，在基于圆盘速度的增加而导致由电信号S7表示的振幅减少时（在前面的图7所示的例子中，圆盘速度已超过速度阈值Vf时），在该步骤SS5中，所求出的减少量变得比0大，通过将该减少量加在由电信号S7表示的振幅上而进行上述补偿，生成表示该补偿后的振幅的振幅数据。另外，例如在由电信号S7表示的振幅未减少时（在前面的图7所示的例子中，圆盘速度未达到速度阈值Vf时），在该步骤SS5中，所求出的减少量为0，实质上未进行上述补偿，生成表示与由电信号S7表示的振幅为相同振幅的振幅数据。所生成的振幅数据作为电信号S8而被输入至光源控制部158，同时被输入至补偿值减少部157b。

其后，在步骤SS6，位置数据生成部140在光源控制部158中，根据所输入的电信号S8的振幅向光源131输出发光量调节值，使该振幅成为规定值，从而控制发光量。

例如，当由电信号S8表示的振幅变得比规定值小时，在该步骤SS6中，位置数据生成部140在光源控制部158中，增加流向光源131的供给电流，使该振幅成为规定值，从而抑制发光量减少。另外例如，当由电信号S8表示的振幅为规定值时，在该步骤SS6中，位置数据生成部140在光源控制部158中，保持流向光源131的供给电流，使该振幅保持于规定值，从而保持发光量。

然后，在步骤SS7，位置数据生成部140在补偿值减少部157b中，根据由所输入的电信号S8表示的振幅和调节量存储部159b中储存的调节量信息（参照图9），检测出对应于该振幅的上述调节量。另外，如上所述，补偿值减少部157b中参照的由电信号S8表示的振幅成为对应于由光源控制部158进行发光量控制后所取得的上述增量值信号的值。然后，位置数据生成部140在补偿值减少部157b中，通过将所检测出的调节量加在补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值上，从而与上述光源控制部158进行的发光量控制的控制幅度饱和所引起的电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量的减少相匹配，进行使该偏移补偿值减少的调节。

例如，由电信号S8表示的振幅有时变得比规定值小（前面的图9所示的例子中，该振幅成为比规定值Ef小的值的情况）。此时，在该步骤SS7中，所检测出的调节量为负值。然后，通过将该调节量（负值）加在补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值上，从而该偏移补偿值减少，与对应于发光量的减少而减少的偏移成分量大致一致。然后，该调节后的偏移补偿值被输入至减法器153a、153b。此时，在此后再次执行的上述步骤SS1中，位置数据生成部140在减法器153a、153b中，如上所述通过从与减少的发光量相对应的电信号S3a、S3b减去上述调节后的偏移补偿值，从而除去偏移成分。另外例如，由电信号S8表示的振幅有时为规定值（前面的图9所示的例子中，该振幅成为规定值Ef的情况）。此时，在该步骤SS7中，所检测出的调节量为0，实质上未进行上述调节，与补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值为相同值的偏移补偿值作为调节后的偏移补偿值而被输入至减法器153a、153b。此时，在此后再次执行的上述步骤SS1中，位置数据生成部140在减法器153a、153b中，通过从对应于规定光量的电信号S3a、S3b减去上述调节后的偏移补偿值，从而除去偏移成分。

（1-7．本实施方式的效果例）

以上，说明了第1实施方式。在本实施方式中，调节部157根据圆盘速度或由电信号S8表示的振幅，调节由电信号S8表示的振幅或补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值，使输入至减法器153a、153b的电信号S3a、S3b的振幅与偏移补偿值的比大致一定。由此，减法器153a、153b利用补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值，对与通过调节部157调节为规定光量的发光量相对应的电信号S3a、S3b进行补偿，或者，利用通过调节部157调节为与电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量相匹配后的偏移补偿值，对电信号S3a、S3b进行补偿，由此，充分除去偏移成分。其结果，可进一步抑制发光量的偏移，或者，可根据发光量的偏移来调节偏移补偿值，可以切实地提高马达M的位置检测时的检测精度。

另外，在本实施方式中，尤其是如上所述，在圆盘速度增加时而由电信号S7表示的振幅减少时，调节部157根据圆盘速度的增加而调节由电信号S8表示的振幅，或者，将补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值调节为对应于发光量（由电信号S8表示的振幅）的值，使输入至减法器153a、153b的电信号S3a、S3b的振幅与偏移补偿值的比大致一定。由此，可以使电信号S3a、S3b中包含的真实的偏移成分量与输入至减法器153a、153b的偏移补偿值不发生偏差，可以进行更加正确的马达M的位置检测。

（振幅补偿部的效果）

另外，在本实施方式中，尤其是振幅补偿部157a根据由电信号S6表示的圆盘速度和特性存储部159c中储存的滤波器特性信息进行补偿，其补偿伴随圆盘速度增加的由电信号S7表示的振幅的减少。另外，光源控制部158根据上述振幅补偿部157a进行补偿后的由电信号S8表示的振幅来控制发光量，使该振幅成为规定值。由此，减法器153a、153b利用补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值，对与通过上述光源控制部158控制的发光量相对应的电信号S3a、S3b进行补偿，由此，充分除去偏移成分。其结果，即使在圆盘速度增加时，也能充分除去偏移成分，可以切实地提高马达M的位置检测时的检测精度。

（补偿值减少部的效果）

另外，在本实施方式中，尤其是即使由光源控制部158进行发光量控制，也在由电信号S8表示的振幅减少时，补偿值减少部157b根据该振幅和调节量存储部159b中储存的调节量信息，进行使补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值减少的调节。由此，减法器153a、153b利用由上述补偿值减少部157b进行调节后的偏移补偿值，对与减少后的发光量相对应的电信号S3a、S3b进行补偿，由此，充分除去偏移成分。其结果，即使在通过光源控制部158进行发光量控制也无法完全补偿发光量的减少从而发光量减少时等，也能充分除去偏移成分，可以切实地提高马达M的位置检测时的检测精度。

<2．第2实施方式>

下面，参照图11及图12说明第2实施方式。另外，在以下的说明中，对与上述第1实施方式相同的部分标注相同符号，适当省略说明。

在本实施方式所涉及的伺服系统S中，与上述第1实施方式不同的部分是位置数据生成部140。除此以外的部分与上述第1实施方式大致相同，因此，省略说明。

（2-1．位置数据生成部）

以下，参照图11说明本变形例所涉及的位置数据生成部140。另外，图11是对应于前述图6的图。

如图11所示，本实施方式所涉及的位置数据生成部140具有与上述第1实施方式大致相同的构成。但是，本实施方式所涉及的位置数据生成部140具有调节部157’及光源控制部158’，以代替前述的调节部157及光源控制部158。

另外，在本实施方式中，从前述振幅检测部156输出的前述电信号S7在输入至光源控制部158’的同时输入至调节部157’的振幅补偿部157a’（后述）。

光源控制部158’原则上进行与前述光源控制部158相同的处理。但是，本实施方式所涉及的光源控制部158’根据所输入的电信号S7的振幅，向前述光源131输出前述发光量调节值，使发光量成为大致一定值，换言之，使该振幅成为规定值（使该振幅的变化减少），从而控制发光量。

例如，由电信号S7表示的振幅由于前述LPF151a、151b的特性，根据前述圆盘速度的增加而减少。在这种情况下，光源控制部158’增加流向光源131的供给电流，使该振幅成为规定值，从而使发光量增加。于是，虽然由电信号S7表示的振幅成为规定值，但是电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量则伴随发光量的增加而增加。另外，因光源131的劣化而导致发光量减少时，与此相应由电信号S7表示的振幅也减少。在这种情况下，光源控制部158’增加流向光源131的供给电流，使该振幅成为规定值，从而控制发光量。但是，当光源131的劣化加重从而流向该光源131的供给电流达到上限时（光源控制部158’进行的发光量控制的控制幅度饱和时），此后即使由光源控制部158’进行发光量控制也无法完全抑制发光量减少，从而发光量减少。于是，与此相应，在由电信号S7表示的振幅减少的同时，电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量减少。

调节部157’根据由电信号S6表示的圆盘速度或电信号S8，调节偏移补偿值，使发光量与偏移补偿值的比大致一定。具体而言，调节部157’调节该偏移补偿值，使输入至减法器153a的电信号S3a中包含的偏移成分量与电信号S3a补偿用的偏移补偿值大致一致。而且与此同时，调节部157’调节该偏移补偿值，使输入至减法器153b的电信号S3b中包含的偏移成分量与电信号S3b补偿用的偏移补偿值大致一致。该调节部157’具有振幅补偿部157a’和补偿值调节部157c。

振幅补偿部157a’实质上进行与前述振幅补偿部157a相同的处理。另外，上述光源控制部158’的处理速度比该振幅补偿部157a’高，该振幅补偿部157a’中参照的由电信号S7表示的振幅成为对应于由光源控制部158’进行发光量控制后所取得的上述增量值信号的值。即，在该振幅补偿部157a’中参照的由电信号S7表示的振幅即使在受到LPF151a、151b的特性的影响、光源131的劣化的影响时也为规定值。但是，在光源控制部158’进行的发光量控制的控制幅度已饱和时，在该振幅补偿部157a’中参照的由电信号S7表示的振幅成为比规定值小的值。表示由该振幅补偿部157a’进行补偿（也包括补偿量为0的情况，以下相同）后的振幅的振幅数据作为电信号S8而被输入至补偿值调节部157c。

补偿值调节部157c是根据由所输入的电信号S8表示的振幅而调节前述补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值的部分，具有增加部157d和补偿值减少部157b’。另外，振幅补偿部157a’和增加部157d构成补偿值增加部157e。补偿值调节部157c根据由所输入的电信号S8表示的振幅和前述调节量存储部159b中储存的调节量信息（参照图9），检测出对应于该振幅的前述调节量。然后，此时所检测出的调节量为正值时，增加部157d通过将该调节量（正值）加在补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值上，从而进行如下调节，与伴随为了对上述LPF151a、151b的特性的影响进行补偿而由上述光源控制部158’进行的发光量增加的包含在电信号S3a、S3b中的偏移成分量的增加相匹配，而使该偏移补偿值增加。另一方面，所检测出的调节量为负值时，补偿值减少部157b’通过将该调节量（负值）加在补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值上，从而进行如下调节，与伴随上述光源控制部158’进行的发光量控制的控制幅度饱和的包含在电信号S3a、S3b中的偏移成分量的减少相匹配，而使该偏移补偿值减少。据此，使上述电信号S3a补偿用的偏移补偿值与电信号S3a中包含的偏移成分量大致一致，使上述电信号S3b补偿用的偏移补偿值与电信号S3b中包含的偏移成分量大致一致。另外，由电信号S8表示的振幅为规定值时，上述调节量为0（等于不进行调节）。由该补偿值调节部157c进行调节（也包括调节量为0的情况，以下相同）后的电信号S3a补偿用的偏移补偿值被输入至减法器153a，调节后的电信号S3b补偿用的偏移补偿值被输入至减法器153b。

因而，在减法器153a中除输入上述电信号S3a以外，还输入从上述补偿值调节部157c输出的调节后的电信号S3a补偿用的偏移补偿值。而且，与上述第1实施方式一样，减法器153a通过从所输入的电信号S3a减去所输入的电信号S3a补偿用的偏移补偿值，从而对该电信号S3a进行补偿，以除去偏移成分。另一方面，在减法器153b中除输入上述电信号S3b以外，还输入从上述补偿值调节部157c输出的调节后的电信号S3b补偿用的偏移补偿值。而且，与上述第1实施方式一样，减法器153b通过从所输入的电信号S3b减去所输入的电信号S3b补偿用的偏移补偿值，从而对该电信号S3b进行补偿，以除去偏移成分。

除在此说明的内容以外，位置数据生成部140的其它各部构成及功能与上述第1实施方式大致相同，因此省略说明。

（2-2．位置数据生成部的动作内容）

下面，参照图12说明本实施方式所涉及的由位置数据生成部140执行的基于反射型编码器100的信号处理方法的动作内容的一个例子。另外，图12是对应于前述图10的图。

在图12中，步骤SS1～步骤SS4与前述的图10相同。但是，在本实施方式中，在步骤SS3，速度检测部155中生成的速度数据作为电信号S6而被输入至调节部157’的振幅补偿部157a’。另外，在步骤SS4，振幅检测部156中生成的振幅数据作为电信号S7而被输入至光源控制部158’，同时被输入至调节部157’的振幅补偿部157a’。

其后，在步骤SS6’，位置数据生成部140在光源控制部158’中，根据所输入的电信号S7的振幅，向光源131输出发光量调节值，使该振幅成为规定值，从而控制发光量。

例如，当由电信号S7表示的振幅变得比规定值小时，在该步骤SS6’中，位置数据生成部140在光源控制部158’中，增加流向光源131的供给电流，使该振幅成为规定值，从而抑制发光量减少。另外例如，当由电信号S7表示的振幅为规定值时，在该步骤SS6’中，位置数据生成部140在光源控制部158’中，保持流向光源131的供给电流，使该振幅保持于规定值，从而保持发光量。

然后，在步骤SS5’，位置数据生成部140在振幅补偿部157a’中，根据由所输入的电信号S6表示的圆盘速度和特性存储部159c中储存的滤波器特性信息（参照图7），求出因圆盘速度的增加所引起的由上述电信号S7表示的振幅的减少量。另外，如上所述，振幅补偿部157a’中参照的由电信号S7表示的振幅成为对应于由光源控制部158’进行发光量控制后所取得的上述增量值信号的值。然后，位置数据生成部140在振幅补偿部157a’中，通过将所求出的减少量加在由所输入的电信号S7表示的振幅上，从而进行补偿，其补偿因圆盘速度的增加所引起的由该电信号S7表示的振幅的减少。所生成的振幅数据作为电信号S8而被输入至补偿值调节部157c。

其后，在步骤SS7’，位置数据生成部140在补偿值调节部157c中，根据由所输入的电信号S8表示的振幅和调节量存储部159b中储存的调节量信息（参照图9），检测出对应于该振幅的上述调节量。然后，位置数据生成部140在补偿值调节部157c中，通过将所检测出的调节量加在补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值上，从而与电信号S3a、S3b中包含的偏移成分量相匹配，进行该偏移补偿值的调节。

例如，由电信号S8表示的振幅有时变得比规定值大（前面的图9所示的例子中，该振幅成为比规定值Ef大的值的情况）。此时，在该步骤SS7’中，所检测出的调节量为正值。此时，通过增加部157d将该调节量（正值）加在补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值上，由此，使该偏移补偿值增加，与对应于发光量的增加而增加的偏移成分量大致一致。然后，该调节后的偏移补偿值被输入至减法器153a、153b。此时，在此后再次执行的上述步骤SS1中，位置数据生成部140在减法器153a、153b中，通过从与如上增加的发光量相对应的电信号S3a、S3b减去上述调节后的偏移补偿值，从而除去偏移成分。另外例如，由电信号S8表示的振幅有时变得比规定值小（前面的图9所示的例子中，该振幅成为比规定值Ef小的值的情况）。此时，在该步骤SS7’中，所检测出的调节量为负值。此时，通过补偿值减少部157b’将该调节量（负值）加在补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值上，由此，使该偏移补偿值减少，与对应于发光量的减少而减少的偏移成分量大致一致。然后，该调节后的偏移补偿值被输入至减法器153a、153b。此时，在此后再次执行的上述步骤SS1中，位置数据生成部140在减法器153a、153b中，通过从与如上减少的发光量相对应的电信号S3a、S3b减去上述调节后的偏移补偿值，从而除去偏移成分。另外例如，由电信号S8表示的振幅有时为规定值（前面的图9所示的例子中，该振幅成为规定值Ef的情况）。此时，在该步骤SS7’中，所检测出的调节量为0，实质上不进行上述调节，与补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值为相同值的偏移补偿值作为调节后的偏移补偿值而被输入至减法器153a、153b。此时，在此后再次执行的上述步骤SS1中，位置数据生成部140在减法器153a、153b中，通过从对应于规定光量的电信号S3a、S3b减去上述调节后的偏移补偿值，从而除去偏移成分。

（2-3.本实施方式的效果例）

在以上说明的本实施方式中，调节部157’根据由电信号S8表示的振幅，将补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值调节为对应于发光量（由电信号S8表示的振幅）的值，使输入至减法器153a、153b的电信号S3a、S3b的振幅与偏移补偿值的比大致一定。由此，减法器153a、153b利用由上述调节部157’进行调节后的偏移补偿值，对电信号S3a、S3b进行补偿，由此，充分除去偏移成分。其结果，可以对应于偏移成分的变化来调节偏移补偿值，可进行更加正确的马达M的位置检测。

（补偿值减少部的效果）

另外，在本实施方式中，即使由光源控制部158’进行发光量控制，也在由电信号S8表示的振幅减少时，补偿值减少部157b’根据该振幅和调节量存储部159b中储存的调节量信息，进行使补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值减少的调节。由此，减法器153a、153b利用由上述补偿值减少部157b’进行调节后的偏移补偿值，对与减少后的发光量相对应的电信号S3a、S3b进行补偿，由此，充分除去偏移成分。其结果，即使在通过光源控制部158’进行发光量控制也无法完全补偿发光量的减少从而发光量减少时等，也能充分除去偏移成分，可以切实地提高马达M的位置检测时的检测精度。

（补偿值增加部的效果）

另外，在本实施方式中，在因圆盘速度增加而导致由电信号S7表示的振幅减少从而通过光源控制部158’而发光量增加时，补偿值增加部157e根据由电信号S6表示的圆盘速度和特性存储部159c中储存的滤波器特性信息，进行使补偿值存储部159a中储存的偏移补偿值增加的调节。由此，减法器153a、153b利用由上述补偿值增加部157e进行调节后的偏移补偿值，对与通过光源控制部158’而增加的发光量相对应的电信号S3a、S3b进行补偿，由此，充分除去偏移成分。其结果，即使在圆盘速度增加时，也能充分除去偏移成分，可以切实地提高马达M的位置检测时的检测精度。

<3.变形例等>

以上，对2个实施方式详细进行了说明。但是，不用说技术思想范围不限定于在此说明的实施方式。如果是实施方式所属技术领域中的具有通常知识的技术人员，则显然可想到在技术要求范围所记载的技术思想范围内进行各种变更或修改、组合等。因而，上述变更或修改、组合等之后的技术也当然属于本发明的技术思想范围。以下，依次说明这种变形例。

即，在上述第1实施方式中，虽然调节部157构成为具有振幅补偿部157a及补偿值减少部157b，但是本公开的实施方式不限定于本例，调节部157也可以构成为具有它们中的一个。另外，在上述第2实施方式中，虽然调节部157’构成为具有补偿值增加部157e及补偿值减少部157b’，但是本公开的实施方式不限定于本例，调节部157’也可以构成为具有它们中的一个。

另外，以上虽然在圆盘110上仅形成具有增量图案的狭缝阵列SI，但是也可以形成具有串行绝对图案的狭缝阵列。此时，通过在基板BA上设置具有多个受光元件的受光阵列，该受光元件接收来自具有串行绝对图案的狭缝阵列的反射狭缝的反射光，从而可检测出圆盘110的绝对位置（绝对角度）。

另外，以上虽然以使用将光源131及受光元件123同时配置在光学模块130的基板BA上的反射型编码器100的情况为例进行了说明，但是本公开的实施方式不限定于本例，也可以使用夹着圆盘使光源131和受光元件对置的所谓的透射型编码器。此时，如果在圆盘110上形成透射狭缝，则受光元件接收从光源131照射并沿形成在圆盘上的透射狭缝透射的光，可产生对应于受光量的电信号。使用上述透射型编码器时，也能得到与上述各实施方式、各变形例同样的效果。

另外，以上虽然以使用伺服马达SM的情况为例进行了说明，但是本公开的实施方式不限定于本例，也可以使用其它的马达装置。在这种使用其它的马达装置的情况下，也能得到与上述各实施方式、各变形例同样的效果。

另外，图6及图11中所示的箭头表示信号流向的一个例子，并不限定信号的流向。

另外，图10及如12所示的流程图不限定于对动作内容进行图示的步骤，也可以在不脱离发明主旨及技术思想的范围内进行步骤的追加、删除或顺序变更。

另外，除以上已经说明的以外，也可以适当组合上述各实施方式、各变形例的方法而加以利用。

此外，虽未一一例示，但是上述各实施方式、各变形例可在不脱离其主旨的范围内加以各种变更而实施。

Claims (9)

1.一种光学编码器，其特征在于，具有：

被检测媒介物，具备以规定间隔排列且使光反射或透射的狭缝；

光源，向所述被检测媒介物照射光；

受光元件，检测出从所述光源照射且沿所述狭缝反射或透射的光，产生对应于受光量的电信号；

补偿值存储部，储存有偏移补偿值，用于除去或降低所述电信号中包含的偏移成分；

调节部，根据所述被检测媒介物的移动速度或所述电信号，调节发光量或所述偏移补偿值，使所述光源的所述发光量与所述偏移补偿值的比大致一定；

信号补偿部，利用所述偏移补偿值对与由所述调节部调节的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿，或者，利用由所述调节部调节后的所述偏移补偿值而对所述电信号进行补偿，以除去或降低所述偏移成分；

及位置检测部，利用由所述信号补偿部补偿后的所述电信号，检测出所述被检测媒介物的位置。

2.根据权利要求1所述的光学编码器，其特征在于，

所述调节部根据所述电信号来调节所述偏移补偿值，使所述发光量与所述偏移补偿值的比大致一定，

所述信号补偿部利用由所述调节部调节后的所述偏移补偿值而对所述电信号进行补偿。

3.根据权利要求2所述的光学编码器，其特征在于，所述光学编码器还具有：

调节量存储部，储存有调节量信息，其表示相对于所述发光量的所述偏移补偿值的调节量；

振幅检测部，检测出所述电信号的振幅；

及光源控制部，根据由所述振幅检测部检测的所述振幅，控制所述发光量，使该振幅的变化减少，

所述调节部具有补偿值减少部，即使由所述光源控制部进行发光量控制，也在由所述振幅检测部检测出的所述振幅减少时，根据该振幅和所述调节量信息，使所述偏移补偿值减少，

所述信号补偿部利用通过所述补偿值减少部而减少后的所述偏移补偿值，对与减少后的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿。

4.根据权利要求2所述的光学编码器，其特征在于，所述光学编码器还具有：

滤波器，从所述电信号除去或降低规定的高频成分；

特性存储部，储存有滤波器特性信息，其表示相对于所述被检测媒介物的移动速度的由所述滤波器滤波后的所述电信号的振幅；

振幅检测部，检测出所述滤波后的所述电信号的振幅；

速度检测部，检测出所述被检测媒介物的移动速度；

及光源控制部，根据由所述振幅检测部检测出的所述振幅，控制所述发光量，使该振幅的变化减少，

所述调节部具有补偿值增加部，在因所述被检测媒介物的移动速度增加而导致由所述振幅检测部检测出的所述振幅减少从而通过所述光源控制部使所述发光量增加时，根据由所述速度检测部检测出的所述移动速度和所述滤波器特性信息，使所述偏移补偿值增加，

所述信号补偿部利用通过所述补偿值增加部而增加后的所述偏移补偿值，对与通过所述光源控制部而增加的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿。

5.根据权利要求1所述的光学编码器，其特征在于，

所述光学编码器还具有滤波器，从所述电信号除去或降低规定的高频成分，

所述调节部在所述被检测媒介物的移动速度增加时，根据所述被检测媒介物的移动速度的增加来调节所述发光量，或者，调节所述偏移补偿值，使所述发光量与所述偏移补偿值的比大致一定。

6.根据权利要求5所述的光学编码器，其特征在于，所述光学编码器还具有：

特性存储部，储存有滤波器特性信息，其表示相对于所述被检测媒介物的移动速度的由所述滤波器滤波后的所述电信号的振幅；

振幅检测部，检测出所述滤波后的所述电信号的振幅；

及速度检测部，检测出所述被检测媒介物的移动速度，

所述调节部具有振幅补偿部，在因所述被检测媒介物的移动速度增加而导致由所述振幅检测部检测出的所述振幅减少时，根据由所述速度检测部检测出的所述移动速度和所述滤波器特性信息，对伴随所述被检测媒介物的移动速度的增加的所述滤波后的所述电信号的振幅的减少进行补偿，

所述光学编码器还具有光源控制部，其根据由所述振幅补偿部补偿后的所述振幅来控制所述发光量，使该振幅的变化减少，

所述信号补偿部利用所述偏移补偿值，对与由所述光源控制部控制的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿。

7.根据权利要求5所述的光学编码器，其特征在于，所述光学编码器还具有：

调节量存储部，储存有调节量信息，其表示相对于所述发光量的所述偏移补偿值的调节量；

振幅检测部，检测出由所述滤波器滤波后的所述电信号的振幅；

及光源控制部，根据由所述振幅检测部检测出的所述振幅，控制所述发光量，使该振幅的变化减少，

所述调节部具有补偿值减少部，即使由所述光源控制部进行发光量控制，也在由所述振幅检测部检测出的所述振幅减少时，根据该振幅和所述调节量信息，使所述偏移补偿值减少，

所述信号补偿部利用通过所述补偿值减少部而减少后的所述偏移补偿值，对与减少后的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿。

8.一种马达装置，具有：马达，使转轴旋转；及光学编码器，检测出所述转轴的位置，其特征在于，所述光学编码器具有：

被检测媒介物，连结于所述转轴，具备以规定间隔排列且使光反射或透射的狭缝；

光源，向所述被检测媒介物照射光；

受光元件，检测出从所述光源照射且沿所述狭缝反射或透射的光，产生对应于受光量的电信号；

补偿值存储部，储存有偏移补偿值，用于除去或降低所述电信号中包含的偏移成分；

调节部，根据所述被检测媒介物的移动速度或所述电信号，调节所述发光量或所述偏移补偿值，使所述光源的发光量与所述偏移补偿值的比大致一定；

信号补偿部，利用所述偏移补偿值对与由所述调节部调节的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿，或者，利用由所述调节部调节后的所述偏移补偿值而对所述电信号进行补偿，以除去或降低所述偏移成分；

及位置检测部，利用由所述信号补偿部补偿后的所述电信号，检测出所述被检测媒介物的位置。

9.一种光学编码器的信号处理方法，是通过光学编码器执行的光学编码器的信号处理方法，该光学编码器具有：被检测媒介物，具备以规定间隔排列且使光反射或透射的狭缝；光源，向所述被检测媒介物照射光；受光元件，检测出从所述光源照射且沿所述狭缝反射或透射的光，产生对应于受光量的电信号；及补偿值存储部，储存有偏移补偿值，用于除去或降低所述电信号中包含的偏移成分，其特征在于，具有如下步骤：

通过调节部，根据所述被检测媒介物的移动速度或所述电信号，调节所述发光量或所述偏移补偿值，使所述光源的发光量与所述偏移补偿值的比大致一定；

通过信号补偿部，利用所述偏移补偿值对与由所述调节部调节的所述发光量相对应的所述电信号进行补偿，或者，利用由所述调节部调节后的所述偏移补偿值而对所述电信号进行补偿，以除去或降低所述偏移成分；

以及通过位置检测部，利用由所述信号补偿部补偿后的所述电信号，检测出所述被检测媒介物的位置。

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