CN103567257B - 板材平坦度矫正设备及其操作方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种板材平坦度矫正设备及其操作方法。本发明所提供的板材平坦度矫正设备包括：液压控制系统；矫正台，具有用于放置被矫正板材的矫正面；上板，与所述矫正台相对设置，使得其与所述矫正台之间形成矫正空间；施压柱，设置在所述矫正空间内，所述施压柱一端安装于所述上板，另一端能够在柱内部液压作用下压向所述矫正台，所述施压柱包括第一施压柱及第二施压柱，所述第二施压柱能够移至所述被矫正板材多个位置进行施压。本发明所提供的矫正设备可多点支撑固定、多点施压。各施压点压力可同时调节，也可每个施压点单独调节，因而可防止在同时下压过程中造成的被矫正板材过度承压受损的问题，也可以防止由于承压不均受损的问题。

Description

板材平坦度矫正设备及其操作方法

技术领域

本发明涉及一种液压板材平坦度矫正设备及其操作方法。

背景技术

通常靶材组合是由符合溅射性能的靶材和具有一定强度的背板构成。靶材自身体积较大，且容易变形破碎，为了能使靶材很好地固定在设备上，通常将靶材焊接到背板后再安装到设备上。背板起到支撑固定作用，并具有传导热量的功效。在溅射过程中，靶材组合通常在200°C至500°C的温度条件下工作。工作时，靶材组合的一侧充以冷却水强冷，而另一侧则处于10^-9Pa的高真空环境下，因而靶材组合两侧存在巨大的压力差。在如此恶劣的工作环境下，背板易发生变形。另外，在反复使用过程，由于不正确的操作、移动和材质老化等原因，也会导致背板变形。如果将背板变形的靶材组合安装到设备上，使用中就可能导致靶材脱离背板，造成机台内异常放电，微尘数量超标等问题，严重的造成产品和设备的报废。因而，在焊接之前对靶材组合的背板进行矫正是十分必要的。

虽然现在国内外靶材组合加工厂商大部分都有背板矫正用的油压设备，但由于这些油压设备仅仅采用单柱下压方式，基本上只能对中小型靶材组合(面积500mm×500mm以下)所使用的背板进行矫正。

目前液晶显示面板市场上32英寸、42英寸和50英寸等大型液晶显示面板逐渐成为消费主流。液晶显示面板尺寸的增大要求液晶显示面板制作过程中用到的靶材组合的尺寸相应的增大，因而要求背板的尺寸也增大。大尺寸的背板在使用过程中会发生各种复杂的变形，例如鼓起、扭曲等变形。为了将靶材组合良好的固定在设备上，对靶材背板的平坦度要求也越来越高。利用现有矫正设备对大型背板(面积在500mm×500mm以上)进行矫正，矫正后平坦度仅能达到1.0mm以上，而大型背板对平坦度要求是在0.5mm以下，现有矫正设备不能满足大型背板平坦度所需要求。同时，现有设备施压位置不可调整，使用现有设备和技术对靶材组合的背板进行矫正时，需要频繁的移动背板的位置，而大型背板的自重较大（100kg以上），在移动过程中存在人员安全隐患，同时存在对背板表面造成划伤，碰伤等危险。

发明内容

有鉴于此，发明人提供一种矫正设备，以解决现有技术无法矫正大型靶材组合背板，无法矫正靶材背板复杂变形的问题。

本发明提供一种板材平坦度矫正设备，其特征在于，包括：

液压控制系统；

矫正台，具有用于放置被矫正板材的矫正面；

上板，与所述矫正台相对设置，使得其与所述矫正台之间形成矫正空间；

施压柱，设置在所述矫正空间内，所述施压柱一端安装于所述上板，另一端能够在柱内部液压作用下压向所述矫正台，所述施压柱包括第一施压柱及第二施压柱，所述第二施压柱能够移至所述被矫正板材多个位置进行施压。

可选的，所述第一施压柱和所述第二施压柱都包括有细段和粗段，所述细段和所述粗段以密封、可滑动的方式套合，并且所述细段和所述粗段内部中空连接形成体积可变的腔体以便液体压入和抽出；所述细段侧部带有侧壁导管；所述侧壁导管连接至所述液压控制系统。

可选的，所述上板设置有位于其内部边缘的三根固定横梁和连接于所述固定横梁之间的一根滑动横梁；三根所述第一施压柱通过滑动装置各自与一根所述固定横梁连接，使得所述第一施压柱可沿其所连接的所述固定横梁的轴向运动；所述第二施压柱通过滑动装置与所述滑动横梁连接，使得所述第二施压柱既能够沿所述滑动横梁的轴向运动，又能够随所述滑动横梁的滑动方向运动。

可选的，所述上板通过多个立柱与所述矫正台固定连接。

可选的，所述多个立柱分散设置在所述矫正台的边角区域。

可选的，所述矫正面通过所述矫正空间的侧面暴露在外，所述矫正空间的侧面为连接所述矫正台与所述上板的侧面。

可选的，所述矫正台固定于底座上。

可选的，所述第一施压柱和所述第二施压柱的所述细段和所述粗段的外形为圆柱形或者四方柱形。

可选的，所述上板内部边缘还有一根固定横梁，该固定横梁与另外三根所述固定横梁首尾相连形成稳定架构。

本发明还提供了一种如上所述的板材平坦度矫正设备的操作方法，其特征在于，包括：

将被矫正板材放置于所述矫正面；

移动至少一根所述施压柱，使其位于所述被矫正板材上方合适位置，控制所述液压控制系统使该至少一根施压柱下压，固定所述被矫正板材；

移动至少一根未用于固定所述被矫正板材的所述施压柱，使其位于所述被矫正板材变形部位上方，控制所述液压控制系统使该至少一根未用于固定所述被矫正板材的施压柱的粗段下压，对被矫正板材变形部位进行施压矫正。

可选的，在将所述被矫正板材放置于所述矫正面之前，将各所述施压柱移动至合适位置并收缩至离所述矫正面合适高度，以保证所述被矫正板材能够放置于所述矫正面。

可选的，通过所述矫正空间各侧中没有所述第一施压柱的一侧放置入被矫正板材。

可选的，将所述被矫正板材放置于所述矫正面之时，所述被矫正板材变形部位尽可能靠近矫正面中心部位。

可选的，所述施压矫正时，采取多次短促施压的施压矫正方式。

可选的，各所述施压柱独立地调节移动位置和下压压力。

可选的，在对被矫正板材变形部位进行施压矫正之后，检测被矫正的所述被矫正板材平坦度是否满足要求，若不满足要求则再次进行施压矫正。

可选的，对于面积为500mm×500mm以上的靶材组合的背板，其平坦度在0.5mm以下为满足要求。

可选的，在将所述被矫正板材放置于所述矫正面之前，进行矫正面的检测：

若所述矫正面变形不严重但需要矫正处理时，在不拆卸的情况下用抛光设备对所述矫正面进行表面抛光矫正；

若所述矫正面变形较严重，拆卸下所述矫正台后，对所述矫正台进行铣平矫正。

可选的，使用龙马铣床对所述矫正台进行铣平矫正。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

1.本发明所提供的矫正设备由于具有第一施压柱和第二施压柱，因而可多点支撑固定、多点施压。各施压点压力可同时调节，也可每个施压点单独调节，因而可防止在同时下压过程中造成的被矫正板材过度承压受损的问题，也可以防止由于承压不均受损的问题。

2.本发明所提供的矫正设备第二施压柱可以移动，在矫正中不需要移动被矫正板材，克服了矫正过程中被矫正板材移动困难的问题，大大的提高了人员及被矫正板材的安全系数。同时，由于第二施压柱可以移动，本发明所提供的矫正设备能够应对不同位置的各种变形进行矫正，对被矫正板材变形的具体位置有针对性的进行矫正，有效解决了现有设备矫正效果差，无法矫正大型靶材组合背板，无法矫正复杂变形的问题。

3.本发明所提供的矫正设备中各施压柱可以移动，因而在矫正过程中不需要移动被矫正板材，因而可单人独立作业，作业效率高，操作安全，返修率少。

附图说明

图1为本发明实施例所提供的矫正设备的示意图；

图2为本发明实施例所提供的矫正设备的上板与施压柱的连接示意图；

图3为本发明实施例所提供的矫正设备的操作方法的流程示意图；

图4为为本发明实施例所提供的矫正设备矫正背板的示意图。

110-底座  120-矫正台  121-矫正面  130-立柱  140-上板

150-第一施压柱  151-第一施压柱细段  152-第一施压柱粗段

160-第二施压柱  161-第二施压柱细段  162-第二施压柱粗段

170-侧壁导管  210-固定横梁  220-滑动横梁  230-滑动装置

310-铜背板

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

请参考图1，图1为本发明实施例所提供的矫正设备的示意图。

从图1中可以看到，本实施例所提供的矫正设备具有相对设置的矫正台120和上板140。矫正台120具有用于放置被矫正板材的矫正面121。

四根立柱130下端固定于矫正台120的边角区域，上端固定于上板140的边角区域，使得矫正台120与上板140之间形成矫正空间。需要说明的是，除了图1中所显示的用四根立柱130来使得矫正台120与上板140之间形成矫正空间的方式外，还可以通过其它的方式使得矫正台120与上板140之间形成矫正空间，例如，在矫正台120与上板140之间设置三面侧壁，也能够使得矫正台120与上板140之间形成矫正空间。但是本实施例中采用立柱130的方式，能够使得光线容易进入所形成的矫正空间内，有利于随时观察到矫正空间中各器件的位置和情况。

三根第一施压柱150和一根第二施压柱160设置于上述的矫正空间内。本实施例只设置三根第一施压柱150，留出四根立柱130所围成的四个侧面中的一个侧面未设置第一施压柱150，如图1中所示留出后方侧面，方便后续将被矫正板材放入矫正面121上。其中第一施压柱150和第二施压柱160均一端安装于上板140，另一端能够在施压柱内部液压作用下压向矫正面121。并且第二施压柱160能够移下压至矫正面121的多个位置，因而可以对被矫正板材的多个位置进行施压。需要说明的是，本发明并不限定第一施压柱与第二施压柱的个数，本实施例只是给出一种方案，本发明所保护的范围包括其它施压柱个数的方案。

本实施例所提供的矫正设备中，还包括液压控制系统(图中未示出)，此液压控制系统连接到各实施柱以控制各实施柱内部液压，使得各实施柱能够向上收缩和向下伸长施压，具体原理本发明说明书后面的内容将做进一步阐述。

请继续参考图1，从图1中可以看到，第一施压柱150包括有第一施压柱细段151和第一施压柱粗段152，并且第一施压柱细段151和第一施压柱粗段152密封滑动套合。第二施压柱160包括有第二施压柱细段161和第二施压柱粗段162，并且第二施压柱细段161和第二施压柱粗段162密封滑动套合。本实施例中第一施压柱细段151，第一施压柱粗段152，第二施压柱细段161和第二施压柱粗段162的外形都为圆柱形或者四方柱形。在相同的底面边长条件下，圆柱形的施压柱有最大的施压底面积，有利于对变形位置进行矫正。当然，在其它实施例中第一施压柱细段151，第一施压柱粗段152，第二施压柱细段161和第二施压柱粗段162的外形也可以是其它形状。

本实施例所提供的矫正设备中，第一施压柱细段151和第一施压柱粗段152内部中空形成体积可变的腔体(图中未示出)，同样的，第二施压柱细段161和第二施压柱粗段162细段内部中空形成体积可变的腔体(图中未示出)。第一施压柱细段151和第二施压柱细段161和侧部带有侧壁导管170，侧壁导管170连接至如上所述的液压控制系统。

本实施例所提供的矫正设备通过液压控制系统控制液体从侧壁导管170压入和抽出第一施压柱150。由于第一施压柱细段151和第一施压柱粗段152内部中空形成的体积可变的腔体，因而当液体被压入第一施压柱150时，液体进入该体积可变的腔体，使得该腔体内部液体压强增大。又由于第一施压柱细段151和第一施压柱粗段152是密封滑动套合的，因而，第一施压柱粗段152能够沿着第一施压柱细段151下滑，以使得腔体体积增大，整个过程就使得第一施压柱150伸长下压，因而第一施压柱150能够对放置于矫正面121上的被矫正板材进行施压矫正。当液体从第一施压柱150抽出时，腔体内压强减小并导致腔体体积收缩减小，第一施压柱粗段152沿着第一施压柱细段151上滑，使得第一施压柱150收缩停止施压矫正。对于第二施压柱160，其伸长下压施压矫正和收缩停止施压矫正的原理和以上所述第一施压柱150伸长下压施压矫正和收缩停止施压的原理相同，在此不再赘述。

需要说明的是，液压控制系统可以通过侧壁导管170单独地控制每个施压柱的伸长和收缩，还可以控制每个施压柱的下压压力，这样，就使得整个矫正设备达到了多点可独立调节施压，并且施压压力可控的效果。

本实施例所提供的矫正设备中，如图1所示，还可以包括有底座110，增设底座110可使得矫正设备更加方便工作人员操作。底座110与矫正台120固定连接，防止彼此之间发生相对运动，可以采取焊接或者螺钉锁合等方式使得底座110与矫正台120固定连接。底座110可以做得厚重一些，以起到较好的稳定作用和垫高作用，方便工作人员进行矫正操作。

请参考图2，本实施例所提供的矫正设备中，上板140内部边缘有三根固定横梁210。三根第一施压柱150通过三个滑动装置230分别与三根固定横梁210连接，使得每根第一施压柱150可沿其所连接的固定横梁210的轴向（即固定横梁210的长度方向）运动。这样，第一施压柱150就能够在其连接的固定横梁210所在边上移动，到达相应的位置。在其它实施例中，上板140中除上面提到的三根固定横梁210外，还可以包括有一根固定横梁，此固定横梁不连接施压柱，但它与其它三根固定横梁210形成首尾相连形成的四边形稳定架构，形成此四边形的稳定架构有利于为施压柱提供稳固的连接架构。

上板140内部还有一根滑动横梁220，该滑动横梁220可在与其长度方向（即轴向）垂直的方向上滑动。第二施压柱160通过滑动装置230与滑动横梁220连接，使得第二施压柱160既可以沿滑动横梁220的轴向运动，又可以随滑动横梁220的滑动方向运动，并且滑动横梁220的轴向和其滑动方向相互交叉，因而第二施压柱160可以在一定运动范围内移动任意位置，第二施压柱160的一定运动范围是指：在滑动横梁220的轴向上小于等于滑动横梁220的轴向长度上的范围和在滑动横梁220的滑动方向上等于滑动横梁220自身可以滑动的距离范围。因此，第二施压柱160可以到达矫正面121上除边角以外的大部分位置。

本实施例所提供的矫正设备中，滑动装置230可以为滑块装置，此滑块装置与施压柱的上端固定连接，另一端与横梁滑动套合，这样，它就能带动施压柱在横梁所在轴向来回运动。在其它实施例中滑动装置230还可以是例如传送带等能够带动施压柱做平移的装置。图2中虽未示出，但是可以通过控制系统控制滑动横梁220和滑动装置230的滑动统一控制三根第一施压柱150和一根第二施压柱160的运动，通过此控制系统的控制，各施压柱既可以独立运动，又可以相互协调部分或者全部一起运动。但是也可以不用控制系统，而用人工直接或间接移动滑动装置使得第一施压柱150和第二施压柱160到达相应位置。

从上述可知，本实施例所提供的矫正设备具有三根第一施压柱150和一根第二施压柱160，并且，三根第一施压柱150位于矫正面121三侧边的上方，一根第二施压柱160位于矫正面121中间区域上方。并且，每根第一施压柱150可以在矫正面121的一条侧边的上方来回移动至相应位置，第二施压柱160可以移动至矫正面121大部分区域。同时，所有施压柱都可以伸长下压进行施压矫正或者固定作用，所有施压柱也可以收缩悬挂于矫正空间内。因而，当利用本实施例提供的矫正设备对板材进行矫正时，可以利用部分施压柱对板材进行固定，利用其它施压柱对板材进行施压矫正，由于有部分施压柱进行固定作用，因而在对板材变形部位施压矫正过程中，板材既不容易出现因单点受力过度而发生翘曲现象，也不容易出现因在矫正过程中板材发生移动而导致矫正效果差的问题。这样，本实施例所提供的矫正设备就克服了现有技术中单点施压平坦度无法达到1.0mm以下的问题，可以使得矫正后的板材平坦度达到0.5mm以下。

本发明所提供的矫正设备在矫正过程中不需要移动被矫正板材，克服了矫正过程中被矫正板材移动困难的问题，大大的提高了人员及被矫正板材的安全系数。本发明所提供的矫正设备可多点支撑固定、多点施压，各施压点压力可同时调节，也可每个施压点单独调节，可防止在同时下压过程中造成的被矫正板材过度承压受损，也可防止由于承压不均受损等问题。本发明所提供矫正设备能够对大型被矫正板材进行矫正，能够应对不同位置的各种变形进行矫正，能够对被矫正板材变形的具体位置有针对性的进行矫正，解决了现有设备矫正效果差，无法矫正大型靶材组合背板，无法矫正复杂变形的问题。本发明所提供的矫正设备可单人独立作业，操作简单，大大减少了靶材组合矫正时间，提高了工作效率，并且返修率小。

本发明虽然是针对于矫正靶材组合的背板而提出和设计的平坦度矫正设备，但不限于用于矫正靶材组合背板，事实上，只要尺寸大小合适，硬度合适的板材，都可以用本发明所提供的矫正设备来矫正。

以下内容有关于上述矫正设备的操作方法。

请参考图3，图3为本发明实施例所提供的操作方法步骤的示意图。具体的，可以按以下操作来进行：

将施压柱移动至合适位置和高度，将被矫正板材放置于矫正面上。在放置时，其中一种方式为将被矫正板材变形部位尽可能靠近矫正面中心部位。当然，对于尺寸较小的被矫正板材或者变形中心难以靠近矫正面中心的被矫正板材，可以放置在矫正面的相应位置上，后续灵活运用第一施压柱和第二施压柱使得它们得到有效矫正。而对于尺寸与矫正面面积接近的被矫正板材，通常可以采用将被矫正板材各边角与矫正台面各边角对齐的方式放置。

移动至少一根所述施压柱，使其位于所述被矫正板材上方合适位置，控制所述液压控制系统使该至少一根施压柱的粗段下压，固定所述被矫正板材。对于前面提到的尺寸较小或者变形中心难以靠近矫正面中心的被矫正板材，可以移动第一施压柱和第二施压柱到达相应位置以固定它们。此步骤中被移动的施压柱可能是第一施压柱也可能是第二施压柱，视被矫正板材在矫正面上的具体摆放位置的情况而定。

移动至少一根未用于固定所述被矫正板材的所述施压柱，使其位于所述被矫正板材变形部位上方，控制所述液压控制系统使该至少一根施压柱的粗段下压，对被矫正板材变形部位进行施压矫正。此步骤中被移动的施压柱可能是第二施压柱也可能是第一施压柱，视被矫正板材变形部位在矫正面上的具体位置以及可用来进行施压矫正的施压柱能够到达的位置而定。

请参考图4，图4为本发明实施例所提供的矫正设备矫正背板的示意图。图4中，310为铜背板，其它的部件为前面所述的板材平坦度矫正设备的部件。

本实施例公开的上述矫正设备对铜背板310(面积为2500mm×1800mm)，进行矫正的操作方法，具体步骤如下：

将三根第一施压柱150和一根第二实施柱160移动至合适高度和位置，以方便铜背板310放置入矫正面上，将铜背板310平放置在矫正面121上。本实施例中，将铜背板310从四个立柱130两两之间构成的四个侧面中没有第一施压柱的侧面放置入矫正面，这样能够使得放置过程更为方便。

移动三根第一施压柱150，使其位于被矫正板材310上方合适位置，通过液压控制系统控制第一施压柱150伸长下压，以固定铜背板310。

移动第二施压柱160，使其位于铜背板310变形部位上方，通过液压控制系统控制第二施压柱160的粗段162的伸长下压，以对铜背板310变形部位进行施压矫正。本实施例中，施压矫正时，采取多次短促施压的施压矫正方式，例如针对同一变形每次实施一分钟左右的实施作用，具体的多次施压的次数与每次短促施压的持续时长根据背板的材质和厚度而定。这种方式既可以实现准确矫正，又可以避免因过度施压造成铜背板310开裂或者因过度施压反而造成铜背板310变形。同时，三根第一施压柱150也可以在其能够到达的被矫正板材变形位置进行施压矫正，实现了多点矫正。并且三根第一施压柱150与第二施压柱160可独立地调节移动位置和下压压力，防止在同时下压过程中造成的背板过度承压及承压不均受损等问题，实现对大型被矫正板材背板进行矫正，对不同位置的各种变形进行矫正，对被矫正板材变形的具体位置，有针对性的进行矫正。

由于是移动三根第一施压柱150和一根第二施压柱160来进行施压矫正，不需要移动铜背板310，克服了矫正过程中被矫正板材移动困难的问题，大大的提高了工作人员的安全系数及被矫正板材的安全系数。本发明所提供的矫正设备可单人独立作业，并且作业时间大大节省。操作简单，大大减少了靶材组合背板矫正时间，工作效率高，返修率少，可以很好地矫正靶材组合背板，满足靶材组合背板的平坦度要求，延长靶材组合背板的使用寿命。

在完成一轮施压矫正后，检测被矫正的铜背板310平坦度是否满足要求。若铜背板310平坦度在0.5mm以下，则满足要求，矫正完成。若不满足平坦度在0.5mm以下，则需要再次施压矫正，直至满足要求。可以是当铜背板310仍放置在矫正面121上时进行平坦度检测，也可以是将铜背板310移至大理石水平检测台上后，进行平坦度检测(例如用塞尺塞到铜背板310和矫正台120之间来测试平坦度是否满足要求)，可利用各种平坦度测试仪(例如激光平坦度测试仪)对铜背板310进行平坦度测试。如果是未搬离矫正面121时进行平坦度检测，一旦检测结果不满足要求，可以直接再次进行施压矫正。如果已经将铜背板310搬离了矫正设备，一旦检测平坦度不满足要求，则需要进行新一轮的矫正操作。

本实施例所提供的操作方法过程中，在将被矫正板材放置于矫正面121上之前，还可以对矫正面121的平坦度进行检测，如果不满足要求，则对矫正面121进行平坦度矫正。具体操作包括：使用平坦度测试仪(如果矫正设备放置于水平位置，还可以用水平仪)进行矫正面121的检测，若矫正面121变形不严重，在不拆卸的情况下用抛光设备对矫正面121进行表面抛光，若矫正面121变形较严重，拆卸下矫正台120后，对矫正台120进行铣平处理，可以采用龙马铣床对矫正台120进行铣平处理。

对于矫正台120焊接于底座110的情况，当需要拆卸下矫正台120时，需要使得它们之间进行脱焊分离，对于矫正台120以其它方式固定于底座110的情况，用相应地方法使矫正台120与底座110分离。另外，矫正台120需要与立柱130拆解分离，根据矫正台120与立柱130的连接方式选择它们的拆解方式，例如立柱130是螺旋锁入矫正台120的情况下，只需要将立柱130旋出矫正台120。

以上实施例是以矫正大型靶材组合背板为例来说明本发明所提供矫正设备的一种操作方法。但是，本发明所提供的矫正设备不限于用于矫正靶材组合背板。事实上，只要是大小和硬度合适，其它类型的工件都可以用本发明所提供的液压控制系统进行矫正。同时，本发明所提供的矫正设备也不限于用以上所提供的操作方法进行操作，本领域技术人员可根据要矫正对象的实际情况和其它因素，在操作过程中采取其它相应的操作方法。

本说明书中各个部分采用递进的方式描述，每个部分重点说明的都是与其他部分的不同之处，各个部分之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (18)

1.一种板材平坦度矫正设备，其特征在于，包括：

液压控制系统；

矫正台，具有用于放置被矫正板材的矫正面；

上板，与所述矫正台相对设置，使得其与所述矫正台之间形成矫正空间；

施压柱，设置在所述矫正空间内，所述施压柱一端安装于所述上板，另一端能够在柱内部液压作用下压向所述矫正台，所述施压柱包括第一施压柱及第二施压柱，所述第二施压柱能够移至所述被矫正板材多个位置进行施压；

所述上板设置有位于其内部边缘的三根固定横梁和连接于所述固定横梁之间的一根滑动横梁；三根所述第一施压柱通过滑动装置各自与一根所述固定横梁连接，使得所述第一施压柱可沿其所连接的所述固定横梁的轴向运动；所述第二施压柱通过滑动装置与所述滑动横梁连接，使得所述第二施压柱既能够沿所述滑动横梁的轴向运动，又能够随所述滑动横梁的滑动方向运动。

2.如权利要求1所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述第一施压柱和所述第二施压柱都包括有细段和粗段，所述细段和所述粗段以密封、可滑动的方式套合，并且所述细段和所述粗段内部中空连接形成体积可变的腔体以便液体压入和抽出；所述细段侧部带有侧壁导管；所述侧壁导管连接至所述液压控制系统。

3.如权利要求1所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述上板通过多个立柱与所述矫正台固定连接。

4.如权利要求3所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述多个立柱分散设置在所述矫正台的边角区域。

5.如权利要求1或4所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述矫正面通过所述矫正空间的侧面暴露在外，所述矫正空间的侧面为连接所述矫正台与所述上板的侧面。

6.如权利要求1所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述矫正台固定于底座上。

7.如权利要求2所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述第一施压柱和所述第二施压柱的所述细段和所述粗段的外形为圆柱形或者四方柱形。

8.如权利要求1所述的板材平坦度矫正设备，其特征在于，所述上板内部边缘还有一根固定横梁，该固定横梁与另外三根所述固定横梁首尾相连形成稳定架构。

9.一种如权利要求1至8中任意一项所述的板材平坦度矫正设备的操作方法，其特征在于，包括：

将被矫正板材放置于所述矫正面；

移动至少一根所述施压柱，使其位于所述被矫正板材上方合适位置，控制所述液压控制系统使该至少一根施压柱下压，固定所述被矫正板材；

移动至少一根未用于固定所述被矫正板材的所述施压柱，使其位于所述被矫正板材变形部位上方，控制所述液压控制系统使该至少一根未用于固定所述被矫正板材的施压柱的粗段下压，对被矫正板材变形部位进行施压矫正。

10.如权利要求9所述的操作方法,其特征在于，在将所述被矫正板材放置于所述矫正面之前，将各所述施压柱移动至合适位置并收缩至离所述矫正面合适高度，以保证所述被矫正板材能够放置于所述矫正面。

11.如权利要求9所述的操作方法,其特征在于，通过所述矫正空间各侧中没有所述第一施压柱的一侧放置入被矫正板材。

12.如权利要求9所述的操作方法,其特征在于，将所述被矫正板材放置于所述矫正面之时，所述被矫正板材变形部位尽可能靠近矫正面中心部位。

13.如权利要求9所述的操作方法,其特征在于，所述施压矫正时，采取多次短促施压的施压矫正方式。

14.如权利要求9所述的操作方法，其特征在于，各所述施压柱独立地调节移动位置和下压压力。

15.如权利要求9所述的操作方法，其特征在于，在对被矫正板材变形部位进行施压矫正之后，检测被矫正的所述被矫正板材平坦度是否满足要求，若不满足要求则再次进行施压矫正。

16.如权利要求15所述的操作方法，其特征在于，对于面积为500mm×500mm以上的靶材组合的背板，其平坦度在0.5mm以下为满足要求。

17.如权利要求9所述的操作方法，其特征在于，在将所述被矫正板材放置于所述矫正面之前，进行矫正面的检测：

若所述矫正面变形不严重但需要矫正处理时，在不拆卸的情况下用抛光设备对所述矫正面进行表面抛光矫正；

若所述矫正面变形较严重，拆卸下所述矫正台后，对所述矫正台进行铣平矫正。

18.如权利要求17所述的操作方法，其特征在于，使用龙马铣床对所述矫正台进行铣平矫正。