CN103547809B - 鼓风机装置以及气体激光振荡装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种鼓风机装置（10），其具备马达（1）、动翼（3）、鼓风机壳体（4）、将被突出地设置在鼓风机壳体（4）的外周部的安装部（41）安装在被配置于安装部（41）的吸入口侧的鼓风机支撑部件（6）的弹性部件（7）、和在安装部（41）的吸入口侧被设置在鼓风机壳体（4）的外周部全周的法兰部（42）。弹性部件（7）在与旋转轴（2）大致正交的同一平面内被配置3个或3个以上，且在各弹性部件（7）的旋转轴方向两端部具有与旋转轴（2）大致正交的粘接面（73A、73B），在一方的粘接面（73A）上通过粘接固定安装部（41），在另一方的粘接面（73B）上通过粘接固定鼓风机支撑部件（6）。法兰部（42）被设置成，经比弹性部件（7）的旋转轴方向的厚度小的缝隙与鼓风机支撑部件（6）面对面。

Description

鼓风机装置以及气体激光振荡装置

技术领域

本发明涉及气体等循环用的鼓风机装置以及具备它的气体激光振荡装置，尤其涉及谋求提高鼓风机装置的安装部分的防振性、气密性。

背景技术

以往的风扇等的振动产生设备固定机构具备在外周部具有槽的圆筒状的弹性部件和具有与设置在该弹性部件上的槽的一部分嵌合的叉状部的振动产生设备安装用支撑部件（例如，参见专利文献1）。

另外，以往的气体激光装置在送风容器的上面4处设置支撑用座，通过将支撑用座经隔离体用螺栓紧固在支撑板之上，将送风机和装置主体振动绝缘（例如，参见专利文献2）。

另外，以往的风扇装置在将风扇装置向风扇安装部安装的情况下，首先，通过将橡胶制的衬套在切口部穿过嵌合在风扇壳体外周部的3处衬套安装部的安装孔来进行安装，使各衬套的内侧的第二筒部与风扇安装部侧的各安装凸台嵌合。此后，通过将安装螺钉拧入各安装凸台的螺钉孔，将风扇装置安装固定在风扇安装部（例如，参见专利文献3）。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本实开昭60－138046号公报

专利文献2：日本特开昭62－232983号公报

专利文献3：日本特开2000－27799号公报

发明内容

发明所要解决的课题

气体等的循环用的鼓风机装置例如被使用在用于激光加工的气体激光振荡装置等。气体激光振荡装置为了提高加工能力而发展了高输出化，需要冷却大量的激光气体。由此，鼓风机装置被要求高速旋转化、风扇直径的大型化。近年，由于采用高扭矩马达，鼓风机装置的转速逐渐超过10000rpm。但是，由于鼓风机装置的高速旋转化、风扇直径的大型化，使得鼓风机装置的振动变大，其振动向气体激光振荡装置的框体传送，成为气体激光振荡装置的振动、噪音的原因。

上述以往的振动产生设备的安装构造虽然是经弹性部件支撑风扇等的安装构造，但是，穿过安装部件将风扇等固定在弹性部件的中心。由此，风扇等的振动经安装部件向安装了风扇等的框体传送，存在不能充分得到防振效果这样的问题。另外，由于空出大的缝隙，使安装了风扇等的框体和安装用支撑部件在振动时不接触，所以，存在安装部分的气密性降低这样的问题。

另外，上述以往的激光装置通过经隔离体将支撑用座用螺栓紧固在支撑板之上来安装送风机和装置主体。由此，螺栓在隔离体之中穿过，送风机的振动经螺栓向装置主体传送。由此，存在不能充分地得到防振效果这样的问题。

另外，上述以往的风扇装置使橡胶制的衬套与各安装凸台嵌合，将安装螺钉拧入各安装凸台的螺钉孔，据此，将风扇装置固定在风扇安装部。由此，安装凸台以及安装螺钉在衬套之中穿过，风扇的振动经安装螺钉向风扇安装部传送，存在不能充分得到防振效果这样的问题。

本发明是为了消除上述那样的问题点做出的发明，其目的是得到一种防振性高的鼓风机装置以及具备该鼓风机装置的低振动、低噪音的气体激光振荡装置。

用于解决课题的手段

本发明的鼓风机装置具备：马达；叶片，其被安装在上述马达的旋转轴，通过上述马达的旋转，使气体在旋转轴方向流动；鼓风机壳体，其收纳上述马达和上述叶片，并开设有气体的吸入口侧和排出口侧；弹性部件，其将被突出地设置在上述鼓风机壳体的外周部的安装部安装于被配置在上述安装部的吸入口侧的作为安装对象的鼓风机支撑部件；和法兰部，其在上述安装部的吸入口侧被设置在上述鼓风机壳体的外周部全周。上述弹性部件在与上述旋转轴大致正交的同一平面内配置3个或3个以上，在以上述各弹性部件为顶点的多边形的内部包括上述旋转轴，在上述各弹性部件的上述旋转轴方向两端部具有与上述旋转轴大致正交的粘接面，在一方的粘接面上通过粘接固定上述安装部，在另一方的粘接面上通过粘接固定上述鼓风机支撑部件。上述法兰部被设置成，经比上述弹性部件的上述旋转轴方向的厚度小的缝隙与上述鼓风机支撑部件面对面。

另外，本发明的气体激光振荡装置通过放电激发激光气体，产生激光，使上述激光气体在鼓风机装置循环。而且，上述鼓风机装置具备：马达；叶片，其被安装在上述马达的旋转轴，通过上述马达的旋转，使气体在旋转轴方向流动；鼓风机壳体，其收纳上述马达和上述叶片，并开设有气体的吸入口侧和排出口侧；弹性部件，其将被突出地设置在上述鼓风机壳体的外周部的安装部安装于被配置在上述安装部的吸入口侧的作为安装对象的鼓风机支撑部件；和法兰部，其在上述安装部的吸入口侧被设置在上述鼓风机壳体的外周部全周。上述弹性部件在与上述旋转轴大致正交的同一平面内配置3个或3个以上，在以上述各弹性部件为顶点的多边形的内部包括上述旋转轴，在上述各弹性部件的上述旋转轴方向两端部具有与上述旋转轴大致正交的粘接面，在一方的粘接面上通过粘接固定上述安装部，在另一方的粘接面上通过粘接固定上述鼓风机支撑部件。上述法兰部被设置成，经比上述弹性部件的上述旋转轴方向的厚度小的缝隙与上述鼓风机支撑部件面对面。

发明效果

根据上述鼓风机装置，由于在各弹性部件的旋转轴方向两端部具有与旋转轴大致正交的粘接面，在一方的粘接面上通过粘接固定安装部，在另一方的粘接面上通过粘接固定鼓风机支撑部件，所以，鼓风机装置的振动难以向鼓风机支撑部件传送，能够得到防振效果高的鼓风机装置。

而且，由于该粘接面与旋转轴大致正交，所以，能够有效地防止径方向的振动传递。另外，由于弹性部件的相对于轴方向的振动的轴方向的位移变小，所以，即使设置经比弹性部件的旋转轴方向的厚度小的缝隙与鼓风机支撑部件面对面的法兰部，也能够防止法兰部与鼓风机支撑部件接触。

而且，能够由该法兰部将气体泄漏抑制在最小限度。

根据上述气体激光振荡装置，由于具备鼓风机装置，在鼓风机装置的各弹性部件的旋转轴方向两端部具有与旋转轴大致正交的粘接面，在一方的粘接面上通过粘接固定安装部，在另一方的粘接面上通过粘接固定鼓风机支撑部件，所以，有效地防止鼓风机装置的振动向气体激光振荡装置的框体传送，能够降低气体激光振荡装置的振动、噪音。

而且，由于其粘接面与旋转轴大致正交，所以，能够有效地防止径方向的振动传递。另外，由于弹性部件的相对于轴方向的振动的轴方向的位移变小，所以，即使设置经比弹性部件的旋转轴方向的厚度小的缝隙与鼓风机支撑部件面对面的法兰部，也能够防止法兰部与鼓风机支撑部件接触。

而且，能够由该法兰部将气体泄漏抑制在最小限度，能够平顺地进行框体内的激光气体的循环。

附图说明

图1是表示基于本发明的实施方式1的鼓风机装置的结构的立体图。

图2是表示将基于本发明的实施方式1的鼓风机装置安装到作为安装对象的鼓风机支撑部件上的状态的剖视图。

图3是基于本发明的实施方式1的防振橡胶的放大图。

图4是表示在安装基于本发明的实施方式1的鼓风机装置时，从与旋转轴正交且水平的方向看时的作用于鼓风机装置的力的平衡的图。

图5是表示安装基于本发明的实施方式1的鼓风机装置时，从与旋转轴正交且水平的方向看时的作用于鼓风机装置的力的平衡的图。

图6是表示基于本发明的实施方式2的鼓风机装置的结构的立体图。

图7是表示将基于本发明的实施方式2的鼓风机装置安装到作为安装对象的鼓风机支撑部件上的状态的剖视图。

图8是示意性地表示基于本发明的实施方式3的气体激光振荡装置的结构的立体图。

图9是示意性地表示基于本发明的实施方式3的气体激光振荡装置的结构的剖视图。

具体实施方式

实施方式1.

下面，对本发明的实施方式1进行说明。

图1是表示基于本发明的实施方式1的鼓风机装置10的结构的立体图，图2是将鼓风机装置10安装在作为安装对象的鼓风机支撑部件上的状态的剖视图，是从图1的箭头A的方向看的情况。

如图1、图2所示，鼓风机装置10具备：DC无刷马达、感应电动机等马达1；被安装在马达1的旋转轴2的轴方向两侧，并通过马达1的旋转，使气流在旋转轴方向流动的作为叶片的动翼3；以及将马达1和动翼3收纳在内侧，且使气体的吸入口侧和排出口侧开口的大致圆筒状的鼓风机壳体4。马达1经静翼5被支撑在鼓风机壳体4。图2中的箭头B的方向是气体流动的方向，鼓风机壳体4的右侧是吸入口侧，左侧是排出口侧。另外，图1、图2中单点划线2A表示旋转轴2的轴线。

另外，虽然在本实施方式1中，鼓风机壳体4的形状为大致圆筒状，但是并不局限于此，例如，也可以是截面大致四边形状的筒状。另外，虽然在旋转轴2的轴方向两端设置了动翼3，但也可以仅设置在任意一方侧。另外，作为马达1的支撑部具备静翼5，但是，也可以是静翼以外的马达支撑构造。

鼓风机壳体4在外周部全周具有被设置成向外侧鼓出的鼓出部410，在鼓出部410上以成为周方向等间隔且等半径的位置的方式在4处设置安装部41。在安装部41形成有安装孔。在安装部41的吸入口侧以具有大致圆形的开口部60且将鼓风机壳体4包围的方式配置作为安装对象的鼓风机支撑部件6。安装部41经橡胶状的弹性部件7被安装在鼓风机支撑部件6上。

在设有安装部41的鼓出部410的吸入口侧，在鼓风机壳体4的外周部全周设置有向径方向外侧鼓出的圆圈状的法兰部42。在本实施方式1中，鼓出部410和法兰部42被一体地构成。法兰部42的吸入口侧的法兰面42A和鼓风机支撑部件6的支撑面6A面对面，在安装部分的整个周围形成有比弹性部件7的旋转轴方向的厚度小的缝隙X。另外，弹性部件7被配置在法兰部42的径方向外侧的位置。

另外，在本实施方式1中，虽然做成周方向等间隔且等半径地设置4处安装部41，配置4个弹性部件7的结构，但是，并不局限于此。弹性部件7的配置只要在3个或3个以上，配置成在设想各弹性部件7构成顶点的多边形的情况下，在其内部包括旋转轴2即可。

另外，在本实施方式1中，虽然做成在鼓风机壳体4设置圆圈状的鼓出部410，在该鼓出部410设置安装部41的结构，但是，并不局限于此，只要安装部41被突出地设置在鼓风机壳体4的外周部即可。

另外，在本实施方式1中，虽然是法兰部42被配置在安装部41的径方向内侧的结构，但是并不局限于此。例如，也可以是在鼓出部410的径方向内侧设置安装部41，在其径方向外侧设置从鼓出部410向吸入口侧突出的法兰部42的结构。

接着，对橡胶状的弹性部件7进行说明。在本实施方式1中，使用防振橡胶70作为弹性部件7。防振橡胶70是普通的构造，图3中表示了防振橡胶70的放大图。防振橡胶70是将橡胶72配置在2张平行的金属板71A、71B之间，将各金属板71A、71B和橡胶部72粘接固定的部件，具备粘接面73A、73B。在两金属板71A、71B的与粘接面73A、73B相反的一侧设置有固定用的螺钉74A、74B。

在安装部41的吸入口侧的安装面41A上由螺钉74A和螺母75A经安装部41的安装孔固定防振橡胶70的一方的金属板71A。另外，在鼓风机支撑部件6的与安装面41A相向的支撑面6A上由螺钉74B和螺母75B经被设置在鼓风机支撑部件6上的安装孔6B固定防振橡胶70的另一方的金属板71B。安装面41A和支撑面6A与旋转轴2大致正交，被安装在这些各面上的金属板71A、71B的与橡胶部72的粘接面73A、73B也与旋转轴2大致正交。在安装部41侧和鼓风机支撑部件6侧之间，通过由橡胶部72的粘接面73A、73B产生的粘接力分别固定安装部41和防振橡胶70、鼓风机支撑部件6和防振橡胶70，但是，由于固定用的销等未被插入橡胶部72内，所以，能够充分利用橡胶原本的弹性特性。

另外，在本实施方式1中，作为弹性部件7，使用了具备金属板71A、71B的防振橡胶70，但是，并不局限于此。例如，也可以做成将橡胶部件直接粘接在安装面41A以及支撑面6A的结构。

这里，对因动翼的旋转而产生的鼓风机装置的振动进行说明。就鼓风机装置的振动而言，根据申请人进行的实验，了解到鼓风机装置的振动还是与旋转轴正交的径方向的激振力比旋转轴方向的大。以构成马达的转子相对于旋转轴不平衡为原因而产生的离心力与旋转速度的平方成正比。因此，由于近年的超过10000rpm的鼓风机装置的高速旋转化，使得产生大的离心力，径方向的激振力逐渐增大。另外，由于以转子的不平衡为起因的振动与鼓风机装置的旋转频率相同，并且是低的频率，所以，难以防振。作为这样的针对大的激振力、低频的振动的防振用的橡胶，合适的是防振效果高的小的弹簧常数的橡胶。另外，由于相对于以转子不平衡为起因的振动，以马达的磁极、各个动翼的偏差等为起因的振动等为转速的数倍以上的高的频率，所以，防振比较容易。

另一方面，一般来说，橡胶在弹簧常数上在剪切方向和压缩方向存在大的差。例如，在天然橡胶类的橡胶中，弹簧常数在剪切方向比在压缩方向小1/7倍左右。

遵循上述的内容点，对由基于本实施方式1的鼓风机装置10的各结构产生的作用、效果进行说明。

鼓风机壳体4的安装部41通过与橡胶部72的粘接被安装在鼓风机支撑部件6上。而且，其粘接面73A、73B与旋转轴2大致正交。首先，说明由这样的结构产生的作用效果。

通过这样的结构，相对于在鼓风机装置10产生的径方向的振动，橡胶部72作用在弹簧常数小的剪切方向。由此，能够有效地防止因转子的不平衡而使得低频且大的激振力向鼓风机支撑部件6传递。

另外，相对于在鼓风机装置10产生的旋转轴方向的振动，橡胶部72作用于压缩方向。橡胶部72的压缩方向因弹簧常数大而支撑力高，因鼓风机装置10的吸入力、旋转轴方向的振动而产生的橡胶部72的在轴方向的位移小。由此，安装部41和鼓风机支撑部件6的轴方向的间隔的变化小，能够防止法兰部42和鼓风机支撑部件6的接触。

另外，在橡胶的压缩方向橡胶的强度也高。由此，能够防止因由强力的鼓风机装置10的吸入力而产生的压缩载荷使得橡胶部72破损。

另外，在由粘接面73A、73B粘接固定的橡胶部72的情况下，由于应力分布均匀，不会局部地产生高的应力，所以，耐久性高。

另外，在本实施方式1中，表示了使用橡胶制的弹性部件7的例子，但是，材质并不局限于此，也可以是塑料制等的弹性部件。

接着，对设置在鼓风机壳体4的外周部全周的法兰部42的效果进行说明。

在本实施方式1的结构中，在安装部41和鼓风机支撑部件6之间产生防振橡胶70的轴方向的厚度量的缝隙。但是，通过设置圆圈状的法兰部42，能够在法兰部42和鼓风机支撑部件6之间的整个周围形成均匀的缝隙，减小安装部分的缝隙。由此，能够防止鼓风机装置10的安装部分中的气体泄漏。另外，如上所述，安装部41和鼓风机支撑部件6的轴方向的间隔的变化小。由此，不需要为了防备法兰部42和鼓风机支撑部件6的接触而设置大的缝隙，能够在不接触的范围内将缝隙设定得更小。据此，能够进一步提高鼓风机装置10的安装部分中的气密性。

接着，说明有关在安装部41的吸入口侧配置了防振橡胶70的作用效果。

若在安装部41的吸入口侧配置防振橡胶70，则因动翼3的旋转而产生的吸入力作用在压缩防振橡胶70的粘接面73A、73B的方向。因此，能够防止粘接部分剥离。

进而，对用于更切实地防止粘接部分的剥离的防振橡胶70的配置进行说明。图4、图5是表示在鼓风机装置10向鼓风机支撑部件6安装时，从与旋转轴2正交且水平的方向看时的作用于鼓风机装置10的力的平衡的图。图4表示鼓风机装置10的吸入口侧向下的情况，图5表示吸入口侧向上的情况。将防振橡胶70配置成满足下面6个条件式中的任意一个。图4、图5中的虚线C1是表示水平方向的线，单点划线C2是与旋转轴2正交的线。

（1）L2≤L1、L2＞0、F·R2－M·L2≥0

（2）L2≤L1、L2≤0、L1≥0

（3）L2≤L1、L1＜0、F·R1+M·L1≥0

（4）L2＞L1、L1＞0、F·R2－M·L2≥0

（5）L2＞L1、L1＜0、L2＞0、F·R1+M·L1≥0、F·R2－M·L2≥0

（6）L2＞L1、L2＜0、F·R1+M·L1≥0

图4、5以及上述各式所示的记号的说明如下。

G1：被配置在最低的位置的防振橡胶70的重心

G2：被配置在最高的位置的防振橡胶70的重心

L1：从G1到鼓风机装置10的重心为止的水平方向距离（以吸入口侧为正）

L2：从G2到鼓风机装置10的重心为止的水平方向距离（以吸入口侧为正）

M：作用于鼓风机装置10的重力（正的值）

F：鼓风机装置10的吸入力（正的值）

R1：从旋转轴的轴线2A到G1为止的距离（以向下为正）

R2：从旋转轴的轴线2A到G2为止的距离（以向上为正）

f1：来自G1的旋转轴方向的反作用力（G1压缩时产生的反作用力为正）

f2：来自G2的旋转轴方向的反作用力（G2压缩时产生的反作用力为正）

说明上述各式的作用。

在图4、图5中，根据绕G1以及绕G2的力矩的平衡条件，得到

M·L1+F·R1－f2·（R1+R2）=0...（A）

M·L2－F·R2+f1·（R1+R2）=0...（B）

根据（A）、（B）式，得到

（R1+R2）·f2=F·R1+M·L1...（C）

（R1+R2）·f1=F·R2－M·L2...（D）

这里，由于将各防振橡胶70配置成，在设想各防振橡胶70构成顶点的多边形的情况下在其内部包括旋转轴2，所以，G1与旋转轴相比成为下侧，G2与旋转轴相比成为上侧。因此，是R1＞0、R2＞0。

对（1）式的内容进行说明。

由于在鼓风机装置10的吸入口侧向下的情况下（L2≤L1），并且在鼓风机装置10的重心与G2相比处于吸入口侧的情况下（L2＞0），L1＞0，所以，根据（C）式，f2＞0，被配置在最高的位置的防振橡胶70成为被压缩的状态。也就是说，不存在向G2施加拉伸载荷的情况。另外，若满足F·R2－M·L2≥0的条件，则根据（D）式，成为f1≥0，被配置在最低的位置的防振橡胶70成为被压缩的状态或未施加载荷的状态。也就是说，没有向G1施加拉伸载荷。

对（2）式的内容进行说明。

在鼓风机装置10的吸入口侧向下的情况下（L2≤L1），并且在鼓风机装置10的重心处于G1和G2之间的情况下（L2≤0、L1≥0），根据（C）式、（D）式，即使在F=0的情况下，也成为f2≥0、f1≥0，不存在向G1、G2施加拉伸载荷的情况。

对（3）式的内容进行说明。

由于在鼓风机装置10的吸入口侧向下的情况下（L2≤L1），并且在鼓风机装置10的重心与G1相比处于排出口侧的情况下（L1＜0），L2＜0，所以，根据（D）式，f1＞0，不存在向G1施加拉伸载荷的情况。另外，若满足F·R1+M·L1≥0的条件，则根据（C）式，成为f2≥0，没有向G2施加拉伸载荷。

对（4）式的内容进行说明。

在鼓风机装置10的吸入口侧向上的情况下（L2＞L1），并且在鼓风机装置10的重心与G1相比处于吸入侧的情况下（L1＞0），根据（C）式，f2＞0，不存在向G2施加拉伸载荷的情况。另外，若满足F·R2－M·L2≥0的条件，则根据（D）式，成为f1≥0，没有向G1施加拉伸载荷。

对（5）式的内容进行说明。

在鼓风机装置10的吸入口侧向上的情况下（L2＞L1），并且在鼓风机装置10的重心处于G2和G1之间的情况下（L1＜0、L2＞0），若满足F·R1+M·L1≥0和F·R2－M·L2≥0这两个条件，则根据（C）式、（D）式，成为f2≥0、f1≥0，向G1、G2均未施加拉伸载荷。

对（6）式的内容进行说明。

由于在鼓风机装置10的吸入口侧向上的情况下（L2＞L1），并且在鼓风机装置10的重心与G2相比处于排出侧的情况下（L2＜0），L2＜0，所以，根据（D）式，f1＞0，不存在向G1施加拉伸载荷的情况。另外，若满足F·R1+M·L1≥0的条件，则根据（C）式，成为f2≥0，没有向G2施加拉伸载荷。

若像上面说明的那样，通过将防振橡胶70配置成满足（1）～（6）的条件中的任意一个，则至少在鼓风机装置10运转时，拉伸载荷没有作用于防振橡胶70的粘接面73A、73B。由此，能够切实地防止剥离。

最希望的是在满足（2）的条件的情况下，即使鼓风机装置10停止，也不存在向粘接面73A、73B施加拉伸载荷的情况。

另外，在本实施方式1中，对施加给被配置在最低的位置的防振橡胶70和被配置在最高的位置的防振橡胶70这2点的载荷进行了研究，在3点以上的情况下，由于成为更加安全，所以，不会产生剥离的问题。

实施方式2.

接着，对本发明的实施方式2进行说明。图6是表示基于本发明的实施方式2的鼓风机装置10A的结构的立体图，图7是将鼓风机装置10A安装在作为安装对象的鼓风机支撑部件上的状态的剖视图，是从图6的箭头D的方向看的剖视图。

如图6、7所示，在实施方式2中，在实施方式1的结构的基础上，还在法兰部42和鼓风机支撑部件6之间的缝隙X中具备作为空心的弹性部件的橡胶软管8。另外，对与实施方式1相同的结构标注相同的符号，省略说明。

橡胶软管8具有比缝隙X稍大的直径，被形成为环状。通过将环状的橡胶软管8压缩并夹在缝隙X中，能够堵塞缝隙，进一步提高鼓风机装置10A的安装部分中的气密性。

通过使用空心的橡胶软管8，与使用实心的橡胶的情况相比，具有下述的效果。空心形状的橡胶软管8在压缩时的弹簧常数比实心的情况小。因此，在将橡胶软管8压缩并夹在缝隙中时，作用于防振橡胶70的粘接面73A、73B的拉伸载荷小，能够防止剥离。

另外，由于相对于旋转轴方向的振动，防振橡胶70作用于压缩方向，所以，防振橡胶70的轴方向的位移小。由此，即使减小橡胶软管8的压溃余量，也不能产生因振动造成的缝隙，确保气密性。而且，由于能够减小压溃余量，所以，压溃时的反作用力小，能够小到可以忽视作用于防振橡胶70的粘接面73A、73B的拉伸载荷的水平。另外，在本实施方式2中，空心的弹性部件使用了橡胶制的空心的弹性部件，但也可以是塑料制等的弹性部件。

另外，即使夹着海绵来替代空心的橡胶软管8，也具有同样的效果。海绵由于内部有气泡，压缩时的弹簧常数小，所以，不需要是空心软管形状，只要外径比缝隙X大即可。

实施方式3.

接着，对本发明的实施方式3进行说明。基于实施方式3的气体激光振荡装置具备上述实施方式1的鼓风机装置10。

图8是示意性地表示气体激光振荡装置9的结构的立体图，图9是示意性地表示气体激光振荡装置9的结构的剖视图。

气体激光振荡装置9在框体90内具备振荡激光91的振荡构件92、使激光气体经振荡构件92在箭头E方向循环的鼓风机装置10、和将循环的激光气体在途中冷却的热交换器93。

振荡构件92在上下具备相向的一对横向长的电极92A、92B，激光气体通过在电极92A、92B之间放电而被激发，通过其感应放射，产生激光91。在电极92A、92B的两端设置用于反复反射激光91并进行放大的一对反射构件94，激光91一面通过反射构件94在被激发了的激光气体中反复通过，一面被放大并被输出。热交换器93被安装在框体90上，在电极92A、92B和热交换器93之间设置有引导激光气体的管道95。激光气体在被激发的同时温度上升，但由于温度上升会使激光91的输出低下，所以，在循环中，由热交换器93冷却激光气体，不使激光91的输出降低。在热交换器93的气体循环方向下游侧，鼓风机装置10经鼓风机支撑部件6被安装在框体90上，使框体90内的激光气体循环。鼓风机装置10的结构以及鼓风机装置10和鼓风机支撑部件6的安装形态如上述实施方式1记载的那样，在图8、图9中省略各结构的记载，也省略说明。

如上所述，由于本实施方式3的气体激光振荡装置9具备上述实施方式1的鼓风机装置10，所以，具有与上述实施方式1同样的效果。而且，能够有效地防止鼓风机装置10的振动向气体激光振荡装置9的框体90传送，降低气体激光振荡装置9的振动、噪音。另外，由于能够减小鼓风机装置10和鼓风机支撑部件6的安装部分的缝隙，抑制来自安装部分的气体泄漏，所以，能够平顺地进行框体90内的激光气体的循环。

另外，在本实施方式3中，虽然做成具备实施方式1的鼓风机装置10的结构，但是，也可以做成具备上述实施方式2的鼓风机装置10A的结构。在这种情况下，能够进一步抑制来自鼓风机装置10A的安装部分的气体泄漏。

产业上利用的可能性

本发明能够广泛地应用于被配置在气体激光振荡装置等的鼓风机装置，能够谋求提高鼓风机装置的安装部分的防振性、气密性。

Claims (7)

1.一种鼓风机装置，其特征在于，具备：

马达；

叶片，其被安装在上述马达的旋转轴上，通过上述马达的旋转使气体在旋转轴方向流动；

鼓风机壳体，其收纳上述马达和上述叶片，并开设有气体的吸入口侧和排出口侧；

弹性部件，其将被突出地设置在上述鼓风机壳体的外周部的安装部安装于作为安装对象的鼓风机支撑部件，上述鼓风机支撑部件被配置在上述安装部的吸入口侧；和

法兰部，其在上述安装部的吸入口侧被设置在上述鼓风机壳体的外周部全周，

上述弹性部件在与上述旋转轴正交的同一平面内配置3个或3个以上，在以上述各弹性部件为顶点的多边形的内部包括上述旋转轴，在上述各弹性部件的上述旋转轴方向两端部具有与上述旋转轴正交的粘接面，在一方的粘接面上通过粘接固定上述安装部，在另一方的粘接面上通过粘接固定上述鼓风机支撑部件，

上述法兰部被设置成，经比上述弹性部件的上述旋转轴方向的厚度小的缝隙与上述鼓风机支撑部件面对面。

2.如权利要求1所述的鼓风机装置，其特征在于，将上述各弹性部件配置成，

在上述鼓风机装置向上述鼓风机支撑部件安装时，在从与上述旋转轴正交且水平的方向看上述鼓风机装置的情况下，

若设从上述各弹性部件中的被配置在最低的位置的弹性部件的重心G1到上述鼓风机装置的重心为止的以吸入口侧为正的水平方向距离为L1，

从上述各弹性部件中的被配置在最高的位置的弹性部件的重心G2到上述鼓风机装置的重心为止的以吸入口侧为正的水平方向距离为L2，

作用于上述鼓风机装置的重心的重力为M，上述鼓风机装置的吸入力为F，

从上述旋转轴到被配置在上述最低的位置的弹性部件的重心G1为止的以向下为正的距离为R1、

从上述旋转轴到被配置在上述最高的位置的弹性部件的重心G2为止的以向上为正的距离为R2，则满足下述(1)～(6)中的任意一个条件：

(1)L2≤L1、L2＞0、F·R2－M·L2≥0

(2)L2≤L1、L2≤0、L1≥0

(3)L2≤L1、L1＜0、F·R1+M·L1≥0

(4)L2＞L1、L1＞0、F·R2－M·L2≥0

(5)L2＞L1、L1＜0、L2＞0、F·R1+M·L1≥0、F·R2－M·L2≥0

(6)L2＞L1、L2＜0、F·R1+M·L1≥0。

3.如权利要求1或2所述的鼓风机装置，其特征在于，在上述法兰部和上述鼓风机支撑部件之间的缝隙中具备空心的弹性部件。

4.如权利要求1或2所述的鼓风机装置，其特征在于，在上述法兰部和上述鼓风机支撑部件之间的缝隙中具备海绵。

5.如权利要求2所述的鼓风机装置，其特征在于，上述各弹性部件的配置满足上述(2)的条件。

6.一种气体激光振荡装置，通过放电激发激光气体，产生激光，由鼓风机装置使上述激光气体循环，其特征在于，

上述鼓风机装置具备：

马达；

叶片，其被安装在上述马达的旋转轴，通过上述马达的旋转使气体在旋转轴方向流动；

鼓风机壳体，其收纳上述马达和上述叶片，并开设有气体的吸入口侧和排出口侧；

弹性部件，其将被突出地设置在上述鼓风机壳体的外周部的安装部安装于作为安装对象的鼓风机支撑部件，上述鼓风机支撑部件被配置在上述安装部的吸入口侧；和

法兰部，其在上述安装部的吸入口侧被设置在上述鼓风机壳体的外周部全周，

上述弹性部件在与上述旋转轴正交的同一平面内配置3个或3个以上，在以上述各弹性部件为顶点的多边形的内部包括上述旋转轴，在上述各弹性部件的上述旋转轴方向两端部具有与上述旋转轴正交的粘接面，在一方的粘接面上通过粘接固定上述安装部，在另一方的粘接面上通过粘接固定上述鼓风机支撑部件，

上述法兰部被设置成，经比上述弹性部件的上述旋转轴方向的厚度小的缝隙与上述鼓风机支撑部件面对面。

7.如权利要求6所述的气体激光振荡装置，其特征在于，上述鼓风机装置将上述各弹性部件配置成，

在上述鼓风机装置向上述鼓风机支撑部件安装时，在从与上述旋转轴正交且水平的方向看上述鼓风机装置的情况下，

若设从上述各弹性部件中的被配置在最低的位置的弹性部件的重心G1到上述鼓风机装置的重心为止的以吸入口侧为正的水平方向距离为L1，

从上述各弹性部件中的被配置在最高的位置的弹性部件的重心G2到上述鼓风机装置的重心为止的以吸入口侧为正的水平方向距离为L2，

作用于上述鼓风机装置的重心的重力为M，上述鼓风机装置的吸入力为F，

从上述旋转轴到被配置在上述最低的位置的弹性部件的重心G1为止的以向下为正的距离为R1、

从上述旋转轴到被配置在上述最高的位置的弹性部件的重心G2为止的以向上为正的距离为R2，

则满足下述(1)～(6)中的任意一个条件：

(1)L2≤L1、L2＞0、F·R2－M·L2≥0

(2)L2≤L1、L2≤0、L1≥0

(3)L2≤L1、L1＜0、F·R1+M·L1≥0

(4)L2＞L1、L1＞0、F·R2－M·L2≥0

(5)L2＞L1、L1＜0、L2＞0、F·R1+M·L1≥0、F·R2－M·L2≥0

(6)L2＞L1、L2＜0、F·R1+M·L1≥0。