CN103499711B - 超小间距的高频集成电路交流自动测试探头 - Google Patents
超小间距的高频集成电路交流自动测试探头 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103499711B CN103499711B CN201310436171.4A CN201310436171A CN103499711B CN 103499711 B CN103499711 B CN 103499711B CN 201310436171 A CN201310436171 A CN 201310436171A CN 103499711 B CN103499711 B CN 103499711B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- active system
- system elastic
- piece
- integrated circuit
- fine pitch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
本发明公布了一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头，包括多个以阵列、非对称方式均布在上层的主动式弹性取样上片和多个对应的设置在下层的主动式弹性取样下片；所述主动式弹性取样上、下片上分别设置有用于定位所述主动式弹性取样上、下片的绝缘件；所述主动式弹性取样上、下片的前部一体式封装在设有的塑封体内；所述主动式弹性取样上片上侧的塑封体内设置有上层金属屏蔽片，所述主动式弹性取样下片下侧的塑封体内设置有下层金属屏蔽片，所述主动式弹性取样上片和所述主动式弹性取样下片之间的塑封体内设置有中层金属屏蔽片；各层之间的金属屏蔽片呈对偶设置。本发明中的取样片采用上下双片形式设置，提高了测试的可靠性。
Description
技术领域
本发明涉及一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头。
背景技术
目前，随着集成电路的外形越来越小型化，其管腿之间的间距已经小到0.5mm左右；这样加上管腿宽度，在成品自动测试时，要求对位的机械精度正负小于0.01mm。高频集成电路进行交流测试时，具有引线阻抗、分布电容影响和射频脉冲干扰等问题。当前，这种交流测试用探头几乎完全依赖进口，其结构复杂，价格昂贵，采购周期长。因此，我们通过近几年的探索和试验，成功研发出了性能优于进口的这种交流自动测试探头。
发明内容
本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头。
本发明为实现上述目的，采用如下技术方案：一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头，包括多个以阵列、非对称方式均布在上层的主动式弹性取样上片和多个对应的设置在下层的主动式弹性取样下片；所述主动式弹性取样上、下片上分别设置有用于定位所述主动式弹性取样上、下片的绝缘件；所述主动式弹性取样上、下片的前部一体式封装在设有的塑封体内；所述主动式弹性取样上片上侧的塑封体内设置有上层金属屏蔽片，所述主动式弹性取样下片下侧的塑封体内设置有下层金属屏蔽片，所述主动式弹性取样上片和所述主动式弹性取样下片之间的塑封体内设置有中层金属屏蔽片；各层之间的金属屏蔽片呈对偶设置。
进一步的，所述主动式弹性取样上、下片的前部取样端设置有与分选机测试卡上的固定插座相对应的插头。
进一步的，所述主动式弹性取样上、下片的前部取样端通过光蚀刻工艺制成片状探针排，所述片状探针排中相邻的探针间距为0.005mm。
进一步的，所述主动式弹性取样上、下片均采用铜银合金制成。
优选的，所述铜银合金中，银的含量为6%（质量百分比）。
进一步的，所述塑封体外侧设置有安装定位槽。
本发明的有益效果：本发明中的主动式弹性取样片采用上下双片形式设置，提高了测试的可靠性。上述取样片采用阵列、非对称方式布线，能够获得最小的分布电容和寄生电感，有效解决了高频交流测试时引线的分布电容引起的失真。另外，取样上、下片采用铜银合金制成，使得探针材料的电阻系数大大降低，有效地防止引线阻抗导致的信号衰减和波形失真。一体式封装的塑封体，可以使探头在分选机上形成X、Y和Z三个方向上的定位。
附图说明
图1为本发明的主视图结构示意图；
图2为本发明的俯视图结构示意图。
具体实施方式
图1、图2所示，为一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头，包括多个以阵列、非对称方式均布在上层的主动式弹性取样上片2和多个对应的设置在下层的主动式弹性取样下片9。所述主动式弹性取样上、下片2、9上分别设置有用于定位所述主动式弹性取样上、下片2、9的绝缘件1；该绝缘件1可使多个取样片的前部取样端保持在一个平面上，同时防止取样端Z、Y方向相互间的相碰，造成短路。测试探头的主动式弹性取样上、下片2、9的前部一体式封装在设有的塑封体3内。在所述主动式弹性取样上片2上侧的塑封体3内设置有上层金属屏蔽片4；在所述主动式弹性取样下片9下侧的塑封体3内设置有下层金属屏蔽片7；在所述主动式弹性取样上、下片2、9之间的塑封体3内设置有中层金属屏蔽片5；且各层之间的金属屏蔽片呈对偶设置。其中，上、下层金属屏蔽片4、7对环境的电磁干扰进行反射衰减和吸收衰减。中层金属屏蔽片5对主动式弹性取样上、下片2、9（即取样和加载的工作片）的相互辐射干扰进行吸收屏蔽。由于各层之间的金属屏蔽片呈对偶设置，使相对的干扰频率的耦合吸收效果更好。
另外，在所述主动式弹性取样上、下片2、9的前部取样端还设置有与分选机测试卡上的固定插座相对应的插头6。为使得探针材料的电阻系数能够大大降低，主动式弹性取样上、下2、9片均采用铜银合金制成。所述铜银合金中银的含量可优选为6%（质量百分比）。将本发明的主动式弹性取样上、下片的前部取样端通过光蚀刻工艺制成片状探针排，该片状探针排中相邻的探针间距可达到0.005mm。
本发明的交流自动测试探头通过塑封体3外侧设置有安装定位槽8固定在分选机上。测试探头工作时，由气动元件不断压放，使即探头的端部不断接触集成电路的外引线（即管腿），进行加载和捡拾信号。
表1为本发明的实际测试参数表：
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头，其特征在于，包括多个以阵列、非对称方式均匀分布在上层的主动式弹性取样上片和多个对应的设置在下层的主动式弹性取样下片；所述主动式弹性取样上、下片上分别设置有用于定位所述主动式弹性取样上、下片的绝缘件；所述主动式弹性取样上、下片的前部一体式封装在设有的塑封体内；所述主动式弹性取样上片上侧的塑封体内设置有上层金属屏蔽片，所述主动式弹性取样下片下侧的塑封体内设置有下层金属屏蔽片，所述主动式弹性取样上片和所述主动式弹性取样下片之间的塑封体内设置有中层金属屏蔽片；各层之间的金属屏蔽片呈对偶设置。
2.如权利要求1所述的一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头，其特征在于，所述主动式弹性取样上、下片的前部取样端设置有与分选机测试卡上的固定插座相对应的插头。
3.如权利要求1所述的一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头，其特征在于，所述主动式弹性取样上、下片的前部取样端通过光蚀刻工艺制成片状探针排，所述片状探针排中相邻的探针间距为0.005mm。
4.如权利要求1所述的一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头，其特征在于，所述主动式弹性取样上、下片均采用铜银合金制成。
5.如权利要求4所述的一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头，其特征在于，所述铜银合金中，银的含量为6％质量百分比。
6.如权利要求1-5任一项所述的一种超小间距的高频集成电路交流自动测试探头，其特征在于，所述塑封体外侧设置有安装定位槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310436171.4A CN103499711B (zh) | 2013-09-23 | 2013-09-23 | 超小间距的高频集成电路交流自动测试探头 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310436171.4A CN103499711B (zh) | 2013-09-23 | 2013-09-23 | 超小间距的高频集成电路交流自动测试探头 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103499711A CN103499711A (zh) | 2014-01-08 |
| CN103499711B true CN103499711B (zh) | 2017-03-29 |
Family
ID=49864936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310436171.4A Expired - Fee Related CN103499711B (zh) | 2013-09-23 | 2013-09-23 | 超小间距的高频集成电路交流自动测试探头 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103499711B (zh) |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3936743A (en) * | 1974-03-05 | 1976-02-03 | Electroglas, Inc. | High speed precision chuck assembly |
| JPS5896748A (ja) * | 1981-12-04 | 1983-06-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の測定装置 |
| CA2174784C (en) * | 1996-04-23 | 1999-07-13 | George Guozhen Zhong | Automatic multi-probe pwb tester |
| CN1122182C (zh) * | 2000-01-17 | 2003-09-24 | 上海交通大学 | 直流输电线路绝缘子串电压分布测量仪 |
| CN1177212C (zh) * | 2001-09-19 | 2004-11-24 | 中国科学院化学研究所 | 切变力检测器 |
| JP2005136246A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
| US7256593B2 (en) * | 2005-06-10 | 2007-08-14 | Delaware Capital Formation, Inc. | Electrical contact probe with compliant internal interconnect |
| CN2914085Y (zh) * | 2006-06-30 | 2007-06-20 | 烟台鲁宝钢管有限责任公司 | 一种分层测厚装置 |
| CN201152848Y (zh) * | 2007-10-31 | 2008-11-19 | 杨力 | 仿生智能型血液流变仪 |
| CN101493452A (zh) * | 2008-11-13 | 2009-07-29 | 港龙生物科技有限公司 | 压电陶瓷传感器 |
| CN201355258Y (zh) * | 2008-12-16 | 2009-12-02 | 北京航天峰光电子技术有限公司 | 用于深冷介质的涡街流量计探头 |
| CN201662590U (zh) * | 2010-03-26 | 2010-12-01 | 航天时代电子技术股份有限公司 | 一种半导体型探头及包含该探头的非侵入式电压测量装置 |
| JP5449067B2 (ja) * | 2010-07-21 | 2014-03-19 | 株式会社日立ハイテクファインシステムズ | スプリングプローブ装置及び半導体試験装置 |
| CN102288791B (zh) * | 2011-05-10 | 2013-06-19 | 无锡市汇博普纳电子有限公司 | 开尔文测试分选用导线架及金手指结构 |
| CN103163337A (zh) * | 2011-12-09 | 2013-06-19 | 西安艾力特电子实业有限公司 | 一种电源测试探针气动压接系统 |
-
2013
- 2013-09-23 CN CN201310436171.4A patent/CN103499711B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103499711A (zh) | 2014-01-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104425870B (zh) | 宽频天线及具有该宽频天线的无线通信装置 | |
| US20190103687A1 (en) | Cpu socket contact for improving bandwidth throughput | |
| CN109041413A (zh) | 一种深度抑制超宽带同步开关噪声的电磁带隙结构 | |
| CN202994854U (zh) | 微波低噪声封装器件用噪声参数测试夹具 | |
| CN103499711B (zh) | 超小间距的高频集成电路交流自动测试探头 | |
| CN209472823U (zh) | 一种深度抑制超宽带同步开关噪声的电磁带隙结构 | |
| CN201985310U (zh) | 一种采用簧片式弹性插针的微型高频传输接触件 | |
| CN102983875B (zh) | 一种降低对数据卡天线灵敏度干扰的方法及设备 | |
| CN219437491U (zh) | 一种Socket实现高频信号屏蔽装置 | |
| CN218382904U (zh) | 一种芯片检测夹具 | |
| CN207150945U (zh) | 散热装置 | |
| CN206743253U (zh) | 一种无线测试及便于转化内置天线的装置 | |
| CN206060773U (zh) | 一种带有usb接口的屏蔽箱 | |
| CN213936631U (zh) | 一种一体化电极杆及应用该电极杆的维生素检测仪 | |
| CN207744339U (zh) | 新型射频测试用双层屏蔽箱 | |
| CN103855544B (zh) | 电连接器 | |
| CN207742290U (zh) | 一种电学性能测试设备 | |
| CN208158842U (zh) | 耳机夹具 | |
| JP2013044660A (ja) | 電界プローブ及び電界測定装置 | |
| CN207882341U (zh) | 一种表面电阻测试仪屏蔽装置 | |
| CN114665334A (zh) | 用于224gb/s及以上的同轴传输线sli插座设计 | |
| TWI451097B (zh) | 電磁屏蔽測試裝置 | |
| CN208271371U (zh) | 一种计算机性能数据的采集装置 | |
| CN207798884U (zh) | 一种新型电容器检测夹具 | |
| CN110661108A (zh) | 一种天线阵列系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170329 Termination date: 20170923 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |