CN103409791A - 准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述石墨平台底部设有下发热体，所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接，可随升降立柱一起上下移动。本发明结构合理，形成了一个动态六面热场，六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体，三组发热体均可独立控制，整个热场横向温度梯度小，熔化硅料时间短，提高单晶率，缩短工艺周期，提高了设备的生产效率。

Description

准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构
技术领域
本发明属于准单晶铸锭炉技术领域，特别涉及一种铸锭炉的保温体内部热场结构。
背景技术
在准单晶铸锭炉上采用诱导的方式，通过合理地热场控制生产出的具有高转换率的准单晶硅片。现在国内或国外准单晶铸锭炉加热方式采用美国GT铸锭炉五面式加热方式德国ALD铸锭炉上下加热方式，以上两种加热方式都有不足之处：1、美国GT铸锭炉五面式加热采用上加热器和四个侧面加热器，无下加热器，在准单晶铸锭过程中，熔化硅料时间长、整个热场横向热场温度梯度大，造成侧面籽晶熔化过多，不利于准单晶的生长。2、德国ALD铸锭炉采用上下加热器，无四个侧面加热器，在准单晶铸锭过程中，侧面热场温度跟不上，不利于准单晶生长。在准单晶的结晶过程中，控温时保温体内部的上下温度梯度控制困难，不能满足铸锭炉生产单晶硅的工艺要求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，以满足在单晶硅生产中保温体内部保持合理的温度梯度，从而提高设备的生产效率。
为实现上述目的，本发明采用以下方案：
一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述保温体为箱体型，其内部的上方固定设有上发热体，保温体四周固定设有侧发热体，保温体中部设有石墨平台，石墨平台上平面置有石英坩埚，石英坩埚的四周设有坩埚护板，坩埚护板的上方设有坩埚盖板；所述石墨平台底部设有下发热体。
所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接，可随升降立柱一起上下移动，形成工艺要求所需的动态热场。
本发明结构合理，形成了一个动态六面热场，六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体，三组发热体均可独立控制。避免以上两种已有技术中的不足之处，使个热场横向热场梯度小，熔化硅料时间短，提高单晶率，缩短整个工艺周期，提高了设备的生产效率，可节约能耗、降低整个铸锭成本。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
以下结合实施例及其附图对本发明做进一步详细的说明：
如图1所示，一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体7、下保温体6、侧发热体4、上发热体9、石墨平台1、升降立柱5、石英坩埚3、坩埚护板10、坩埚盖板8和下发热体2。
所述上保温体7、下保温体6组合为箱体型，其内部的上方固定设有上发热体9，上保温体7四周固定设有侧发热体4，下保温体6中部设有石墨平台1，石墨平台1上平面置有石英坩埚3，石英坩埚3的四周设有坩埚护板10，坩埚护板10的上方设有坩埚盖板8；所述石墨平台1底部固定设有下发热体2。
所述下发热体2、石墨平台1与升降机构的升降立柱5连接一起，可以随升降立柱5上下移动。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本发明的保护范围。

Claims (1)

1.一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述保温体为箱体型，其内部的上方固定设有上发热体，保温体四周固定设有侧发热体，保温体中部设有石墨平台，石墨平台上平面置有石英坩埚，石英坩埚的四周设有坩埚护板，坩埚护板的上方设有坩埚盖板，其特征在于：所述石墨平台底部设有下发热体，下发热体、石墨平台与升降立柱连接，可上下移动。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103741205A (zh) * 2014-01-28 2014-04-23 安徽大晟新能源设备科技有限公司 全单晶硅铸锭炉

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101323972A (zh) * 2008-07-14 2008-12-17 大连理工大学 一种多晶硅定向凝固设备
US20100051609A1 (en) * 2008-08-31 2010-03-04 Fishman Oleg S Directional Solidification of Silicon by Electric Induction Susceptor Heating in a Controlled Environment
CN102140681A (zh) * 2010-02-25 2011-08-03 晶科能源有限公司 用于提高成晶率的多晶铸锭炉改良热场及生产工艺
CN102560640A (zh) * 2012-03-07 2012-07-11 英利能源（中国）有限公司 一种多晶铸锭炉及用其生产类单晶硅锭的方法
CN102732959A (zh) * 2011-04-11 2012-10-17 上海普罗新能源有限公司 多晶硅铸锭炉和多晶硅铸锭方法
CN202626346U (zh) * 2012-04-13 2012-12-26 浙江精功科技股份有限公司 一种新型准单晶铸锭炉
CN202658270U (zh) * 2012-06-14 2013-01-09 天威新能源控股有限公司 一种低碳准单晶铸锭炉
CN102877117A (zh) * 2012-09-19 2013-01-16 杭州慧翔电液技术开发有限公司 基于多加热器的铸锭炉热场结构及运行方法
CN203382846U (zh) * 2013-08-01 2014-01-08 安徽大晟新能源设备科技有限公司 准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101323972A (zh) * 2008-07-14 2008-12-17 大连理工大学 一种多晶硅定向凝固设备
US20100051609A1 (en) * 2008-08-31 2010-03-04 Fishman Oleg S Directional Solidification of Silicon by Electric Induction Susceptor Heating in a Controlled Environment
CN102140681A (zh) * 2010-02-25 2011-08-03 晶科能源有限公司 用于提高成晶率的多晶铸锭炉改良热场及生产工艺
CN102732959A (zh) * 2011-04-11 2012-10-17 上海普罗新能源有限公司 多晶硅铸锭炉和多晶硅铸锭方法
CN102560640A (zh) * 2012-03-07 2012-07-11 英利能源（中国）有限公司 一种多晶铸锭炉及用其生产类单晶硅锭的方法
CN202626346U (zh) * 2012-04-13 2012-12-26 浙江精功科技股份有限公司 一种新型准单晶铸锭炉
CN202658270U (zh) * 2012-06-14 2013-01-09 天威新能源控股有限公司 一种低碳准单晶铸锭炉
CN102877117A (zh) * 2012-09-19 2013-01-16 杭州慧翔电液技术开发有限公司 基于多加热器的铸锭炉热场结构及运行方法
CN203382846U (zh) * 2013-08-01 2014-01-08 安徽大晟新能源设备科技有限公司 准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103741205A (zh) * 2014-01-28 2014-04-23 安徽大晟新能源设备科技有限公司 全单晶硅铸锭炉
CN103741205B (zh) * 2014-01-28 2016-02-24 安徽大晟新能源设备科技有限公司 全单晶硅铸锭炉

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