CN103389305A

CN103389305A - 检查机

Info

Publication number: CN103389305A
Application number: CN2013101629529A
Authority: CN
Inventors: 滨砂智训
Original assignee: Sinto S Precision Ltd
Current assignee: Sinto S Precision Ltd
Priority date: 2012-05-07
Filing date: 2013-05-06
Publication date: 2013-11-13
Also published as: JP2013234864A

Abstract

本发明提供一种检查机，稳定地检查有机材料的蒸镀状态。该检查机具备：物镜（4），以规定的倍率观察真空室内的有机材料；照射部（12），射出对上述有机材料进行照射的紫外光；及摄像部（8），经由上述物镜拍摄被上述紫外光照射状态下的上述有机材料的像。

Description

检查机

技术领域

本发明涉及检查有机材料的蒸镀状态的检查机。

背景技术

以往，公知有在玻璃基板上蒸镀有机材料来制造有机EL显示装置的有机EL显示装置的制造方法（例如，参照专利文献1）。

专利文献1：日本特开2010－272300号公报

发明内容

于是，在使用上述的有机EL显示装置的制造方法来制造有机EL显示装置的情况下，需要检查在玻璃基板上所蒸镀的有机材料的蒸镀状态。在这种情况下，对有机材料照射紫外光（以下，称为UV光），在使有机材料发光的状态下进行蒸镀状态的检查。

但是，当对有机材料照射UV光时，有机材料与空气中的氧发生反应而劣化。因此有机材料不发光，不能稳定地检查蒸镀状态。

本发明的目的在于，提供能够稳定地检查有机材料的蒸镀状态的检查机。

本发明的检查机的特征在于，具备：物镜，以规定的倍率观察真空室内的有机材料；照射部，射出对上述有机材料进行照射的紫外光；及摄像部，经由上述物镜拍摄在被照射上述紫外光的状态下的上述有机材料的像。

而且，本发明的检查机的特征在于，具备照明部，该照明部射出对上述有机材料进行照明的可见光，上述摄像部经由上述物镜拍摄在被上述可见光照明的状态下的上述有机材料的像。

而且，本发明的检查机的特征在于，上述照射部经由上述物镜射出上述紫外光。

而且，本发明的检查机的特征在于，上述照明部经由上述物镜射出上述可见光。

而且，本发明的检查机的特征在于，上述真空室具备能够从外部观察真空室内的观察窗，上述物镜经由上述观察窗从外部观察上述有机材料。

而且，本发明的检查机的特征在于，上述照射部及上述照明部经由上述观察窗对上述有机材料射出紫外光及可见光。

根据本发明的检查机，能够稳定地检查有机材料的蒸镀状态。

附图说明

图1是从侧面观察实施方式所涉及的检查机而得到的图。

图2是表示作为实施方式所涉及的检查机的检查对象物的有机EL面板的图。

图3是表示具备实施方式所涉及的检查机的蒸镀装置的结构的图。

图4是表示使由实施方式所涉及的检查机所检查的有机材料发光并由可见光进行照明的状态的图。

图5是从侧面观察实施方式所涉及的其他检查机而得到的图。

图6是从侧面观察实施方式所涉及的其他检查机而得到的图。

附图标记说明

2…检查机

3…镜筒

4…物镜

8…相机

12…UV光源

14…可见光源

16…分色镜

18…半透半反镜

20…有机EL面板

22…玻璃基板

24…有机材料

25…TFT层

28…TFT开口部

30…蒸镀装置

31…腔

36…检查窗

具体实施方式

以下，参照附图，关于本发明的实施方式所涉及的检查机，以有机EL显示装置的制造工序中所用的检查机为例进行说明。图1是从侧面观察实施方式所涉及的检查机而得到的图。如图1所示，检查机2在镜筒3的一端部具备以规定的倍率观察作为检查对象物的有机EL面板20（参照图2）的物镜4，在镜筒3的另一端部具备拍摄通过物镜4观察的有机EL面板20的像的相机8。而且，在镜筒3的侧面设置有射出对有机EL面板20进行照射的UV光的UV光源12及射出对有机EL面板20进行照明的可见光的可见光源14。而且，在镜筒3的内部具备反射UV光而透过可见光的分色镜16及半透半反镜18。

此处，从UV光源12射出的UV光被分色镜16反射之后，经由物镜4照射有机EL面板20。而且，从可见光源14射出的可见光被半透半反镜18反射之后，透过分色镜16并经由物镜4对有机EL面板20进行照明。另外，来自有机EL面板20的光在入射到物镜4之后，透过分色镜16及半透半反镜18而成像于未图示的摄像元件，并由相机8拍摄成像于摄像元件的像。

接着，参照图2，对作为实施方式所涉及的检查机2的检查对象物的有机EL面板20进行说明。图2（a）是从物镜4侧观察有机EL面板20而得到的图。如图2（a）所示，在玻璃基板22上所蒸镀的有机材料24由具有红色有机材料24r、绿色有机材料24g及蓝色有机材料24b三种不同的发光色的有机材料所构成。

而且，图2（b）是表示有机EL面板20的A－A剖面的一部分的图。如图2（b）所示，在玻璃基板22的上侧的面形成夹紧玻璃基板22的夹紧面23，在玻璃基板22的下侧的面（照射UV光及可见光的一侧的面）形成TFT层25。而且，在TFT层25的下侧形成供可见光透过的透明的电极层26，在电极层26蒸镀机材料24。另外，在TFT层25具备不透明的TFT27、供可见光透过的TFT开口部28。

此处，在有机EL面板20被UV光照射的情况下，向有机材料24所处的区域射出的UV光使有机材料24发出各个发光色的光。而且，在有机EL面板20被可见光照明的情况下，向TFT开口部28所处的区域射出的可见光透过有机材料24、电极层26、TFT开口部28及玻璃基板22，在夹紧面23被反射。被夹紧面23反射的反射光按原光路返回而入射到物镜4。而且，照射到TFT开口部28未所处的区域的可见光在透过有机材料24之后，在TFT层25被反射。被TFT层25反射的反射光按原光路返回而入射到物镜4。

接着，参照图3，对具备实施方式所涉及的检查机2的蒸镀装置的结构进行说明。如图3（a）所示，蒸镀装置30的腔31的内部维持真空状态，腔31内由搬运有机EL面板20的搬运装置33及蒸镀部34构成。此处，检查机2配置于腔31的外部，经由供UV光及可见光透过的检查窗36，从腔31的外侧检查有机材料24的蒸镀状态。

而且，图3（b）是从上侧观察腔31内的搬运装置33而得到的图。如图3（b）所示，搬运装置33由一对导轨33a构成，在蒸镀部34蒸镀了有机材料24的有机EL面板20在两缘部支撑于导轨33a的状态下被搬运。另外，如图3（b）所示，在腔31的外部配置有多个检查机2。由此，能够以较宽的范围检查在有机EL面板20上所蒸镀的有机材料24（参照图2（b））。

接着，参照附图对实施方式所涉及的检查机2的检查处理进行说明。首先，在有机EL显示装置的制造工序中，如图3（a）所示，在蒸镀部34蒸镀了有机材料24的有机EL面板20（参照图2（b））由搬运装置33搬运至检查机2的位置。

接着，当有机EL面板20位于物镜4的正上方时，控制部从UV光源12（参照图1）射出UV光，并利用UV光对有机材料24进行照射。此处，由于腔31内维持真空状态（参照图3（a）），因此有机材料24发出各个发光色的光而不会与氧发生反应而劣化。例如，如图2（a）所示，红色有机材料24r发出红色光，绿色有机材料24g发出绿色光，蓝色有机材料24b发出蓝色光。

另外，假设在不从UV光源12射出UV光而仅从可见光源14射出可见光来照明有机EL面板20的情况下，有机材料24不发光，并可观察到图2（b）所示的、TFT开口部28等形成于有机材料24背面的TFT层25。

接着，控制部在有机材料24发光的状态下从可见光源14（参照图1）射出可见光，对有机EL面板20进行照明。在这种情况下，能够观察到图2（a）所示的、发出各个发光色的光的红色有机材料24r、绿色有机材料24g及蓝色有机材料24b并且能够观察到图2（b）所示的、形成于有机材料24背面的TFT层25。

另外，由于夹紧面23（参照图2（b））的反射率大于TFT27等其他部件的反射率，因此如图4所示，在使有机材料24发光并从物镜4侧观察利用可见光进行了照明的有机EL面板20的情况下，与其他部分相比可明显地观察到TFT开口部28的位置。

接着，控制部通过相机8来拍摄处于发光并由可见光进行了照明的状态下的有机材料24。而且，基于所拍摄的摄像数据来检查有机材料24的蒸镀状态。例如，检查红色有机材料24r与TFT开口部28的位置偏差、绿色有机材料24g与TFT开口部28的位置偏差及蓝色有机材料24b与TFT开口部28的位置偏差等。而且，检查红色有机材料6r、绿色有机材料6g及蓝色有机材料6b的宽度等。

根据该实施方式所涉及的检查机2，对处于真空状态的有机材料24照射UV光，从而能够在有机材料24发光的状态下稳定地检查蒸镀状态。而且，用可见光对有机材料24进行照明，从而能够检测出TFT开口部28的位置，因此能够良好地检查有机材料24的蒸镀偏差。而且，如图2所示从下侧观察有机材料24，从而能够不受TFT27妨碍地正确地检查蒸镀状态。

另外，在上述的实施方式中，以向TFT开口部28所处的区域射出的可见光透过玻璃基板22并在夹紧面23被反射的情况为例进行了说明，但可见光的一部分在玻璃基板22被反射。因此，即使在夹紧面23的反射率较低的情况下，如图4所示，由于来自玻璃基板22的反射，与其他部分相比也可明显地观察到TFT开口部28的位置。

而且，在上述的实施方式中，以红色有机材料24r、绿色有机材料24g及蓝色有机材料24b三种有机材料被蒸镀于玻璃基板22之后利用检查机2进行检查的情况为例进行了说明，但也可以在红色有机材料24r、绿色有机材料24g及蓝色有机材料24b中任一颜色的有机材料被蒸镀之后利用检查机2进行检查。由此，能够对单色有机材料的蒸镀状态进行检查。

而且，在上述的实施方式中，如图5所示，也可以将UV光源12配置于镜筒3的外部，将分色镜16配置于物镜4和有机EL面板（未图示）之间。由此，能够在镜筒3的内部不具备分色镜16而由UV光对有机材料24进行照明。

而且，在上述的实施方式中，如图6所示，也可以将UV光源（未图示）配置于镜筒3的外侧，从UV光源射出的UV光不经由分色镜16及物镜4而直接照射到有机材料24。

Claims

1.一种检查机，其特征在于，具备：

物镜，以规定的倍率观察真空室内的有机材料；

照射部，射出对所述有机材料进行照射的紫外光；及

摄像部，经由所述物镜拍摄被所述紫外光照射状态下的所述有机材料的像。

2.根据权利要求1所述的检查机，其特征在于，

具备照明部，射出对所述有机材料进行照明的可见光，

所述摄像部经由所述物镜拍摄被所述可见光照明状态下的所述有机材料的像。

3.根据权利要求1或2所述的检查机，其特征在于，

所述照射部经由所述物镜射出所述紫外光。

4.根据权利要求2或3所述的检查机，其特征在于，

所述照明部经由所述物镜射出所述可见光。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的检查机，其特征在于，

所述真空室具备能够从外部观察真空室内的观察窗，

所述物镜经由所述观察窗从外部观察所述有机材料。

6.根据权利要求5所述的检查机，其特征在于，

所述照射部及所述照明部经由所述观察窗对所述有机材料射出紫外光及可见光。