CN103377749B

CN103377749B - 电子元件

Info

Publication number: CN103377749B
Application number: CN201210122623.7A
Authority: CN
Inventors: 冯辰; 潜力; 王昱权
Original assignee: Beijing Funate Innovation Technology Co Ltd
Current assignee: Beijing Funate Innovation Technology Co Ltd
Priority date: 2012-04-25
Filing date: 2012-04-25
Publication date: 2016-08-10
Anticipated expiration: 2032-04-25
Also published as: TWI599539B; TW201343535A; CN103377749A; US20130284503A1; US8981235B2

Abstract

本发明提供一种电子元件，其包括一碳纳米管膜、至少一第一电极及至少一第二电极。该碳纳米管膜包括多个碳纳米管线以及多个碳纳米管团簇，该多个碳纳米管线间隔设置，该多个碳纳米管团簇通过该多个碳纳米管线隔开，且位于相邻的碳纳米管线之间的多个碳纳米管团簇间隔设置，所述多个碳纳米管线沿一第一方向延伸设置形成多个第一导电通路，所述多个碳纳米管团簇沿一第二方向设置成形成多个第二导电通路，且该第二方向与所述第一方向交叉设置；该至少一第一电极与该至少一第二电极相对且间隔设置，且通过所述多个第一导电通路或多个第二导电通路中的至少一个导电通路电连接。

Description

电子元件

技术领域

本发明涉及一电子元件，尤其涉及一种基于碳纳米管的电子元件。

背景技术

电子元件，尤其是薄膜电子元件，是各种电子设备，如触摸屏、液晶显示器、场发射显示装置等的重要元件。

现有技术中的薄膜电子元件中的导电层主要是由金属或金属氧化物组成，如银(Ag)、铜(Cu)、金(Au)、氧化铟锡(ITO)、氧化锌(ZnO)。这些导电层不易弯折，且作为电子元件中的导电层存在机械性和化学耐用性不够好的问题，从而影响该电子元件的使用寿命。现有的电子元件中导电层主要是采用沉积法、蒸发法、溅射法等方法将导电材料形成在一基底上而形成的。由于采用上述方法形成导电层时均需经过一个较高的退火过程，对电子元件的基底造成损害，也影响了电子元件的使用寿命。

发明内容

有鉴于此，确有必要提供一种具有较长使用寿命的电子元件。

一种电子元件，其包括一碳纳米管膜、至少一第一电极及至少一第二电极。该碳纳米管膜包括多个碳纳米管线以及多个碳纳米管团簇，该多个碳纳米管线间隔设置，该多个碳纳米管团簇通过该多个碳纳米管线隔开，且位于相邻的碳纳米管线之间的多个碳纳米管团簇间隔设置，所述多个碳纳米管线沿一第一方向延伸设置形成多个第一导电通路，所述多个碳纳米管团簇沿一第二方向设置成形成多个第二导电通路，且该第二方向与所述第一方向交叉设置；该至少一第一电极与该至少一第二电极相对且间隔设置，且通过所述多个第一导电通路或多个第二导电通路中的至少一个导电通路电连接。

与现有技术相比较，由本发明提供的电子元件具有以下优点：该电子元件采用碳纳米管膜作为导电层，该碳纳米管膜包括多个碳纳米管，由于碳纳米管具有较好的机械性及化学耐用性，所以该碳纳米管膜也具有较好的机械性及化学耐用性，所以，本发明的电子元件使用该碳纳米管膜可以提高使用寿命。

附图说明

图1为本发明第一实施例提供的电子元件的俯视结构示意图。

图2为沿图1中的II-II线的剖面示意图。

图3为本发明第一实施例采用的碳纳米管膜的光学显微镜照片。

图4为本发明实施例采用的碳纳米管膜的结构示意图，且该碳纳米管膜中的碳纳米管团簇交错设置。

图5为本发明第二实施例提供的电子元件的俯视结构示意图。

图6为本发明第二实施例采用的碳纳米管膜的部分光学显微镜照片。

图7为本发明第三实施例提供的电子元件的俯视结构示意图。

主要元件符号说明

电子元件	10；20；30
		碳纳米管膜	12；22
碳纳米管线	122
		碳纳米管团簇	124；224
第一电极	14
		第二电极	16
基底	18
		粘胶层	19
第三电极	35
		第四电极	37

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

请参阅图1及图2，本发明第一实施例提供一电子元件10。该电子元件10包括一碳纳米管膜12、一个第一电极14及一个第二电极16。该第一电极14与该第二电极16间隔设置，且与该碳纳米管膜12电连接。

所述碳纳米管膜12包括多个间隔设置的碳纳米管线122以及多个碳纳米管团簇124，该多个碳纳米管线122与多个碳纳米管团簇124通过范德华力相互连接。该多个碳纳米管团簇124通过该多个碳纳米管线122隔开，且位于相邻的两个碳纳米管线122之间的碳纳米管团簇124间隔设置。所述碳纳米管线122以及多个碳纳米管团簇124分别包括多个碳纳米管，即该碳纳米管膜12包括多个碳纳米管。本实施例中，该碳纳米管膜12由碳纳米管组成。

所述多个碳纳米管线122沿一第一方向X延伸且在一第二方向Y上相互平行且间隔设置，形成多个第一导电通路。且该多个第一导电通路沿第一方向X延伸，并在第二方向Y上平行且间隔设置。其中，该第二方向Y与所述第一方向X交叉设置。本实施例中，该第二方向Y与第一方向X垂直设置。优选地，该多个碳纳米管线122平行且等间距设置。每个碳纳米管线122的直径大于等于0.1微米，且小于等于100微米。优选地，每个碳纳米管线122的直径大于等于5微米，且小于等于50微米。该多个碳纳米管线122之间的间隔不限，优选地，相邻的碳纳米管线122之间的间距大于0.1毫米。所述多个碳纳米管线122的直径及间隔可以根据实际需要确定。优选地，每个碳纳米管线122的直径比较均匀，且该多个碳纳米管线122的直径基本相等。本实施例中，该碳纳米管膜12中的每个碳纳米管线122的直径均匀，且大约为10微米；相邻的碳纳米管线122之间的间距大于1毫米。

每个碳纳米管线122中的碳纳米管通过范德华力首尾相连，且基本沿第一方向X择优取向排列。每个碳纳米管线122中的碳纳米管的轴向基本与该碳纳米管线122的表面平行，即，每个碳纳米管线122中的碳纳米管沿该碳纳米管线122的轴向择优取向排列。位于该碳纳米管线122的轴向上的相邻的碳纳米管通过范德华力首尾相连。优选地，该碳纳米管线122中的碳纳米管的轴向基本与该碳纳米管线122的轴向平行。其中，所述碳纳米管线122的轴向及该碳纳米管线122中的碳纳米管的轴向基本平行于所述第一方向X。

所述多个碳纳米管团簇124在所述第二方向Y上间隔设置，且通过所述多个碳纳米管线122区分开。也可以说，位于该第二方向Y上的多个碳纳米管团簇124通过该多个碳纳米管线122连接在一起。本实施例中，位于该第二方向上的多个碳纳米管团簇整齐排列成行，通过所述多个碳纳米管线122形成多个连续的直线形第二导电通路。具体地，如图3所示，该多个碳纳米管团簇124在该碳纳米管膜12中呈阵列排布。每个碳纳米管团簇124在所述第二方向Y上的长度基本和与该碳纳米管团簇124相连的碳纳米管线122的间距相等。该多个第二导电通路沿第二方向Y延伸并沿第一方向X间隔设置。所以，该碳纳米管团簇124在第二方向上的长度优选地大于0.1毫米。另外，该多个碳纳米管团簇124在所述第一方向X上间隔设置，即，位于相邻的碳纳米管线122之间的多个碳纳米管团簇124间隔设置。优选地，相邻的碳纳米管团簇124在第一方向X上的间距大于等于1毫米。

可以理解，所述碳纳米管膜12中的位于第二方向上的多个碳纳米管团簇也可以交错排列，不成行排列，通过所述多个碳纳米管线形成多个非直线形第二导电通路，如图4所示。

每个碳纳米管团簇124中的碳纳米管通过范德华力相互作用在一起。每个碳纳米管团簇124中的碳纳米管的轴向与第一方向X的夹角大于等于0度，且小于等于90度。优选地，每个碳纳米管团簇224中的碳纳米管的轴向延伸方向与所述第一方向X的夹角大于等于45度，且小于等于90度。本实施例中，每个碳纳米管团簇124中的碳纳米管的轴向基本平行于所述第一方向X的夹角大于等于60度，且小于等于90度。

需要说明的是，所述碳纳米管膜12中的碳纳米管线122及碳纳米管团簇124的周围可能存在有少量无规则排列的碳纳米管。但，这些无规则排列的碳纳米管基本不影响该碳纳米管膜的性质，如导电异向性。

该碳纳米管膜12还包括多个孔隙，该多个孔隙主要是由该碳纳米管膜中的多个碳纳米管线122及多个碳纳米管团簇124分别间隔设置形成的。所以，当该多个碳纳米管线122及多个碳纳米管团簇124有规律排列时，该多个孔隙也有规律排列。如，当所述多个碳纳米管团簇124及碳纳米管线122呈阵列排布时，该多个孔隙也会随之呈阵列排布。该碳纳米管膜12中的碳纳米管线122与碳纳米管团簇124的面积之和与所述多个孔隙的面积的比值大于0，且小于等于1∶19。也可以说，该碳纳米管膜12中的碳纳米管与所述多个孔隙的面积比大于0，且小于等于1∶19。优选地，该碳纳米管膜12中的碳纳米管的面积与该多个孔隙的面积比大于0，且小于等于1∶49。所以，该碳纳米管膜12的透光度大于等于95％，优选地，该碳纳米管膜12的透光度大于等于98％。本实施例中，该碳纳米管膜12的透光度在可见光区大约为98.43％。

所述多个碳纳米管团簇124间隔设置，且搭接于相邻的碳纳米管线122之间，使得该碳纳米管膜12具有自支撑特性，为一自支撑结构，而且具有较好的强度及稳定性，不易破坏。所谓“自支撑”是指该碳纳米管膜12不需要支撑体支撑就可以保持其固有的形状。

所述碳纳米管膜12包括多个第一导电通路及多个第二导电通路。该多个第一导电通路沿Y方向间隔设置，该多个第二导电通路沿X间隔设置。所以，该碳纳米管膜12为导电异向性膜，其在第一方向X与第二方向Y两个方向上具有导电性，且该碳纳米管膜12在每个方向上的电阻不同；该碳纳米管膜12在第二方向Y上的电阻要高于第一方向X上的电阻。该碳纳米管膜12在第二方向Y上的电阻与其在第一方向X上的电阻的比值大于等于10。优选地，该碳纳米管膜12在第二方向Y上的电阻大于等于其在第一方向X上的电阻的20倍。本实施例中，该碳纳米管膜12在第二方向Y上的电阻高于其在第一方向X上的电阻的50倍。

所述第一电极14及第二电极16间隔设置在所述碳纳米管膜12的两端，并与所述多个第一导电通路及多个第二导电通路中的至少一个导电通路电连接。本实施例中，该第一电极14及第二电极16沿第二方向Y间隔设置在该碳纳米管膜12相对设置的两侧，并与所述多个第一导电通路电连接。可以理解，所述第一电极14及第二电极16也可以间隔设置在所述碳纳米管膜12沿第一方向X相对设置的两侧，并与所述多个第二导电通路电连接。

所述第一电极14及第二电极16均由导电材料组成。具体地，该第一电极14及第二电极16的材料可以为金属、导电聚合物或碳纳米管。所述金属可以为金、银或铜等。所述导电聚合物可以为聚乙炔、聚对苯撑、聚苯胺、聚咪吩、聚毗咯、聚噻吩等。本实施例中，所述第一电极14及第二电极16均由导电银浆组成。

所述电子元件10可以进一步包括一基底18，该基底18主要起支撑所述碳纳米管膜12的作用，其可以为一曲面型或平面型的结构。优选地，该基底18为曲面型或平面型的薄膜状结构。优选地，所述基底18还可以具有适当的透光度。该基底18可以由硬性材料或柔性材料形成。具体地，所述硬性材料可选择为玻璃、石英、金刚石或硬质塑料等。所述柔性材料可选择为聚碳酸酯(PC)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚醚砜(PES)、聚亚酰胺(PI)、纤维素酯、苯并环丁烯(BCB)、聚氯乙烯(PVC)及丙烯酸树脂等材料中的一种或多种。优选地，所述基底18的透光度在75％以上的柔性材料。本实施例中，所述基底18为一平面型的PET膜。可以理解，形成所述基底18的材料并不限于上述列举的材料，只要能使基底18起到支撑的作用即可。

所述电子元件10还可以进一步包括一粘胶层19。所述粘胶层19设置于该基底18与所述碳纳米管膜12之间，用于将该碳纳米管膜12固定在该基底18的表面。该粘胶层19的材料可以为热塑胶、热固胶或UV胶等。所述粘胶层19的厚度为1纳米～500微米。优选地，所述粘胶层19的厚度为1微米～2微米。所述粘胶层19具有适当的透光度，优选地，所述粘胶层19的透光度在75％以上。本实施例中，所述粘胶层19为一厚度约为1.5微米的UV胶层。

由于所述电子元件10中的碳纳米管膜12包括多个碳纳米管，由于碳纳米管具有较好的机械性及化学耐用性，所以该碳纳米管膜也具有较好的机械性及化学耐用性，所以，所述电子元件10可以提高使用寿命。当所述电子元件10工作时，对所述第一电极14及第二电极16施加电压，该碳纳米管膜12中的第一导电通路或第二导电通路就会有导通，从而可以用来检测或感测电信号。

请参阅图5及图6，本发明第二实施例提供一电子元件20。该电子元件20包括一碳纳米管膜22、多个第一电极14以及多个第二电极16。该多个第一电极14相互间隔设置，且设置该碳纳米管膜22的同一侧。所述多个第二电极16相互间隔设置，且设置在该碳纳米管膜22的另一侧。该多个第一电极14与该多个第二电极16均与该碳纳米管膜22电连接。该第二实施例提供的电子元件20的结构与第一实施例提供的电子元件10的结构基本相同，不同之处在于：碳纳米管膜22的结构与碳纳米管膜12的结构不同，而且该两个实施例中的第一电极14及第二电极16的数量不同。具体如下：

该碳纳米管膜22包括多个碳纳米管线122及多个碳纳米管团簇224。该碳纳米管膜22的结构与第一实施例中的碳纳米管膜12的结构基本相同，不同之处在于：每个碳纳米管团簇224中的碳纳米管的轴向延伸方向与所述第一方向X的夹角大于等于0度，且小于等于45度。优选地，每个碳纳米管团簇224中的碳纳米管的轴向延伸方向与所述第一方向X的夹角大于等于0度，且小于等于30度。本实施例中，每个碳纳米管团簇124中的碳纳米管的轴向基本平行于所述第一方向X，也基本平行于所述碳纳米管线122的轴向。也就是说，该碳纳米管膜22中的碳纳米管基本沿同一方向择优取向排列。由于该碳纳米管膜22在制备过程中存在误差，所以该碳纳米管膜22的碳纳米管线122及碳纳米管团簇224的周围有少量的碳纳米管存在。

所述多个第一电极14及多个第二电极16通过所述多个第一导电通路或所述多个第二导电通路电连接，并间隔设置在所述碳纳米管膜22相对设置的两侧。该第一电极14、第二电极16、第一导电通路或第二导电通路的数量可以相同，也可以不相同。本实施例中，所述多个第一电极14、所述多个第一导电通路及多个第二电极16一一对应设置，且该多个第一电极14及多个第二电极16分别与所述多个第一导电通路电连接，该多个第一电极14及多个第二电极16分别沿第二方向间隔设置，且设置在所述碳纳米管膜22沿第一方向X相对设置的两侧。可以理解，该多个第一电极14及多个第二电极16也可以与所述多个第二导电通路电连接。另外，当所述第一电极14的数量为多个时，所述第二电极16的数量可以是一个；当所述第二电极16的数量为多个时，该第一电极14的数量可以是一个。

该电子元件20的其他结构特征基本与第一实施例中的电子元件10的其他结构特征相同。

当所述电子元件20工作时，对所有的第一电极14及第二电极16施加电压时，所述碳纳米管膜22中所有的第一导电通路或第二导电通路均处于工作状态。由于该电子元件20中的碳纳米管膜22为导电异向性膜，其可以分别在第一方向X及第二方向Y上形成连续的导电通路。当选择部分第一电极14以及与该选择的部分第一电极14对应的第二电极16施加电压时，与该选择部分的第一电极14及其对应的第二电极16电连接的第一导电通路或第二导电通路处于导通状态，有较强的电信号通过；其他第一导电通路或第二导电通路中的电信号则比较弱，甚至没有电信号通过。所以，该电子元件20可以实现选择工作区域，也可以依次检测或感测多个电信号，并有利于确定电信号产生的位置。

请参阅图7，本发明第三实施例提供一电子元件30，该电子元件30包括一碳纳米管膜12、多个第一电极14及多个第二电极16。其中，除了该第三实施例中的碳纳米管膜12的结构与第二实施例中的碳纳米管膜22的结构不同之外，该第三实施例提供的电子元件30与第二实施例提供的电子元件20的结构的不同之处还在于：该电子元件30进一步包括至少一个第三电极35以及至少一个第四电极37。该至少一个第三电极35与该至少一个第四电极37相对设置，并与该碳纳米管膜12电连接。具体地，所述第一电极14、第三电极35、第二电极16及第四电极37依次设置在该碳纳米管膜12的四个侧边。进一步，当所述第一电极14及第二电极16与所述第一导电通路电连接时，该第三电极35及第四电极37分别与所述第二导电通路电连接。另，当所述第一电极14及第二电极16与所述第二导电通路电连接时，该第三电极35及第四电极37分别与所述第一导电通路电连接。

本实施例中，该电子元件30包括多个第一电极14、多个第二电极16、多个第三电极35及多个第四电极37。该多个第一电极14及多个第二电极16分别与所述多个第一导电通路电连接。该多个第三电极35及该多个第四电极37分别沿第一方向X间隔且电绝缘设置，并均与所述多个第二导电通路电连接。其中，该多个第一电极14、多个第二电极16以及多个第一导电通路一一对应设置，且该多个第四电极37、多个第三电极35以及多个第二导电通路一一对应设置。

该电子元件30的其他结构特征基本与第二实施例中的电子元件20的其他结构特征相同。

该电子元件30的工作原理与第一实施例提供的电子元件20的工作原理基本相同，不同之处在于，该电子元件30不但可以仅在第一方向或第二方向上选择性工作，还可以在该两个方向上选择性工作。该电子元件30在第一方向及第二方向上选择性工作的原理都与第一实施例中的电子元件20的工作原理相同。

因此，本发明提供的电子元件中的第一电极、第二电极、第三电极及第四电极的数量不限，可以为至少一个，只要通过对该电子元件中的电极施加电压能够使得该电子元件中的碳纳米管膜处于导通状态即可。另，本发明提供的各种碳纳米管膜，如碳纳米管膜12及碳纳米管22，可以应用于各种实施例中。

本发明实施例提供的电子元件中的碳纳米管膜包括多个碳纳米管，由于碳纳米管具有较好的机械性及化学耐用性，所以该碳纳米管膜也具有较好的机械性及化学耐用性，尤其是该碳纳米管膜中的碳纳米管线通过多个碳纳米管团簇固定在一起，形成膜状结构，使得该碳纳米管膜具有较好的强度及稳定性，不易破裂。因此，所述电子元件可以提高使用寿命。所述碳纳米管膜中的碳纳米管线形成第一导电通路，其中的碳纳米管团簇形成第二导电通路，所以，对与该碳纳米管膜电连接的电极施加电压，可以使得该碳纳米管膜中的导电通路处于导通状态，有电信号通过，因此该电子元件可以用于感测或检测电信号。当所述电子元件包括多个第一电极或至少一个第二电极时，该电子元件可以选择性工作，并有利于确定电信号产生的位置。

另，电子元件中的碳纳米管膜包括多个间隔设置的碳纳米管线及碳纳米管团簇，使得该碳纳米管膜具有较高的透光度。该碳纳米管膜为一单层碳纳米管膜时，该碳纳米管膜的透光度在可见光区大于等于95％，甚至可以达到98％以上。所以，当所述基底及粘胶层均为透明时，该电子元件即为透明的导电元件，可以应用于各种电子器件中。此外，该碳纳米管膜主要由碳纳米管组成，且碳纳米管具有较好的柔韧性，所以该碳纳米管膜也具有较好的柔韧性，当该电子元件的基底为透明的柔性材料时，如PET，PC等材料，该电子元件还可以具有较好的柔韧性。

另外，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围内。

Claims

1.一种电子元件，其包括：

一碳纳米管膜，该碳纳米管膜包括多个碳纳米管线以及多个碳纳米管团簇，该多个碳纳米管线间隔设置，该多个碳纳米管团簇通过该多个碳纳米管线隔开，该多个碳纳米管团簇与相邻的碳纳米管线相连，且位于相邻的碳纳米管线之间的多个碳纳米管团簇间隔设置，所述多个碳纳米管线沿一第一方向延伸设置形成多个第一导电通路，所述多个碳纳米管团簇沿一第二方向设置成形成多个第二导电通路，且该第二方向与所述第一方向交叉设置；

至少一第一电极及至少一第二电极，该至少一第一电极与该至少一第二电极相对且间隔设置，且通过所述多个第一导电通路或多个第二导电通路中的至少一个导电通路电连接。

2.如权利要求1所述的电子元件，其特征在于，所述碳纳米管膜中的多个碳纳米管线平行设置。

3.如权利要求2所述的电子元件，其特征在于，所述多个碳纳米管团簇在所述第二方向上成行排列，形成多个直线形第二导电通路。

4.如权利要求2所述的电子元件，其特征在于，所述多个碳纳米管团簇在所述第二方向上交错设置，形成多个曲线形第二导电通路。

5.如权利要求1所述的电子元件，其特征在于，每个碳纳米管线由多个碳纳米管构成，该多个碳纳米管沿同一方向延伸且通过范德华力首尾相连。

6.如权利要求1所述的电子元件，其特征在于，每个碳纳米管团簇包括多个碳纳米管，该多个碳纳米管的轴向平行于所述多个碳纳米管线的轴向。

7.如权利要求1所述的电子元件，其特征在于，每个碳纳米管团簇包括多个碳纳米管，该多个碳纳米管的轴向与所述多个碳纳米管线的轴向相交设置。

8.如权利要求1所述的电子元件，其特征在于，相邻的碳纳米管线之间的间距大于0.1毫米。

9.如权利要求1所述的电子元件，其特征在于，相邻的碳纳米管团簇之间的间距大于1毫米。

10.如权利要求1所述的电子元件，其特征在于，所述碳纳米管膜包括多个碳纳米管，该多个碳纳米管分别组成所述多个碳纳米管线及所述多个碳纳米管团簇，该多个碳纳米管线及该多个碳纳米管团簇分别间隔设置形成多个孔隙。

11.如权利要求10所述的电子元件，其特征在于，所述碳纳米管膜中的多个碳纳米管与所述多个孔隙的面积比大于0，且小于等于1:19。

12.如权利要求1所述的电子元件，其特征在于，所述至少一第一电极与所述至少一第二电极通过所述多个第一导电通路电连接。

13.如权利要求12所述的电子元件，其特征在于，所述至少一第一电极为多个第一电极，该多个第一电极在所述碳纳米管膜的一侧且间隔设置。

14.如权利要求13所述的电子元件，其特征在于，所述至少一第二电极为多个第二电极，该多个第二电极在所述碳纳米管膜的另一侧间隔设置，并与所述多个第一电极一一对应设置。

15.如权利要求12所述的电子元件，其特征在于，进一步包括至少一第三电极以及至少一第四电极，该至少一第三电极及该至少一个第四电极相对且间隔设置，并通过所述多个第二导电通路电连接。

16.如权利要求15所述的电子元件，其特征在于，所述至少一第三电极为多个第三电极，所述至少一第四电极为多个第四电极，该多个第三电极及该多个第四电极均与所述多个第二导电通路一一对应设置。

17.如权利要求1所述的电子元件，其特征在于，所述至少一第一电极与所述至少一第二电极通过所述多个第二导电通路电连接。

18.如权利要求17所述的电子元件，其特征在于，进一步包括至少一第三电极以及至少一第四电极，该至少一第三电极及该至少一个第四电极相对且间隔设置，并通过所述多个第二导电通路电连接。

19.如权利要求1所述的电子元件，其特征在于，进一步包括一基底，所述碳纳米管膜设置于该基底。

20.如权利要求19所述的电子元件，其特征在于，进一步包括一粘胶层，该粘胶层设置于所述碳纳米管膜与所述基底之间。