CN103376505A - Y型分岔光波导及其制作方法 - Google Patents

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黄新舜
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Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd
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Hongfujin Precision Industry Shenzhen Co Ltd
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Abstract

本发明涉及一种Y型分岔光波导，其包括一个总枝，自该总枝末端延伸出的一个第一分枝及一个第二分枝，该第一分枝与该第二分枝共同形成一个分岔，该总枝末端于该分岔处具有一个端面，该第一分枝与该第二分枝由该端面连接。本发明还涉及一种Y型分岔光波导的制作方法，其包括：提供一个导光基底及一个含有与上述Y型分岔光波导对应的图形的遮罩；以及将该遮罩应用于黄光微影制程中以利用该遮罩于该导光基底形成该Y型分岔光波导。上述光波导结构使分岔处非为一个尖角，如此使制程容易，产品良率高，如此光信号的损耗较低，同时使两个分枝的分岔角度容易控制。

Description

Y型分岔光波导及其制作方法
技术领域
本发明涉及光波导，尤其涉及一种Y型分岔光波导及其制作方法。
背景技术
光波导，例如Y型或是其它结构型被用作光耦合或是光分离元件。例如，在光纤传输中，光波导可将不同波长的光耦合于一条光纤中或是将不同波长的光从一条光纤中分离出来。Y型分岔光波导以高操作频宽、高制程容忍度的优点被广泛使用。
为控制光信号的传播损耗，现有的Y型分岔光波导常把Y分岔处的角度控制在1度以下，然而在实际制程上，1度以下的分角会增加制程的困难度，产品良率低，例如产品常有很明显的坑洞，或者是粗糙的断裂线，使得Y分岔为非预期的切角，即常产生不完整的Y分岔。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种Y型分岔光波导及其制作方法，可以提高产品良率，同时有较低的光信号损耗。
一种Y型分岔光波导，其包括一个总枝，自该总枝末端延伸出的一个第一分枝及一个第二分枝，该第一分枝与该第二分枝共同形成一个分岔，该总枝末端于该分岔处具有一个端面，该第一分枝与该第二分枝由该端面连接。
一种Y型分岔光波导的制作方法，其包括：提供一个导光基底及一个含有与上述Y型分岔光波导对应的图形的遮罩；以及将该遮罩应用于黄光微影制程中以利用该遮罩于该导光基底形成该Y型分岔光波导。
相对于现有技术，本发明提供的Y型分岔光波导的两个分枝之间具有一个端面使该分岔处非为一个尖角，如此使制程容易，产品良率高，如此光信号的损耗可以比不完整的Y分岔少，同时使该两个分枝分岔角度容易控制。
附图说明
图1是本发明实施例提供的Y型分岔光波导。
图2是本发明实施例提供的导光基底及遮罩。
主要元件符号说明
Y型分岔光波导 100
总枝 10
第一分枝 20
第二分枝 30
分岔 40
端面 41
第一段 11
第二段 12
导光基底 200
遮罩 300
总孔段 310
第一分孔段 320
第二分孔段 330
凸部 340
端面 341
第一孔段 311
第二孔段 312
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
请参阅图1，本发明实施例提供一种Y型分岔光波导100，其包括一个总枝10，自该总枝10末端延伸出的一个第一分枝20及一个第二分枝30，该第一分枝20与该第二分枝30共同形成一个分岔40。该总枝10末端于该分岔40处具有一个端面41，该第一分枝20与该第二分枝30由该端面41连接。
该端面41使得该分岔40非为一个尖角，如此使制程容易，产品良率高，如此光信号的损耗可以比不完整的Y分岔，例如坑洞、断裂、非预期切角的Y分岔的光损耗来得少。该端面41可为一平面，其具有一定面积。该端面41的面积大小可以依可容忍的光损耗容忍度来决定。
该第一分枝20与该第二分枝30相距一定距离，仍具有分岔角度，其对于该分岔40的分岔角度θ可依需要控制，例如小于或等于1度。该分岔40处尖角的移除使得该第一分枝20与该第二分枝30小于或等于1度的分岔角度很容易控制。
本实施例中，该第一分枝20及第二分枝30均呈直线自该总枝10末端延伸出。该总枝10包括该总枝10末端所在的第一段11及与该第一段11连接的第二段12。该第二段12所在直线与该第一分枝20所在直线重合。该第一段11横截面积大于该第二段12横截面积。
请参阅图2，制作上述的Y型分岔光波导100，可以应用如下方法。
首先，提供一个导光基底200及一个含有与上述Y型分岔光波导100对应的图形的遮罩300。
该导光基底200的材料可为玻璃或铌酸锂。
本实施例中，该遮罩300被制成中空透光形式，该中空透光部分的图形与上述Y型分岔光波导100的图形相对应。具体地，该遮罩300开设有用于定义该Y型分岔光波导100的通孔，该通孔包括总孔段310及自该总孔段310末端延伸出的一个第一分孔段320及一个第二分孔段330。该第一分孔段320与该第二分孔段330共同形成一个凸部340，该总孔段310末端于该凸部340处具有一个端面341，该第一分孔段320与该第二分孔段330由该端面341连接。该总孔段310包括与该端面341相邻的第一孔段311及与该第一孔段311连接的第二孔段312。
其次，将该遮罩300应用于黄光微影制程中以利用该遮罩300于该导光基底200形成该Y型分岔光波导100。
上述黄光微影制程可应用习知的黄光微影制程，其包括将光阻涂布于导光基底200，将遮罩300置于光阻上方进行光学曝光，加热光阻使光阻中溶剂挥发，进行显影、蚀刻及最后去除剩余光阻而将该遮罩300中与上述Y型分岔光波导100对应的图形转移至该导光基底200以形成该Y型分岔光波导100。该遮罩300也用黄光微影制程预先制得。
可以理解的是，本领域技术人员还可于本发明精神内做其它变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种Y型分岔光波导，其包括一个总枝，自该总枝末端延伸出的一个第一分枝及一个第二分枝，该第一分枝与该第二分枝共同形成一个分岔，其特征在于：该总枝末端于该分岔处具有一个端面，该第一分枝与该第二分枝由该端面连接。
2.如权利要求1所述的Y型分岔光波导，其特征在于：该第一分枝与该第二分枝对于该分岔的分岔角度小于或等于1度。
3.如权利要求1所述的Y型分岔光波导，其特征在于：该端面为一平面。
4.如权利要求1所述的Y型分岔光波导，其特征在于：该总枝包括该总枝末端所在的第一段及与该第一段连接的第二段，该第一段的横截面积大于该第二段的横截面积。
5.如权利要求4所述的Y型分岔光波导，其特征在于：该第一分枝及该第二分枝均呈直线自该总枝末端延伸出。
6.如权利要求5所述的Y型分岔光波导，其特征在于：该第二段所在的直线与该第一分枝所在的直线重合。
7.一种如权利要求1所述的Y型分岔光波导的制作方法，其包括：
提供一个导光基底及一个含有与权利要求1所述的Y型分岔光波导对应的图形的遮罩；以及
将该遮罩应用于黄光微影制程中以利用该遮罩于该导光基底形成该Y型分岔光波导。
8.如权利要求7所述的Y型分岔光波导的制作方法，其特征在于：该导光基底的材料为玻璃或铌酸锂。
9.如权利要求7所述的Y型分岔光波导的制作方法，其特征在于：该遮罩应用黄光微影制程预先制成。
10.如权利要求7所述的Y型分岔光波导的制作方法，其特征在于：该遮罩开设有用于定义该Y型分岔光波导的通孔，该通孔包括总孔段及自该总孔段末端延伸出的一个第一分孔段及一个第二分孔段，该第一分孔段与该第二分孔段共同形成一个凸部，该总孔段末端于该凸部处具有一个端面，该第一分孔段与该第二分孔段由该端面连接。
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