CN105467520A - 基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器 - Google Patents

基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,涉及光通信器件领域。该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端、弯曲波导、横电模TE端、横磁模TM端,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导、串通端渐变波导组成,直通端渐变波导与串通端渐变波导宽度的变化趋势相反,且直通端渐变波导、串通端渐变波导之间具有间隔,合束端与直通端渐变波导的一端连接,直通端渐变波导的另一端与弯曲波导的一端连接,弯曲波导另一端与横电模TE端连接,串通端渐变波导与横磁模TM端连接。本发明的中宽带偏振分/合束器能够降低TM模光场对于耦合区域长度的敏感度,具有更宽的工作波长范围。

Description

基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器
技术领域
本发明涉及光通信器件领域,具体是涉及一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器。
背景技术
参见图1所示,偏振分束器是一种用于将一束光分为TE(TransverseElectricmode,横电模)和TM(TransverseMagneticmode,横磁模)两束偏振态的光,或者将两束偏振态的光合成为一束的器件。传统的偏振分束器存在工作波长范围较窄的缺陷。
发明内容
本发明的目的是为了克服上述背景技术的不足,提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,能够降低TM模光场对于耦合区域长度的敏感度,具有更宽的工作波长范围。
本发明提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端、弯曲波导、横电模TE端、横磁模TM端,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导、串通端渐变波导组成,直通端渐变波导与串通端渐变波导宽度的变化趋势相反,且直通端渐变波导、串通端渐变波导之间具有间隔,合束端与直通端渐变波导的一端连接,直通端渐变波导的另一端与弯曲波导的一端连接,弯曲波导另一端与横电模TE端连接,串通端渐变波导与横磁模TM端连接。
在上述技术方案的基础上,所述宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端入射,TE模的光从横电模TE端出射,TM模的光从横磁模TM端出射。
在上述技术方案的基础上,所述宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端入射,TM模的光从横磁模TM端入射,两种偏振态合束后的光从合束端出射。
在上述技术方案的基础上,所述直通端渐变波导的宽度由宽变窄,串通端渐变波导的宽度由窄变宽。
在上述技术方案的基础上,所述直通端渐变波导的宽度由【0.5,1】μm变窄至【0.3,0.45】μm,串通端渐变波导的宽度由【0.3,0.45】μm变宽至【0.5,1】μm,直通端渐变波导与串通端渐变波导之间有一定间隔。
在上述技术方案的基础上,所述直通端渐变波导的宽度由【0.6,0.9】μm变窄至【0.35,0.45】μm,串通端渐变波导的宽度由【0.35,0.45】μm变宽至【0.6,0.9】μm,直通端渐变波导与串通端渐变波导之间有一定间隔。
在上述技术方案的基础上,所述直通端渐变波导的宽度由窄变宽,串通端渐变波导的宽度由宽变窄。
在上述技术方案的基础上,所述直通端渐变波导的宽度由【0.3,0.45】μm变宽至【0.5,1】μm,串通端渐变波导的宽度由【0.5,1】μm变窄至【0.3,0.45】μm,直通端渐变波导与串通端渐变波导之间有一定间隔。
在上述技术方案的基础上,所述直通端渐变波导的宽度由【0.35,0.45】μm变宽至【0.6,0.9】μm,串通端渐变波导的宽度由【0.6,0.9】μm变窄至【0.35,0.45】μm,直通端渐变波导与串通端渐变波导之间有一定间隔。
与现有技术相比,本发明的优点如下:
本发明的宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端、弯曲波导、横电模TE端、横磁模TM端,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导、串通端渐变波导组成,直通端渐变波导与串通端渐变波导宽度的变化趋势相反,且直通端渐变波导、串通端渐变波导之间具有间隔,合束端与直通端渐变波导的一端连接,直通端渐变波导的另一端与弯曲波导的一端连接,弯曲波导另一端与横电模TE端连接,串通端渐变波导与横磁模TM端连接。该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端入射,TE模的光从横电模TE端出射,TM模的光从横磁模TM端出射。该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端入射,TM模的光从横磁模TM端入射,两种偏振态合束后的光从合束端出射。偏振分束器是利用TE模式的光与TM模式的光在相邻波导间的耦合效率的不同,实现TE从直通波导输出,而TM耦合到串通波导输出。TE模式的耦合效率对直通波导和串通波导的耦合区域长度变化不敏感,而不同波长的TM模式对于耦合长度非常敏感。因此,偏振分束器具有波长相关性。本发明中的宽带偏振分/合束器引入渐变波导结构,能够降低TM模式的耦合效率对于耦合长度的敏感度,从而降低TM模耦合效率的波长相关性,具有更宽的工作波长范围。
附图说明
图1是传统的偏振分束器的结构示意图。
图2是本发明实施例1中基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器的结构示意图。
图3是本发明实施例2中基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器的结构示意图。
附图标记:1-合束端,2-直通端渐变波导,3-串通端渐变波导,4-间隔,5-弯曲波导,6-横电模TE端,7-横磁模TM端。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步的详细描述。
为了加宽偏振分束器的工作波长范围,而不增加器件的复杂度,本发明实施例提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,参见图2、图3所示,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2与串通端渐变波导3宽度的变化趋势相反,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
上述宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
上述宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
具体的,直通端渐变波导2的宽度由【0.5,1】μm变窄至【0.3,0.45】μm,串通端渐变波导3的宽度由【0.3,0.45】μm变宽至【0.5,1】μm,直通端渐变波导2与串通端渐变波导3之间有一定间隔。
或者,直通端渐变波导2的宽度由【0.3,0.45】μm变宽至【0.5,1】μm,串通端渐变波导3的宽度由【0.5,1】μm变窄至【0.3,0.45】μm,直通端渐变波导2与串通端渐变波导3之间有一定间隔。
进一步,直通端渐变波导2的宽度由【0.6,0.9】μm变窄至【0.35,0.45】μm,串通端渐变波导3的宽度由【0.35,0.45】μm变宽至【0.6,0.9】μm,直通端渐变波导2与串通端渐变波导3之间有一定间隔。
或者,直通端渐变波导2的宽度由【0.35,0.45】μm变宽至【0.6,0.9】μm,串通端渐变波导3的宽度由【0.6,0.9】μm变窄至【0.35,0.45】μm,直通端渐变波导2与串通端渐变波导3之间有一定间隔。
下面通过12个具体实施例进行详细说明。
实施例1
参见图2所示,实施例1提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.5μm变窄至0.3μm,串通端渐变波导3的宽度由0.3μm变宽至0.5μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例2
参见图3所示,实施例2提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.3μm变宽至0.5μm,串通端渐变波导3的宽度由0.5μm变窄至0.3μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例3
参见图2所示,实施例3提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.6μm变窄至0.35μm,串通端渐变波导3的宽度由0.35μm变宽至0.6μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例4
参见图3所示,实施例4提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.35μm变宽至0.6μm,串通端渐变波导3的宽度由0.6μm变窄至0.35μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例5
参见图2所示,实施例5提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.7μm变窄至0.4μm,串通端渐变波导3的宽度由0.4μm变宽至0.7μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例6
参见图3所示,实施例6提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.4μm变宽至0.7μm,串通端渐变波导3的宽度由0.7μm变窄至0.4μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例7
参见图2所示,实施例7提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.8μm变窄至0.4μm,串通端渐变波导3的宽度由0.4μm变宽至0.8μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例8
参见图3所示,实施例8提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.4μm变宽至0.8μm,串通端渐变波导3的宽度由0.8μm变窄至0.4μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例9
参见图2所示,实施例9提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.9μm变窄至0.45μm,串通端渐变波导3的宽度由0.45μm变宽至0.9μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例10
参见图3所示,实施例10提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.45μm变宽至0.9μm,串通端渐变波导3的宽度由0.9μm变窄至0.45μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例11
参见图2所示,实施例11提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由1μm变窄至0.45μm,串通端渐变波导3的宽度由0.45μm变宽至1μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
实施例12
参见图3所示,实施例12提供一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端1、弯曲波导5、横电模TE端6、横磁模TM端7,渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导2、串通端渐变波导3组成,直通端渐变波导2的宽度由0.45μm变宽至1μm,串通端渐变波导3的宽度由1μm变窄至0.45μm,且直通端渐变波导2、串通端渐变波导3之间具有一定间隔4,合束端1与直通端渐变波导2的一端连接,直通端渐变波导2的另一端与弯曲波导5的一端连接,弯曲波导5另一端与横电模TE端6连接,串通端渐变波导3与横磁模TM端7连接。
该宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端1入射,TE模的光从横电模TE端6出射,TM模的光从横磁模TM端6出射。
该宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端6入射,TM模的光从横磁模TM端7入射,两种偏振态合束后的光从合束端1出射。
本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种修改和变型,倘若这些修改和变型在本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则这些修改和变型也在本发明的保护范围之内。
说明书中未详细描述的内容为本领域技术人员公知的现有技术。

Claims (9)

1.一种基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,其特征在于:该宽带偏振分/合束器包括渐变波导方向耦合器、合束端(1)、弯曲波导(5)、横电模TE端(6)、横磁模TM端(7),渐变波导方向耦合器由直通端渐变波导(2)、串通端渐变波导(3)组成,直通端渐变波导(2)与串通端渐变波导(3)宽度的变化趋势相反,且直通端渐变波导(2)、串通端渐变波导(3)之间具有间隔(4),合束端(1)与直通端渐变波导(2)的一端连接,直通端渐变波导(2)的另一端与弯曲波导(5)的一端连接,弯曲波导(5)另一端与横电模TE端(6)连接,串通端渐变波导(3)与横磁模TM端(7)连接。
2.如权利要求1所述的基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,其特征在于:所述宽带偏振分/合束器作为分束器使用时,光从合束端(1)入射,TE模的光从横电模TE端(6)出射,TM模的光从横磁模TM端(6)出射。
3.如权利要求1所述的基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,其特征在于:所述宽带偏振分/合束器作为合束器使用时,TE模的光从横电模TE端(6)入射,TM模的光从横磁模TM端(7)入射,两种偏振态合束后的光从合束端(1)出射。
4.如权利要求1所述的基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,其特征在于:所述直通端渐变波导(2)的宽度由宽变窄,串通端渐变波导(3)的宽度由窄变宽。
5.如权利要求4所述的基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,其特征在于:所述直通端渐变波导(2)的宽度由【0.5,1】μm变窄至【0.3,0.45】μm,串通端渐变波导(3)的宽度由【0.3,0.45】μm变宽至【0.5,1】μm,直通端渐变波导(2)与串通端渐变波导(3)之间有一定间隔。
6.如权利要求5所述的基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,其特征在于:所述直通端渐变波导(2)的宽度由【0.6,0.9】μm变窄至【0.35,0.45】μm,串通端渐变波导(3)的宽度由【0.35,0.45】μm变宽至【0.6,0.9】μm,直通端渐变波导(2)与串通端渐变波导(3)之间有一定间隔。
7.如权利要求1所述的基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,其特征在于:所述直通端渐变波导(2)的宽度由窄变宽,串通端渐变波导(3)的宽度由宽变窄。
8.如权利要求7所述的基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,其特征在于:所述直通端渐变波导(2)的宽度由【0.3,0.45】μm变宽至【0.5,1】μm,串通端渐变波导(3)的宽度由【0.5,1】μm变窄至【0.3,0.45】μm,直通端渐变波导(2)与串通端渐变波导(3)之间有一定间隔。
9.如权利要求8所述的基于渐变波导方向耦合器的宽带偏振分/合束器,其特征在于:所述直通端渐变波导(2)的宽度由【0.35,0.45】μm变宽至【0.6,0.9】μm,串通端渐变波导(3)的宽度由【0.6,0.9】μm变窄至【0.35,0.45】μm,直通端渐变波导(2)与串通端渐变波导(3)之间有一定间隔。
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