CN103367216A - 一种导水管和带有导水管的静电吸盘 - Google Patents

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熊辉
解毅
何雅彬
马世余
童沈磊
刘智祥
周赟
蒲奇兵
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Abstract

本发明公开了一种导水管和带有导水管的静电吸盘，该导水管固定设置在静电吸盘的底部，该导水管的送水接口与静电吸盘底部的进水接口对应设置，该导水管的回水接口与静电吸盘的出水接口对应设置，导水管的材料为陶瓷。本发明利用陶瓷的耐高温和抗等离子体的特性，保证了导水管不被微电弧损伤，避免因导水管的损坏而导致的冷却水泄露，无需经常更换，大大节省了生产成本，提高了生产效率。

Description

一种导水管和带有导水管的静电吸盘
技术领域
本发明涉及一种静电吸盘的冷却装置，特别涉及一种导水管和带有导水管的静电吸盘。
背景技术
在半导体制造领域中，静电吸盘（ESC）中具有循环水冷却管，在静电吸盘[BAO1] 通常装有导水管，用于给静电吸盘提供冷却水以达到降温保护的效果，该导水管的出水接口对应静电吸盘的进水接口，导水管的回水接口对应静电吸盘的出水接口，导水管的材料为聚四氟乙烯（Teflon），在静电吸盘工作时，其上施加有固定晶圆的偏压，从而会在导水管的出水接口与回水接口处会产生微电弧，该微电弧会将材料为聚四氟乙烯的导水管损伤，需要经常更换，大大提高了生产成本。
发明内容
本发明的目的是提供一种导水管和带有导水管的静电吸盘，利用陶瓷的耐高温和抗等离子体的特性，保证了导水管不被微电弧损伤，避免因导水管的损坏而导致的冷却水泄露，无需经常更换，大大节省了生产成本，提高了生产效率。
为了实现以上目的，本发明是通过以下技术方案实现的：
一种导水管，所述的导水管固定设置在静电吸盘的底部，该导水管的送水接口与静电吸盘底部的进水接口对应设置，该导水管的回水接口与静电吸盘的出水接口对应设置，所述的导水管的材料为陶瓷。
一种带有导水管的静电吸盘，所述的静电吸盘的底部固定设置有导水管，所述的导水管的送水接口与静电吸盘底部的进水接口对应设置，该导水管的回水接口与静电吸盘的出水接口对应设置；所述的导水管的材料为陶瓷。
本发明与现有技术相比，具有以下优点：
由于导水管采用陶瓷材料，利用陶瓷耐高温和抗等离子体的特性，保证了导水管不被微电弧损伤，避免因导水管的损坏而导致的冷却水泄露，无需经常更换，大大节省了生产成本，提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明一种导水管的结构示意图；
图2为本发明一种带有导水管的静电吸盘的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。
图1为一种导水管1。该导水管1通过螺栓固定设置在静电吸盘2的底部，其送水接口11与静电吸盘2底部的进水接口对应设置，其回水接口12与静电吸盘2的出水接口对应设置，该导水管1的材料选用陶瓷；在本实施例中，在导水管1与静电吸盘2相应的水接口处设置O型环用于水密封。
图2为一种带有导水管1的静电吸盘2。该静电吸盘2的底部通过螺栓固定设置有导水管1，该静电吸盘2底部的进水接口与导水管1的送水接口11对应设置，该静电吸盘2的出水接口与导水管1的回水接口12对应设置；该导水管2的材料选用陶瓷；在本实施例中，在导水管1与静电吸盘2的对应的水接口处设置O型环用于水密封。
当使用时，通过导水管1的送水接口11将冷却水输入静电吸盘2，再经回水接口12将冷却水循环出去，带走静电吸盘2中的热量，起到散热降温的效果，保护静电吸盘2，由于图1和图2中所示的导水管1的材料选用陶瓷，陶瓷具有耐高温和抗等离子体的特性，当由于静电吸盘2上施加有固定晶圆的偏压而在O型环处产生微电弧时，可防止导水管1被微电弧损伤，避免因导水管1的损坏而导致的冷却水泄露，并且不需要经常更换，节省了更换导水管1的成本，还可以节省时间，从而提高生产效率。
综上所述，本发明一种导水管1和带有导水管1的静电吸盘2，利用陶瓷的耐高温和抗等离子体的特性，保证了导水管1不被微电弧损伤，避免因导水管1的损坏而导致的冷却水泄露，无需经常更换，大大节省了生产成本，提高了生产效率。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。 

Claims (2)

1.一种导水管，所述的导水管（1）固定设置在静电吸盘（2）的底部，该导水管（1）的送水接口（11）与静电吸盘（2）底部的进水接口对应设置，该导水管（1）的回水接口（12）与静电吸盘（2）的出水接口对应设置，其特征在于，所述的导水管（1）的材料为陶瓷。
2.一种带有导水管的静电吸盘，其特征在于，所述的静电吸盘（2）的底部固定设置有导水管（1），所述的导水管（1）的送水接口（11）与静电吸盘（2）底部的进水接口对应设置，该导水管（1）的回水接口（12）与静电吸盘（2）的出水接口对应设置；所述的导水管（2）的材料为陶瓷。
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Applicant after: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corporation

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