CN103353539B - 用于晶片测试的保护装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于晶片测试的保护装置，属于半导体技术领域。其包括：导电基座，其上设置有探针卡；保护罩，罩设在所述导电基座外围；电缆引出口，设置在所述保护罩上。通过这种方案给被测晶片提供一个安全干净的测试环境，屏蔽了外部电磁干扰、光干扰和粉尘污染，避免被污染致电气性能受损。另外，由于探针卡也置于保护罩这一安全干净环境中，也就避免了在探针针头处积聚灰尘缩短探针的寿命。

Description

用于晶片测试的保护装置

技术领域

本发明属于半导体技术领域，具体地说，涉及一种用于晶片测试的保护装置。

背景技术

在半导体制造工艺中，通常需要对晶片进行测试。现有技术中，对晶片的测试，通常是将被测的晶片输到自动探针台的探针卡上，该探针卡与测试设备如通用芯片测试仪TESTER电气连接，从而在后续过程中队被测晶片的性能测试。

现有技术中，探针卡与测试设备之间的连接接口一般分为直接压接式、同轴线缆连接式。通过这两种具体的连接方式，从而将测试设备的测试信号传输到被测晶片上，从而形成闭合的电气通路，以完成对被测晶片的性能测试。

而对于上述两种方式来说，同轴线缆连接方式在某些场合下被广泛应用。需要说明的是，在同轴线缆连接方式中，使用的同轴线缆通常都带有信号屏蔽层，同轴线缆的一端与测试设备连接，另外一端与自动探针台上的探针卡电气连接。

如图1所示，为现有技术中基于同轴线缆连接的晶片测试系统，该系统包括自动探针台auto-probe101、测试设备电气接口或产品板或输出板102。自动探针台101上设置有探针卡111，探针卡111上设置有探针121。探针卡111的下面设置有被测晶片103。探针卡111和测试设备电气接口102之间通过同轴线缆104形成电气连接通路。自动探针台101用于将被测晶片103输送到探针卡111下表面，使被测晶片103与探针卡111上的探针121接触，从而形成电气通路以进行性能测试。

如图2所示，为图1中探针卡与被测晶片的位置关系示意图，可发现，在测试的过程中，被测晶片103部分裸露在环境中，使得被测晶片的pad表面因粉尘等污染物污染而受损，导致测试接触不良。另外，随着粉尘的集聚，导致探针121的针尖被加速氧化，从而缩减了探针的使用寿命。再者，被测晶片103部分裸露在外围环境中，受光线影响，导致晶片尤其光敏感晶片的电性能发生改变，从而最终影响产品的测试良率。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种用于晶片测试的保护装置，用以部分或全部解决、缓解上述现有技术中的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种用于晶片测试的保护装置，其包括：

导电基座，所述导电基座上设置有自动探针台的探针卡，在测试时所述探针卡电连接有从自动探针台内输送的被测晶片；

保护罩，罩设在所述导电基座外围，并以所述导电基座为底座，在放置在自动探针台上后与台面形成密闭腔体，将电连接所述探针卡的所述被测晶片与外围环境完全隔离，以屏蔽外部电磁干扰、光干扰和粉尘污染；

电缆引出口，设置在所述保护罩上，所述保护罩的内腔顶部设置有电缆固定支架、内表面设置有电缆引出导向支架，以在测试时以将所述被测晶片通过固定及引出的电缆与外部的测试设备接口连接；所述电缆引出口设置有防静电布，以避免光和粉尘进入保护罩内部。

优选地，在本发明的一实施例中，所述导电基座为导电橡胶底座。

优选地，在本发明的一实施例中，所述被测晶片位于所述探针卡的下方。

优选地，在本发明的一实施例中，所述探针卡为同轴插线探针卡。

优选地，在本发明的一实施例中，所述保护罩的侧面位置设置有观测门和旋转把手，以通过所述旋转把手打开或闭合所述观测门，便于测试过程中的信号调试和测量。

所述电缆固定支架配置有固定过孔，以使所述电缆穿过所述固定过孔，从而通过所述电缆引出口与外部的测试设备接口连接。

优选地，在本发明的一实施例中，所述电缆引出导向支架设置有导向过孔，以使所述电缆穿过所述导向过孔，从而通过所述电缆引出口与外部的测试设备接口连接。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种用于晶片的测试系统，其包括：

自动探针台，所述自动探针台上设置有探针卡，以输送被测晶片使其与探针卡的探针电连接；

保护装置，包括：

导电基座，所述导电基座上设置有自动探针台的探针卡，在测试时所述探针卡上的探针电连接有从自动探针台内输送的被测晶片；

保护罩，罩设在所述导电基座外围，并以所述导电基座为底座，在放置在自动探针台上后与台面形成密闭腔体，将电连接所述探针卡的所述被测晶片与外围环境隔离，以屏蔽外部电磁干扰、光干扰和粉尘污染；

电缆引出口，设置在所述保护罩上，所述保护罩的内腔顶部设置有电缆固定支架、内表面设置有电缆引出导向支架，以在测试时以将所述被测晶片通过固定及引出的电缆与外部的测试设备接口连接；所述电缆引出口设置有防静电布，以避免光和粉尘进入保护罩内部。

本发明中，通过由导电基座、罩设在所述导电基座外围的保护罩，以将电连接所述探针卡的所述被测晶片与外围环境完全隔离，给被测晶片提供一个安全干净的测试环境，屏蔽了外部电磁干扰、光干扰和粉尘污染，避免被污染致电气性能受损。另外，由于探针卡也置于保护罩这一安全干净环境中，也就避免了在探针针头处积聚灰尘缩短探针的寿命。

附图说明

图1为现有技术中基于同轴线缆连接的晶片测试系统；

图2为图1中探针卡与被测晶片的位置关系示意图；

图3为本发明实施例一中用于晶片测试的保护装置实施例结构示意图。

具体实施方式

以下将配合图式及实施例来详细说明本发明的实施方式，藉此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。

本发明的下述实施例中，通过由导电基座、罩设在所述导电基座外围的保护罩，以将电连接所述探针卡的所述被测晶片与外围环境完全隔离，给被测晶片提供一个安全干净的测试环境，屏蔽了外部电磁干扰、光干扰和粉尘污染，避免被污染致电气性能受损。另外，由于探针卡也置于保护罩这一安全干净环境中，也就避免了在探针针头处积聚灰尘缩短探针的寿命。

如图3所示，为本发明实施例一中用于晶片测试的保护装置实施例结构示意图，其包括：导电基座201、保护罩202和电缆引出口203。

所述导电基座201上设置有探针卡204，在测试时所述探针卡204电连接有被测晶片205。所述导电基座201为导电橡胶底座。但是，该导电基座201不局限于为导电橡胶底座，也可以为其他导电材料制成的底座。具体地，考虑到与现有自动探针台无缝配合，使所述被测晶片205位于所述探针卡204的下方。

本实施中，以使用同轴电缆为例，因此，所述探针卡204可以为同轴插线探针卡204。

保护罩202罩设在所述导电基座201外围，以将电连接所述探针卡204的所述被测晶片205与外围环境完全隔离，从而在测试的过程中，使得所述被测晶片205完全置于一安全干净的环境中，屏蔽外部电磁干扰，光干扰和粉尘污染，避免被污染致电气性能受损。另外，由于探针卡204也置于保护罩202这一安全干净环境中，也就避免了在探针针头处积聚灰尘，缩短探针的寿命。

本实施例中，为了便于测试过程中的信号调试和测量，在所述保护罩202的侧面位置设置有观测门206和旋转把手207，以通过所述旋转把手207打开或闭合所述观测门206。该观测们206可以是左右旋转式的，也可以是上下旋转式的。

电缆引出口203设置在所述保护罩202上，以在测试时以将所述被测晶片205通过电缆208与外部的测试设备接口209连接。本领域普通技术人员可理解，电缆引出口203的位置可以实际工艺要求，可开在保护罩202的任意位置上。为了尽可能给被测晶片205提供一个安全干净的测试环境，应当尽可能的减少保护罩202上电缆引出口203的设置数量。优选地，只在保护罩202上设置一个电缆引出口203，从而使电缆一头连接被测晶片205，一头连接外部的测试设备接口209。

具体地，本实施例中，在所述保护罩202的内腔的顶部设置有电缆固定支架210，所述电缆固定支架210配置有固定过孔211，以使所述电缆208穿过所述固定过孔211，从而通过所述电缆引出口203与外部的测试设备接口209连接。

为了将电缆208有序的从保护罩202中引出到外部测试设备接口209，在所述保护罩202的内表面设置有电缆引出导向支架212，设置有导向过孔213，以使所述电缆208穿过所述导向过孔213，从而通过所述电缆引出口203与外部的测试设备接口209连接。

在上述实施例中，在电缆引出口203处还设置有防静电布214，强化了屏蔽效果，同时避免光和粉尘从线缆引出口进入保护罩内部。

本发明实施例还提供一种用于晶片的测试系统，其包括：上述图1中的自动探针台和上述图3中的保护装置。

所述自动探针台上设置有探针卡，以输送被测晶片使其与探针卡的探针电连接；保护装置导电基座、保护罩和电缆引出口。保护装置的有关描述参见上述对图1的相关描述，在此不再赘述。

该保护罩底部用软性的导电橡胶做底座，放置在自动探针台上后与该台面形成密闭腔体。

上述图3中晶片的测试系统工作过程如下：

在自动探针台内部搬运被测晶片，将被测晶片运送到探针卡下部，与探针接触；

通过测试设备接口和探针的电气通路，对被测晶片进行电气性能测试。

上述说明示出并描述了本发明的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。

Claims (8)

1.一种用于晶片测试的保护装置，其特征在于，包括：

导电基座，所述导电基座上设置有自动探针台的探针卡，在测试时所述探针卡电连接有从自动探针台内输送的被测晶片；

保护罩，罩设在所述导电基座外围，并以所述导电基座为底座，在放置在自动探针台上后与台面形成密闭腔体，将电连接所述探针卡的所述被测晶片与外围环境完全隔离，以屏蔽外部电磁干扰、光干扰和粉尘污染；

电缆引出口，设置在所述保护罩上，所述保护罩的内腔顶部设置有电缆固定支架、内表面设置有电缆引出导向支架，以在测试时以将所述被测晶片通过固定及引出的电缆与外部的测试设备接口连接；所述电缆引出口设置有防静电布，以避免光和粉尘进入保护罩内部。

2.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述导电基座为导电橡胶底座。

3.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述被测晶片位于所述探针卡的下方。

4.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述探针卡为同轴插线探针卡。

5.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述保护罩的侧面位置设置有观测门和旋转把手，以通过所述旋转把手打开或闭合所述观测门，便于测试过程中的信号调试和测量。

6.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述电缆固定支架配置有固定过孔，以使所述电缆穿过所述固定过孔，从而通过所述电缆引出口与外部的测试设备接口连接。

7.根据权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述电缆引出导向支架设置有导向过孔，以使所述电缆穿过所述导向过孔，从而通过所述电缆引出口与外部的测试设备接口连接。

8.一种用于晶片的测试系统，其特征在于，包括：

自动探针台，所述自动探针台上设置有探针卡，以输送被测晶片使其与探针卡的探针电连接；

保护装置，包括：

导电基座，所述导电基座上设置有自动探针台的探针卡，在测试时所述探针卡上的探针电连接有从自动探针台内输送的被测晶片；

保护罩，罩设在所述导电基座外围，并以所述导电基座为底座，在放置在自动探针台上后与台面形成密闭腔体，将电连接所述探针卡的所述被测晶片与外围环境隔离，以屏蔽外部电磁干扰、光干扰和粉尘污染；

电缆引出口，设置在所述保护罩上，所述保护罩的内腔顶部设置有电缆固定支架、内表面设置有电缆引出导向支架，以在测试时以将所述被测晶片通过固定及引出的电缆与外部的测试设备接口连接；所述电缆引出口设置有防静电布，以避免光和粉尘进入保护罩内部。