CN103339541B - 波导型偏振分束器 - Google Patents

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Abstract

提供一种抑制了温度变化、波长变化引起的偏振消光比的恶化的波导型偏振分束器。以横断一对光波导臂(13a、13b)的方式形成了槽(15)，在槽(15)中，以分别横断各臂(13a、13b)的方式设置2个四分之一波片(16a、16b)。四分之一波片(16a、16b)的偏振轴相互正交。组合向分合束的光间施加0度或180度的相位差的第1光耦合器(12)、和向分合束的光间施加90度或-90度的相位差的第2光耦合器(18)。

Description

波导型偏振分束器
技术领域
本发明涉及波导型偏振分束器，更详细地说，涉及对偏振波进行分合束的波导型偏振分束器。
背景技术
偏振复用了的光信号被日益用于大容量光通信，对偏振波进行分合束的偏振分束器的重要性在增加。特别是波导型偏振分束器由于能够与耦合器、延迟干涉仪、光学桥接器等其他波导型设备一体集成而引人注目。波导型偏振分束器一般通过在Mach-Zehnder型干涉仪(MZI)的结构中在TE偏振光和TM偏振光之间设π的相位差，使TE偏振光在干涉仪上的相位差为0(或π)，使TM偏振光在干涉仪上的相位差为π(或0)，来实现偏振分合束功能。
图1示出现有的波导型偏振分束器的例子。现有的波导型偏振分束器由下述部分构成：输入光波导101a、101b；第1光耦合器102；一对波导臂103；以横断波导臂103的方式设置的槽104；被插入到槽104中的角度为0度及90度的四分之一波片105a、105b；第2光耦合器106；以及输出光波导107a、107b。(参照专利文献1)。该手法用插入到两臂中的波片来赋予偏振波间的相位差，所以能够实现温度特性优异的偏振分束器。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平7-92326号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，现有的结构有波长依赖性大这一问题。在图1的结构中，第1光耦合器102及第2光耦合器106采用了方向性耦合器，所以产生方向性耦合器自身的波长依赖性。此外，四分之一波片105向正交的偏振波TE及TM分别施加±90度的相位，所以为了使偏振分束器工作，需要在波导臂103a或103b任一个上设四分之一波长的延迟部。该延迟部具有波长依赖性，所以偏振分束器的特性恶化。
图2是示出理想制造的情况下的、现有的波导型偏振分束器的波长特性的图。从图2可知，现有的波导型偏振分束器在理想制造的情况下，在波长范围1.53～1.565微米的范围内，消光比也恶化到25dB以下。
图3示出了考虑到制造公差的情况下的、现有的波导型偏振分束器的直方图。即使考虑到制造公差，端口1的消光比也为25dB以下。
本发明就是鉴于这种问题而提出的，其目的在于提供一种抑制了温度变化及波长变化引起的偏振消光比的恶化的波导型偏振分束器。
解决课题的手段
为了实现这种目的，本发明的第1方案是一种波导型偏振分束器，被形成在基板上，其特征在于，具备：1根或2根输入光波导；1输入2输出或2输入2输出的第1光耦合器，被光耦合到上述1根或2根输入光波导上；一对光波导臂，被光耦合到上述第1光耦合器的输出上；以及2输入1输出或2输入2输出的第2光耦合器，被光耦合到上述一对光波导臂上。以横断上述一对光波导臂的两个臂的方式设置有槽，在上述槽中，以分别横断上述一对光波导臂的各臂的方式插入2个四分之一波片，上述2个四分之一波片的偏振轴相互正交。并且，上述第1光耦合器及上述第2光耦合器中的一方光耦合器是向分合束的光间施加约90度或约-90度的相移的光耦合器，另一方光耦合器是向分合束的光间施加约0度或约180度的相移的光耦合器。
此外，本发明的第2方案的特征在于，在第1方案中，上述向分合束的光间施加约0度或约180度的相移的光耦合器是Y分支耦合器、1输入2输出多模干涉光耦合器、2输入1输出多模干涉光耦合器、或X分支耦合器。
此外，本发明的第3方案的特征在于，在第1或第2方案中，上述向分合束的光间施加约90度或约-90度的相移的光耦合器是2输入2输出多模干涉光耦合器或方向性耦合器。
此外，本发明的第4方案的特征在于，在第1至第3中的任一方案中，上述2个四分之一波片的偏振主轴的角度分别相对于波导的基板平面成0度及90度。
此外，本发明的第5方案的特征在于，在第1至第4中的任一方案中，上述2个四分之一波片分别是聚酰亚胺波片。
此外，本发明的第6方案的特征在于，在第1至第5中的任一方案中，在上述槽的前后还具备锥形部。
此外，本发明的第7方案的特征在于，在第1至第6中的任一方案中，在上述槽的前后还包括波导透镜。
此外，本发明的第8方案的特征在于，在第1至第7中的任一方案中，上述光波导是在硅基板上形成的石英系光波导。
发明效果
能够提供一种波导型偏振分束器，其通过以横断构成MZI的一对光波导臂的两个臂的方式设置槽，在该槽中，以分别横断一对光波导臂的各臂的方式插入2个四分之一波片，采用偏振轴相互正交者作为这2个四分之一波片，并组合使用施加约90度或约-90度的相移的光耦合器、和施加约0度或约180度的相移的光耦合器作为光耦合器，从而抑制了波长变化及温度变化引起的偏振消光比的恶化。
附图说明
图1是示出现有的波导型偏振分束器的图。
图2是示出现有的波导型偏振分束器的偏振消光比的波长依赖性的图。
图3是示出现有的波导型偏振分束器的偏振消光比的直方图。
图4是示出第1实施方式的波导型偏振分束器的图。
图5是示出沿图4的V-V线的截面图的图。
图6是示出第1实施方式的波导型偏振分束器的偏振消光比的波长依赖性的图。
图7是示出第1实施方式的波导型偏振分束器的偏振消光比的直方图的图。
图8是示出第1实施方式的波导型偏振分束器的变形方式的图。
图9是示出第2实施方式的波导型偏振分束器的图。
图10是示出沿图9的X-X线的截面图。
图11是示出第2实施方式的波导型偏振分束器的偏振消光比的波长依赖性的图。
图12是示出第2实施方式的波导型偏振分束器的偏振消光比的直方图的图。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的实施方式。
(第1实施方式)
图4示出第1实施方式的波导型偏振分束器。波导型偏振分束器具备：1根输入光波导11；1输入2输出的第1光耦合器12，被光耦合到1根输入光波导11上；一对光波导臂13a及13b，被光耦合到第1光耦合器的输出上；以及2输入2输出的第2光耦合器18，被光耦合到一对光波导臂13a及13b上。第1光耦合器12、一对光波导臂13、及第2光耦合器18构成MZI。
在本实施方式的波导型偏振分束器中，以横断一对光波导臂13a、13b的方式形成了槽15，在槽15中，以分别横断各臂13a、13b的方式设有2个四分之一波片16a、16b。2个四分之一波片16a、16b采用偏振轴相互正交者。通过采用这种结构，2个臂13a、13b，也包括被插入的波片在内，除偏振轴方向外完全对称，所以温度依赖性小。
进而，作为第1光耦合器12，采用了向输出到光波导臂13a及13b的光间施加0度的相位差的Y分支耦合器。并且作为第2光耦合器18，采用了2输入2输出(2×2)多模干涉(MMI：Multimode Interference)耦合器，该耦合器相对于波导臂13a及13b各自的光输入，向输出到输出端口19a及19b的光，分别施加约90度及约-90度的相位差。这样，通过组合向分合束的光间施加0度或180度的相位差的光耦合器、和向分合束的光间施加90度或-90度的相位差的光耦合器，能够使波导臂13a及13b的长度一致，所以无需采用具有波长依赖性的延迟部，从而波长依赖性变小。
在本实施方式中，作为向分合束的光间施加约0度或约180度的相位差的光耦合器，采用了Y分支耦合器，这是因为，通过采用Y分支耦合器，能够提供小型且低损耗的波导型偏振分束器。然而，本发明并不限于该例子，只要是向分合束的光间施加0度或180度的相位差的光耦合器，则当然也可以是1输入2输出(1×2)MMI耦合器、或绝热X分支耦合器。
在本实施方式中，作为向分合束的光间施加约90度或约-90度的相位差的光耦合器，采用了2×2MMI耦合器，这是因为，通过采用2×2MMI耦合器，能够提供波长依赖性小、制造公差优异的偏振分束器。然而，本发明并不限于该例子，只要是向分合束的光间施加约90度或约-90度的相位差的耦合器，则当然也可以是方向性耦合器。
在本实施方式中，输入侧采用1输入2输出的Y分支耦合器，输出侧采用2输入2输出的MMI耦合器，来构成1输入2输出的偏振分束器；当然也可以反转输入和输出，输入侧采用2输入2输出的MMI光耦合器，输出侧采用2输入1输出的Y分支耦合器，来构成2输入1输出的偏振合束器。
构成一对光波导臂13的各臂13a、13b例如可以采用硅基板上的相对折射率差为1.5％的石英系光波导。其具有与光纤的连接损耗小于0.6dB/点的优点、和量产性及控制性优异这样的优点。
四分之一波片16a、16b可以用聚酰亚胺来制作。由于聚酰亚胺薄，因此能够使供四分之一波片16a、16b插入的槽15窄至例如低于20μm等。偏振轴的角度如果相对于形成了一对光波导臂13a及13b的平面的垂线成0度和90度，则分离出的偏振波为直线偏振波，从而操作变得容易。
为了降低槽15中的过剩损耗，也可以在槽15的前后的波导部分设锥形部。锥形部的末端宽度优选为10μm以上。
图5示出沿图4的V-V线的截面图。在基板10上形成了2个臂13a、13b，并且以分别横断它们的核心的方式设有四分之一波片16a、16b。
与图2所示的例子形成对照，本实施方式的波导型偏振分束器如图6所示，偏振消光比的波长依赖性大幅度降低。
此外，与图3所示的例子形成对照，本实施方式的波导型偏振分束器如图7所示，即使是考虑到制造公差的情况下的偏振消光比，也能够确保30dB以上。
(第1实施方式的变形方式)
图8示出第1实施方式的变形方式的波导型偏振分束器。波导型偏振分束器具备：2根输入光波导11a、11b；2输入2输出的第1光耦合器12，被光耦合到2根输入光波导11a、11b上；一对光波导臂13，被光耦合到第1光耦合器的输出上；以及2输入2输出的第2光耦合器18，被光耦合到一对光波导臂13上。第1光耦合器12、一对光波导臂13、及第2光耦合器18构成MZI。
在本实施方式的波导型偏振分束器中，以横断一对光波导臂13a、13b双方的方式形成了槽15，在槽15中，以分别横断各臂13a、13b的方式设有2个四分之一波片16a、16b。2个四分之一波片16a、16b采用偏振轴相互正交者。通过采用这种结构，2个臂13a、13b，也包括被插入的波片在内，除偏振轴方向外完全对称，所以温度依赖性小。
进而，作为第1光耦合器12，采用了向输出到光波导臂13a及13b的光间施加约0度及约180度的相位差的绝热X分支耦合器。并且，作为第2光耦合器18，采用了2输入2输出(2×2)多模干涉(MMI：Multimode Interference)耦合器，该耦合器相对于波导臂13a及13b各自的光输入，向输出到输出端口19a及19b的光，分别施加约90度及约-90度的相位差。这样，通过组合向分合束的光间施加约0度或约180度的相位差的光耦合器、和向分合束的光间施加约90度或约-90度的相位差的光耦合器，能够使波导臂13a及13b的长度一致，所以无需采用具有波长依赖性的延迟部，从而波长依赖性变小。
为了降低槽15中的过剩损耗，也可以在槽15的前后的波导部分设抛物线光波导。抛物线光波导的终端宽度优选为10μm以上。
采用这种结构，也能够提供波长依赖性及温度依赖性小的波导型偏振分束器。
(第2实施方式)
图9示出第2实施方式的波导型偏振分束器。波导型偏振分束器具备：1根输入光波导11；1输入2输出的第1光耦合器12，被光耦合到1根输入光波导11上；一对光波导臂13(13a及13b)，被光耦合到第1光耦合器的输出上；以及2输入2输出的第2光耦合器18，被光耦合到一对光波导臂13a及13b上。第1光耦合器12、一对光波导臂13、及第2光耦合器18构成MZI。
在本实施方式的波导型偏振分束器中，以横断一对光波导臂13a、13b的方式形成了槽15，在槽15中，以分别横断各臂13a、13b的方式设有2个四分之一波片16a、16b。2个四分之一波片16a、16b采用偏振轴相互正交者。通过采用这种结构，2个臂13a、13b，也包括被插入的波片在内，除偏振轴方向外完全对称，所以温度依赖性小。
进而，作为第1光耦合器12，采用了向输出到光波导臂13a及13b的光间施加0度的相位差的1输入2输出(1×2)MMI耦合器。并且，作为第2光耦合器18，采用了2输入2输出方向性耦合器，该耦合器相对于波导臂13a及13b各自的光输入，向输出到输出端口19a及19b的光，分别施加约90度及约-90度的相位差。这样，通过组合向分合束的光间施加约0度或约180度的相位差的光耦合器、和向分合束的光间施加约90度或约-90度的相位差的光耦合器，能够使波导臂13a及13b的长度一致，所以无需采用具有波长依赖性的延迟部，从而波长依赖性变小。
在本实施方式中，作为向分合束的光间施加0度的相位差的光耦合器，采用了1×2MMI光耦合器，但是本发明并不限于该例子，只要是向分合束的光间施加0度或180度的相位差的光耦合器，则当然也可以采用绝热X分支光耦合器，或者采用将Mach-Zehnder干涉仪级联的格(ラテイス)型光回路。
在本实施方式中，作为向分合束的光间施加约90度或-90度的相位差的光耦合器，采用了方向性耦合器，这是因为，通过采用方向性耦合器，能够提供损耗小的偏振分束器。然而，本发明并不限于该例子，只要是向分合束的光间施加约90度或约-90度的相位差的耦合器，则当然也可以是MMI耦合器。
在本实施方式中，输入侧采用1输入2输出的MMI光耦合器，输出侧采用2输入2输出的方向性耦合器，来构成2输入2输出的偏振分束器，当然也可以反转输入和输出，输入侧采用2输入2输出的方向性耦合器，输出侧采用2输入1输出的MMI光耦合器，来构成2输入1输出的偏振合束器。
构成一对光波导臂13的各臂13a、13b例如可以采用硅基板上的相对折射率差为1.5％的石英系光波导。其具有与光纤的连接损耗小于0.6dB/点的优点、和量产性及控制性优异这样的优点。
四分之一波片16a、16b可以用水晶来制作。水晶有下述特征：能够提供刚性高、没有弯曲或翘起等问题的波片，控制性提高。偏振轴的角度如果相对于形成了一对光波导臂13a及13b的平面的垂线成45度和-45度，则能够改变方向来插入相同种类的波片，所以有能够减少零件数的优点。
为了降低槽15中的过剩损耗，也可以在槽15的前后的波导部分设抛物线光波导17。抛物线光波导的终端宽度优选为10μm以上。
图10示出沿图9的X-X线的截面图。在基板10上形成了2个臂13a、13b，并且以分别横断它们的核心的方式设有四分之一波片16a、16b。
与图2所示的例子形成对照，本实施方式的波导型偏振分束器如图11所示，偏振消光比的波长依赖性大幅度降低。
此外，与图3所示的例子形成对照，本实施方式的波导型偏振分束器如图12所示，即使是考虑到制造公差的情况下的偏振消光比，也能够确保25dB以上。
标号说明
101、11     输入光波导
102、12     第一光耦合器
103、13     一对光波导臂
104、15     波导槽
14、17      锥形光波导或抛物线光波导
105、16     四分之一波片
106、18     第二光耦合器
107、19     输出光波导
20          包层(clad)
21          核心(core)
22          延迟

Claims (8)

1.一种波导型偏振分束器，被形成在基板上，其特征在于，
具备：
1根或2根输入光波导；
输出光波导；
1输入2输出或2输入2输出的第1光耦合器，被光耦合到上述1根或2根输入光波导上；
一对光波导臂，被光耦合到上述第1光耦合器的输出上；以及
2输入1输出或2输入2输出的第2光耦合器，被光耦合到上述一对光波导臂上；并且
以横断上述一对光波导臂的方式设置有槽，在上述槽中，以分别横断上述一对光波导臂的各臂的方式插入2个四分之一波片，上述2个四分之一波片的偏振轴相互正交；
上述第1光耦合器及上述第2光耦合器中的一方光耦合器是向分合束的光间施加约90度或约-90度的相移的光耦合器，另一方光耦合器是向分合束的光间施加约0度或约180度的相移的光耦合器。
2.如权利要求1所述的波导型偏振分束器，其特征在于，上述向分合束的光间施加约0度或约180度的相移的光耦合器是Y分支耦合器、1输入2输出多模干涉光耦合器、2输入1输出多模干涉光耦合器、或X分支耦合器。
3.如权利要求1或2所述的波导型偏振分束器，其特征在于，上述向分合束的光间施加约90度或约-90度的相移的光耦合器是2输入2输出多模干涉光耦合器或方向性耦合器。
4.如权利要求1所述的波导型偏振分束器，其特征在于，上述2个四分之一波片的偏振主轴的角度分别相对于波导的基板平面成0度及90度。
5.如权利要求1所述的波导型偏振分束器，其特征在于，上述2个四分之一波片分别是聚酰亚胺波片。
6.如权利要求1所述的波导型偏振分束器，其特征在于，在上述槽的前后还包括锥形部。
7.如权利要求1所述的波导型偏振分束器，其特征在于，在上述槽的前后还包括波导透镜。
8.如权利要求1所述的波导型偏振分束器，其特征在于，上述光波导是在硅基板上形成的石英系光波导。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10132928B2 (en) 2013-05-09 2018-11-20 Quanergy Systems, Inc. Solid state optical phased array lidar and method of using same
US10126412B2 (en) 2013-08-19 2018-11-13 Quanergy Systems, Inc. Optical phased array lidar system and method of using same
JP2015219276A (ja) * 2014-05-14 2015-12-07 日本電信電話株式会社 偏波分離回路
US9753351B2 (en) 2014-06-30 2017-09-05 Quanergy Systems, Inc. Planar beam forming and steering optical phased array chip and method of using same
US9869753B2 (en) 2014-08-15 2018-01-16 Quanergy Systems, Inc. Three-dimensional-mapping two-dimensional-scanning lidar based on one-dimensional-steering optical phased arrays and method of using same
JPWO2016060263A1 (ja) * 2014-10-17 2017-08-03 有限会社オートクローニング・テクノロジー 偏光分離／合成機能をもつ集積型光結合器
US10036803B2 (en) 2014-10-20 2018-07-31 Quanergy Systems, Inc. Three-dimensional lidar sensor based on two-dimensional scanning of one-dimensional optical emitter and method of using same
US10641876B2 (en) 2017-04-06 2020-05-05 Quanergy Systems, Inc. Apparatus and method for mitigating LiDAR interference through pulse coding and frequency shifting
KR20190115757A (ko) 2018-04-03 2019-10-14 한국전자통신연구원 광 회로 소자
CN108761648B (zh) * 2018-06-04 2019-06-18 华中科技大学 一种混合集成的三端口光环形器
GB2575653A (en) * 2018-07-17 2020-01-22 Univ College Cork National Univ Of Ireland Phase modulator for optical signal using multimode interference couplers
CN110646884B (zh) * 2019-07-09 2021-01-26 华中科技大学 一种具有大制作容差高偏振消光比的偏振分束器
KR20210018726A (ko) 2019-08-09 2021-02-18 한국전자통신연구원 코히어런트 광수신기 및 그의 제조 방법
US11474298B2 (en) * 2020-11-17 2022-10-18 Intel Corporation 2×2 optical unitary matrix multiplier
US11251876B2 (en) 2020-11-17 2022-02-15 Intel Corporation Optical analog matrix multiplier for optical neural networks

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6115514A (en) * 1993-05-07 2000-09-05 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Optical waveplate, method of manufacturing the same, and waveguide device using the same
EP1302793A2 (en) * 2001-10-16 2003-04-16 Nanyang Technological University A polarization beam splitter
CN101573645A (zh) * 2007-01-10 2009-11-04 日本电信电话株式会社 波导型干涉光路

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2614365B2 (ja) 1991-01-14 1997-05-28 日本電信電話株式会社 偏波無依存導波型光デバイス
JPH1130766A (ja) 1997-07-09 1999-02-02 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光非相反回路
JP3502578B2 (ja) * 1999-08-11 2004-03-02 日本電信電話株式会社 導波路型偏波状態測定器
JP3527455B2 (ja) 2000-03-09 2004-05-17 日本電信電話株式会社 光信号処理装置
JP4405978B2 (ja) 2006-04-18 2010-01-27 日本電信電話株式会社 光信号処理器
CN101784926B (zh) 2007-08-24 2012-05-16 日本电信电话株式会社 偏振无关波导型干涉光路
US8787710B2 (en) 2009-06-02 2014-07-22 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Wideband interferometer type polarization light beam combiner and splitter
JP5684131B2 (ja) * 2009-09-07 2015-03-11 古河電気工業株式会社 Ｐｌｃ型復調器及び光伝送システム

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6115514A (en) * 1993-05-07 2000-09-05 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Optical waveplate, method of manufacturing the same, and waveguide device using the same
EP1302793A2 (en) * 2001-10-16 2003-04-16 Nanyang Technological University A polarization beam splitter
CN101573645A (zh) * 2007-01-10 2009-11-04 日本电信电话株式会社 波导型干涉光路

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US9235003B2 (en) 2016-01-12

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