CN103325720A

CN103325720A - 一种新型扩散用石英舟

Info

Publication number: CN103325720A
Application number: CN2013102120662A
Authority: CN
Inventors: 陆俊宇; 王志刚; 易辉; 汪燕玲; 连维飞; 魏青竹
Original assignee: Zhongli Talesun Solar Co Ltd
Current assignee: Zhongli Talesun Solar Co Ltd
Priority date: 2013-05-31
Filing date: 2013-05-31
Publication date: 2013-09-25

Abstract

本发明公开了一种新型扩散用石英舟，用于放置硅片，其包括舟体，所述舟体上设置有至少三个用于放置硅片的卡槽,所述某一卡槽与相邻卡槽之间的间距分别为L1和L2，其中L1>L2或L1<L2，并且所有卡槽之间的间距按照L1、L2、L1、L2依次间隔排列。L2为L1的1/2-1/7倍，或所述L1为L2的1/2-1/7倍。由于硅片正面之间的间距并未改变，因此本发明不会影响扩散的均匀性，新石英舟的结构结合插片方式，吸杂效果与传统插片方式a相同，电池效率较高，且产能远高于普通传统结构的石英舟结合插片方式a。新石英舟结构结合插片方式同时兼顾到电池效率、产能这两个普通石英舟结构无法兼顾的要求。

Description

一种新型扩散用石英舟

技术领域

本发明属于晶体硅太阳能电池制造领域，尤其涉及一种新型扩散用石英舟。

背景技术

晶体硅太阳能电池的扩散工序的作用是在硅片正面制作PN结，生产中有两个重要指标，效率与产能，对应到扩散工序就是磷（针对磷扩散）或硼（针对硼扩散）对硅片的吸杂效果，扩散的均匀性与每轮扩散石英舟上所能插的硅片数量。

目前晶体硅太阳能电池生产中扩散工序所使用的石英舟的卡槽是等间距排列的，硅片在卡槽中放置。插片一般有两种方式：a. 每个卡槽中插一片的“双面扩散”(见附图1)； b.每个卡槽中插两片，两片硅片的背面相互紧靠的“单面扩散”(见附图2)。

插片方式a，扩散时硅片的两面都能接触到源（磷源或硼源），对硅片的吸杂效果更好，少子寿命高，电池效率较高，但是每轮扩散插片的数量少，产能低。

插片方式b，每轮扩散插片的数量是方式a的两倍，产能高，但是由于每个空格中的硅片只有一面能接触到源，吸杂效果不如方式a，电池效率较低。

a、b两种插片方式各有优缺点，如果不改变石英舟的结构，优点无法兼得。

通常有两种方式增加产能：

减小石英舟的卡槽的间距来增加舟上的卡槽数量，但会减小相邻硅片间的距离，这会影响到扩散的均匀性，同样影响到电池效率；

增加石英舟的长度来增加舟上的卡槽数量，但这样容易造成石英舟与扩散设备的不兼容。

发明内容

针对现有技术上存在的不足，本发明目的是在于提供一种可以同时兼顾到电池效率、产能的新型扩散用石英舟。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种新型扩散用石英舟，用于放置硅片，其包括舟体，所述舟体上设置有至少三个用于放置硅片的卡槽,所述某一卡槽与相邻卡槽之间的间距分别为L1和L2，其中L1>L2或L1<L2，并且所有卡槽之间的间距按照L1、L2、L1、L2依次间隔排列。

本发明通过设计若干组L1和L2的不等宽度间距，卡槽数量增加但是石英舟的总长保持基本不变，这样不会影响到与设备之间的兼容性；配合采用改良的插片方式，使之能够在不影响吸杂效果与扩散均匀性的基础上大大提升生产产能。

作为上述技术方案的进一步优化，所述L2为L1的1/2-1/7倍，或所述L1为L2的1/2-1/7倍。

作为上述技术方案的进一步优化，所述硅片在插入卡槽时，所述硅片的正面朝向L1和L2之中大的一方，硅片的背面朝向L1和L2中小的一方。4．根据权利要求1或2或3所述的新型扩散用石英舟，其特征在于，所述L1和L2的取值范围为0.5mm-5mm。

硅片的正面需要制作高质量的PN结，因此不改变硅片正面之间的间距以保证扩散的均匀性。所以硅片的正面必须朝向L1和L2之中大的一方，以确保足够的空间间距。

硅片背面需要能够接触到源以保证良好的吸杂效果，但是背面并不需求高质量的PN结，因此在每个卡槽插一片硅片的基础上，大幅度减小硅片背面之间的间距（但又不贴紧），这样就能同时保证吸杂效果与产能的要求。同时节省了部分空间。

本发明一种新型扩散用石英舟的有益效果主要表现为：

1) 由于硅片正面之间的间距并未改变，因此本发明不会影响扩散的均匀性；

2) 新石英舟的结构结合插片方式，吸杂效果与传统插片方式a相同，电池效率较高；

3) 新石英舟的结构结合插片方式，产能远高于普通传统结构的石英舟结合插片方式a；

4) 新石英舟结构结合插片方式同时兼顾到电池效率、产能这两个普通石英舟结构无法兼顾的要求。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本发明；

图1为传统插片方式a的结构示意图。

图2为传统插片方式b的结构示意图。

图3为本发明实施例插片方式的结构示意图。

图中标号为：1、舟体；2、硅片；3、卡槽之间的间距；31、卡槽间距（L1）；32、卡槽间距（L2）。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

参照图3，本具体实施方式采用以下技术方案：一种新型扩散用石英舟，用于放置硅片2，其包括舟体1，所述舟体1上设置有至少三个用于放置硅片的卡槽3,所述某一卡槽与相邻卡槽之间的间距分别为L1和L2，其中L1>L2或L1<L2，并且所有卡槽之间的间距按照L1、L2、L1、L2依次间隔排列。

本发明通过设计若干组L1和L2的不等宽度间距，卡槽3数量增加但是石英舟的舟体1总长保持基本不变，这样不会影响到与设备之间的兼容性；配合采用改良的插片方式，使之能够在不影响吸杂效果与扩散均匀性的基础上大大提升生产产能。

所述L2为L1的1/2-1/7倍，或者，所述L1为L2的1/2-1/7倍。

所述硅片2在插入卡槽3时，所述硅片2的正面朝向L1和L2之中大的一方，硅片2的背面朝向L1和L2中小的一方。

所述L1和L2的取值范围为0.5mm-5mm。

硅片2的正面需要制作高质量的PN结，因此不改变硅片2正面之间的间距以保证扩散的均匀性。所以硅片2的正面必须朝向L1和L2之中大的一方，以确保足够的空间间距。

硅片2背面需要能够接触到源以保证良好的吸杂效果，但是背面并不需求高质量的PN结，因此在每个卡槽插一片硅片2的基础上，大幅度减小硅片背面之间的间距（但又不贴紧），这样就能同时保证吸杂效果与产能的要求。同时节省了部分空间。

本实施例中，具体实施时，如果按照传统方式设置，以250个卡槽普通石英舟为例，卡槽与相邻卡槽之间的间隔宽度约3.7mm，石英舟总长1179mm。在保证电池效率的情况下（如插片方式a），每轮扩散能生产硅片250片。

在不改变石英舟总长度的条件下，本发明新设计的石英舟共设计有卡槽数350个，卡槽间距（L1）31为3.7mm保持不变，卡槽间距（L2）32宽度缩小至1mm(为原来的1/3~1/4)。这样在石英舟总长为1179mm不变的情况下，大大增加了卡槽的数量，在不影响到舟的兼容性的前提下，每轮扩散能生产硅片350片，产能提升40%，且不影响到电池效率。

本技术方案具体实施时，产品长度，卡槽数量，L1和L2的距离，根据实际需要进行选取，在同等长度和满足技术指标的前提下，卡槽数量大大增加，既保证了电池效率，又提升了产能。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定

。

Claims

1.一种新型扩散用石英舟，用于放置硅片，其特征在于，包括舟体，所述舟体上设置有至少三个用于放置硅片的卡槽,所述某一卡槽与相邻卡槽之间的间距分别为L1和L2，其中L1>L2或L1<L2，并且所有卡槽之间的间距按照L1、L2、L1、L2依次间隔排列。

2.根据权利要求1所述的新型扩散用石英舟，其特征在于，所述L2为L1的1/2-1/7倍，或所述L1为L2的1/2-1/7倍。

3.根据权利要求1所述的新型扩散用石英舟，其特征在于，所述硅片在插入卡槽时，所述硅片的正面朝向L1和L2之中大的一方，硅片的背面朝向L1和L2中小的一方。

4.根据权利要求1或2或3所述的新型扩散用石英舟，其特征在于，所述L1和L2的取值范围为0.5mm-5mm。